技術(shù)編號(hào)：10640933
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。國(guó)內(nèi)主流多晶硅生產(chǎn)工藝為西門子法，該工藝主要氯化氫的合成、三氯氫硅的合成、三氯氫硅的提純、三氯氫硅的還原、四氯化硅氫化。由于國(guó)內(nèi)多晶硅廠對(duì)改良西門子法生產(chǎn)多晶硅技術(shù)尚未完全掌握，無法實(shí)現(xiàn)閉環(huán)生產(chǎn)，其工藝過程不可避免的產(chǎn)生了大量的氯硅烷殘液。氯硅烷殘液的主要來源于三氯氫硅的合成工序、合成氣干法分離工序、三氯氫硅的精餾提純工序、還原尾氣干法分離工序、四氯化硅的氫化工序、氫化氣干法分離工序等，其成分為四氯化硅、三氯氫硅、二氯二氫硅、氯化氫、少量的硅粉和金屬氯化物...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。