技術編號：10934617
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一個光學檢測系統(tǒng)的景深一般都會隨著分辨率的增加而減小。如圖1所示，被檢測的物體，如平板顯示器、半導體晶圓或者是生物醫(yī)學的切片本身的彎曲程度大于這個景深的時候，則就需要設計一個自動聚焦系統(tǒng)，在檢測掃描時，使每一幅圖像都保持清晰。但是，在現(xiàn)有技術中，還缺乏相關的應用技術。實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種自動聚焦裝置，其目的是在檢測掃描時，快速、實時、自動地實現(xiàn)聚焦。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術方案為本實用新型所涉及的自動聚焦裝置，包括平臺、鏡頭、壓電陶...
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