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一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)平方法

文檔序號(hào):9843455閱讀:615來源:國知局
一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)平方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于微電子設(shè)備中投影光刻機(jī)的調(diào)平技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種適用于投影 光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)及其調(diào)平方法,應(yīng)用該系統(tǒng)可以快速的實(shí)現(xiàn)硅片臺(tái)的調(diào)平,提高光 刻機(jī)的工作效率以及光刻工藝的質(zhì)量。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前,集成電路的規(guī)模越來越大,單位面積上的電路密度激增,為了滿足這一要 求,光刻線條的特征尺寸也越來越小,對(duì)光刻分辨力提出了更為苛刻的要求。同時(shí)分辨力的 提高導(dǎo)致焦深的急劇下降,由此對(duì)光刻系統(tǒng)的調(diào)平調(diào)焦要求更為嚴(yán)苛。
[0003] 目前國內(nèi)的很多投影式光刻機(jī)有實(shí)時(shí)調(diào)焦系統(tǒng),但沒有實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)。即使有調(diào) 平系統(tǒng),也不能做到實(shí)時(shí)調(diào)平。光刻過程中,保證硅片的平整性,可以提高光刻工藝的質(zhì)量, 同時(shí)實(shí)時(shí)的調(diào)平系統(tǒng)可以提高光刻機(jī)的工作效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明提出了一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)硅片臺(tái)的實(shí)時(shí)調(diào) 平,保證光刻過程中硅片臺(tái)的平整性要求。
[0005] 為達(dá)到上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平 系統(tǒng),包括光源,第一準(zhǔn)直透鏡組,第二準(zhǔn)直透鏡組,第一反射鏡,投影光闌,第一成像組鏡, 第二反射鏡,硅片,真空吸盤,工作臺(tái),第三反射鏡,第二成像鏡組,第三成像鏡組,第四成像 鏡組,第四反射鏡,線陣CCD,Cameral link傳輸線,圖像采集控制卡,RS232串口和計(jì)算機(jī); 由光源經(jīng)第一準(zhǔn)直透鏡組、第二準(zhǔn)直透鏡組成為平行光束,經(jīng)過第一反射鏡照射到投影光 闌成為一道狹縫光束,狹縫光束經(jīng)過第一成像組鏡成像到硅片表面,從硅片表面反射的光 束經(jīng)第二成像鏡組、第三成像鏡組、第四成像鏡組成像在線陣CCD上,硅片通過真空吸盤固 定在工作臺(tái)上,當(dāng)硅片在工件臺(tái)上有存在偏角α?xí)r,從硅片反射的反射光束將偏轉(zhuǎn)2α的角 度,這一偏轉(zhuǎn),將使狹縫的像在線陣CCD上產(chǎn)生ΛΧ的位移,線陣CCD通過Cameral link傳輸 線將圖像信息傳輸?shù)綀D像采集控制卡,圖像采集控制卡對(duì)圖像信息經(jīng)行亞像素處理,計(jì)算 出硅片的偏轉(zhuǎn)角,通過控制硅片臺(tái)下方的壓電致動(dòng)器,實(shí)時(shí)調(diào)平硅片臺(tái),保證曝光時(shí)硅片的 平整性要求,圖像采集控制卡通過RS232串口同計(jì)算機(jī)通信,可以進(jìn)行初始化設(shè)置以及調(diào) 試。
[0006] 本發(fā)明還提供一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)的調(diào)平方法,該方法步驟如 下:
[0007] 步驟一:光源經(jīng)第一準(zhǔn)直透鏡組、第二準(zhǔn)直透鏡組成為平行光束,經(jīng)過第一反射鏡 照射到投影光闌成為一道狹縫光束,狹縫光束經(jīng)過第一成像組鏡以及第二反射鏡以較大的 入射角成像到硅片表面,從硅片表面反射的光束依次經(jīng)第三反射鏡和第二成像鏡組、第三 成像鏡組、第四成像鏡組,再經(jīng)過第四反射鏡,成像在線陣CCD上;
[0008] 步驟二:線陣CCD同過Cameral link傳輸線將采集到的圖像信息傳給圖像采集控 制卡,圖像采集控制卡對(duì)圖像經(jīng)行亞像素處理,得到狹縫像的中心位置,根據(jù)預(yù)設(shè)的最佳平 整位置,計(jì)算出偏移量ΛΧ,再通過公式轉(zhuǎn)換為硅片的偏角;
[0009]步驟三:圖像采集控制卡通過計(jì)算出的偏移量,控制硅片臺(tái)下方的壓電致動(dòng)器,實(shí) 時(shí)調(diào)整硅片的偏移,保證硅片臺(tái)工作時(shí)的平整要求。
[0010]其中,狹縫光束成像到硅片上的〇點(diǎn)到后面成像光學(xué)鏡組的A點(diǎn)之間的距離為第二 成像鏡組的焦距,使不同角度的入射光束經(jīng)第二成像鏡組、第三成像鏡組、第四成像鏡組 后,平行出射到線陣C⑶上。
[0011] 其中,調(diào)整硅片的平整度時(shí),通過控制硅片臺(tái)下方,按三角形分布的壓電致動(dòng)器, 進(jìn)行硅片臺(tái)的高精度調(diào)平。
[0012] 其中,所述線陣CCD采用高靈敏度低噪聲黑白線掃描CCD傳感器,具有2048個(gè)有效 像素,像素尺寸14Μ?Χ14μπι,自帶AD,具有8bit/10bit/12bit可配置輸出數(shù)據(jù)精度,16位高 精度積分時(shí)間設(shè)置,具有改進(jìn)的相機(jī)配置串行通訊協(xié)議,最高數(shù)據(jù)率25MHz,最高行頻 11.7KHz〇
[0013]其中,所述的CPU模塊是采用Xilinx公司的FPGA實(shí)現(xiàn)的,利用FPGA的高速并行處理 能力以及靈活的可編程能力,可以快速的提高系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)平功能,所述的Cameral 1 ink 接口模塊采用標(biāo)準(zhǔn)的MDR26接口;Cameral link接口與LVDS To 28bit和通信模塊之間用差 分連接,視頻圖像信息以5路串行低壓差分信號(hào)傳輸?shù)絃VDS To 28bit模塊,由于使用了 Cameral 1 ink協(xié)議的Base模式,僅輸出8位并行信號(hào)、1位行同步信號(hào)和1位Cameral 1 ink時(shí) 鐘信號(hào)到CHJ處理器模塊;同時(shí),通信模塊有一個(gè)LVDS Driver/Receiver和一個(gè)4路差分驅(qū) 動(dòng)器組成,LVDS Driver/Receiver負(fù)責(zé)FPGA和Cameral link之間的串行命令收發(fā),4路差分 線驅(qū)動(dòng)器負(fù)責(zé)把4路FPGA的相機(jī)控制信號(hào)轉(zhuǎn)換成低電壓差分信號(hào)給Cameral link。
[0014] 其中,通過圖像采集控制卡上的撥碼開關(guān)可以對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)設(shè)處理,硅片處于理 想平整狀態(tài)時(shí),將此時(shí)線陣CCD上對(duì)應(yīng)的位置標(biāo)定為參考位置,用于與硅片處于有一定偏 角時(shí)的線陣CCD上的其他位置進(jìn)行比較,通過圖像采集控制卡處理后,得出硅片的偏角,通 過控制硅片臺(tái)下的壓電陶瓷電機(jī)的位移,調(diào)平硅片臺(tái)。
[0015] 其中,所采用的圖像處理算法,首先經(jīng)過高斯濾波的圖像利用梯度算子獲取其對(duì) 應(yīng)的梯度圖像;然后求得梯度圖像極大值即為圖像的邊緣點(diǎn),再通過對(duì)邊緣點(diǎn)附近進(jìn)行二 次差值處理,求得亞像素級(jí)的圖像邊沿位置,最后取其平均值即為狹縫亮紋的中心。
[0016] 本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0017] (1 )、本發(fā)明充分利用了FPGA的高速并行性,有效的提高了光刻機(jī)工作中的實(shí)時(shí)調(diào) 平效率,從而提高了光刻機(jī)的工作效率。
[0018] (2)、本發(fā)明采用了壓電致動(dòng)器進(jìn)行硅片臺(tái)的調(diào)平,可以實(shí)現(xiàn)高精度硅片臺(tái)調(diào)平。
[0019] (3)、本發(fā)明將大量的數(shù)據(jù)處理過程放在下位機(jī)上處理,大大減輕了上位機(jī)的負(fù) 載,同時(shí)通過上位機(jī)進(jìn)行初始化設(shè)置以及調(diào)試,操作方便簡(jiǎn)單,運(yùn)行可靠。
【附圖說明】
[0020] 圖1為本發(fā)明一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理圖,其中,1為光源, 2為第一準(zhǔn)直透鏡組,3為第二準(zhǔn)直透鏡組,4為第一反射鏡,5為投影光闌,6為第一成像組 鏡,7為第二反射鏡,8為硅片,9為真空吸盤,10為工作臺(tái),11為第三反射鏡,12為第二成像鏡 組,13為第三成像鏡組,14為第四成像鏡組,15為第四反射鏡,16為線陣CCD,17為Cameral link傳輸線,18為圖像采集控制卡,19為RS232串口,20為計(jì)算機(jī)。
[0021]圖2為本發(fā)明采用的采集控制卡模塊框圖。
[0022]圖3為本發(fā)明中圖像處理算法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023] 為了更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案,以下結(jié)合附圖做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0024] 如圖1所示,一種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng),包括光源1,第一準(zhǔn)直透鏡組 2,第二準(zhǔn)直透鏡組3,第一反射鏡4,投影光闌5,第一成像組鏡6,第二反射鏡7,硅片8,真空 吸盤9,工作臺(tái)10,第三反射鏡11,第二成像鏡組12,第三成像鏡組13,第四成像鏡組14,第四 反射鏡15,線陣CCD16,Cameral link傳輸線17,圖像采集控制卡18,RS232串口 19,計(jì)算機(jī) 20。由光源1經(jīng)第一準(zhǔn)直透鏡組2、第二準(zhǔn)直透鏡組3成為平行光束,經(jīng)過第一反射鏡4照射到 投影光闌5成為一道狹縫光束。狹縫光束經(jīng)過第一成像組鏡6成像到硅片8表面。從硅片表面 反射的光束依次經(jīng)第二成像鏡組12、第三成像鏡組13、第四成像鏡組14后成像在線陣CCD 16上。硅片8通過真空吸盤9固定在工作臺(tái)10上,當(dāng)硅片在工件臺(tái)10上有存在偏角α?xí)r,從硅 片反射的反射光束將偏轉(zhuǎn)2α的角度。這一偏轉(zhuǎn),將使狹縫的像在線陣CCD 16上產(chǎn)生ΛΧ的位 移。線陣CCD通過Cameral 1 ink傳輸線17將圖像信息傳輸?shù)綀D像采集控制卡18。圖像采集控 制卡18對(duì)圖像信息經(jīng)行亞像素處理,計(jì)算出硅片的偏轉(zhuǎn)角,通過控制硅片臺(tái)下方的壓電致 動(dòng)器,實(shí)時(shí)調(diào)平硅片臺(tái),保證曝光時(shí)硅片的平整性要求。圖像采集控制卡18通過RS232串口 19同計(jì)算機(jī)20通信,可以進(jìn)行初始化設(shè)置以及調(diào)試。
[0025] -種適用于投影光刻機(jī)的實(shí)時(shí)調(diào)平系統(tǒng)的調(diào)平方法,具體步驟如下:
[0026] 步驟一:光源1經(jīng)第一準(zhǔn)直透鏡組2、第二準(zhǔn)直透鏡組3成為平行光束,經(jīng)過第一反 射鏡4照射到投影光闌5成為一道狹縫光束。狹縫光束經(jīng)過第一成像組鏡6以及第二反射鏡7 以較大的入射角成像到硅片8表面。從硅片表面反射的光束依次經(jīng)第三反射鏡11和第二成 像鏡組12、第三成像鏡組13、第四成像鏡組14,再經(jīng)過第四反射鏡15,成像在線陣(XD 16上; [0027]步驟二:線陣(XD 16同過Cameral link傳輸線17將采集到的圖像信息傳給圖像采 集控制卡18,圖像采集控制卡對(duì)圖像經(jīng)行亞像素處理,得到狹縫像的中心位置,根據(jù)預(yù)設(shè)的 最佳平整位置,計(jì)算出偏移量ΛΧ,再通過公式轉(zhuǎn)換為硅片的偏角,所述的圖像采集卡包含 13個(gè)模塊,分別為:CPU模塊A,光電開光模塊B,復(fù)位模塊C,壓電致動(dòng)模塊D,時(shí)鐘模塊E,電源 模塊F,數(shù)碼管顯示模塊G,預(yù)設(shè)值模塊H,JTAG配置模塊I,通信模塊J,LVDS T〇28bi t模塊K, Cameral linkL,串口通信模塊Μ;
[0028]步驟三:圖像采集控制卡18通過計(jì)算出的偏移量,控制工件臺(tái)的調(diào)平系統(tǒng),實(shí)時(shí)調(diào) 整硅片的偏移,保證硅片臺(tái)工作時(shí)的平整要求。其中,硅片偏移α角度,將會(huì)使狹縫在線陣 (XD上產(chǎn)生ΛΧ的位移,通過不斷調(diào)整硅片臺(tái)下方壓電致動(dòng)器,使硅片臺(tái)達(dá)到要求的平整度 為止。其中采用的圖像處理算法,首先經(jīng)過高斯濾波的圖像利用梯度算子獲取其對(duì)應(yīng)的梯 度圖像;然后求得梯度圖像極大值即為圖像的邊緣點(diǎn),再通過對(duì)邊緣點(diǎn)附近進(jìn)行二次差值 處理,求得亞像素級(jí)的圖像邊
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