一種真空吸筆的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片吸取技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種真空吸筆。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，硅片制造業(yè)也在蓬勃發(fā)展，由于硅片具有輕薄、脆弱、精密的特點(diǎn)，在生產(chǎn)、包裝和搬運(yùn)過(guò)程中，如果用手直接捏取硅片，容易導(dǎo)致硅片破裂，同時(shí)也會(huì)污染硅片，硅片表面的絨面結(jié)構(gòu)會(huì)遭到破壞，嚴(yán)重影響硅片的性能。為了避免以上不良后果，目前采用最多的是真空吸筆，但現(xiàn)有的真空吸筆在吸取硅片時(shí)，硅片受到的吸力較大，很有可能與筆頭發(fā)生較強(qiáng)的沖擊碰撞，導(dǎo)致硅片損傷；另外，現(xiàn)有的真空吸筆的操作方式一般是將吸筆豎直后吸取，長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)，很容易使操作員產(chǎn)生疲勞，降低了工作效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是:為了克服現(xiàn)有的真空吸筆操作不便、硅片易損傷的不足，本實(shí)用新型提供一種便于操作、避免硅片損傷的真空吸筆。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所要采用的技術(shù)方案是:一種真空吸筆，用于吸取硅片，包括筆頭、與筆頭連接的筆桿、套接在筆桿一端的軟管和套接在軟管一端的握桿，還包括滑動(dòng)套設(shè)在筆桿上的第一套圈、滑動(dòng)套設(shè)在握桿上的第二套圈和兩端分別連接第一套圈與第二套圈的橡膠條，所述筆頭上開設(shè)有多個(gè)氣槽，所述氣槽、筆桿、軟管和握桿依次連通。
[0005]進(jìn)一步地，所述筆頭上任意一個(gè)平行于筆桿中心線的平面上開設(shè)氣槽。
[0006]進(jìn)一步地，所述筆頭上開設(shè)有氣槽的平面上還設(shè)有與該平面大小相適應(yīng)的藍(lán)膜，所述藍(lán)膜上與氣槽相對(duì)應(yīng)處開設(shè)有通槽。
[0007]進(jìn)一步地，所述氣槽的形狀為多邊形或圓形。
[0008]進(jìn)一步地，所述握桿上還設(shè)有一個(gè)氣閥。
[0009]進(jìn)一步地，所述軟管的彎曲角度為0°?60°。
[0010]進(jìn)一步地，所述筆頭的材質(zhì)為石英玻璃。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型的一種真空吸筆，在使用時(shí)，由于負(fù)壓作用，硅片吸附在筆頭上，同時(shí)軟管會(huì)發(fā)生彎曲，對(duì)硅片沖擊碰撞筆頭具有緩沖作用，同時(shí)由于筆頭上設(shè)置藍(lán)膜，可以隔絕硬質(zhì)的筆頭與硅片的正面接觸，從而避免硅片損傷;此外，該真空吸筆不需要豎直后使用，減輕了操作員因長(zhǎng)時(shí)間工作而產(chǎn)生的疲勞。本實(shí)用新型的真空吸筆，操作方便，即使長(zhǎng)時(shí)間工作也不會(huì)產(chǎn)生疲勞，大大提高了工作效率，避免了硅片損傷。
【附圖說(shuō)明】
[0012]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0013]圖1是本實(shí)用新型的一種真空吸筆的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1中的A向結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3是圖1所示的一種真空吸筆中的藍(lán)膜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖4是本實(shí)用新型的一種真空吸筆的工作狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中:1、筆頭，1-1、氣槽，2、筆桿，3、軟管，4、握桿，6、第一套圈，7、第二套圈，8、橡膠條，9、藍(lán)膜，9-1、通槽，10、氣閥。
【具體實(shí)施方式】
[0018]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。此圖為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0019]請(qǐng)參照?qǐng)D1-圖4所示，本實(shí)用新型的一種真空吸筆，用于吸取硅片，包括筆頭1、與筆頭I連接的筆桿2、套接在筆桿2—端的軟管3和套接在軟管3另一端的握桿4，還包括滑動(dòng)套設(shè)在筆桿2上的第一套圈6、滑動(dòng)套設(shè)在握桿4上的第二套圈7和兩端分別連接第一套圈6與第二套圈7的橡膠條8，所述筆頭I上開設(shè)有多個(gè)氣槽1-1，具體的，所述筆頭I上任意一個(gè)平行于筆桿2中心線的平面上開設(shè)氣槽1-1，所述氣槽1-1、筆桿2、軟管3和握桿4依次連通。
[0020]為了隔絕硬質(zhì)的筆頭與硅片正面接觸從而損傷硅片，所述筆頭I上開設(shè)有氣槽1-1的平面上還設(shè)有與該平面大小相適應(yīng)的藍(lán)膜9，所述藍(lán)膜9上與氣槽1-1相對(duì)應(yīng)處開設(shè)有通槽9-1 ο
[0021]所述氣槽1-1的形狀為多邊形或圓形，本實(shí)施例中，氣槽1-1的形狀為長(zhǎng)方形，且氣槽1-1的數(shù)量為三個(gè)。
[0022]所述握桿4上還設(shè)有一個(gè)氣閥10，打開氣閥10，絕大部分空氣從氣閥10吸入，筆頭I的進(jìn)空氣量很小，吸力較小，不足以吸取硅片；當(dāng)關(guān)閉氣閥10時(shí)，筆頭I的進(jìn)空氣量大，吸力較大，可以吸取硅片，同時(shí)，將此氣閥10設(shè)于握桿4上，方便了操作。
[0023]所述軟管3的彎曲角度為0°?60°。
[0024]所述筆頭I的材質(zhì)為石英玻璃。
[0025]下面結(jié)合圖1-圖4，說(shuō)明本實(shí)用新型的一種真空吸筆的使用過(guò)程:握桿4接通負(fù)壓裝置，將筆頭I上的帶有氣槽1-1的一面靠近待吸取的硅片上方，關(guān)閉氣閥10，此時(shí)由于負(fù)壓作用，硅片被吸至筆頭I上，在吸取過(guò)程中，氣槽1-1逐漸被硅片遮擋，此時(shí)，吸筆內(nèi)的真空度逐漸下降，軟管3便發(fā)生彎曲，由于橡膠條8始終處于緊繃狀態(tài)，因此使軟管3更易彎曲，軟管3的彎曲可以緩沖硅片沖擊碰撞筆頭I的作用力，避免硅片受損。當(dāng)吸取完畢后，打開氣閥
10,硅片從筆頭上脫落，彎管自動(dòng)恢復(fù)到原始狀態(tài)，為下一次吸取硅片做準(zhǔn)備。
[0026]本實(shí)用新型的一種真空吸筆，吸取硅片過(guò)程中，軟管3會(huì)發(fā)生彎曲，緩沖硅片沖擊碰撞筆頭I的作用力，同時(shí)，筆頭I的吸取面上設(shè)置藍(lán)膜9，可以有效避免硅片被硬質(zhì)筆頭I刮傷。另外，該真空吸筆不需要豎直后使用，減輕了操作員因長(zhǎng)時(shí)間工作而產(chǎn)生的疲勞。本實(shí)用新型的真空吸筆，操作方便，即使長(zhǎng)時(shí)間工作也不會(huì)產(chǎn)生疲勞，大大提高了工作效率，避免了娃片損傷。
[0027]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)的工作人員完全可以在不偏離本實(shí)用新型的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)范圍并不局限于說(shuō)明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空吸筆，用于吸取硅片，其特征在于:包括筆頭(I)、與筆頭(I)連接的筆桿(2)、套接在筆桿(2)—端的軟管(3)和套接在軟管(3)另一端的握桿(4)，還包括滑動(dòng)套設(shè)在筆桿(2)上的第一套圈(6)、滑動(dòng)套設(shè)在握桿(4)上的第二套圈(7)和兩端分別連接第一套圈(6)與第二套圈(7)的橡膠條(8)，所述筆頭(I)上開設(shè)有多個(gè)氣槽(1-1)，所述氣槽(1-1)、筆桿(2)、軟管(3)和握桿(4)依次連通。2.如權(quán)利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于:所述筆頭(I)上任意一個(gè)平行于筆桿(2)中心線的平面上開設(shè)氣槽(1-1)。3.如權(quán)利要求2所述的一種真空吸筆，其特征在于:所述筆頭(I)上開設(shè)有氣槽(1-1)的平面上還設(shè)有與該平面大小相適應(yīng)的藍(lán)膜(9)，所述藍(lán)膜(9)上與氣槽(1-1)相對(duì)應(yīng)處開設(shè)有通槽(9-1)。4.如權(quán)利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于:所述氣槽(1-1)的形狀為多邊形或圓形。5.如權(quán)利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于:所述握桿(4)上還設(shè)有一個(gè)氣閥(1)06.如權(quán)利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于:所述軟管(3)的彎曲角度為0°?60。。7.如權(quán)利要求1所述的一種真空吸筆，其特征在于:所述筆頭(I)的材質(zhì)為石英玻璃。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空吸筆，用于吸取硅片，包括筆頭、與筆頭連接的筆桿、套接在筆桿一端的軟管和套接在軟管另一端的握桿，還包括滑動(dòng)套設(shè)在筆桿上的第一套圈、滑動(dòng)套設(shè)在握桿上的第二套圈和兩端分別連接第一套圈與第二套圈的橡膠條，所述筆頭上開設(shè)有多個(gè)氣槽，所述氣槽、筆桿、軟管和握桿依次連通。本實(shí)用新型的真空吸筆工作時(shí)，軟管發(fā)生彎曲，緩沖硅片沖擊碰撞筆頭的力，同時(shí)，筆頭的吸取面上設(shè)置藍(lán)膜，有效避免硅片被硬質(zhì)筆頭刮傷。另外，該真空吸筆不需要豎直后使用，減輕了操作員因長(zhǎng)時(shí)間工作而產(chǎn)生的疲勞。該吸筆操作方便，即使長(zhǎng)時(shí)間工作也不會(huì)疲勞，大大提高了工作效率，避免了硅片損傷。
【IPC分類】H01L21/683
【公開號(hào)】CN205303436
【申請(qǐng)?zhí)枴?br>【發(fā)明人】呂正旺
【申請(qǐng)人】蘇州同冠微電子有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請(qǐng)日】2015年12月24日