專利名稱：一種長單晶硅棒的取出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)中長單晶硅棒的生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種長單晶硅棒的取出裝置。
背景技術(shù)：
隨著硅單晶爐二次投料設(shè)備和工藝的使用，硅單晶爐一次可生產(chǎn)的硅單晶棒長度得到顯著提升。同時大尺寸單晶硅棒生產(chǎn)爐型以其大投料量為優(yōu)點在進行小尺寸單晶棒生產(chǎn)時可一次生產(chǎn)獲得較長單晶硅棒。例如直徑8英寸單晶硅棒生產(chǎn)爐型一次可投料120Kg， 以相同的投料量進行直徑6英寸單晶硅棒生產(chǎn)時可獲單晶硅棒長度明顯增長。為了適應(yīng)同一爐型多次投料以及大爐型小直徑單晶硅棒的生產(chǎn)需求，在長單晶棒取出裝置上提出了調(diào)整要求。如圖1所示，為現(xiàn)有的硅單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有的硅單晶爐主要包括由下至上依次設(shè)置的主室101、爐蓋102、翻板閥103和副室104，在所述主室101、爐蓋102、翻板閥103和副室104的一側(cè)連接有提升機構(gòu)200，用于提升爐蓋102、翻板閥103和副室104， 以便于單晶棒取出。如圖2、圖3所示，現(xiàn)有的硅單晶爐大多采用副室、爐蓋聯(lián)動提升機構(gòu) 200，該提升機構(gòu)200包括由下至上依次設(shè)置的電動推桿201、電動推桿連接塊202、頂升軸 203、爐蓋提升軸204、爐蓋提升連接件205、副室提升軸206和副室提升連接件207 ；其中， 頂升軸203貫穿爐蓋提升軸204，頂升軸203的上端與副室提升軸205的下端相連接，使得頂升軸203在電動推桿201的上推力作用下，向上頂推副室提升軸205，進而使得副室104 上提；在副室104上提一段距離時，電動推桿連接塊202與爐蓋提升軸204相接觸，電動推桿201繼續(xù)施加上推力，驅(qū)動爐蓋102與副室104 —起進行提升，再旋轉(zhuǎn)至指定取棒位置， 然后取出單晶棒。由此可見，在現(xiàn)有技術(shù)中，副室104與爐蓋102由同一動力源單行程內(nèi)推動提升， 即動力源先推動副室104進行提升，當副室104提升到一定高度后動力源觸發(fā)爐蓋102，再帶動爐蓋102與副室104 —起進行提升，然后再進行取棒作業(yè)。然而，在副室104提升的提升過程中會發(fā)生一定偏轉(zhuǎn)，而此時爐蓋102固定不動， 因此副室104與爐蓋102之間無法實現(xiàn)同步旋轉(zhuǎn)，造成兩者的位置存在有一定的偏差，會影響單晶棒的取出。當長單晶硅棒在副室104下方漏出長度超過副室104與翻板閥103之間距離時，更無法將長單晶硅棒取出，嚴重影響正常生產(chǎn)。為了滿足長單晶棒的取出需要，現(xiàn)有的一種取出方法是，在現(xiàn)場多個操作工人協(xié)作一起手扶爐蓋102和副室104，使二者同步旋轉(zhuǎn)至指定取棒位置，然后從爐蓋102底部下方取出單晶棒，這樣不但費時費力，而且操作者手扶保持副室104與爐蓋102同步旋轉(zhuǎn)的可靠性較差，容易導(dǎo)致因旋轉(zhuǎn)不同步而使翻板閥103與單晶硅棒發(fā)生碰撞，引起單晶硅棒振掉的潛在危險，同時對于在單晶硅棒底下進行操作的人員也構(gòu)成一定安全隱患?，F(xiàn)有的另一種取出方法是，如圖4所示，在翻板閥103上安裝立板208，當副室104 先升起一定高度后，立板208可限制副室104相對翻板閥103的旋轉(zhuǎn)，待爐蓋102升起一定高度后，副室104、爐蓋102、翻板閥103—起進行旋轉(zhuǎn)，使其旋轉(zhuǎn)至指定取棒位置，然后取出單晶棒。雖然現(xiàn)有技術(shù)中采用翻板閥103上加立板208的結(jié)構(gòu)，在一定程度上可實現(xiàn)副室 104與爐蓋102的同步旋轉(zhuǎn)并提高操作的安全性，但無法實現(xiàn)副室104與爐蓋102的可靠同步旋轉(zhuǎn)，容易產(chǎn)生副室104與翻板閥103、爐蓋102間的晃動，而且每次操作需要依據(jù)所生產(chǎn)單晶硅棒的長度安裝或拆除立板208，費時費力，增加工作強度，同時為保障合爐時副室與翻板閥的準確配合，每次均需要拆下立板208，立板208的安裝和拆除有一定高度，不便施行操作。另外，無論是多次投料生產(chǎn)還是大爐型進行小直徑單晶硅棒的生產(chǎn)，長單晶硅棒的生產(chǎn)有一定的成品率，實際操作中除了需要考慮長單晶硅棒的穩(wěn)定、安全、可靠取出外， 還需要考慮長單晶硅棒與常規(guī)長度單晶硅棒生產(chǎn)變化時取出方法的切換。因此如何能夠保證長單晶硅棒的穩(wěn)定、安全、可靠的取出，并針對長單晶硅棒與常規(guī)長度單晶硅棒生產(chǎn)變化而進行方便的切換已成為業(yè)界亟需改進的目標。有鑒于長單晶硅棒取出的問題，本發(fā)明人基于從事機械設(shè)計制造多年的豐富經(jīng)驗及過強的專業(yè)知識，結(jié)合硅單晶爐的應(yīng)用實際，積極加以研究創(chuàng)新，以期在結(jié)構(gòu)方面克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供一種可實現(xiàn)長單晶硅棒穩(wěn)固、安全方便、可靠的取出，同時滿足不同長度單晶硅棒取出而進行快捷、方便切換需求的長單晶硅棒的取出裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)長單晶硅棒穩(wěn)固、安全方便、可靠的取出，同時滿足不同長度單晶硅棒取出而進行快捷、方便切換需求的長單晶硅棒的取出裝置。為達到上述目的，本發(fā)明提出一種長單晶硅棒的取出裝置，用于硅單晶爐，包括由下至上依次設(shè)置的電動推桿、電動推桿連接塊、頂升軸、爐蓋提升軸、爐蓋提升連接件、副室提升軸和副室提升連接件，所述頂升軸貫穿所述爐蓋提升軸且所述頂升軸的兩端分別延伸出所述爐蓋提升軸的端部，所述頂升軸能在所述爐蓋提升軸內(nèi)上下移動，所述頂升軸的上端與所述副室提升軸的下端相連接，所述頂升軸的下端與所述電動推桿連接塊相連接，在所述爐蓋提升軸底端與所述電動推桿連接塊之間的所述頂升軸上設(shè)有可拆裝的止擋部件。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，所述止擋部件包括定位套，套裝在所述電動推桿連接塊和所述頂升軸下部；螺套，套裝在所述定位套的上部，所述螺套的內(nèi)壁與所述定位套的外壁螺紋連接；隔套，可拆裝的滑動套設(shè)于所述頂升軸上，且位于所述螺套上方，所述隔套能頂?shù)钟谒鰻t蓋提升軸的底端。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，在所述頂升軸上提運動之前，所述隔套的上端面與所述爐蓋提升軸的底端面之間具有預(yù)定的間隙。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，該預(yù)定的間隙為5mm 10mm。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，所述隔套由兩半隔套對接而成，在所述兩半隔套的對應(yīng)面上分別沿軸線開設(shè)有與所述頂升軸相配合的半圓槽，所述兩半隔套通過螺栓相連接。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，所述隔套由兩半隔套對接而成，在所述兩半隔套的對應(yīng)面上分別沿軸線開設(shè)有與所述頂升軸相配合的半圓槽，所述兩半隔套的一側(cè)通過活頁連接，另一側(cè)通過螺栓相連接。
如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，所述止擋部件為卡箍，所述卡箍卡緊于所述爐蓋提升軸底端與所述電動推桿連接塊之間的所述頂升軸上，所述卡箍與所述爐蓋提升軸的底端面相配合頂?shù)?。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，在所述頂升軸上提運動之前，所述卡箍的上端面與所述爐蓋提升軸的底端面之間具有預(yù)定的間隙。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，所述預(yù)定的間隙為5mm 10mm。如上所述的長單晶硅棒的取出裝置，其中，所述取出裝置還包括第一護板和第二護板，所述第一護板和所述第二護板分別設(shè)于所述硅單晶爐的翻板閥的上端兩側(cè)，所述第一護板的高度小于所述第二護板的高度，在所述第二護板的朝向所述第一護板的側(cè)面上開設(shè)有錐面，所述錐面與所述硅單晶爐的副室的下端部相配合。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下特點和優(yōu)點1、本發(fā)明在爐蓋提升軸底端與電動推桿連接塊之間的頂升軸上設(shè)有可拆裝的止擋部件，與現(xiàn)有技術(shù)相比，基本上去除了副室先行運動行程，止擋部件在電動推桿連接塊的帶動下頂?shù)钟跔t蓋提升軸底端，從而使得爐蓋提升軸和副室提升軸同步提升，以保證硅單晶爐的副室與爐蓋同步提升，從而保證爐體的穩(wěn)固，使得長單晶硅棒轉(zhuǎn)動過程中的穩(wěn)定性、 可靠性、安全性均大幅提升，并且提高了操作者在施工時的安全性。2、本發(fā)明采用高度不等的第一護板和第二護板分別設(shè)于硅單晶爐的翻板閥上端兩側(cè)，并且在較高的第二護板的內(nèi)側(cè)開設(shè)有錐面，該錐面與硅單晶爐的副室的下端部相配合，副室下法蘭與之接觸后在下落過程中會沿著錐面滑向?qū)χ蟹较?，第二護板內(nèi)側(cè)圓弧半徑與副室下法蘭外圓弧半徑一致，實現(xiàn)準確對中。3、由于本發(fā)明的止擋部件為可拆裝的設(shè)置，因此可在長單晶硅棒取出與常規(guī)單晶硅棒方式之間方便切換。


以下附圖僅旨在于對本發(fā)明做示意性說明和解釋，并不限定本發(fā)明的范圍。其中，圖1為現(xiàn)有的硅單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有的硅單晶爐的提升機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2中A部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為現(xiàn)有的硅單晶爐的翻板閥與立板結(jié)合的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明長單晶硅棒的取出裝置的實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為圖5中B部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明的定位套的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明的螺套的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本發(fā)明的隔套的一實施例的主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為圖9的俯視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本發(fā)明的隔套的另一實施例的主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為圖11的俯視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖13為本發(fā)明長單晶硅棒的取出裝置的實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14為圖13中C部分的放大結(jié)構(gòu)示意5
圖15為本發(fā)明的卡箍的主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖16為圖15的俯視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖17為本發(fā)明的翻板閥與護板結(jié)合的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標記說明現(xiàn)有技術(shù)101-主室；102-爐蓋；103-翻板閥；104-副室；200-提升機構(gòu)；201-電動推桿； 202-電動推桿連接塊；203-頂升軸；204-爐蓋提升軸；205-爐蓋提升連接件；206-副室提升軸；207-副室提升連接件；208-立板。本發(fā)明1-電動推桿；2-電動推桿連接塊；3-頂升軸；4-爐蓋提升軸；5-爐蓋提升連接件；6-副室提升軸；7-副室提升連接件；8-止擋部件；81-定位套；82-螺套；83-隔套；84、 85-半隔套；86-螺栓；87、88_半隔套；89-活頁；9-卡箍；10-翻板閥；11第一護板；12-第二護板；13-錐面。
具體實施例方式為了對本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對照

本發(fā)明的具體實施方式
。請參考圖5、圖6，為本發(fā)明長單晶硅棒的取出裝置的實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖及圖 5中B部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，本發(fā)明提出的長單晶硅棒的取出裝置，用于硅單晶爐，包括由下至上依次設(shè)置的電動推桿1、電動推桿連接塊2、頂升軸3、爐蓋提升軸4、爐蓋提升連接件5、副室提升軸6和副室提升連接件7，頂升軸3貫穿爐蓋提升軸4且頂升軸 3的兩端分別延伸出爐蓋提升軸4的端部，頂升軸3能在爐蓋提升軸4內(nèi)上下移動，頂升軸 3的上端與副室提升軸6的下端相連接，頂升軸3的下端與電動推桿連接塊2相連接，這樣在電動推桿1驅(qū)動下，電動推桿連接塊2帶動頂升軸3上升，推動副室提升軸6提升，并通過副室提升連接件7帶動硅單晶爐的副室提升。在本發(fā)明中，在爐蓋提升軸4底端與電動推桿連接塊2之間的頂升軸3上設(shè)有可拆裝的止擋部件8，用于限制頂升軸3相對于爐蓋提升軸4的上下移動，基本上去除了副室先行運動行程，止擋部件8在電動推桿連接塊2的帶動下頂?shù)钟跔t蓋提升軸4底端，從而使得爐蓋提升軸4和副室提升軸6同步提升，以保證硅單晶爐的副室與爐蓋同步提升，從而保證爐體的穩(wěn)固，使得單晶硅棒轉(zhuǎn)動過程中的穩(wěn)定性、 可靠性、安全性均大幅提升，并且提高了操作者在施工時的安全性。請一并參考圖7至圖10，分別為本發(fā)明的定位套的結(jié)構(gòu)示意圖；本發(fā)明的螺套的結(jié)構(gòu)示意圖；本發(fā)明的隔套的一實施例的主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖9的俯視剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，在本實施例中，所述止擋部件8包括定位套81、螺套82和可拆裝的隔套83，如圖7所示，定位套81呈具有貫通的中空腔室的套筒結(jié)構(gòu)，定位套81中空腔室的形狀與電動推桿連接塊2及頂升軸3連接部的形狀相匹配，定位套81具有外螺紋；如圖8所示，螺套82呈螺帽狀，具有與定位套81外螺紋相配合的內(nèi)螺紋；如圖9、圖10所示，隔套83 呈由兩半隔套拼接形成的圓筒狀。其中定位套81套裝在電動推桿連接塊2和頂升軸3下部，定位套81與電動推桿連接塊2固定連接，起到配合螺套82和定位隔套83的作用；螺套 82套裝在定位套81的上部，螺套82的內(nèi)壁與定位套81的外壁螺紋連接，在使用時，通過調(diào)整螺套82與定位套81之間的旋合量，以達到調(diào)節(jié)螺套82高度，進而實現(xiàn)對隔套83的位置高度的調(diào)節(jié)功能，使得隔套83與爐蓋提升軸4之間保持適當?shù)拈g距。隔套83滑動地套設(shè)于頂升軸3上，隔套83且位于螺套82上方，使得隔套83能夠在螺套82的推動下上移，進而頂?shù)钟跔t蓋提升軸4的底端，以驅(qū)動爐蓋提升軸4上提運動，同時，頂升軸3驅(qū)動副室提升軸6上提運動，實現(xiàn)硅單晶爐的副室與爐蓋同步提升。進一步的，如圖9、圖10所示，隔套83由兩半隔套84、85對接而成，在兩半隔套84、 85的對應(yīng)面上分別沿軸線開設(shè)有與頂升軸相配合的半圓槽，兩半隔套84、85通過螺栓86相連接。使得頂升軸3能夠套置于兩半圓槽對接形成的容置孔中，并且半圓槽的半徑略大于頂升軸3的半徑，使得隔套83與頂升軸3之間具有一定的間隙，進而使得隔套83能夠沿頂升軸3外壁滑動，使得定位套81、螺套82與隔套83相互配合形成止擋部件8，可阻止頂升軸3相對于爐蓋提升軸4滑動，實現(xiàn)爐蓋提升軸4與副室提升軸6隨頂升軸3同步上提，具有較高的可靠性和安全性。進一步的，在頂升軸3上提運動之前，隔套83的上端面與爐蓋提升軸4的底端面之間具有預(yù)定的間隙，該預(yù)定的間隙為5mm 10mm。即先使電動推桿1推動副室提升最小高度，然后發(fā)生電動推桿1也推動爐蓋進行提升現(xiàn)象。實驗測試，由于剛體接觸及力的傳遞需要有一定的反應(yīng)長度，反映到行程上即最小高度(預(yù)定的間隙)，其合理值為5mm，為保障力傳遞來于電動推桿最小高度可取IOmm高度值，由于各提升部件裝配完成后間隙不一，根據(jù)差異的實際情況，可將調(diào)節(jié)定位套81和螺套82的螺紋配合量。作為本發(fā)明另一種可選的實施例，請參考圖11和圖12，分別為本發(fā)明的隔套的另一實施例的主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖和圖11的俯視剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，隔套83由兩半隔套87、88對接而成，在兩半隔套87、88的對應(yīng)面上分別沿軸線開設(shè)有與頂升軸相配合的半圓槽，兩半隔套87、88的一側(cè)通過活頁89連接，另一側(cè)通過螺栓86相連接，這樣將兩半隔套用活頁連接，平時一起保存，使用時只需擰緊一側(cè)螺釘，便可完成安裝，具有拆裝方便的優(yōu)點。作為本發(fā)明另一種可選的實施例，請參考圖13至圖16，分別為本發(fā)明長單晶硅棒的取出裝置的實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖，圖13中C部分的放大結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明的卡箍的主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖，以及圖15的俯視剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，止擋部件8為卡箍9， 該卡箍9卡緊于爐蓋提升軸4底端與電動推桿連接塊2之間的頂升軸3上，使得卡箍9與頂升軸3之間形成摩擦副，這樣當頂升軸3上提時，卡箍9隨之上移并頂?shù)钟跔t蓋提升軸4 的底端面，進而通過卡箍9將上提力傳遞至爐蓋提升軸4，使得爐蓋提升軸4與副室提升軸 6同步上提。但本發(fā)明采用的止擋部件8也不限于此，還可以采用其它公知的可拆裝的結(jié)構(gòu)，只要保證止擋部件8阻止頂升軸3相對于爐蓋提升軸4上移超過設(shè)定的間隙距離，使得爐蓋提升軸4與副室提升軸6同步上提即可。進一步的，通過實驗表明，如爐蓋推動副室進行力傳動時，容易引起副室與長單晶硅棒的摩擦顫動，為實現(xiàn)爐蓋與副室同步提升中的穩(wěn)定可靠，在頂升軸3上提運動之前，卡箍9的上端面與爐蓋提升軸4的底端面之間具有預(yù)定的間隙，該預(yù)定的間隙為5mm 10mm。 其作用與隔套83的上端面與爐蓋提升軸4的底端面之間設(shè)置預(yù)定的間隙的作用相同，在此
不再重復(fù)。進一步的，請參考圖17，為本發(fā)明的翻板閥與護板結(jié)合的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，本發(fā)明的取出裝置還包括第一護板11和第二護板12，第一護板11和第二護板12分別設(shè)于硅單晶爐的翻板閥10的上端兩側(cè)，第一護板11的高度小于第二護板12的高度，在第二護板12的朝向第一護板11的側(cè)面上開設(shè)有錐面13，該錐面13與硅單晶爐的副室的下端部相配合，以保證副室與翻板閥合爐時二者準確對中，當副室回轉(zhuǎn)至翻板閥10上方時由護板將其止動，在護板上開加工錐面，確保副室下落與翻板閥準確對中。在使用時，翻板閥10安裝于爐蓋之上，副室旋轉(zhuǎn)，爐蓋與翻板閥不動，副室旋出又旋回，其旋出方向為從第二護板12 側(cè)向第一護板11側(cè)的轉(zhuǎn)動，旋回方向為從第一護板11向第二護板12轉(zhuǎn)動。旋出需要先升起一端距離，升起高度為大于第一護板11高度，同樣回旋時旋轉(zhuǎn)高度要大于第一護板11高度，且低于第二護板12高度，這樣回旋通過第一護板11但被第二護板12阻止，第二護板12 上側(cè)有錐面13，副室下法蘭與之接觸后在下落過程中會沿著錐面13滑向?qū)χ蟹较?，第二護板12內(nèi)側(cè)圓弧半徑與副室下法蘭外圓弧半徑一致，實現(xiàn)準確對中。綜上所述，本發(fā)明通過在爐蓋提升軸4底端與電動推桿連接塊2之間的頂升軸3 上設(shè)有可拆裝的止擋部件8，基本上去除了副室先行運動行程，止擋部件8在電動推桿連接塊2的帶動下頂?shù)钟跔t蓋提升軸4底端，從而使得爐蓋提升軸4和副室提升軸6同步提升， 以保證硅單晶爐的副室與爐蓋同步提升，從而保證爐體的穩(wěn)固，使得單晶硅棒轉(zhuǎn)動過程中的穩(wěn)定性、可靠性、安全性均大幅提升。止擋部件8采用可拆裝的的結(jié)構(gòu)，在生產(chǎn)長單晶硅棒時，可快速方便安裝止擋部件8，從爐蓋下方取出單晶硅棒；在生產(chǎn)常規(guī)單晶硅棒時，可方便的取下止擋部件8，采用常規(guī)方法取出單晶硅棒，具有切換方便的優(yōu)點，也減少單晶棒下降距離和時間。在副室爐蓋旋轉(zhuǎn)時操作者位于爐蓋邊側(cè)即可進行操作，操作高度降低，風(fēng)險降低。以上所述僅為本發(fā)明示意性的具體實施方式
，并非用以限定本發(fā)明的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和原則的前提下所作出的等同變化與修改，均應(yīng)屬于本發(fā)明保護的范圍。
權(quán)利要求
1.一種長單晶硅棒的取出裝置，用于硅單晶爐，包括由下至上依次設(shè)置的電動推桿、電動推桿連接塊、頂升軸、爐蓋提升軸、爐蓋提升連接件、副室提升軸和副室提升連接件，所述頂升軸貫穿所述爐蓋提升軸且所述頂升軸的兩端分別延伸出所述爐蓋提升軸的端部，所述頂升軸能在所述爐蓋提升軸內(nèi)上下移動，所述頂升軸的上端與所述副室提升軸的下端相連接，所述頂升軸的下端與所述電動推桿連接塊相連接，其特征在于，在所述爐蓋提升軸底端與所述電動推桿連接塊之間的所述頂升軸上設(shè)有可拆裝的止擋部件。
2.如權(quán)利要求1所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，所述止擋部件包括定位套，套裝在所述電動推桿連接塊和所述頂升軸下部；螺套，套裝在所述定位套的上部，所述螺套的內(nèi)壁與所述定位套的外壁螺紋連接；隔套，可拆裝的滑動套設(shè)于所述頂升軸上，且位于所述螺套上方，所述隔套能頂?shù)钟谒鰻t蓋提升軸的底端。
3.如權(quán)利要求2所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，在所述頂升軸上提運動之前，所述隔套的上端面與所述爐蓋提升軸的底端面之間具有預(yù)定的間隙。
4.如權(quán)利要求2所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，該預(yù)定的間隙為5mm IOmm0
5.如權(quán)利要求2或3或4所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，所述隔套由兩半隔套對接而成，在所述兩半隔套的對應(yīng)面上分別沿軸線開設(shè)有與所述頂升軸相配合的半圓槽，所述兩半隔套通過螺栓相連接。
6.如權(quán)利要求2或3或4所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，所述隔套由兩半隔套對接而成，在所述兩半隔套的對應(yīng)面上分別沿軸線開設(shè)有與所述頂升軸相配合的半圓槽，所述兩半隔套的一側(cè)通過活頁連接，另一側(cè)通過螺栓相連接。
7.如權(quán)利要求1所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，所述止擋部件為卡箍，所述卡箍卡緊于所述爐蓋提升軸底端與所述電動推桿連接塊之間的所述頂升軸上，所述卡箍與所述爐蓋提升軸的底端面相配合頂?shù)帧?br> 8.如權(quán)利要求7所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，在所述頂升軸上提運動之前，所述卡箍的上端面與所述爐蓋提升軸的底端面之間具有預(yù)定的間隙。
9.如權(quán)利要求8所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，所述預(yù)定的間隙為5mm IOmm0
10.如權(quán)利要求1所述的長單晶硅棒的取出裝置，其特征在于，所述取出裝置還包括第一護板和第二護板，所述第一護板和所述第二護板分別設(shè)于所述硅單晶爐的翻板閥的上端兩側(cè)，所述第一護板的高度小于所述第二護板的高度，在所述第二護板的朝向所述第一護板的側(cè)面上開設(shè)有錐面，所述錐面與所述硅單晶爐的副室的下端部相配合。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種長單晶硅棒的取出裝置，用于硅單晶爐，包括由下至上依次設(shè)置的電動推桿、電動推桿連接塊、頂升軸、爐蓋提升軸、爐蓋提升連接件、副室提升軸和副室提升連接件，所述頂升軸貫穿所述爐蓋提升軸且所述頂升軸的兩端分別延伸出所述爐蓋提升軸的端部，所述頂升軸能在所述爐蓋提升軸內(nèi)上下移動，所述頂升軸的上端與所述副室提升軸的下端相連接，所述頂升軸的下端與所述電動推桿連接塊相連接，在所述爐蓋提升軸底端與所述電動推桿連接塊之間的所述頂升軸上設(shè)有可拆裝的止擋部件。本發(fā)明實現(xiàn)了長單晶硅棒穩(wěn)固、安全方便、可靠的取出，同時滿足不同長度單晶硅棒取出而進行快捷、方便切換需求的長單晶硅棒的取出裝置。
文檔編號C30B15/30GK102409398SQ20111043046
公開日2012年4月11日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者馮冬芳, 李進 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司