專利名稱：振動體、振動裝置、以及電子設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種振動體、具有振動體的振動裝置、以及具備這些振動體和振動裝置的電子設備。
背景技術：
作為晶體振蕩器等的振動裝置，已知一種具備音叉型振動體的振動裝置，其中，所述音叉型振動體具備多個振動臂(例如，參照專利文獻1)。在專利文獻1中所記載的振動體具有基部；三個振動臂，其從該基部起以相互平行的方式延伸；壓電體元件，其被構(gòu)成為，在各個振動臂上依次形成有下部電極膜、壓電體膜以及上部電極。在這種振動體中，各個壓電體元件通過向下部電極與上部電極之間施加電壓，從而使壓電體膜進行伸縮，由此使各個振動臂進行彎曲振動。因此，一直以來，為了使壓電體元件的特性成為所需的特性，從而一直在對下部電極膜、壓電體膜以及上部電極的形成范圍、壓電體膜的厚度進行著變更。即，在減小等效并聯(lián)電容Ctl以及等效串聯(lián)電容C1時，通過減小下部電極膜、壓電體膜以及上部電極的外形形狀，從而減小電極膜的形成范圍(面積幻、或者增厚壓電體膜的厚度d。但是，當增加壓電體膜的厚度時，將會產(chǎn)生如下加工工藝上的問題，S卩，壓電體膜的溫度特性的影響將增大從而導致振動體的溫度特性惡化、或者壓電膜的成膜會需要較長時間等。而且，當減小下部電極膜、壓電體膜以及上部電極的形成范圍時，將會存在如下問題，即，由于將成為振動臂的寬度方向上的驅(qū)動力分布發(fā)生偏倚的狀態(tài)，從而壓電體元件的驅(qū)動力向振動臂的傳遞將無法很好地進行。即，當僅通過采用如下結(jié)構(gòu)，即，使下部電極膜與上部電極靠近振動臂的寬度的中央并呈縮窄的形狀、且未在振動臂的兩側(cè)形成電極，從而較小地形成下部電極膜、壓電體膜以及上部電極的形成范圍的結(jié)構(gòu)時，由于未在振動臂的不存在電極的兩側(cè)部分一帶產(chǎn)生驅(qū)動力，因而通過在存在電極的中央處局部產(chǎn)生的驅(qū)動力，將使振動臂進行彎曲。因此，為了使振動臂進行所需強度的彎曲，需要采取提高電極間的驅(qū)動用的電壓等的處理，從而存在效率低下的情況。在先技術文獻專利文獻1 日本特開2009-5022號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠以簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性的振動體、具有振動體的振動裝置、以及使用這些振動體、振動裝置的電子設備。用于解決課題的辦法本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，其能夠作為以下的實施方式或應用例而實現(xiàn)。
應用例1本應用例所記載的振動體的特征在于，具有基部；從所述基部起延伸的振動臂； 壓電體元件，其被設置在所述振動臂上，并通過通電而進行伸縮以使所述振動臂振動，其中，所述壓電體元件具備第1電極層、第2電極層、和位于所述第1電極層以及所述第2電極層之間的壓電體層，在所述第1電極層、所述壓電體層以及所述第2電極層中的至少一個層上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的孔。本應用例所記載的振動體能夠在不改變振動臂上的壓電體元件的形成區(qū)域(驅(qū)動區(qū)域)的條件下，減小第1電極層以及第2電極層的有效面積，從而調(diào)節(jié)壓電體元件的振動特性。因此，其能夠很好地實現(xiàn)壓電體元件的驅(qū)動力向振動臂的傳遞，且能夠分別減小等效并聯(lián)電容Ctl以及等效串聯(lián)電容(等效電路常數(shù)K1以調(diào)節(jié)至所需的值。而且，由于在對壓電體元件的振動特性進行調(diào)節(jié)時，無需改變壓電體層的厚度，因而能夠防止溫度特性發(fā)生變化、或者防止產(chǎn)生由于壓電體層的厚膜化而引起的加工工藝上的問題。而且，多個孔的形成能夠與層的外形的圖案形成同時進行。因此，也不會發(fā)生因制造時的工序數(shù)量的增加而導致成本提高的情況。應用例2在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔被形成在所述第1電極層以及所述第2電極層中的至少一個上。由于第1電極層以及第2電極層較薄，因而能夠較簡單且高精度地進行多個孔的形成。而且，即使在第1電極層上設置多個孔，在第1電極層上產(chǎn)生的高度差也極小，從而不會對壓電體層的形成帶來負面影響。而且，由于第2電極層在第1電極層以及壓電體層之后被形成，因而即使在第2電極層上設置多個孔，也不會對第1電極層以及壓電體層的形成帶來負面影響。應用例3在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔至少被形成在所述第1電極層上。通過在第1電極層上形成多個孔，從而能夠根據(jù)其形成狀態(tài)來調(diào)節(jié)壓電體層的定向性。應用例4在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔被形成在所述第1電極層以及所述第2電極層雙方上。由此，能夠在防止第1電極層以及第2電極層的機械強度的下降的同時，減小第1 電極層以及第2電極層的有效面積。應用例5在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔未被形成在所述壓電體層上。由此，能夠均勻地形成第2電極層。而且，能夠使第1電極層和第2電極層之間的距離均勻化。應用例6
在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔被形成在所述壓電體層上。由此，能夠減小第1電極層以及第2電極層的有效面積。應用例7在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔均勻地分布在所述層的面方向上。由此，能夠較簡單地將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例8在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，當俯視觀察所述層時，各個所述孔呈圓形。由此，能夠較簡單地將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例9在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，多個所述孔的平均直徑為0.01 100 μ m0由此，能夠在較容易地形成多個孔的同時，將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例10在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，當俯視觀察所述層時，各個所述孔呈狹縫形。由此，能夠較簡單地將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例11在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，所述狹縫形的各個孔，在所述振動臂的延伸方向上或者與此方向正交的寬度方向上延伸。由此，能夠較簡單地將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例12在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，所述狹縫形的多個孔的平均寬度為 0. 01 100 μ m。由此，能夠在較容易地形成多個孔的同時，將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例13在上述應用例所記載的振動體中，優(yōu)選為，當俯視觀察所述層時，相對于該層整體，多個所述孔所占面積的比例為0. 1 0. 8。由此，能夠在防止壓電體元件的機械強度的下降的同時，將壓電體元件調(diào)節(jié)成所需的振動特性。應用例14一種振動裝置，其特征在于，具有上述應用例中的任意一例所記載的振動體；用于收納所述振動體的外殼。由此，本發(fā)明的振動裝置，能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性。應用例15一種振動裝置，其特征在于，具有上述應用例中的任意一例所記載的振動體；與所述振動體電連接的驅(qū)動電路部；用于收納所述振動體以及所述驅(qū)動電路部的外殼。由于本應用例中所記載的振動裝置具備與上述振動體電連接的驅(qū)動電路部，從而能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性，并且實現(xiàn)小型化。應用例16一種電子設備，其特征在于，具備在上述應用例中所記載的振動體。由此，本應用例的電子設備能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性。


圖1為表示本發(fā)明的第1實施方式所涉及的振動裝置的剖視圖。圖2為表示圖1所示的振動裝置所具備的振動體的俯視圖。圖3為沿圖2中的A-A線的剖視圖。圖4為圖2所示的振動體的仰視圖。圖5為省略了圖4中振動體所具備的各個第2電極層的圖示的圖。圖6為省略了圖4中振動體所具備的各個第2電極層以及各個壓電體層的圖示的圖。圖7為用于對圖2所示的振動體的動作進行說明的立體圖。圖8為圖2所示的振動體的等效電路圖。圖9為表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的振動裝置所具備的振動體的仰視圖。圖10為省略了圖9中振動體所具備的各個第2電極層以及各個壓電體層的圖示的圖。圖11為表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的振動裝置所具備的振動體的仰視圖。圖12為省略了圖11中振動體所具備的各個第2電極層的圖示的圖。圖13為表示作為本發(fā)明的第4實施方式所涉及的振動裝置的壓電振蕩器的剖視圖。圖14為表示作為本發(fā)明所涉及的電子設備的一個示例的移動電話的概要的立體圖。圖15為作為本發(fā)明所涉及的電子設備的一個示例的移動電話的電路框圖。圖16為表示作為本發(fā)明所涉及的電子設備的一個示例的個人電腦的概要的立體圖。符號說明1…振動裝置；2、2A、2B …振動體；3…外殼；5…作為振動裝置的壓電振蕩器；21…振動基板；22、22A、22B、23、23A、23B、24、24A、24B...壓電體元件；27…基部；沘、29、30…振動臂；31…底基板；32...框構(gòu)件；33…蓋構(gòu)件；
:34a、:34b、:34c、!Md …外部端子；3^1、3釙…貼裝電極；36a、3m3…導電性粘合劑；37…內(nèi)部空間；41、42…連接電極；50…作為驅(qū)動電路部的半導體元件；51…連接電極；52…金屬凸點；53…凹部底面；55…凹部；221、221A、221B、223、223A、223B、231、231A、231B、233、233A、233B、241、241A、 M1B、243、243A、M;3B…電極層；222、222B、232、232B、242、242B…壓電體層；251、252 …導體部;300…作為電子設備的移動電話；400…作為電子設備的個人電腦；2211、2211A、2221、2231、2231A、2311、2311A、2321、2331、2331A、2411、2411A、 2421、2431、2431A…孔；CO…等效并聯(lián)電容；Cl…等效串聯(lián)電容；D1、D3…平均直徑；Ll…等效串聯(lián)電感；Rl…等效串聯(lián)電阻；S...面積；W1、W3…平均寬度。
具體實施例方式以下，根據(jù)附圖所示的實施方式，對本發(fā)明的振動體以及振動裝置進行詳細說明。第1實施方式圖1為，表示本發(fā)明的第1實施方式所涉及的振動裝置的剖視圖；圖2為，表示圖1 所示的振動裝置所具備的振動體的俯視圖；圖3為，沿圖2中的A-A線的剖視圖；圖4為，圖 2所示的振動體的仰視圖；圖5為，省略了圖4中振動體所具備的各個第2電極層的圖示的圖；圖6為，省略了圖4中振動體所具備的各個第2電極層以及各個壓電體層的圖示的圖； 圖7為，用于對圖2所示的振動體的動作進行說明的立體圖；圖8為，圖2所示的振動體的等效電路圖。并且，在各個圖中，為了便于說明，作為相互正交的三個軸，圖示了 X軸、Y軸以及Z軸。而且，在下文中，將與X軸平行的方向(第1方向)稱為“X軸方向”、將與Y軸平行的方向(第2方向)稱為“Y軸方向”、將與Z軸平行的方向(第3方向)稱為“Z軸方向”。而且，在以下的說明中，為了便于說明，而將圖1中的上側(cè)稱為“上”、下側(cè)稱為“下”、右側(cè)稱為“右”、左側(cè)稱為“左”。
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圖1所示的振動裝置1具有振動體2和用于收納該振動體2的外殼3。以下，依次對構(gòu)成振動裝置1的各個部件進行詳細說明。(振動體)首先，對振動體2進行說明。振動體2為，圖2所示的這種三腳音叉型的振動體。該振動體2具有振動基板 21 ；被設置在該振動基板21上的壓電體元件22、23、M以及連接電極41、42。振動基板21具有基部27、三個振動臂觀、29、30。作為振動基板21的構(gòu)成材料，只要是能夠發(fā)揮所需要的振動特性的材料即可，并不進行特別的限定，因而能夠使用各種壓電體材料以及各種非壓電體材料。例如，作為所涉及的壓電體材料，可以列舉出水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰、硼酸鋰、鈦酸鋇等。特別是，作為構(gòu)成振動基板21的壓電體材料，優(yōu)選為水晶。當用水晶構(gòu)成振動基板 21時，能夠使作為振動基板21的振動特性的頻率溫度特性優(yōu)異。而且，能夠通過蝕刻而以較高的尺寸精度形成振動基板21。而且，作為所涉及的非壓電體材料，可以列舉出例如硅、石英等。特別是，作為構(gòu)成振動基板21的非壓電體材料，優(yōu)選為硅。當用硅來構(gòu)成振動基板21時，除了能夠以較低成本來實現(xiàn)振動基板21的優(yōu)秀的振動特性以外，還能夠通過在基部27上形成集成電路等從而易于與其它電路元件一體化。而且，能夠通過蝕刻而以較高的尺寸精度形成振動基板21。在這種振動基板21中，當俯視觀察時，基部27呈四方形，所述四方形由與X軸方向平行的一對邊、和與Y軸方向平行的一對邊構(gòu)成。并且，基部27在俯視觀察時的形狀，并不限定于該形狀。而且，在基部27的與X軸方向平行的一條邊上，連接有三個振動臂觀、29、30。振動臂觀、四被連接在基部27的X軸方向上的兩端部，而振動臂30被連接在基部27的X軸方向上的中央部。三個振動臂觀、29、30以相互平行的方式而分別從基部27起延伸設置。換言之， 三個振動臂觀、29、30從基部27起分別沿Y軸方向(Y軸的箭頭方向)延伸，并在X軸方向上并排設置。這些振動臂觀、29、30分別呈長條形狀，并且其基部27 —側(cè)的端部(基端部)成為固定端，而與基部27相反一側(cè)的端部(前端部)成為自由端。而且，振動臂觀、四被形成為，彼此間具有相同的寬度，而振動臂30被形成為，其寬度為振動臂觀、29的寬度的2倍。由此，當使振動臂觀、四在Z軸方向上進行彎曲振動， 且使振動臂30以與振動臂觀、四相反的方向(以反相)在Z軸方向上進行彎曲振動時，能夠減少振動泄漏。而且，各個振動臂觀、29、30的寬度在整個長度方向上是固定的。并且，也可以根據(jù)需要，而在振動臂觀、29、30的各個前端部上，設置截面面積大于基端部的質(zhì)量部(錘頭部)。此時，能夠使振動體2更加小型化，或者進一步降低振動臂觀、29、30的彎曲振動的頻率。如圖3所示，在這種振動臂28上設置有壓電體元件22，另外，在振動臂四上設置有壓電體元件23，并且，在振動臂30上設置有壓電體元件M。壓電體元件22具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂28在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。而且，壓電體元件23具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂四在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。而且，壓電體元件M具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂30在Z 軸方向上進行彎曲振動的功能。如圖3所示，這種壓電體元件22是通過在振動臂觀上依次層疊第1電極層221、 壓電體層(壓電薄膜)222、第2電極層223而構(gòu)成的。如圖4所示，在第2電極層223上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔 2231。而且，如圖6所示，在第1電極層221上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2211。通過分別在第1電極層221以及第2電極層223上形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件22的振動特性進行了調(diào)節(jié)。并且，關于壓電體元件22的振動特性的調(diào)節(jié)，將在后文中進行詳細敘述。而且，雖然也可以在第1電極層221和第2電極層223中的某一個上形成多個孔，但是僅在第2電極層223上形成多個孔2231時，在第1電極層221上將絲毫不會存在因孔而導致的凹凸。因此，由于能夠平坦地形成壓電體層222以及第1電極層221， 因而易于使電極層間的電場強度嚴格一致。在這種壓電體元件22中，由于在第1電極層221與所述第2電極層223之間配置有壓電體層222，因此當向第1電極層221與第2電極層223之間施加電壓時，將在壓電體層222上產(chǎn)生沿Z軸方向的電場。通過該電場，從而壓電體層222在Y軸方向上伸長或者收縮，以使振動臂觀在Z軸方向上進行彎曲振動。同樣地，壓電體元件23是通過在振動臂四上依次層疊第1電極層231、壓電體層 (壓電薄膜)232、第2電極層233而構(gòu)成的。此外，壓電體元件M是通過在振動臂30上依次層疊第1電極層對1、壓電體層(壓電薄膜)242、第2電極層243而構(gòu)成的。如圖4所示，在第2電極層233上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔 2331。而且，如圖6所示，在第1電極層231上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔 2311。通過分別在第1電極層231以及第2電極層233上形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件23的振動特性進行了調(diào)節(jié)。而且，雖然也可以在第1電極層231和第2電極層233 中的某一個上形成多個孔，但是僅在第2電極層233上形成多個孔2331時，在第1電極層 231上將絲毫不會存在因孔而導致的凹凸。因此，由于能夠平坦地形成壓電體層232以及第 1電極層231，因而易于使電極層間的電場強度嚴格一致。而且，如圖4所示，在第2電極層243上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔M31。而且，如圖6所示，在第1電極層241上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔Mil。通過分別在第1電極層Ml以及第2電極層243上形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件M的振動特性進行了調(diào)節(jié)。而且，雖然也可以在第1電極層241和第2電極層M3中的某一個上形成多個孔，但是僅在第2電極層243上形成多個孔M31時，在第1 電極層241上將絲毫不會存在因孔而導致的凹凸。因此，由于能夠平坦地形成壓電體層242 以及第1電極層對1，因而易于使電極層間的電場強度嚴格一致。在這種壓電體元件23中，當向第1電極層231與第2電極層233之間施加電壓時， 壓電體層232將在Y軸方向上伸長或者收縮，以使振動臂四在Z軸方向上進行彎曲振動。 而且，當向第1電極層241與第2電極層243之間施加電壓時，壓電體層242將在Y軸方向上伸長或者收縮，以使振動臂30在Z軸方向上進行彎曲振動。而且，如圖4至圖6所示，所述第1電極層221、231以及第2電極層M3，與被設置在基部27下表面上的連接電極41電連接。而且，第1電極層Ml以及第2電極層223、 233，與被設置在基部27下表面上的連接電極42電連接。這里，第1電極層241經(jīng)由圖5 所示的導體部(導體端子)251，而與連接電極41電連接。而且，第1電極層221、231經(jīng)由圖5所示的導體部(導體端子)252，而與連接電極42電連接。這種第1電極層221、231、241，第2電極層223、233、243，連接電極41、42以及導體部251、252，分別能夠由金、金合金、鋁、鋁合金、銀、銀合金、鉻、鉻合金等具有優(yōu)異導電性的金屬材料形成。而且，作為這些電極等的形成方法，可以舉出陰極真空噴鍍法、真空蒸鍍法等的物理成膜法、CVD (Chemical Vapor Deposition 化學氣相沉積)等的化學蒸鍍法、噴墨法等的各種涂布法等。而且，在形成這些電極等時，優(yōu)選為使用光刻法。并且，第1電極層221、231、241能夠通過同樣的成膜工藝而形成，另外，第2電極層223、233、243也能夠通過同樣的成膜工藝而形成。作為壓電體層222、232、242的構(gòu)成材料(壓電體材料)，分別可以列舉出例如， ai0(氧化鋅)、A1N(氮化鋁)、PZT(鋯鈦酸鉛)等，除此之外，根據(jù)情況的不同，還可以列舉出水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰、硼酸鋰、鈦酸鋇等。而且，作為這些壓電體層的形成方法，可以列舉出陰極真空噴鍍法、真空蒸鍍法等的物理成膜法、CVD(Chemical Vapor Deposition 化學氣相沉積法)等的化學蒸鍍法、噴墨法等的各種涂布法等。并且，壓電體層222、232、242能夠通過同樣的成膜工藝而形成。在這種結(jié)構(gòu)的振動體2中，當向連接電極41與連接電極42之間施加電壓時，通過使第1電極層221、231以及第2電極層M3，與第1電極層Ml以及第2電極層223、233成為相反極性，從而所述壓電體層222、232、242上將分別被施加沿Z軸方向的電壓。由此，能夠通過壓電體材料的逆壓電效應，從而以某個固定的頻率(共鳴頻率)使各個振動臂觀、 四、30進行彎曲振動。此時，如圖7所示，振動臂觀、四在互為相同的方向上進行彎曲振動， 而振動臂30在與振動臂觀、四相反的方向上進行彎曲振動。以此種方式，通過使相鄰的兩個振動臂在互為相反的方向上進行彎曲振動，從而能夠降低振動向基部27的傳遞。而且，當各個振動臂觀、29、30進行彎曲振動時，由于壓電體材料的壓電效應，從而在連接電極41、42之間將以某個固定的頻率產(chǎn)生電壓。利用這些性質(zhì)，能夠產(chǎn)生使振動體2以共鳴頻率進行振動的電信號。這種結(jié)構(gòu)的振動體2能夠通過圖8所示的等效電路來表示。在圖8中，Ctl為等效并聯(lián)電容，R1為等效串聯(lián)電阻，L1為等效串聯(lián)電感，C1為等效串聯(lián)電容。這種等效并聯(lián)電容Ctl、等效串聯(lián)電阻隊、等效串聯(lián)電感L1以及等效串聯(lián)電容C1, 分別由振動臂觀、29、30的長度以及寬度、第1電極層221、231、241以及第2電極層223、 233,243的有效面積、以及壓電體層222、232、242的介電常數(shù)以及厚度所決定。而且，當將第1電極層221、231、241以及第2電極層223、233、243的有效面積設為 S，將壓電體層222、232、242的厚度設為d時，關于振動體2的等效并聯(lián)電容Ctl，滿足Ctl - S/ d的關系。這里，第1電極層221、231、241以及第2電極層223、233、243的有效面積是指，在壓電體層222、232、242介于這些第1電極層221、231、241與第2電極層223、233、243之間
11的狀態(tài)下，第1電極層221、231、241與第2電極層223、233、243重合的面積。并且，雖然在本實施方式中，以壓電體層222、232、M2的壓電體材料的極化方向或者晶軸方向互為同向的情況為例進行了說明，但是并不限定于此，例如，也可以采用如下設定，即，將壓電體層M2的極化方向或者晶軸方向設定為與壓電體層222、233相反的方向，并施加電壓，以使第1電極層221、231、241彼此之間(第2電極層223、233、243彼此之間)成為相同極性。在此，對壓電體元件22的振動特性的調(diào)節(jié)進行詳細敘述。并且，關于壓電體元件 23,24的振動特性的調(diào)節(jié)，由于與壓電體元件22的振動特性的調(diào)節(jié)相同，因而省略其說明。如上所述，在壓電體元件22中，于第1電極層221上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2211，且于第2電極層223上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔 2231。由此，能夠在不改變振動臂28上的壓電體元件22的形成區(qū)域(驅(qū)動區(qū)域)(或者例如，使形成區(qū)域的寬度按照振動臂的寬度而形成得較寬)的條件下，減小第1電極層221 以及第2電極層223的有效面積，從而調(diào)節(jié)壓電體元件22的振動特性。換言之，能夠在不分別對第1電極層221、壓電體層222以及第2電極層223的外形(輪廓的形狀以及面積) 進行改變的條件下，減小在第1電極層221與第2電極層223之間產(chǎn)生的電場(被施加在壓電體層222上的電場)的密度，從而調(diào)節(jié)壓電體元件22的振動特性。因此，能夠很好地實現(xiàn)壓電體元件22的驅(qū)動力向振動臂觀的傳遞，且分別減小等效并聯(lián)電容Ctl以及等效串聯(lián)容量C1以使其調(diào)節(jié)成所需值。而且，當調(diào)節(jié)壓電體元件22的振動特性時，由于無需改變壓電體層222的厚度，因而能夠防止溫度特性的變化、或者防止產(chǎn)生由于壓電體層222的厚膜化而引起的加工工藝上的問題。而且，多個孔2211、2231的形成(圖案形成)能夠與第1電極層221和第2電極層223的外形的圖案形成同時進行。因此，不會發(fā)生因制造時的工序數(shù)量的增加而導致成本提高的情況。由于上述這些因素，從而振動體2能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性。并且，當僅在上文所述的第1電極層221或者第2電極層223中的某一個電極層上形成多個孔時，由于在每一個電極層上多個孔的數(shù)量和面積將增大，從而容易在電極層上發(fā)生斷線等的導通不良的現(xiàn)象。在本實施方式中，由于如前文所述的多個孔被形成在第1電極層221以及第2電極層223雙方上，從而與僅在第1電極層221或者第2電極層223中的某一個電極層上形成多個孔的情況相比，能夠減小每一個電極層上的、多個孔的數(shù)量和面積。因此，能夠防止第1電極層221以及第2電極層223的導通不良的發(fā)生，同時減小第1電極層221以及第2 電極層223的有效面積。并且，為了使該種效果顯著，優(yōu)選為，盡量使孔2211與孔2231在俯視觀察時不重合。而且，由于第1電極層221以及第2電極層223較薄，從而可以較簡單且高精度地進行多個孔2211、2231的形成。而且，即使在第1電極層221上設置有多個孔2211，在第1 電極層221上因孔2211的有無而產(chǎn)生的高度差也極小，從而也不會對壓電體層222的形成帶來負面影響。而且，由于第2電極層223在第1電極層221以及壓電體層222之后被形成，因而即使在第2電極層223上設置有多個孔2231，也不會對第1電極層221以及壓電體層222的形成帶來負面影響。而且，通過在第1電極層221上形成多個孔2211，從而能夠根據(jù)其形成狀態(tài)，而調(diào)節(jié)壓電體層222的定向性。通過這種壓電體層222的定向性的調(diào)節(jié)，也能夠調(diào)節(jié)壓電體元件22的振動特性。而且，在本實施方式中，在壓電體層222上，未形成如多個孔2211、2231這樣的多個孔。即，壓電體層222未在其輪廓的內(nèi)側(cè)被實施圖案形成，從而其被構(gòu)成為密集的層。由此，能夠使壓電體層222的表面平坦，其結(jié)果為，能夠均勻地形成第2電極層223。而且，能夠使第1電極層221和第2電極層223之間的距離均勻化。此外，多個孔2211均勻地分布在第1電極層221的面方向上，而且，多個孔2231 均勻地分布在第2電極層223的面方向上。換言之，多個孔2211以在第1電極層221的厚度方向上貫穿的方式而被形成，并均勻地分布在與該厚度方向大致正交的面方向上。此外， 多個孔2231以在第2電極層223的厚度方向上貫穿的方式而被形成，并均勻地分布在與該厚度方向大致正交的面方向上。由此，能夠較簡單地將壓電體元件22調(diào)節(jié)成所需的振動特性。并且，多個孔2211、2231只需被形成在電極層中有助于振動臂觀的驅(qū)動的區(qū)域內(nèi)即可，也可以在電極層的面方向上以偏置于局部(例如，Y軸方向上的一部分)上的方式而分布。而且，多個孔2211、2231既可以以例如矩陣狀而規(guī)則地進行分布，也可以無規(guī)則地進行分布。而且，當俯視觀察第1電極層221和第2電極層223時，各個孔2211、2231呈圓形。在這里所稱的圓形，也包括接近于圓形的大致圓形的形狀。呈這種俯視觀察形狀的孔 2211、2231，能夠簡單地以高精度尺寸而形成，而且，也能夠減少帶給壓電體元件22的負面影響。因此，能夠較簡單地將壓電元件22調(diào)節(jié)成所需的振動特性。特別是，通過使各個孔 2211的俯視觀察形狀與各個孔2231的俯視觀察形狀相同，從而使壓電體元件22的振動特性的調(diào)節(jié)變得容易。并且，各個孔2211、2231的俯視觀察形狀，并不限定于圓形，例如，也可以是橢圓形、三角形、四角形等的多角形等。而且，優(yōu)選為，多個孔2211、2231的平均直徑D1、D3分別為0. 1 lOOym，更優(yōu)選為0. 1 10 μ m。由此，能夠在較容易地實現(xiàn)多個孔2211、2231的形成的同時，將壓電體元件22調(diào)節(jié)成所需的振動特性。相對于此，當所涉及的平均直徑D1、D3小于所述下限值時，根據(jù)第1電極層221、第 2電極層223的構(gòu)成材料和厚度等的不同，有時多個孔2211、2231的形成會變得困難。另一方面，當所涉及的平均直徑D1、D3超過所述上限值時，則提高孔2211、2231的面積占有率將會變得困難。而且，壓電體元件22所產(chǎn)生的驅(qū)動力會產(chǎn)生波動，從而根據(jù)壓電體元件22的形成范圍和位置等的不同，有時會對振動臂觀的振動特性帶來負面影響。而且，雖然多個孔2211的平均直徑Dl與多個孔2231的平均直徑D3也可以不同， 但優(yōu)選為大致相同。由此，壓電體元件22的振動特性的調(diào)節(jié)將會變得容易。而且，雖然當俯視觀察第1電極層221時相對于第1電極層221整體多個孔2211 所占面積的比例(面積占有率)，以及當俯視觀察第2電極層223時相對于第2電極層223 整體多個孔2231所占面積的比例，分別根據(jù)所要求的壓電體元件22的振動特性而被決定，但是優(yōu)選為0. 1 0. 8，更優(yōu)選為0. 2 0. 7。換言之，當俯視觀察第1電極層221時在由第1電極層221的輪廓所包圍的區(qū)域內(nèi)電極所占面積的比例，以及當俯視觀察第2電極層 223時在由第2電極層223的輪廓所包圍的區(qū)域內(nèi)電極所占面積的比例，分別優(yōu)選為0. 2 0. 9，更優(yōu)選為0. 3 0. 8。由此，能夠在防止壓電體元件22的導通不良的同時，將壓電體元件22調(diào)節(jié)成所需的振動特性。相對于此，當所涉及的多個孔2211、2231的面積的比例小于所述下限值時，根據(jù)孔2211、2231的形狀和大小等的不同，有時壓電體元件22所產(chǎn)生的驅(qū)動力會產(chǎn)生波動。另一方面，當所涉及的多個孔2211、2231的面積的比例超過所述上限值時，根據(jù)孔2211、2231 的形狀和大小等的不同，將表現(xiàn)出第1電極層221和第2電極層223變得脆弱，從而壓電體元件22的耐久性下降的傾向。(外殼)接下來，對用于收納并固定振動體2的外殼3進行說明。如圖1所示，外殼3具有板狀的底基板31、框狀的框構(gòu)件32、板狀的蓋構(gòu)件33。 底基板31、框構(gòu)件32以及蓋構(gòu)件33，依照上述順序從下側(cè)向上側(cè)依次被層疊。底基板31與框構(gòu)件32由后文敘述的陶瓷材料等形成，并通過被煅燒成一體而相互接合在一起。而且， 框構(gòu)件32與蓋構(gòu)件33通過粘合劑或者釬焊材料等而被接合在一起。而且，外殼3在由底基板31、框構(gòu)件32以及蓋構(gòu)件33所劃分出的內(nèi)部空間37中，收納振動體2。并且，在外殼 3內(nèi)，除了振動體2之外，還能夠收納用于驅(qū)動振動體2的電子元件等。作為底基板31的構(gòu)成材料，優(yōu)選為，具有絕緣性(非導電性)的材料，例如，能夠使用各種玻璃、氧化物陶瓷、氮化物陶瓷、碳化物類陶瓷等的各種陶瓷材料、以及聚酰亞胺等的各種樹脂材料等。而且，作為框構(gòu)件32以及蓋構(gòu)件33的構(gòu)成材料，可以使用例如，與底基板31相同的構(gòu)成材料，如Al、Cu這樣的各種金屬材料，各種玻璃材料等。特別是，在作為蓋構(gòu)件33的構(gòu)成材料使用了玻璃材料等具有透光性的材料的情況下，如果在振動體2上預先形成金屬覆蓋部(未圖示)，則即使在將振動體2收納于外殼3內(nèi)之后，也能夠通過經(jīng)由蓋構(gòu)件33而向所述金屬覆蓋部照射激光，從而去除所述金屬覆蓋部，以使振動體2的質(zhì)量減小(通過質(zhì)量削減方式)，并由此進行振動體2的頻率調(diào)節(jié)。此外，在底基板31的上表面上，以露出于內(nèi)部空間37中的方式而形成有一對貼裝電極35a、35b。在該貼裝電極35a、3^之上，分別涂布有(堆積有)含有導電性粒子的環(huán)氧類、聚酰亞胺類、硅類等的導電性粘合劑36a、36b，而且，在該導電性粘合劑36a、36b上放置有所述振動體2。由此，振動體2 (基部27)被可靠地固定在貼裝電極35a、35b(底基板31) 上。并且，該固定是以如下方式進行的，即，以導電性粘合劑36a與振動體2的連接電極42接觸、且導電性粘合劑36b與振動體2的連接電極41接觸的方式，將振動體2放置在導電性粘合劑36a、36b上。由此，振動體2經(jīng)由導電性粘合劑36a、36b而被固定在底基板 31上，連接電極42與貼裝電極3 經(jīng)由導電性粘合劑36a而被電連接，且連接電極41與貼裝電極3 經(jīng)由導電性粘合劑36b而被電連接。而且，在底基板31上設置有凹部55，該凹部55在四周形成有壁面并具有凹部底面 53。在凹部底面53上形成有多個引線電極51。半導體元件50通過金屬凸點52而與多個引線電極51連接在一起。并且，可以通過例如用引線搭接技術而形成的金屬導線(接合導線)，而對半導體元件50與引線電極51進行電連接。而且，引線電極51與貼裝電極35a、35b，通過未圖示的電路布線而被電連接。而且，在底基板31的下表面上，設置有四個外部端子;Ma、;Mb、;MC、;Md。這四個外部端子3 34d中，外部端子34a、34b分別為，經(jīng)由設置在貫穿孔上的導體端子(未圖示)而與貼裝電極35a、35b電連接的熱端子，其中，所述貫穿孔被形成在底基板31上。此外，其他兩個外部端子3k、34d分別為，當將外殼3安裝在安裝用基板上時， 用于提高接合強度、或使外殼3與安裝用基板之間的距離均勻化的虛設端子。這樣的貼裝電極35a、3^以及外部端子3 34d，分別能夠通過例如在鎢以及鎳鍍膜的基底層上實施金鍍膜而形成。并且，也可以通過例如用弓I線搭接技術而形成的金屬導線(接合導線)，而對貼裝電極35a、35b與連接電極41、42進行電連接。此時，可以通過不具有導電性的粘合劑來取代導電性粘合劑36a、36b，而將振動體2固定于底基板31上。此外，也可以在將電子元件收納于外殼3內(nèi)部的情況下，根據(jù)需要而在底基板31的下表面上形成寫入端子，該寫入端子用于進行電子元件的特性檢測、電子元件內(nèi)的各種信息(例如，振動裝置的溫度補償信息) 的改寫(調(diào)節(jié))。根據(jù)上文所說明的這種第1實施方式，由于在第1電極層221、231、241上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2211、2311、對11，且在第2電極層223、233、243上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2231、2331、M31，因而能夠在不改變振動臂28、 四、30上的壓電體元件22、23、M的形成區(qū)域(驅(qū)動區(qū)域)的條件下，減小第1電極層221、 231,241以及第2電極層223、233、243的有效面積，并由此調(diào)節(jié)壓電體元件22、23、M的振動特性。因此，能夠很好地實現(xiàn)壓電體元件22、23、M的驅(qū)動力向振動臂觀、29、30的傳遞， 同時分別減小等效并聯(lián)電容Ctl以及等效串聯(lián)電容C1而將其調(diào)節(jié)成所需值。而且，由于在調(diào)節(jié)壓電體元件22、23、M的振動特性時，無需改變壓電體層222、232、M2的厚度，從而能夠防止溫度特性的變化、或者防止產(chǎn)生由于壓電體層222、232、M2的厚膜化而引起的加工工藝上的問題。而且，多個孔221U231U241U223U233U2431的形成(圖案形成)，能夠與第1 電極層221、231、241和第2電極層223、233、M3的外形的圖案形成同時進行。因此，也不會發(fā)生由于制造時的工序數(shù)量的增加而導致的成本提高。由于上述這些因素，因而振動體2能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性。第2實施方式接下來，對本發(fā)明的振動裝置的第2實施方式進行說明。圖9為，表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的振動裝置所具備的振動體的仰視圖。 圖10為，省略了圖9中振動體所具備的各個第2電極層以及各個壓電體層的圖示的圖。以下，以與上文所述的實施方式的不同點為中心，對第2實施方式的振動裝置進行說明，對于相同的事項則省略其說明。第2實施方式的振動裝置除了分別被形成在各個壓電體元件的第1電極層以及第2電極層上的多個孔的俯視觀察形狀不同之外，其它結(jié)構(gòu)均與第1實施方式大致相同。并且，在圖9、10中，對于與上文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標記相同的符號。如圖9所示，本實施方式的振動裝置的振動體2A，具有被設置在振動基板21上的壓電體元件22A、23A、24A。更具體而言，在振動臂28上設置有壓電體元件22A，另外，在振動臂四上設置有壓電體元件23A，而且，在振動臂30上設置有壓電體元件24A。壓電體元件22A具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂觀在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。另外，壓電體元件23A具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂四在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。而且，壓電體元件24A具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂30 在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。這種壓電體元件22A是通過在振動臂觀上依次層疊第1電極層221A、壓電體層 (壓電薄膜)222、第2電極層223A而構(gòu)成的。而且，如圖9所示，在第2電極層223A上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2231A。而且，如圖10所示，在第1電極層221A上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2211A。通過在第1電極層221A以及第2電極層223A上分別形成多個這樣的孔， 從而調(diào)節(jié)壓電體元件22A的振動特性。同樣地，壓電體元件23A是通過在振動臂四上依次層疊第1電極層231A、壓電體層(壓電薄膜)232、第2電極層233A而構(gòu)成的。此外，壓電體元件24A是通過在振動臂30 上依次層疊第1電極層M1A、壓電體層(壓電薄膜)242、第2電極層M3A而構(gòu)成的。如圖9所示，在第2電極層233A上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的、狹縫形的細微的孔2331A。而且，如圖10所示，在第1電極層231A上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的、狹縫形的細微的孔2311A。通過在第1電極層231A以及第2電極層233A上分別形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件23A的振動特性進行了調(diào)節(jié)。而且，如圖9所示，在第2電極層M3A上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的、狹縫形的細微的孔M31A。而且，如圖10所示，在第1電極層MlA上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的、狹縫形的細微的孔M11A。通過在第1電極層MlA以及第2電極層M3A上分別形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件24A的振動特性進行了調(diào)節(jié)。在此，對壓電體元件22A的振動特性的調(diào)節(jié)進行詳細敘述。并且，關于壓電體元件 23A、24A的振動特性的調(diào)節(jié)，由于與壓電體元件22A的振動特性的調(diào)節(jié)相同，因而省略其說明。如上文所述，在壓電體元件22A中，于第1電極層221A上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2211A，且在第2電極層223A上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2231A。特別是，當俯視觀察第1電極層221A或第2電極層223A時，各個孔2211A、2231A 呈狹縫形。呈這種俯視觀察形狀的孔2211A、2231A能夠簡單地以高精度的尺寸以及位置而形成，而且，還能夠減小帶給壓電體元件22A的負面影響。特別是，通過改變各個孔2211A、 2231A的寬度、間距(間隔)、長度等，從而能夠調(diào)節(jié)壓電體元件22A的振動特性。因此，能夠較簡單地將壓電體元件22A調(diào)節(jié)成所需的振動特性。而且，狹縫形的各個孔2211A、2231A分別在振動臂觀的延伸方向上延伸。因此，能夠防止多個孔2211A、2231A的形成對壓電體元件22A的振動特性帶來負面影響的情況。由此，能夠較簡單地將壓電體元件22A調(diào)節(jié)成所需的振動特性。并且，狹縫形的各個孔2211A、 2231A也可以形成為，在與振動臂觀的延伸方向正交的寬度方向上延伸，或者，在振動臂觀的延伸方向上以預定的傾斜度而排列。而且，多個孔2211A以及多個孔2231A分別以等間距的方式被形成。因此，在這一點上，也能夠防止多個孔2211A、2231A的形成對壓電體元件22A的振動特性帶來負面影響的情況。而且，孔2211A以及孔2231A以在俯視觀察時互不重合的方式而被形成。例如，多個孔2211A以與多個孔2231A相互間具有相同的間距或者整數(shù)倍的間距的方式而被形成， 且在俯視觀察時，以相對于多個孔2231A錯位半個間距的方式而被形成。由此，能夠增大由于壓電體元件22A的孔2211A以及2231A的形成而產(chǎn)生的振動特性的變化。并且，孔2211A 以及孔223IA也可以以互不相同的間距而被形成。而且，狹縫形的多個孔2211A、2231A的平均寬度Wl、W3,分別優(yōu)選為0. 01 100 μ m，更優(yōu)選為0. 1 ΙΟμ 。由此，能夠在較容易地形成多個孔2211Α、2231Α的同時，將壓電體元件22Α調(diào)節(jié)成所需的振動特性。與此相對，當所涉及的平均寬度W1、W3小于所述下限值時，根據(jù)第1電極層221A、 第2電極層223A的構(gòu)成材料和厚度等的不同，有時多個孔2211A、2231A的形成會變得困難。另一方面，當所涉及的平均寬度Wl、W3超過所述上限值時，壓電體元件22所產(chǎn)生的驅(qū)動力將發(fā)生波動，從而根據(jù)壓電體元件22A所形成的范圍和位置等的不同，有時會對振動臂觀的振動特性帶來負面影響。而且，雖然多個孔2211A的平均寬度Wl與多個孔2231A的平均寬度W3可以不同， 但優(yōu)選為大致相同。由此，對壓電體元件22A的振動特性的調(diào)節(jié)會變得容易。根據(jù)如上文所說明的第2實施方式，能夠?qū)崿F(xiàn)與所述第1實施方式相同的效果。第3實施方式接下來，對本發(fā)明的振動裝置的第3實施方式進行說明。圖11為，表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的振動裝置所具備的振動體的仰視圖。圖12為，省略了圖11中振動體所具備的各個第2電極層的圖示的圖。以下，以與上文所述的實施方式的不同點為中心，對第3實施方式的振動裝置進行說明，對于相同的事項則省略其說明。第3實施方式的振動裝置除了省略了各個壓電體元件的第1電極層以及第2電極層上的多個細微的孔，而在各個壓電體元件的壓電體層上形成了多個孔之外，其它結(jié)構(gòu)均與第1實施方式大致相同。并且，在圖11、12中，對于與上文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)， 標記相同的符號。如圖11所示，本實施方式的振動裝置的振動體2B，具有被設置在振動基板21上的壓電體元件22B、23B、MB。 更具體而言，在振動臂28上設置有壓電體元件22B，另外，在振動臂四上設置有壓電體元件23B，而且，在振動臂30上設置有壓電體元件MB。 壓電體元件22B具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂觀在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。另外，壓電體元件2 具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂四在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。而且，壓電體元件24B具有，通過通電而進行伸縮以使振動臂30 在Z軸方向上進行彎曲振動的功能。這種壓電體元件22B是通過在振動臂觀上依次層疊第1電極層221B、壓電體層 (壓電薄膜)222B、第2電極層22 而構(gòu)成的。而且，如圖12所示，在壓電體層222B上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2221。通過在壓電體層222B上形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件22B的振動特性進行了調(diào)節(jié)。同樣地，壓電體元件2 是通過在振動臂四上依次層疊第1電極層231B、壓電體層(壓電薄膜)232B、第2電極層23 而構(gòu)成的。此外，壓電體元件24B是通過在振動臂 30上依次層疊第1電極層M1B、壓電體層(壓電薄膜)242B、第2電極層而構(gòu)成的。如圖12所示，在壓電體層232B上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔 2321。通過在壓電體層232B上形成多個這樣的孔，從而對壓電體元件2 的振動特性進行了調(diào)節(jié)。而且，如圖12所示，在壓電體層M2B上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2421。通過在壓電體層M2B上形成這樣的多個孔，從而對壓電體元件24B的振動特性進行了調(diào)節(jié)。在此，對壓電體元件22B的振動特性的調(diào)節(jié)進行詳細敘述。另外，關于壓電體元件 23B.24B的振動特性的調(diào)節(jié)，由于與壓電體元件22B的振動特性的調(diào)節(jié)相同，因而省略其說明。如上所述，在壓電體元件22B中，于壓電體層222B上形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔2221。由此，能夠在不改變振動臂觀上的壓電體元件22B的形成區(qū)域(驅(qū)動區(qū)域)的條件下，減小第1電極層221B以及第2電極層22 的有效面積，從而調(diào)節(jié)壓電體元件22B的振動特性。而且，多個孔2221均勻地分布在壓電體層222B的面方向上。換言之，多個孔2221 以在壓電體層222B的厚度方向上貫穿的方式而被形成，并均勻地分布在與該厚度方向大致正交的面方向上。由此，能夠較簡單地將壓電體元件22調(diào)節(jié)成所需的振動特性。并且， 多個孔2221只需被形成在壓電體層222B中有助于振動臂觀的驅(qū)動的區(qū)域內(nèi)即可，從而也可以在壓電體層222B的面方向上以偏置于局部(例如，Y軸方向上的一部分)上的方式而分布。而且，多個孔2221可以以例如矩陣形而規(guī)則地進行分布，也可以無規(guī)則地進行分布。而且，當俯視觀察壓電體層222B時，各個孔2221呈圓形或者大致圓形。呈這種俯視觀察形狀的孔2221，能夠簡單地以高精度的尺寸而形成，而且，還能夠減少帶給壓電體元件22B的負面影響。因此，能夠較簡單地將壓電元件22B調(diào)節(jié)成所需的振動特性。并且，各個孔2221的俯視觀察形狀，并不限定于圓形或者大致圓形，例如，也可以是橢圓形、三角形、四角形等的多角形、或狹縫形等。而且，多個孔2221的平均直徑分別優(yōu)選為0. 01 100 μ m,更優(yōu)選為0. 1 10 μ m。 由此，能夠在比較簡單地形成多個孔2221的同時，將壓電體元件22B調(diào)節(jié)成所需的振動特性。而且，雖然在俯視觀察壓電體層222B時，相對于壓電體層222B整體多個孔2221 所占面積的比例(面積占有率)，根據(jù)所要求的壓電體元件22的振動特性而被決定，但是優(yōu)
18選為0. 1 0. 8，更優(yōu)選為0. 2 0. 7。由此，能夠在適當?shù)乇３謮弘婓w元件22B的驅(qū)動力的同時，將壓電體元件22B調(diào)節(jié)成所需的振動特性。根據(jù)如上文所說明的第3實施方式，能夠?qū)崿F(xiàn)與所述第1實施方式相同的效果。第4實施方式以下，以與上文所述的實施方式的不同點為中心，對作為第4實施方式的振動裝置的壓電振蕩器進行說明，對于相同的事項，則省略其說明。圖13為，表示作為本發(fā)明的第4實施方式所涉及的振動裝置的壓電振蕩器的剖視圖。并且，雖然圖示有X軸、Y軸以及Z軸，但是以與上文所述實施方式相同的方式而使用。以下，參照附圖13，對構(gòu)成作為振動裝置的壓電振蕩器5的各個部分進行說明。并且，對于壓電振蕩器5的結(jié)構(gòu)中與上文所述的各個實施方式相同的部分，標記相同的符號并省略其說明。壓電振蕩器5具有在上文所述的實施方式中所說明的振動體2 ；作為驅(qū)動電路部的半導體元件50，其與振動體2電連接，并至少具有驅(qū)動振動體2的功能；用于收納振動體 2以及半導體元件50的外殼3。(振動體)由于振動體2與所述第1實施方式中相同，從而省略其說明。并且，雖然在本示例中，以振動體2作為代表示例，但是也可以使用上文所述的振動體2A、或者振動體2B。(外殼)接下來，對用于收納并固定振動體2以及半導體元件50的外殼3進行說明。如圖13所示，外殼3具有形成有凹部55的板狀的底基板31 ；框狀的框構(gòu)件32 ； 板狀的蓋構(gòu)件33。底基板31、框構(gòu)件32以及蓋構(gòu)件33依照此順序從下側(cè)向上側(cè)依次被層疊。底基板31與框構(gòu)件32由后文敘述的陶瓷材料等形成，并通過煅燒成一體而被相互接合在一起。而且，框構(gòu)件32與蓋構(gòu)件33通過粘合劑或者釬焊材料等而被接合在一起。而且，外殼3在由底基板31、框構(gòu)件32以及蓋構(gòu)件33劃分出的內(nèi)部空間37中，收納振動體2 和半導體元件50。并且，在外殼3內(nèi)，除了振動體2以及半導體元件50之外，還能夠收納與驅(qū)動振動體2相關的電子元件等。作為底基板31的構(gòu)成材料，優(yōu)選為，具有絕緣性(非導電性)的材料，例如，能夠使用各種玻璃、氧化物陶瓷、氮化物陶瓷、碳化物類陶瓷等的各種陶瓷材料、以及聚酰亞胺等的各種樹脂材料等。而且，作為框構(gòu)件32以及蓋構(gòu)件33的構(gòu)成材料，例如可以使用與底基板31相同的構(gòu)成材料，如Al、Cu這樣的各種金屬材料、各種玻璃材料等。特別是，在作為蓋構(gòu)件33的構(gòu)成材料使用了玻璃材料等具有透光性的材料的情況下，如果在振動體2上預先形成金屬覆蓋部(未圖示)，則即使在將振動體2收納在外殼3內(nèi)之后，也能夠通過經(jīng)由蓋構(gòu)件33而向所述金屬覆蓋部照射激光，從而去除所述金屬覆蓋部以使振動體2的質(zhì)量減小(通過質(zhì)量削減方式)，并由此來進行振動體2的頻率調(diào)節(jié)。此外，在底基板31的上表面上，以露出于內(nèi)部空間37中的方式而形成有一對貼裝電極35a、35b。在該貼裝電極35a、3^之上，分別涂布有(堆積有)含有導電性粒子的環(huán)氧類、聚酰亞胺類、硅類等的導電性粘合劑36a、36b，而且，在該導電性粘合劑36a、36b上，放置有所述振動體2。由此，振動體2 (基部27)被可靠地固定在貼裝電極35a、35b(底基板31)上。并且，該固定是以如下方式進行的，即，以導電性粘合劑36a與振動體2的連接電極42接觸、且導電性粘合劑36b與振動體2的連接電極41接觸的方式，將振動體2放置在導電性粘合劑36a、36b上。由此，振動體2經(jīng)由導電性粘合劑36a、36b而被固定在底基板 31上，并且連接電極42與貼裝電極35a經(jīng)由導電性粘合劑36a而被電連接，且連接電極41 與貼裝電極3 經(jīng)由導電性粘合劑36b而被電連接。而且，在底基板31上設置有凹部55，該凹部55在四周形成有壁面，并具有凹部底面53。在凹部底面53上形成有多個引線電極51。半導體元件50通過金屬凸點52而與多個引線電極51連接在一起。并且，可以通過例如用引線搭接技術而形成的金屬導線(接合導線)，而對半導體元件50與引線電極51進行電連接。而且，引線電極51與貼裝電極35a、35b，通過未圖示的電路布線而被電連接。而且，在底基板31的下表面上，設置有四個外部端子;Ma、;Mb、;MC、;Md。在這四個外部端子3 34d中，外部端子34a、34b分別為，經(jīng)由被設置在貫穿孔上的導體端子(未圖示)而與電路配線貼裝電極35a、35b電連接的熱端子，其中，貫穿孔被形成在底基板31上。此外，其他兩個外部端子3k、34d分別作為，當將外殼3安裝在安裝用基板上時，用于提高接合強度、或使外殼3與安裝用基板之間的距離均勻化的虛設端子而被使用。這樣的貼裝電極35a、35b、引線電極51以及外部端子3 34d，能夠分別通過例如在鎢以及鎳鍍膜的基底層上實施金鍍膜而形成。并且，可以通過例如用引線搭接技術而形成的金屬導線(接合導線)，而對貼裝電極35a、35b與連接電極41、42進行電連接。此時，能夠通過不具有導電性的粘合劑來取代導電性粘合劑36a、36b，而將振動體2固定于底基板31上。此外，也可以在將電子元件收納于外殼3內(nèi)部的情況下，根據(jù)需要而在底基板31的下表面上形成寫入端子，該寫入端子用于進行電子元件的特性檢測、電子元件內(nèi)的各種信息(例如，振動裝置的溫度補償信息)的改寫(調(diào)節(jié))。根據(jù)本實施方式的壓電振蕩器5，所使用的振動體2、2A、2B能夠以前文所述的方式較簡單且低成本地獲得所需的振動特性。而且，由于壓電振蕩器5還具備與上述振動體 2、2A、2B電連接的半導體元件50，從而可實現(xiàn)小型化，除此之外，還能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性。如以上所說明的各個實施方式中的振動裝置，能夠適用于各種電子設備，且所獲得的電子設備會比較小型且具有較高的可靠性。(電子設備)以上所說明的各個實施方式中的振動裝置，能夠應用于各種電子設備，且所獲得的電子設備會具有較高的可靠性。并且，在本電子設備中，能夠使用在上述實施方式中所說明的振子以及振蕩器中的任意一個。而且，在使用振子時，雖然未圖示，但是將會設置有與振動體電連接的驅(qū)動電路部。圖14以及圖15為，表示作為本發(fā)明的電子設備的一個示例的移動電話。圖14為， 表示移動電話的外觀概要的立體圖。圖15為，用于說明移動電話的電路部的電路框圖。該移動電話300能夠使用上述的振動體2或者壓電振蕩器5。在本示例中，以使用了振動體2的情況為例而進行說明。而且，關于振動體2的結(jié)構(gòu)、作用，通過使用相同的符號等而省略其說明。如圖14所示，移動電話300設置有作為顯示部的LCD (Liquid Crystal Display 液晶顯示屏)301 ；作為數(shù)字等的輸入部的鍵302 ；話筒(microphone) 303 ；揚聲器 (speaker) 311、未圖示的電路部等。如圖15所示，在使用移動電話300來發(fā)送信息的情況下，當使用者將自己的聲音輸入到話筒303時，信號將經(jīng)由脈寬調(diào)制編碼單元304和調(diào)制器/解調(diào)器單元305，并通過發(fā)射機306、天線開關307，而從天線308被發(fā)出。另一方面，從他人的電話機發(fā)送出的信號，被天線308接收，并經(jīng)由天線開關307、 接收濾波器309，而從接收器310輸入至調(diào)制器/解調(diào)器單元305。而且，被調(diào)制或解調(diào)的信號經(jīng)由脈寬調(diào)制編碼單元304，而以聲音的形式由揚聲器311輸出。其中，設置有用于對天線開關307和調(diào)制器/解調(diào)器單元305等進行控制的控制器 312ο由于該控制器312在上述構(gòu)件之外，還控制作為顯示部的IXD301和作為數(shù)字等的輸入部的鍵302、以及RAM313和R0M314等，因此要求其具有高精度。而且，還要求移動電話 300的小型化。作為符合這種要求的振動體，使用了上述的振動體2。并且，作為其它的結(jié)構(gòu)單元，移動電話300具有溫度補償型晶體振蕩器315、接收器用合成器316、發(fā)射機用合成器317等，但省略了這些構(gòu)件的說明。如上所述，被用于該移動電話300的上述振動體2、2Α、2Β，以及壓電振蕩器5的振動體2、2Α、2Β，能夠以前文所述的方式較簡單且低成本地獲得所需的振動特性。而且，由于壓電振蕩器5還具備與上述振動體2、2Α、2Β電連接的半導體元件50，從而可實現(xiàn)小型化，除此之外，還能夠以較簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性。由此，使用了振動體2或者壓電振蕩器5的電子設備(移動電話300)，能夠維持穩(wěn)定的特性，并且還能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化、小型化。作為具備本發(fā)明的振動體2的電子設備，還可以列舉出圖16所示的個人電腦(可移動型的個人電腦)400。個人電腦400具備顯示部401、輸入鍵部402等，并且作為其電氣控制的基準計時器而使用了上述的振動體2。而且，作為具備本發(fā)明的振動裝置1的電子設備，除了上述設備之外，還可以列舉出例如數(shù)碼照相機、噴墨式噴射裝置(例如噴墨打印機)、便攜式電腦、電視、攝像機、磁帶式錄像機、汽車導航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、 臺式電子計算器、電子游戲機、文字處理器、工作站、可視電話、防盜視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠鏡、POS終端、醫(yī)療設備(例如電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖測量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測儀、各種測量設備、計量設備類(例如、車輛、飛機、船舶的計量設備類)、飛行模擬器等。以上，雖然根據(jù)圖示的實施方式對本發(fā)明的振動體以及振動裝置進行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此，其各個部分的結(jié)構(gòu)均可以被替換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。而且，在本發(fā)明上也可以添加其他任意的結(jié)構(gòu)部件。此外，本發(fā)明也可以采用，將所述各個實施方式中的任意兩個以上的結(jié)構(gòu)(特征)組合而成的結(jié)構(gòu)。
例如，雖然在上文所述的實施方式中，以振動體具有三個振動臂的情況為例而進行了說明，但是振動臂的數(shù)量也可以為一個、兩個、四個以上。而且，雖然在上文所述的第1實施方式以及第2實施方式中，以壓電體元件的第1 電極層以及第2電極層的雙方上形成有多個細微的孔的情況為例而進行了說明，但是即使僅在第1電極層或者第2電極層中的某一個電極層上形成多個細微的孔時，也能夠調(diào)節(jié)壓電體元件的振動特性。而且，本發(fā)明的振動裝置除了晶體振蕩器(SPXO)、電壓控制晶體振蕩器(VCX0)、 溫度補償晶體振蕩器(TCXO)、附帶恒溫槽的晶體振蕩器(OCXO)等的壓電振蕩器以外，還可被應用于陀螺傳感器等。
權利要求
1.一種振動體，其特征在于，具有基部；振動臂，其從所述基部起延伸；壓電體元件，其被設置在所述振動臂上，并通過通電而進行伸縮以使所述振動臂振動， 其中，所述壓電體元件具備第1電極層、第2電極層、和位于所述第1電極層以及所述第2電極層之間的壓電體層，在所述第1電極層、所述壓電體層以及所述第2電極層中的至少一個層上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的孔。
2.如權利要求1所述的振動體，其中，多個所述孔被形成在所述第1電極層以及所述第2電極層中的至少一個上。
3.如權利要求2所述的振動體，其中，多個所述孔至少被形成在所述第1電極層上。
4.如權利要求3所述的振動體，其中，多個所述孔被形成在所述第1電極層以及所述第2電極層雙方上。
5.如權利要求2所述的振動體，其中，多個所述孔未被形成在所述壓電體層上。
6.如權利要求1所述的振動體，其中， 多個所述孔被形成在所述壓電體層上。
7.如權利要求1至6中的任意一項所述的振動體，其中， 多個所述孔均勻地分布在所述層的面方向上。
8.如權利要求1至6中的任意一項所述的振動體，其中， 當俯視觀察所述層時，各個所述孔呈圓形。
9.如權利要求8所述的振動體，其中， 多個所述孔的平均直徑為0. 01 100 μ m。
10.如權利要求1至6中的任意一項所述的振動體，其中， 當俯視觀察所述層時，各個所述孔呈狹縫形。
11.如權利要求10所述的振動體，其中，所述狹縫形的各個孔，在所述振動臂的延伸方向上或者與此方向正交的寬度方向上延伸。
12.如權利要求11所述的振動體，其中，所述狹縫形的多個孔的平均寬度為0. 01 100 μ m。
13.如權利要求1所述的振動體，其中，當俯視觀察所述層時，相對于該層整體，多個所述孔所占面積的比例為0. 1 0. 8。
14.一種振動裝置，其特征在于，具有 權利要求1所述的振動體；用于收納所述振動體的外殼。
15.一種振動裝置，其特征在于，具有 權利要求1所述的振動體；與所述振動體電連接的驅(qū)動電路部；用于收納所述振動體以及所述驅(qū)動電路部的外殼。
16. 一種電子設備，其特征在于，具備權利要求1所述的振動體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠以簡單且低成本的方式獲得所需的振動特性的振動體、振動裝置以及電子設備。振動體(2)具備基部(27)；從該基部起延伸的振動臂(28、29、30)；被設置在該振動臂上的壓電體元件(22、23、24)；被設置在該振動臂上的第1電極層(222、231、241)；被設置在該第1電極層上的壓電體層(222、232、242)；被設置在該壓電體層上的第2電極層(223、233、243)，其中，在這些層中的至少一個層上，形成有多個在其厚度方向上貫穿的細微的孔。
文檔編號H03B5/32GK102195564SQ201110068370
公開日2011年9月21日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權日2010年3月18日
發(fā)明者山崎隆 申請人:精工愛普生株式會社