一種晶體生長(zhǎng)爐感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶體生長(zhǎng)爐感應(yīng)線圈保護(hù)裝置，具體涉及一種線圈的保護(hù)及設(shè)備的穩(wěn)定可靠性裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于晶體生長(zhǎng)過(guò)程中加熱線圈處于高溫區(qū)，停電后水路循環(huán)將停止工作，電源雖然停止輸出，但是爐體內(nèi)溫場(chǎng)的溫度還是足以使加熱線圈融化破裂。傳統(tǒng)的大型UPS(Uninterruptible Power System/Uninterruptible Power Supply，即不間斷電源)和大型的發(fā)電機(jī)保護(hù)系統(tǒng)水路，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，初期投入相對(duì)大，運(yùn)行成本和后期維護(hù)成本都相對(duì)較大。且對(duì)線圈的保護(hù)不夠靈敏，所以對(duì)線圈起不到很好的保護(hù)作用。由于晶體生長(zhǎng)的特殊性，如果更換線圈對(duì)晶體生長(zhǎng)的一致性和穩(wěn)定性都將受到影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶體生長(zhǎng)爐感應(yīng)加熱電源的線圈保護(hù)裝置，很好的解決了傳統(tǒng)保護(hù)設(shè)備的眾多缺點(diǎn)。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]—種晶體生長(zhǎng)感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置包括:水冷管路和備用供水管路；其中，由市電向所述水冷管路的進(jìn)水端栗入冷卻水，水冷管路的出水端設(shè)置有水池，水冷管路盤繞在線圈附近，對(duì)線圈降溫；所述備用供水管路的出水端連接在水冷管路上，備用供水管路從進(jìn)水端至出水端依次連接有水箱、水栗、第一單向閥，所述水栗上連接有斷線切換開(kāi)關(guān)，所述斷線切換開(kāi)關(guān)與UPS連接，斷線切換開(kāi)關(guān)的監(jiān)測(cè)端與市電連接。
[0006]進(jìn)一步，所述水冷管路的進(jìn)水端附近設(shè)置有第二單向閥。
[0007]進(jìn)一步，所述備用供水管路通過(guò)三通接頭與所述水冷管路連接。
[0008]正常冷卻時(shí)，由市電向水冷管路中栗水，水冷管路將線圈的熱量帶入水池中。當(dāng)市電斷電時(shí)，無(wú)法繼續(xù)利用市電栗水，斷線切換開(kāi)關(guān)檢測(cè)到市電停電導(dǎo)通UPS，UPS給水栗供電，水栗開(kāi)始工作，水箱中的水經(jīng)水栗、第一單向閥流入水冷管路。由于水路短，反應(yīng)快，所以很好的保護(hù)了線圈不受損壞。
[0009]本使用新型的優(yōu)點(diǎn)是:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、反應(yīng)靈敏、進(jìn)水壓力大。通過(guò)停電以后快速切換備用水路很好的保護(hù)了線圈，間接的保護(hù)了設(shè)備的完成性，為晶體生長(zhǎng)提供一個(gè)穩(wěn)定的重復(fù)性好的生長(zhǎng)條件。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型一種晶體生長(zhǎng)爐感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖，詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】。
[0012]如圖1所示為本實(shí)用新型一種晶體生長(zhǎng)感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置的具體實(shí)施例，在本實(shí)施例中具體包括:一種晶體生長(zhǎng)感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置包括:水冷管路9和備用供水管路11 ;其中，由市電向水冷管路9的進(jìn)水端栗入冷卻水，如圖中箭頭所示，水冷管路9的進(jìn)水端附近設(shè)置有第二單向閥1-2，水冷管路9的出水端設(shè)置有水池8，水冷管路9盤繞在線圈7附近，對(duì)線圈7降溫；備用供水管路11的出水端通過(guò)三通接頭2與水冷管路9連接，備用供水管路11從進(jìn)水端至出水端依次連接有水箱4、水栗3、第一單向閥1-1，水栗3上通過(guò)電線10連接有斷線切換開(kāi)關(guān)5，斷線切換開(kāi)關(guān)5與UPS6連接，斷線切換開(kāi)關(guān)5的監(jiān)測(cè)端與市電連接。
[0013]正常冷卻時(shí)，由市電向水冷管路9中栗水，水冷管路9將線圈7的熱量帶入水池8中。當(dāng)市電斷電時(shí)，無(wú)法繼續(xù)利用市電栗水，斷線切換開(kāi)關(guān)5檢測(cè)到市電停電導(dǎo)通UPS6，UPS6給水栗3供電，水栗3開(kāi)始工作，水箱4中的水經(jīng)水栗3、第一單向閥1-1流入水冷管路9中。由于水路短，反應(yīng)快，所以很好的保護(hù)了線圈不受損壞。
[0014]使用后，將開(kāi)關(guān)5復(fù)位，水箱4加滿水，檢查ups6是否正常運(yùn)行。
[0015]本使用新型的優(yōu)點(diǎn)是:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、反應(yīng)靈敏、進(jìn)水壓力大。通過(guò)停電以后快速切換備用水路很好的保護(hù)了線圈，間接的保護(hù)了設(shè)備的完成性，為晶體生長(zhǎng)提供一個(gè)穩(wěn)定的重復(fù)性好的生長(zhǎng)條件。
[0016]上述示例只是用于說(shuō)明本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不限于這些示例，本領(lǐng)域技術(shù)人員所做出的符合本實(shí)用新型思想的各種【具體實(shí)施方式】都在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶體生長(zhǎng)感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置，其特征在于，所述線圈保護(hù)裝置包括:水冷管路和備用供水管路；其中，由市電向所述水冷管路的進(jìn)水端栗入冷卻水，水冷管路的出水端設(shè)置有水池，水冷管路盤繞在線圈附近，對(duì)線圈降溫；所述備用供水管路的出水端連接在水冷管路上，備用供水管路從進(jìn)水端至出水端依次連接有水箱、水栗、第一單向閥，所述水栗上連接有斷線切換開(kāi)關(guān)，所述斷線切換開(kāi)關(guān)與UPS連接，斷線切換開(kāi)關(guān)的監(jiān)測(cè)端與市電連接。2.如權(quán)利要求1所述的線圈保護(hù)裝置，其特征在于，所述水冷管路的進(jìn)水端附近設(shè)置有第二單向閥。3.如權(quán)利要求1所述的線圈保護(hù)裝置，其特征在于，所述備用供水管路通過(guò)三通接頭與所述水冷管路連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶體生長(zhǎng)感應(yīng)加熱電源線圈保護(hù)裝置，包括：水冷管路和備用供水管路；由市電向水冷管路的進(jìn)水端泵入冷卻水，水冷管路的出水端設(shè)置有水池，水冷管路盤繞在線圈附近，對(duì)線圈降溫；備用供水管路的出水端連接在水冷管路上，備用供水管路從進(jìn)水端至出水端依次連接有水箱、水泵、第一單向閥，水泵上連接有斷線切換開(kāi)關(guān)，斷線切換開(kāi)關(guān)與UPS連接，斷線切換開(kāi)關(guān)的監(jiān)測(cè)端與市電連接。正常冷卻時(shí)，由市電向水冷管路中泵水，水冷管路將線圈的熱量帶入水池中；當(dāng)市電斷電時(shí)，斷線切換開(kāi)關(guān)檢測(cè)到市電停電導(dǎo)通UPS，UPS給水泵供電，水泵將水箱中的水泵入水冷管路。由于水路短，反應(yīng)快，所以很好的保護(hù)了線圈不受損壞。
【IPC分類】H05B6/42
【公開(kāi)號(hào)】CN204859597
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520456905
【發(fā)明人】劉景峰
【申請(qǐng)人】北京奇峰藍(lán)達(dá)光學(xué)科技發(fā)展有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年6月30日