本發(fā)明涉及例如在制造顯示裝置所使用的基板時(shí)使用的干燥裝置、對(duì)基板實(shí)施液體的涂敷處理和干燥處理的制造裝置、和物品的制造方法等。

背景技術(shù)：

1、已知有一種這樣的物品的制造方法：通過(guò)噴墨方式在基板上涂敷材料，從而制造例如有機(jī)el顯示裝置。作為為此的制造系統(tǒng)，已知有一種制造系統(tǒng)，其具有在基板上涂敷墨的涂敷裝置、使涂敷有墨的基板干燥的干燥裝置、以及輸送基板的輸送裝置。

2、在日本特開2003－142260號(hào)公報(bào)中記載了一種制造系統(tǒng)，其以包圍具備機(jī)械手的輸送裝置的周圍的方式配置有噴墨裝置、干燥爐。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)1：日本特開2003－142260號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問(wèn)題

2、在日本特開2003－142260號(hào)公報(bào)所記載的制造系統(tǒng)中，由于未對(duì)干燥裝置進(jìn)行具體的研究，因此不能高效地進(jìn)行基板向干燥裝置的送入和基板從干燥裝置的送出，存在干燥處理的效率下降的問(wèn)題。

3、此外，在日本特開2003－142260號(hào)公報(bào)所記載的制造系統(tǒng)中，通過(guò)在輸送裝置的周圍配置多個(gè)涂敷裝置和干燥裝置來(lái)嘗試提高生產(chǎn)率。但是，由于利用單一的輸送裝置進(jìn)行使基板在涂敷裝置、干燥裝置之間移動(dòng)的作業(yè)，因此在輸送裝置使某個(gè)基板移動(dòng)的期間存在需要使其他的基板待機(jī)的情況，產(chǎn)生浪費(fèi)的待機(jī)時(shí)間。此外，若產(chǎn)生待機(jī)時(shí)間，則存在如下情況：例如將基板從涂敷裝置送入到干燥裝置所需要的時(shí)間對(duì)于每個(gè)基板而言都不同。于是，送入到干燥裝置的時(shí)刻的基板的狀態(tài)有偏差，因此難以控制由干燥裝置進(jìn)行的干燥處理的條件。

4、因此，期待在對(duì)由涂敷裝置涂敷了墨的基板進(jìn)行干燥處理時(shí)不降低干燥處理的效率的干燥裝置、制造裝置。或者，期待一種能夠縮短從涂敷裝置到干燥裝置的輸送時(shí)間且減少輸送時(shí)間的偏差的制造裝置。

5、用于解決問(wèn)題的方案

6、本發(fā)明的1個(gè)技術(shù)方案是一種干燥裝置，其特征在于，該干燥裝置具備：送入口，從該送入口送入基板；保持機(jī)構(gòu)，其能夠保持所送入的基板并變更高度；干燥機(jī)構(gòu)，其對(duì)所送入的基板進(jìn)行干燥處理；以及送出口，從該送出口送出進(jìn)行了干燥處理的基板，所述送入口和所述送出口設(shè)在高度不同的位置。

7、發(fā)明的效果

8、根據(jù)本發(fā)明的1個(gè)技術(shù)方案，能夠提供一種在對(duì)由涂敷裝置涂敷了墨的基板進(jìn)行干燥處理時(shí)不降低干燥處理的效率的干燥裝置或制造裝置?；蛘撸鶕?jù)本發(fā)明的1個(gè)技術(shù)方案，能夠提供一種能夠縮短從涂敷裝置向干燥裝置的輸送時(shí)間且減少輸送時(shí)間的偏差的制造裝置。

技術(shù)特征：

1.一種干燥裝置，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的干燥裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干燥裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的干燥裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于，

7.一種制造裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造裝置，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造裝置，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造裝置，其特征在于，

11.一種物品的制造方法，其特征在于，

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的物品的制造方法，其特征在于，

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的物品的制造方法，其特征在于，

14.一種制造裝置，其特征在于，

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制造裝置，其特征在于，

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制造裝置，其特征在于，

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制造裝置，其特征在于，

18.一種物品的制造方法，其特征在于，

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的物品的制造方法，其特征在于，

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的物品的制造方法，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供干燥裝置、制造裝置、物品的制造方法。期待在對(duì)由涂敷裝置涂敷了墨的基板進(jìn)行干燥處理時(shí)不降低干燥處理的效率的干燥裝置、制造裝置。干燥裝置的特征在于，具備：送入口，從該送入口送入基板；保持機(jī)構(gòu)，其能夠保持所送入的基板并變更高度；干燥機(jī)構(gòu)，其對(duì)所送入的基板進(jìn)行干燥處理；以及送出口，從該送出口送出進(jìn)行了干燥處理的基板，所述送入口和所述送出口設(shè)在高度不同的位置。

技術(shù)研發(fā)人員：秋田和夫,岸本克史
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9