專利名稱：多晶硅爐傳動裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于一種多晶硅爐傳動裝置。
背景技術：
如圖1所示，傳統(tǒng)的多晶硅爐主要用于生產硅半導體材料，多晶硅爐包括供硅半 導體材料生長合成的爐體及硅籽晶控制系統(tǒng)和電控自動系統(tǒng)。硅籽晶質量很大程度 上取決位于爐體內鋼籠整體的平穩(wěn)提升，傳統(tǒng)的爐體內鋼籠的整體提升是依靠位于
爐休6頂部的驅動電機組件5、聯(lián)軸器4、末端第三級提升結構l、末端第二級提升結 構3和軟軸2所組成。如圖1所示，驅動電機組件位于整個提升傳動結構的首端，先 帶動位于首端的提升結構，再通過聯(lián)軸器和軟軸分別帶動末端第二級、第三級提升 結構，而各級提升結構下端分別通過鋼絲或螺桿與爐體內鋼籠連接。使用時，驅動 電機組件先驅動(起始)首端的提升結構，再通過軟軸到末端第二級提升結構，在由 后者(通過另一聯(lián)軸器)傳遞末端第三級提升結構，需經(jīng)兩次軟軸傳動，因軟軸在承 受載荷的過程中，載荷量過大，其徑向擾性變形會越大，造成自驅動端到最末端的 運動滯后。在該設備的實際使用中，造成爐體內鋼籠的整體提升斜置，達不到整體 平穩(wěn)提升的質量要求，對硅籽晶質量產生很大的影響，也對設備正常運行構成影響。 發(fā)明內容
本實用新型的目的是設計一種多晶硅爐傳動裝置，能用簡單的結構保證爐體內 鋼籠的整體平穩(wěn)提升，以提高硅籽晶質量，并延長設備的正常使用壽命。為此，本實 用新型采用驅動電機組件通過傳動帶帶動中間位提升機構和通過聯(lián)軸器及軟軸分 別帶動位于中間位提升機構兩端的末端提升機構。上述結構達到了本實用新型的目 的。
本實用新型的優(yōu)點是能用簡單的結構保證爐體內鋼籠的整體平穩(wěn)提升，大幅度 提高了硅籽晶質量，達到理想的使用效果，使產品的正品率大幅度提高,且結構簡單， 易對現(xiàn)冇設備進行改造，使用成本低，使用成本低較傳統(tǒng)結構成本降低50%,維修方 便，并延長了設備的正常使用壽命，使用壽命較傳統(tǒng)結構延長2倍。

圖1是傳統(tǒng)的多晶硅爐傳動裝置
圖2是本實用新型的結構示意圖 具體實施方案
如圖1至圖2所示，本實用新型是對原有設備的改進，故不再對圖l的傳統(tǒng)結構 進行累述。
如圖2所示，一種多晶硅爐傳動裝置，主要由末端提升機構1、 9，中間位提升機 構8和軟軸2所組成。驅動電機組件5通過傳動帶7帶動中間位提升機構和通過聯(lián)軸器 4及軟軸分別帶動位于中間位提升機構兩端的末端提升機構。所述的聯(lián)軸器為雙向 聯(lián)軸器。所述的驅動電機組件位于中間位提升機構上。
本實用新型將驅動電機組件置在中間位提升機構上，并通過置在中間位提升 機構的聯(lián)軸器驅動兩未端提升機構，從而將軟軸的二級傳動改變?yōu)橐患墏鲃?，克?了傳統(tǒng)的提升機構需經(jīng)兩次軟軸傳動，軟軸在承受載荷的過程中，載荷量過大，其 徑向擾性變形會越大，造成自驅動端到最末端的運動滯后的不足。使兩末端提升機 構和中間位提升機構傳動同步進行，保證爐體內鋼籠的整體平穩(wěn)提升，大幅度提高 硅籽晶質量。
使用時，驅動電機組件通過傳動帶帶動中間位提升機構，并通過聯(lián)軸器及軟 軸分別帶動位于中間位提升機構兩端的末端提升機構，使兩末端提升機構和中間位 提升機構傳動同步進行，保證爐體內鋼籠的整體平穩(wěn)提升。本實用新型只需對傳統(tǒng) 的結構進行改進即可，改造成本低，使用效果好，能大幅度提高硅籽晶質量和設備 使用壽命。
總之，本實用新型能用簡單的結構保證爐體內鋼籠的整體平穩(wěn)提升，提高了硅 籽晶質量,并大幅高延長了設備的正常使用壽命，達到理想的使用效果，大幅度提高 了產品的正品率，且結構簡單,制作使用成本低，維修和使用效果好。
權利要求1.一種多晶硅爐傳動裝置，主要由末端提升機構、中間位提升機構和軟軸所組成，其特征在于驅動電機組件通過傳動帶帶動中間位提升機構和通過聯(lián)軸器及軟軸分別帶動位于中間位提升機構兩端的末端提升機構。
2、 按權利要求l所述的多晶硅爐傳動裝置，其特征在于所述的聯(lián)軸器為雙 向聯(lián)軸器。
3、 按權利要求l所述的多晶硅爐傳動裝置，其特征在于所述的驅動電機組 件位于中間位提升機構卜-。
專利摘要本實用新型屬于一種多晶硅爐傳動裝置，采用驅動電機組件通過傳動帶帶動中間位提升機構和通過聯(lián)軸器及軟軸分別帶動位于中間位提升機構兩端的末端提升機構。本實用新型能用簡單的結構保證爐體內鋼籠的整體平穩(wěn)提升，以提高硅籽晶質量，并延長設備的正常使用壽命。
文檔編號C30B28/06GK201195764SQ20082008064
公開日2009年2月18日 申請日期2008年5月15日 優(yōu)先權日2008年5月15日
發(fā)明者張志新, 李占賢, 軍 王 申請人:北京京運通科技有限公司