一種真空泵用復(fù)合密封的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空領(lǐng)域的真空栗結(jié)構(gòu)，具體地說是一種真空栗用復(fù)合密封。
【背景技術(shù)】
[0002]真空栗由于具有優(yōu)越的性能，在微電子、制藥、精密加工、造紙、包裝等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用，尤其是在半導(dǎo)體、化工、制藥有很多獨(dú)特的應(yīng)用。
[0003]近年來，隨著真空栗在半導(dǎo)體、化工、制藥行業(yè)的應(yīng)用，暴露出了一些問題。傳統(tǒng)軸封不能保證真空栗輸送介質(zhì)的完全密封，必然存在著一定量的介質(zhì)泄漏，這樣不僅會縮短真空栗的使用壽命，若抽取有毒、有害介質(zhì)，還會危害操作者的生命?；谝陨锨闆r，需要一種相對無泄漏的真空栗，這對于真空栗在半導(dǎo)體、制藥、化工行業(yè)的應(yīng)用意義重大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決現(xiàn)有真空栗存在介質(zhì)泄漏的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種真空栗用復(fù)合密封。具有該復(fù)合密封真空栗通過活塞環(huán)密封、密封圈、氮?dú)饷芊夂兔詫m密封組合的方式將腔體和油箱、腔體和外界完全隔離，一方面介質(zhì)完全被封閉在腔體內(nèi)，另一方面腔體和潤滑油完全被隔離，特別適用于半導(dǎo)體、化工、制藥等有粉塵有毒有害介質(zhì)的工況。
[0005]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0006]本發(fā)明包括活塞環(huán)密封、密封圈、氮?dú)饷芊?、迷宮密封及排氣腔，所述真空栗的腔體與裝有潤滑油的油箱之間設(shè)有排氣腔，所述真空栗的轉(zhuǎn)子軸由所述腔體穿出，由所述排氣腔穿過，并插入所述油箱中；所述轉(zhuǎn)子軸位于排氣腔內(nèi)的部分分別套設(shè)有活塞環(huán)密封及迷宮密封，該活塞環(huán)密封的兩端與所述轉(zhuǎn)子軸之間均設(shè)有密封圈，所述腔體內(nèi)的介質(zhì)通過活塞環(huán)密封與該側(cè)的所述密封圈密封，所述油箱內(nèi)的潤滑油或油氣通過該側(cè)的所述密封圈及迷宮密封密封；所述排氣腔內(nèi)、位于所述活塞環(huán)密封兩端之間的位置設(shè)有所述氮?dú)饷芊狻?br>[0007]其中:所述排氣腔內(nèi)設(shè)有氮?dú)馇?，該氮?dú)馇晃挥谒龌钊h(huán)密封兩端之間；所述排氣腔上開有氮?dú)獯祾呖?，該氮?dú)獯祾呖椎耐舛伺c外界氮?dú)庠聪噙B通，內(nèi)端與所述氮?dú)馇幌噙B通，所述外界氮?dú)庠摧敵龅牡獨(dú)馔ㄟ^氮?dú)獯祾呖走M(jìn)入氮?dú)馇粌?nèi)，在所述氮?dú)馇粌?nèi)形成氮?dú)饷芊?；所述氮?dú)獯祾呖椎妮S向垂直于轉(zhuǎn)子軸的軸向；所述活塞環(huán)密封一側(cè)的端面與同側(cè)的排氣腔的端面共面，該側(cè)的活塞環(huán)密封與所述轉(zhuǎn)子軸之間設(shè)有第一密封圈；所述活塞環(huán)密封的另一側(cè)與迷宮密封的一側(cè)抵接，該側(cè)的活塞環(huán)密封與所述轉(zhuǎn)子軸之間設(shè)有第二密封圈，所述迷宮密封的另一側(cè)與油箱密封連接。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:
[0009]1.本發(fā)明提供了非?？煽康拿芊夥绞?，使腔體與外界完全隔離，保證了介質(zhì)的零泄漏，特別適用于半導(dǎo)體、化工、制藥有粉塵有毒有害介質(zhì)的工況。
[0010]2.本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了腔體與油箱的完全隔離，既阻止了輸送介質(zhì)進(jìn)入油箱，又阻止了潤滑油或油氣進(jìn)入腔體，這樣一方面保證了輸送介質(zhì)的純凈無油，另一方面保證了在輸送過程中阻止腐蝕介質(zhì)進(jìn)入油箱，可以保證真空栗的安全、穩(wěn)定。
[0011]3.本發(fā)明采用的復(fù)合密封，性能穩(wěn)定，適合輸送高溫(80?100°C )介質(zhì)等苛刻工況。
[0012]4.本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，安裝空間小，便于設(shè)備配套安裝使用。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]其中:1為轉(zhuǎn)子軸，2為腔體，3為第一密封圈，4為活塞環(huán)密封，5為氮?dú)獯祾呖祝?為第二密封圈，7為迷宮密封，8為排氣腔，9為油箱，10為氮?dú)馇弧?br>【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0016]如圖1所不，本發(fā)明包括第一密封圈3、活塞環(huán)密封4、氮?dú)饷芊?、第二密封?、迷宮密封7及排氣腔8，真空栗的腔體2與裝有潤滑油的油箱9之間設(shè)有排氣腔8，真空栗的轉(zhuǎn)子軸I由腔體2穿出，由排氣腔8穿過，并插入油箱9中。
[0017]轉(zhuǎn)子軸I位于排氣腔8內(nèi)的部分分別套設(shè)有活塞環(huán)密封4及迷宮密封7，活塞環(huán)密封4 一側(cè)的端面與同側(cè)的排氣腔8的端面共面，該側(cè)的活塞環(huán)密封4與轉(zhuǎn)子軸I之間設(shè)有第一密封圈3，腔體2內(nèi)的介質(zhì)通過活塞環(huán)密封4及第一密封圈3密封?；钊h(huán)密封4的另一側(cè)與迷宮密封7的一側(cè)抵接，該側(cè)的活塞環(huán)密封4與轉(zhuǎn)子軸I之間設(shè)有第二密封圈6，迷宮密封7的另一側(cè)與油箱9密封連接，油箱9內(nèi)的潤滑油或油氣通過第二密封圈6及迷宮密封7密封。
[0018]排氣腔8內(nèi)、位于活塞環(huán)密封4兩端之間的位置設(shè)有氮?dú)饷芊狻Ｅ艢馇?內(nèi)設(shè)有氮?dú)馇?0，該氮?dú)馇?0位于活塞環(huán)密封4兩端之間。排氣腔8上開有氮?dú)獯祾呖?，該氮?dú)獯祾呖?的軸向垂直于轉(zhuǎn)子軸I的軸向，氮?dú)獯祾呖?的外端與外界氮?dú)庠聪噙B通，內(nèi)端與氮?dú)馇?0相連通，外界氮?dú)庠摧敵龅?、設(shè)置了要求的氮?dú)鈪?shù)的氮?dú)猓ㄟ^氮?dú)獯祾呖?吹入氮?dú)馇?0內(nèi)，在氮?dú)馇?0內(nèi)形成氮?dú)饷芊狻?br>[0019]本發(fā)明的工作原理為:
[0020]油箱9通過排氣腔8與真空栗的腔體2連接，油箱內(nèi)有潤滑油。本發(fā)明采用的密封形式是活塞環(huán)密封4、第一密封圈3、第二密封圈6、氮?dú)饷芊夂兔詫m密封7組成的復(fù)合密封，一方面活塞環(huán)密封4和第一密封圈3可以阻止腔體2內(nèi)的介質(zhì)進(jìn)入油箱9，一方面迷宮密封7和第二密封圈6可以阻止油箱9內(nèi)的潤滑油或油氣進(jìn)入腔體2 ;另一方面，在氮?dú)饷芊馓幮纬筛邏?I?2bar)，既能阻止腔體2的介質(zhì)進(jìn)入油箱9，又能阻止油箱9內(nèi)的潤滑油或油氣進(jìn)入腔體2，更加適合輸送含有粉塵，有毒、有害等介質(zhì)，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、化工、制藥等行業(yè)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空栗用復(fù)合密封，其特征在于:包括活塞環(huán)密封(4)、密封圈、氮?dú)饷芊?、迷宮密封(7)及排氣腔(8)，所述真空栗的腔體(2)與裝有潤滑油的油箱(9)之間設(shè)有排氣腔(8)，所述真空栗的轉(zhuǎn)子軸(I)由所述腔體(2)穿出，由所述排氣腔(8)穿過，并插入所述油箱(9)中；所述轉(zhuǎn)子軸(I)位于排氣腔(8)內(nèi)的部分分別套設(shè)有活塞環(huán)密封(4)及迷宮密封(7)，該活塞環(huán)密封(4)的兩端與所述轉(zhuǎn)子軸(I)之間均設(shè)有密封圈，所述腔體(2)內(nèi)的介質(zhì)通過活塞環(huán)密封(4)與該側(cè)的所述密封圈密封，所述油箱(9)內(nèi)的潤滑油或油氣通過該側(cè)的所述密封圈及迷宮密封(7)密封；所述排氣腔(8)內(nèi)、位于所述活塞環(huán)密封(4)兩端之間的位置設(shè)有所述氮?dú)饷芊狻?.按權(quán)利要求1所述的真空栗用復(fù)合密封，其特征在于:所述排氣腔(8)內(nèi)設(shè)有氮?dú)馇?10)，該氮?dú)馇?10)位于所述活塞環(huán)密封(4)兩端之間；所述排氣腔(8)上開有氮?dú)獯祾呖?5)，該氮?dú)獯祾呖?5)的外端與外界氮?dú)庠聪噙B通，內(nèi)端與所述氮?dú)馇?10)相連通，所述外界氮?dú)庠摧敵龅牡獨(dú)馔ㄟ^氮?dú)獯祾呖?5)進(jìn)入氮?dú)馇?10)內(nèi)，在所述氮?dú)馇?10)內(nèi)形成氮?dú)饷芊狻?.按權(quán)利要求2所述的真空栗用復(fù)合密封，其特征在于:所述氮?dú)獯祾呖?5)的軸向垂直于轉(zhuǎn)子軸(I)的軸向。4.按權(quán)利要求1、2或3所述的真空栗用復(fù)合密封，其特征在于:所述活塞環(huán)密封(4)一側(cè)的端面與同側(cè)的排氣腔(8)的端面共面，該側(cè)的活塞環(huán)密封(4)與所述轉(zhuǎn)子軸(I)之間設(shè)有第一密封圈⑶；所述活塞環(huán)密封⑷的另一側(cè)與迷宮密封(7)的一側(cè)抵接，該側(cè)的活塞環(huán)密封(4)與所述轉(zhuǎn)子軸(I)之間設(shè)有第二密封圈￠)，所述迷宮密封(7)的另一側(cè)與油箱(9)密封連接。
【專利摘要】本發(fā)明涉及真空領(lǐng)域的真空泵結(jié)構(gòu)，具體地說是一種真空泵用復(fù)合密封，包括活塞環(huán)密封、密封圈、氮?dú)饷芊?、迷宮密封及排氣腔，真空泵的腔體與裝有潤滑油的油箱之間設(shè)有排氣腔，真空泵的轉(zhuǎn)子軸由腔體穿出，由排氣腔穿過，并插入油箱中；轉(zhuǎn)子軸位于排氣腔內(nèi)的部分分別套設(shè)有活塞環(huán)密封及迷宮密封，活塞環(huán)密封的兩端與轉(zhuǎn)子軸之間均設(shè)有密封圈，腔體內(nèi)的介質(zhì)通過活塞環(huán)密封與該側(cè)的密封圈密封，油箱內(nèi)的潤滑油或油氣通過該側(cè)的密封圈及迷宮密封密封；排氣腔內(nèi)、位于所述活塞環(huán)密封兩端之間的位置設(shè)有氮?dú)饷芊狻１景l(fā)明提供了非?？煽康拿芊夥绞剑骨惑w與外界完全隔離，保證了介質(zhì)的零泄漏；本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，安裝空間小，便于設(shè)備配套安裝使用。
【IPC分類】F04C27/00
【公開號】CN105649987
【申請?zhí)枴?br>【發(fā)明人】劉志東, 雷震霖
【申請人】中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2014年11月11日