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薄膜存儲(chǔ)器技術(shù)的l形電容器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10514145

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閃速存儲(chǔ)器是可以電擦除和重新編程的電子的非易失性計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)。該閃速存儲(chǔ)器用于各種各樣的電子器件和設(shè)備(如,消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車(chē)等)。常見(jiàn)類(lèi)型的閃速存儲(chǔ)單元包括堆疊柵極存儲(chǔ)單元和分離柵極存儲(chǔ)單元。與堆疊柵極存儲(chǔ)單元相比,分離柵極存儲(chǔ)單元具有以下一些優(yōu)點(diǎn)諸如更低的功耗、更高的注入效率、更不易受短溝道效應(yīng)的影響以及過(guò)擦除不敏感性。發(fā)明內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的缺陷,根據(jù)本發(fā)明的一方面,提供了一種集成電容器,包括第一電極,設(shè)置在襯底上方;電荷捕獲介電層,在所...
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