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工件測量系統(tǒng)和方法與制造工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11099608

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本發(fā)明涉及測量領(lǐng)域,并且特別地,涉及一種工件測量系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)光學(xué)傳感器是依據(jù)光學(xué)原理進(jìn)行測量的儀器,這類傳感器有許多優(yōu)點(diǎn),例如,能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測量、測量幾乎不受干擾、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測、遙控、可實(shí)時處理等優(yōu)點(diǎn)。光學(xué)傳感器包括很多類型,其中,以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)或者CCD(Charge-coupledDevice,電荷耦合元件...
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