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半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件的制作方法

文檔序號(hào):8167633閱讀:258來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,涉及晶棒成型機(jī)部件,具體地說(shuō)是涉及半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件。
背景技術(shù)
現(xiàn)有技術(shù)中,由于晶棒的成型是原料放置玻璃管中,在加熱爐中搖擺而成型的,這樣的晶棒具有晶粒產(chǎn)率低,材料浪費(fèi)嚴(yán)重的缺點(diǎn)、還增加了生產(chǎn)成本、具有使用不便的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn),提供一種部件——半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件,這種部件安裝在成型機(jī)上具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費(fèi)、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件,其特征是包括液壓件本體,所述的液壓件本體下面是一個(gè)液壓缸,上面是一個(gè)活塞,活塞的上面有絕緣層,絕緣層上面有電極,電極連接有引出線。進(jìn)一步的講,所述的絕緣層是陶瓷制成的。進(jìn)一步的講,所述的活塞的截面是方形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是這樣的半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件可以安裝在成型機(jī)上,使這樣的成型機(jī)具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費(fèi)、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、液壓缸2、活塞3、絕緣層4、電極5、引出線。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖I所示,半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件,其特征是包括液壓件本體,所述的液壓件本體下面是一個(gè)液壓缸1,上面是一個(gè)活塞2,活塞2的上面有絕緣層3,絕緣層3上面有電極4,電極4連接有引出線5。進(jìn)一步的講,所述的絕緣層3是陶瓷制成的。進(jìn)一步的講,所述的活塞2的截面是方形結(jié)構(gòu)。這樣,活塞可以插在成型缸中使晶棒成型,還有電極通過電流,活塞的截面是方形結(jié)構(gòu)使制出的晶棒也是方形結(jié)構(gòu),增加產(chǎn)出率。
權(quán)利要求1.半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件,其特征是包括液壓件本體,所述的液壓件本體下面是一個(gè)液壓缸,上面是一個(gè)活塞,活塞的上面有絕緣層,絕緣層上面有電極,電極連接有引出線。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液壓件,其特征是所述的絕緣層是陶瓷制成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的液 壓件,其特征是所述活塞的截面是方形結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,涉及晶棒成型機(jī)部件,是半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件,包括液壓件本體,所述的液壓件本體下面是一個(gè)液壓缸,上面是一個(gè)活塞,活塞的上面有絕緣層,絕緣層上面有電極,電極連接有引出線,所述的絕緣層是陶瓷制成的,所述的活塞的截面是方形結(jié)構(gòu),這樣的半導(dǎo)體晶棒成型機(jī)的液壓件可以安裝在成型機(jī)上,使這樣的成型機(jī)具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費(fèi)、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B30B1/32GK202685357SQ20122032159
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月20日
發(fā)明者劉寶成 申請(qǐng)人:河南恒昌電子有限公司
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