專利名稱：具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐內(nèi)的設(shè)備，特別是一種具有五層保溫 條的多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
多晶硅在生長的過程中，由于熱場的不穩(wěn)定，會在晶體內(nèi)部產(chǎn)生微晶，
在DSS450多晶鑄造爐熱場沒改變的情況下，每個出來的晶錠里微晶含量達到 49.9%，這樣最終產(chǎn)品的良品率就會大大降低。晶體的生長方向是向上的，保 溫條的作用是使晶塊四周的溫度不會冷卻的太快，使晶體垂直生長，防止晶 體沒有長完就結(jié)晶，從而產(chǎn)生微晶。原有DSS450多晶鑄造爐的保溫條是三根， 這樣晶體在生長到一半的時候就結(jié)晶，結(jié)晶的固液界面呈水平狀，而這種方 式是最不理想的。
實用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有的多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)出來的晶錠微晶比例過高，影響產(chǎn)品 質(zhì)量的不足，本實用新型提供一種結(jié)晶質(zhì)量優(yōu)異的具有五層保溫條的多晶硅 鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)。
本實用新型所采用的技術(shù)方案是 一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐 的熱場結(jié)構(gòu)，包括保溫隔熱籠體、保溫隔熱籠體內(nèi)安裝在側(cè)面和頂面的加熱 器、放置坩堝的石墨冷卻塊以及設(shè)置在保溫隔熱籠體內(nèi)腔四周的保溫帶，在
保溫隔熱籠體的內(nèi)腔四周的保溫帶的高h為385-395mm，寬b為405-415mm。 保溫帶由五層上下依次層疊的保溫條組成。
原有的保溫隔熱籠體內(nèi)有三層上下層疊保溫條，現(xiàn)在增加兩層。增加兩 個保溫層后，它的晶體的成長的固液界面呈現(xiàn)為凸型，使得生產(chǎn)出來的晶錠 中的微晶量下降。
本實用新型的有益效果是通過試驗，和原來保溫隔熱籠體內(nèi)設(shè)置上下 層疊的三層保溫條相比，它的晶體的成長的固液界面呈現(xiàn)為凸型，周圍的晶 體的成長速度慢于中間的結(jié)晶，在有效區(qū)域中的微晶含量降低，使得生產(chǎn)出 來的晶錠中的微晶量下降。以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中l(wèi).保溫隔熱籠體，2.加熱器，3.石墨冷卻塊，4.保溫條。
具體實施方式
如圖1所示的一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)，包括保
溫隔熱籠體1、保溫隔熱籠體1內(nèi)安裝在側(cè)面和頂面的加熱器2和放置坩堝 的石墨冷卻塊3，在保溫隔熱籠體1的內(nèi)腔四周設(shè)置五層上下依次層疊的保 溫條4，五層保溫條4組成高h為385-395mm，寬b為405-415mm的保溫帶。 在DSS450多晶硅鑄錠爐中，保溫隔熱籠體1內(nèi)的保溫條4原來有三層，現(xiàn)在 在上面增加兩層。將硅原料加入到坩堝中，坩堝擱放在石墨冷卻塊3上，坩 堝底部和四周襯有護板，頂部具有蓋板，在溶化硅材料時，保溫隔熱籠體1 和石墨冷卻塊3合攏形成加熱坩堝中硅原料的熱場腔室。
溶化后的硅液冷卻結(jié)晶時，保溫隔熱籠體l內(nèi)的保溫條4使得硅液四周 的晶體生長慢于中間的結(jié)晶，晶體呈凸形生長，在有效區(qū)域中微晶的含量降 低，使得出來的晶錠中的微晶的含量為從現(xiàn)在的49. 9%下降到41. 6%。
權(quán)利要求1、一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)，包括保溫隔熱籠體(1)、保溫隔熱籠體(1)內(nèi)安裝在側(cè)面和頂面的加熱器(2)、放置坩堝的石墨冷卻塊(3)以及設(shè)置在保溫隔熱籠體(1)內(nèi)腔四周的保溫帶，其特征是在所述的保溫隔熱籠體(1)的內(nèi)腔四周設(shè)置的保溫帶的高h為385-395mm，寬b為405-415mm。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)， 其特征是所述的保溫帶由五層上下依次層疊的保溫條(4)組成。
專利摘要本實用新型涉及一種多晶硅鑄錠爐內(nèi)的設(shè)備，特別是一種具有五層保溫條的多晶硅鑄錠爐的熱場結(jié)構(gòu)，包括保溫隔熱籠體、保溫隔熱籠體內(nèi)安裝在側(cè)面和頂面的加熱器、放置坩堝的石墨冷卻塊以及設(shè)置在保溫隔熱籠體內(nèi)腔四周的保溫帶，在保溫隔熱籠體的內(nèi)腔四周設(shè)置的保溫帶的高h為385-395mm，寬b為405-415mm，保溫帶由五層保溫條組成。通過試驗，和原來保溫隔熱籠體內(nèi)設(shè)置上下層疊的三層保溫條相比，它的晶體的成長的固液界面呈現(xiàn)為凸型，周圍的晶體的成長速度慢于中間的結(jié)晶，在有效區(qū)域中的微晶含量降低，使得生產(chǎn)出來的晶錠中的微晶量下降。
文檔編號C30B28/00GK201183848SQ20082003110
公開日2009年1月21日 申請日期2008年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月28日
發(fā)明者楊曉忠, 汪釘崇 申請人:常州天合光能有限公司