專利名稱：平衡型聲表面波濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有平衡到不平衡變換功能的平衡型聲表面波濾波器，特別涉及一種平衡型聲表面波濾波器，其第一和第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分被級聯(lián)。
背景技術(shù)：
近些年來，隨著通信裝置如便攜電話等的尺寸和重量減小，聲表面波濾波器被廣泛用作可以制作得更小的帶通濾波器。此外，隨著通信裝置尺寸減小，組成部分的組合得到改善。于是，在這種聲表面波濾波器之中，已經(jīng)使用了具有平衡到不平衡變換功能的聲表面波濾波器。
例如，在下述的專利文件1中公開了，如圖9所示的一種具有平衡到不平衡變換功能的軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器。
如圖9所示，在專利文件1披露的聲表面波濾波器300中，在表面波基片上形成圖9所示的電極結(jié)構(gòu)。也就是，第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分301和第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分302被構(gòu)成。在聲表面波濾波器部分301中，沿表面波傳播方向設(shè)置第一至第三IDT303-305。在設(shè)置IDT303至305的區(qū)域的表面波傳播方向兩側(cè)設(shè)有反射器306和307。
同樣，在第二聲表面波濾波器部分302中，沿表面波傳播方向設(shè)置第四至第六IDT308-310。在IDT308至310的表面波傳播方向兩側(cè)設(shè)有反射器311和312。
第一聲表面波濾波器部分301的一端連接不平衡輸入端313。第一和第二聲表面波濾波器部分301和302被級聯(lián)。然后，第二聲表面波濾波器部分302的IDT309的一端連接到第一平衡輸出端314，并且另一端連接到第二平衡輸出端315。
這里，第一和第二聲表面波濾波器部分301和302被級聯(lián)。此外，流入連接IDT 303和IDT 308的信號線316中的信號與流入連接在IDT 305與310之間的信號線317中的信號，在相位上是相反的。
另一方面，下述的專利文件2公開了一種帶有平衡到不平衡變換功能的聲表面波濾波器，具有圖10所示的電極結(jié)構(gòu)。如圖10所示，除了在第二聲表面波濾波器部分402中執(zhí)行權(quán)重，以及在第一和第二聲表面波濾波器部分401和402中設(shè)有窄間距電極指(eletrode finger)部分之外，按照與構(gòu)成圖9所示聲表面波濾波器300相同方式，構(gòu)建軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器400。所以，把相應(yīng)參考標(biāo)號給予相應(yīng)部分，并省略對它們的說明。
這里，在IDT 403至405以及IDT408至410中，在一對鄰接IDT中，形成窄間距電極指部分N，所以多個(gè)電極指(包含相對IDT側(cè)面上的最外電極指)的間距比相關(guān)IDT的主電極指的間距要窄。通過形成窄間距電極指部分N，減輕了IDT的鄰接部分的間斷性，并且改善了濾波器特征。此外，在軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器400中，在兩級級聯(lián)連接型結(jié)構(gòu)中，在連接到第一和第二平衡輸出終端414和415的聲表面波濾波器部分402中，除了上述窄間距電極指部分外，執(zhí)行使電極指交叉寬度不同的權(quán)重。
平衡是以這樣一種方式提高的，使流入連接第一聲表面波濾波器401和第二聲表面波濾波器402的一條信號線416中的信號的相位不同于流入其它信號線417中的信號的相位。
此外，當(dāng)執(zhí)行上述交叉寬度權(quán)重(cross-width weighting)時(shí)，進(jìn)一步改善了平衡。
當(dāng)具有平衡至不平衡變換功能的上述聲表面波器件被認(rèn)為是三端口裝置，并且例如不平衡輸入端是端口1、平衡輸出端被認(rèn)為是端口2和端口3時(shí)，按下式定義振幅平衡和相位平衡振幅平衡＝|A| (1)A＝|20log(S21)|-|20log(S31)|相位平衡＝|B| (2)B＝|∠S21-∠S31|
此外，S21代表從端口1到端口2的傳遞系數(shù)，S31代表從端口1到端口3的傳遞系數(shù)。理論上按以下方式考慮這種平衡。也就是，就聲表面波器件的濾波器特征而言，在通帶內(nèi)，振幅平衡是0dB，相位平衡是180度。
上述的專利文件1是日本待審專利申請公開2002-84164。上述的專利文件2是日本待審專利申請公開2004-7713。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，在專利文件1和2中，公開了可以改善平衡的兩元件級聯(lián)型的平衡型聲表面波濾波器300和400。然而，在這些聲表面波濾波器300和400中，存在以下問題在通帶內(nèi)振幅平衡特征和相位平衡特征中生成了陡峭的類似峰值的波紋。所以，平衡的改善是不夠的。
本發(fā)明的目的是提供一種平衡型聲表面波濾波器，該濾波器解決了相關(guān)技術(shù)中的上述問題。在具有兩級級聯(lián)的第一和第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分的平衡型聲表面波濾波器中，可以在通帶內(nèi)振幅平衡特征和相位平衡特征中有效避免上述類似峰值的波紋生成，所以，進(jìn)一步改善了平衡。
本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器具有平衡-不平衡變換功能，設(shè)有不平衡信號端子和第一及第二平衡信號端子，該平衡型聲表面波濾波器包括壓電基片；第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分，具有沿壓電基片上的表面波傳播方向設(shè)置的第一至第三IDT，連接到不平衡信號端子的中間的第二IDT；第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分，具有沿壓電基片上的表面波傳播方向設(shè)置的第四至第六IDT，其中第四IDT連接第一IDT，第五IDT連接第一和第二平衡信號端子。在平衡型聲表面波濾波器中，經(jīng)過連接第一IDT和第四IDT的信號線的電信號與經(jīng)過連接第三IDT和第六IDT的信號線的電信號的相位差約為180度；在第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，在第一和第二IDT彼此相鄰的部分中和/或第二和第三IDT彼此相鄰的部分中，在相鄰IDT之一和/或相鄰IDT之另一個(gè)中，對包括最接近相對IDT的最外電極指的多個(gè)電極指執(zhí)行權(quán)重。
在本發(fā)明中，權(quán)重是指交叉寬度權(quán)重(across-width weighting)、串連權(quán)重(series weighting)、變薄權(quán)重(thinning-out weighting)和負(fù)載權(quán)重(duty weighting)。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器的一個(gè)特殊方面，在第一和第二IDT彼此相鄰的部分和/或第二和第三IRT彼此相鄰的部分之外，在諸相鄰最外電極指具有相同極性的部分中，執(zhí)行權(quán)重。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器的另一個(gè)特定方面，按照以下方式執(zhí)行權(quán)重包括最外電極指的多個(gè)電極指的長度被制作成不同于其它電極指。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器的另一特定方面，權(quán)重是交叉寬度權(quán)重或者串連權(quán)重。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器的另一特定方面，執(zhí)行權(quán)重的電極指被設(shè)置在窄間距電極指部分中。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器的另一特定方面，在第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，位于表面波傳播方向中間的第五IDT的電極指數(shù)量是偶數(shù)。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器的另一特定方面，在第二軸向諧振器型聲表面波濾波器部分中間的第五IDT的一個(gè)端子連接第一平衡端子，并且其它端子連接第二平衡信號端子。
在本發(fā)明的平衡型聲表面波濾波器中，在與平衡-不平衡變換功能兩級級聯(lián)連接的第一和第二軸向諧振器型濾波器部分的結(jié)構(gòu)中，經(jīng)由連接第一IDT和第四IDT的信號線發(fā)射的電信號與經(jīng)由連接第三IDT和第六IDT的信號線發(fā)射的電信號形成180度相位差。此外，在第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，也就是，在連接不平衡端子的軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，在第一和第二IDT彼此相鄰的部分和/或第二和第三IDT彼此相鄰的部分中，在相鄰IDT的一個(gè)IDT和/或另一個(gè)IDT中，對包括最接近相對IDT的最外電極指的多個(gè)電極指執(zhí)行權(quán)重，因而在通帶內(nèi)振幅平衡特征和相位平衡特征中可以有效抑制類似峰值波紋。特別是，在第一和第二IDT彼此相鄰的部分和/或第二和第三IDT彼此相鄰的部分，當(dāng)在相鄰最外電極指具有相同極性的部分執(zhí)行權(quán)重時(shí)，可以更有效抑制類似峰值的波紋。
在本發(fā)明中，流入第一平衡信號端子的電信號與流入第二平衡信號端子中的電信號具有180度相位差，也就是，第一耦合諧振器型聲表面波濾波器部分連接不平衡信號端子可以有效抑制上述類似峰值波紋。因此，可以認(rèn)為關(guān)于上述類似峰值波紋的現(xiàn)象出現(xiàn)在顛倒極性的部分中。所以，在本發(fā)明中，當(dāng)在顛倒極性的部分中執(zhí)行權(quán)重時(shí)，認(rèn)為類似峰值波紋被減少。
因此，較之這種類型的平衡型聲表面波濾波器，本發(fā)明可以進(jìn)一步改善平衡。
另一方面，在本發(fā)明中，盡管各種權(quán)重方法可以用作上述權(quán)重，但是最好使用這樣一種權(quán)重，即使得包括最外電極指的多個(gè)電極指的長度不同于其它可使用的電極指的長度。因此就權(quán)重而言，可以提供交叉寬度權(quán)重和串聯(lián)權(quán)重。當(dāng)使用交叉寬度權(quán)重或串聯(lián)權(quán)重時(shí)，正如可以從下述實(shí)驗(yàn)性實(shí)例中得知的那樣，可以有效改善平衡。
執(zhí)行權(quán)重的電極指可以被設(shè)置在窄間距電極指部分中，并因此減輕相鄰IDT之間的不連續(xù)性。
在第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，當(dāng)設(shè)置在表面波傳播方向上中間位置的第五IDT的電極指的數(shù)量是偶數(shù)時(shí)，較之第五IDT的電極指數(shù)量是奇數(shù)的情況，它變得能夠改善平衡。
此外，第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分的中間第五IDT的一個(gè)端子電連接到第一平衡信號端子，并且其它端子可以電連接到第二平衡信號端子。在此情況下，不制作復(fù)雜的第五IDT結(jié)構(gòu)，就可以把第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分連接到第一和第二平衡信號端子。此外，它變得能夠提供一種平衡型聲表面波濾波器，其中不平衡端子側(cè)的阻抗與第一和第二端子側(cè)的阻抗之間的比值被制成1∶1。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的平衡型聲表面波濾波器的電極結(jié)構(gòu)的頂視圖；圖2顯示了第一實(shí)施例的相對于聲表面波濾波器的頻率的衰減特征；圖3顯示了第一實(shí)施例的聲表面波濾波器的振幅平衡；圖4顯示了第一實(shí)施例的聲表面波濾波器的相位平衡；圖5顯示了相對于比較實(shí)例的聲表面波濾波器頻率的衰減特征；
圖6顯示了比較實(shí)例的聲表面波濾波器的振幅平衡；圖7顯示了比較實(shí)例的聲表面波濾波器的相位平衡。
圖8是顯示本發(fā)明第二實(shí)施例的平衡型聲表面波濾波器的電極結(jié)構(gòu)的頂視圖；圖9是顯示相關(guān)的平衡型聲表面波濾波器的一個(gè)實(shí)例的頂視圖；圖10是顯示相關(guān)的平衡型聲表面波濾波器的另一實(shí)例的頂視圖。
附圖標(biāo)記說明1-平衡型聲表面波濾波器；2-壓電基片；11-第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分；12-14-第一至第三IDT；13a、14a、14b-電極指；14c浮動(dòng)電極指；14A-第三IDT；15、16-反射器；21-第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分；22至24-第四至第六IDT；25至26-反射器；31-聲表面波諧振器；31a-IDT；31b和31c-反射器；33-不平衡輸入端子；34、35-第一和第二平衡輸出端子；36、37-第一和第二信號線；41-平衡型聲表面波濾波器；101-平衡型聲表面波濾波器；N-窄間距電極指部分。
具體實(shí)施例方式
通過參照附圖對本發(fā)明具體實(shí)施例的說明可以使本發(fā)明清楚。
圖1是顯示本發(fā)明第一實(shí)施例的聲表面波濾波器的電極結(jié)構(gòu)的頂視圖。本實(shí)施例的平衡型聲表面波濾波器1是通過在表面波基片2上形成示范性電極結(jié)構(gòu)構(gòu)成的。此外，在圖1所示的電極結(jié)構(gòu)中，為了更容易地圖示，電極指等的數(shù)量小于實(shí)際的數(shù)量。
在聲表面波濾波器1中，第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11和第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分21級聯(lián)連接。
第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11包含沿表面波傳播方向設(shè)置的第一至第三IDT 12至14。反射器15和16設(shè)置在包含IDT 12至14的區(qū)域的聲表面波傳播方向的兩側(cè)。窄間距電極指部分N形成在IDT 12和13彼此相鄰的部分以及形成在IDT 13和14彼此相鄰的部分。窄間距電極指部分N是這樣一個(gè)部分，它的包括鄰接其它IDT的最外電極指的多個(gè)電極指的間距窄于所涉及的IDT的主要電極指部分的間距。
當(dāng)包含窄間距電極指部分N時(shí)，一對鄰近的IDT之間的不連續(xù)性減小，并可以改善濾波特征。但是本發(fā)明不一定需要窄間距電極指部分N。
此外，第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分21還包含沿表面波的傳播方向設(shè)置的第四至第六IDT 22至24，以及在包含IDT 22至24的區(qū)域的表面波傳播方向上設(shè)置的反射器25和26，類似于第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11。在軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分21中，還在IDT 22至24分別彼此相鄰的部分中形成窄間距電極指部分N。
第二IDT 13的一個(gè)端子經(jīng)由一個(gè)端口型聲表面波諧振器31連接不平衡輸入端子33。
一個(gè)端口型聲表面波諧振器31包含IDT 31a和設(shè)置在IDT 31a表面波傳播方向兩側(cè)的反射器31b和31c。一個(gè)端口型聲表面波諧振器31被用作平衡型聲表面波濾波器1的通頻帶之外的衰耗陷波，但是諧振器31不是本發(fā)明必需的并且可以省去。
此外，在第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器21中，中間的第五IDT23的一個(gè)端子連接第一平衡輸出端子34，并且另一個(gè)端子連接第二平衡輸出端子35。第一IDT 12和第四IDT 22通過第一信號線36連接。第三IDT 14和第六IDT 24通過第二信號線37連接。從而構(gòu)建了連接不平衡輸入33和第一及第二平衡輸出端子34和35兩級級聯(lián)連接型的平衡型聲表面波濾波器1。
現(xiàn)在把IDT 14反轉(zhuǎn)到IDT 12，使得流入第一信號線36的信號在相位上與流入第二信號線37的信號相差180度。所以，在本實(shí)施例中，由于流入第一和第二線36和37的信號相位彼此顛倒相位180度，使其具有平衡-不平衡變換功能，因此平衡度極佳。
此外，本實(shí)施例的特征在于，由于在第二IDT和第三IDT彼此相鄰的部分權(quán)重第三IDT 14，因此可以有效抑制出現(xiàn)在通頻帶內(nèi)在振幅平衡和相位平衡中的類似峰值波紋。
IDT 13的位于IDT 14側(cè)的最外電極指13a和IDT 14的位于IDT 13側(cè)的最外電極指14a是熱端電極指并具有相同極性。在IDT 14中，包括位于IDT 13側(cè)的最外電極指14a的多個(gè)電極指14a和14b被串聯(lián)權(quán)重。串聯(lián)權(quán)重是指通過把浮動(dòng)電極指14c置于電極指14a和下一個(gè)電極指14b之間，執(zhí)行權(quán)重。浮動(dòng)電極指14c具有通過在表面波傳播方向延伸的第三電極指部分連接的第一電極指部分和第二電極指部分的結(jié)構(gòu)，其中第一電極指部分在電極指14a的塞尖側(cè)沿著與電極指14a相同的方向延伸并與電極指14a相隔一個(gè)間隙，第二電極指部分在電極指14b的塞尖側(cè)以一個(gè)間隔沿著與電極指14b的相同方向延伸。串聯(lián)權(quán)重以這樣一種方式執(zhí)行，即包含曲柄形浮動(dòng)電極指14c，并且縮短最外的電極指14a的長度以及位于最外的電極指14a之內(nèi)的電極指14b的長度。在執(zhí)行這樣的串聯(lián)權(quán)重的部分中，電場的應(yīng)用被串聯(lián)權(quán)重改變，并且由此在通頻帶內(nèi)的振幅平衡特征和相位平衡特征中可以有效抑制類似峰值波紋，這可以從下述的試驗(yàn)實(shí)例得知。
該說明基于具體試驗(yàn)實(shí)例。
在本實(shí)施例中，構(gòu)建了具有832至870MHz的通頻帶的JCDMA系統(tǒng)的接收帶通濾波器。這里，不平衡輸入端子33的阻抗與第一和第二平衡輸出端子34和35的阻抗之比為1∶2。
Y相交X 40+5度傳播LiTaO3基片被準(zhǔn)備為壓電基片2，其上形成鋁膜并執(zhí)行圖案制作，以形成本實(shí)施例的聲表面波濾波器的電極結(jié)構(gòu)。下面描述電極結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。
在第一和第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器11和21中，由窄間距電極指部分之外的電極指比值決定的波長為λI。
電極指交叉寬度46.5λI。
第一至第三IDT 12至14的電極指的數(shù)量按照第一至第三IDT 12至14的順序被制成23(7)/(7)36(7)/(7)23。然而，括號中的數(shù)字代表窄間距電極指部分中的電極指的數(shù)量，括號外的電極指的數(shù)量代表IDT的窄間距電極指部分之外的電極指的數(shù)量。所以，當(dāng)把第一IDT作為一個(gè)實(shí)例時(shí)，窄間距電極指部分中的電極指的數(shù)量是7，并且窄間距電極指部分之外的電極指的數(shù)量是23。
第四至第六IDT22至24中的電極指的數(shù)量是24(6)/(4)18(4)/(6)24。
第二IDT 13的窄間距電極指部分之外的電極指部分的波長λI等于4.73μm，第二IDT 13的窄間距電極指部分的波長等于4.30μm。第一和第三IDT 12和14的窄間距電極指部分之外的電極指部分的波長λI等于4.64μm，該IDT 12和14的窄間距電極指部分的波長λ2n等于4.73μm。
第五IDT 23的窄間距電極指部分之外的電極指間距λI等于4.73μm，第五IDT 23的窄間距電極指部分的電極指間距λn等于4.25μm，第四和第六IDT 22和24的窄間距電極指部分之外的電極指間距λ2I等于4.64μm，第四和第六IDT 22和24的窄間距電極指部分的電極指間距λn等于4.31μm。
反射器15、16、25和26的電極指的數(shù)量分別為70。此外，盡管金屬化比例為0.65，但是第一軸向耦合諧振器型聲表面波部分11中的窄間距電極指部分的金屬化比例為0.70，并且第二軸向耦合諧振器型聲表面波部分21中的窄間距電極指部分的金屬化比例為0.65。此外，電極膜厚度被制成0.09λI。
此外，當(dāng)由電極指間距決定的波長被λI代表時(shí)，聲表面波諧振器31被構(gòu)成如下。
交叉寬度為15.4λIIDT 31a的電極指的數(shù)量為141反射器31b和31c的電極指的數(shù)量分別為18金屬化比例為0.75電極膜厚度為0.09λI。
此外，在本發(fā)明中，當(dāng)在壓電基片上實(shí)際形成接線時(shí)，圖1中第一IDT12的將連接地電位之側(cè)的端子部分和第四IDT 22的將連接地電位之側(cè)的端子通過連接接線連接，同樣地，IDT 14和24的將連接地電位之側(cè)的端子部分可以通過連接連線彼此連接。
圖2顯示了如上述構(gòu)成的本實(shí)施例的聲表面波濾波器1衰減-頻率特征，并且分別在圖3和圖4中顯示了振幅平衡特征和相位平衡特征。
為了進(jìn)行比較，除IDT 14的IDT 13之側(cè)的窄間距電極指部分未被串聯(lián)權(quán)重外，以相同方式構(gòu)成的聲表面波濾波器被提出，并且測量電特征。圖5顯示了一個(gè)聲表面波濾波器的衰減頻率特征，該聲表面波濾波器作為為比較準(zhǔn)備的比較實(shí)例。圖6顯示了振幅平衡特征，圖7顯示了相位平衡特征。
當(dāng)比較圖2和圖5時(shí)，它們都具有832至870MHz的通頻帶。然而，當(dāng)比較該通頻帶中振幅平衡和相位平衡時(shí)，在比較實(shí)例中，振幅平衡為0.83dB，相位平衡為偏離180度的3.6度；在本實(shí)施例中，振幅平衡是0.17dB，相位平衡為偏離180度的1.7度。因此，根據(jù)本實(shí)施例，可以理解為振幅平衡被改善了約0.65dB，相位平衡被改善了約2度。
應(yīng)當(dāng)理解，這是由以下因素造成的。
也就是，在IDT 14的位于IDT 13側(cè)的包括最外電極指14a的多個(gè)電極指14a和14b中，執(zhí)行串聯(lián)權(quán)重，以便包含上述的浮動(dòng)電極指14c。另一方面，IDT 13和IDT 14彼此相鄰的部分是相同極性的部分。也就是，電極指13a和14是熱端上的電極指。因此IDT 13和14彼此相鄰的部分中的信號與IDT 12和13彼此相鄰的部分中的信號反相180度。另一方面，人們認(rèn)為，上述的振幅平衡特征和相位平衡特征中的類似峰值波紋是由顛倒相位(反相)的部分造成的。在本實(shí)施例中，就這部分而言，當(dāng)執(zhí)行上述串聯(lián)權(quán)重時(shí)，對顛倒極性的部分的電場應(yīng)用改變，并由此認(rèn)為出現(xiàn)在通頻帶內(nèi)的振幅平衡和相位平衡上的類似峰值波紋可以被有效抑制。
也就是，在第一和第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11和12兩級級聯(lián)連接的結(jié)構(gòu)中，在連接不平衡輸入端子33的第一聲表面波濾波器11之側(cè)面，由于第一和第二IDT 12和13彼此相鄰的部分中的信號相對于上述的第二和第三IDT 13和14彼此相鄰的部分相位反相，因此在多個(gè)彼此相鄰的最外電極指中為相同極性電極指的部分中，當(dāng)執(zhí)行權(quán)重以便改變電場對至少一個(gè)IDT應(yīng)用時(shí)，如上所述，同樣可以有效抑制上述的類似峰值波紋。
因此在本實(shí)施例中，盡管可以在IDT 13之側(cè)面執(zhí)行串聯(lián)權(quán)重，并且還可以在IDT 13和14彼此相鄰的部分之兩側(cè)執(zhí)行串聯(lián)權(quán)重。
此外，在本實(shí)施例中，在IDT 14中，不僅執(zhí)行上述的串聯(lián)權(quán)重，還可以包含窄間距電極指部分N。也就是，盡管僅僅執(zhí)行權(quán)重以便改善上述平衡是足夠的，但是可以同時(shí)使用窄間距電極指部分N。實(shí)際上，在IDT 14中，同時(shí)使用串聯(lián)權(quán)重和窄間距電極指部分N。
在第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11中，中間的第二IDT13的電極指的數(shù)量是奇數(shù)。所以，第三IDT 14被反轉(zhuǎn)到第一IDT 12，并且流入第一信號線36的信號相對于流入第二信號線37的信號反相。在如上所述的這樣一種結(jié)構(gòu)情況下，在IDT 13和14彼此相鄰的部分中，彼此接近的最外電極指是熱端的電極指。
與其成對比，IDT 13的電極指的數(shù)量可以是偶數(shù)。在此情況下，第一IDT和第三IDT不倒置。在此情況下，盡管第二和第三IDT彼此接近的最外電極指是接地端，但是當(dāng)以這種方式彼此接近的電極指是相同極性的電極指時(shí)，不僅熱端對熱端的組合而且地對地的組合都是可接受的。
也就是，在連接不平衡端子的第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，在第一與第二IDT和第二第三IDT彼此相鄰部分中，彼此相鄰的IDT的最外電極指是相同極性電極指的部分可以被制作成接地電極指和接地電極指的組合。
此外，在本實(shí)施例的軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器1中，連接第一和第二平衡輸出端子34和35的中間第五IDT 23的電極指的數(shù)量是偶數(shù)。較之連接平衡輸出端子34和35的聲表面波濾波器部分21的中間第五IDT 23的電極指的總數(shù)量是奇數(shù)的情況，當(dāng)數(shù)量是偶數(shù)時(shí)，可以更有效改善平衡使其達(dá)到預(yù)期。
也就是說，通過使用連接第五IDT的平衡型IC，尋找第一IDT 12、第四IDT 22、第五IDT 23和第一平衡輸出端子34的輸出與第三IDT 14、第六IDT 24、第五IDT 23和第二平衡信號端子35的輸出的差值，聲表面波濾波器1的輸出變得約加倍。此外，由于直接到達(dá)第一平衡輸出端子的輸出和直接到達(dá)第二平衡信號端子35的輸出相位相同，因此通過尋找它們與作為同相位信號噪聲輸出的剩余物的差值，輸出相互抵消。在這樣一種結(jié)構(gòu)中，它成為一個(gè)問題，即直接到達(dá)第一平衡輸出端子34的輸出大于直接達(dá)到第二平衡輸出端子35的輸出。然而，在本實(shí)施例中，由于從第一IDT 12經(jīng)由信號線36到第四IDT 22直接到達(dá)第一平衡信號端子34的波與經(jīng)由信號線37直接到達(dá)第一平衡信號端子34的波相互抵消，因此平衡也可以被進(jìn)一步改善。
此外，在第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分21的中間第五IDT 23的電極指的數(shù)量是奇數(shù)的情況下，很難在振幅平衡特征和相位平衡特征中生成類似峰值波紋，但是有可能損壞平衡特征。當(dāng)然，這歸因于連接第一平衡輸出端子34的電極指的數(shù)量與連接第二平衡輸出端子35的電極指的數(shù)量之差。因此如上所述，最好把第二聲表面波濾波器部分221中的中間第五IDT 23的電極指的數(shù)量做成偶數(shù)。
在圖1的本發(fā)明的第一實(shí)施例中，盡管在不平衡輸入端子33與第二IDT 13的一個(gè)端子之間插入了單端口聲表面波諧振器31，但是可以在第一平衡輸出端子34與第五IDT 23之間插入第一單端口聲表面波諧振器，以及可以在第二平衡輸出端子35與第五IDT 23之間插入第二單端口聲表面波諧振器。
此外，在第一軸向耦合聲表面波濾波器部分11與第二軸向耦合聲表面波濾波器部分21之間含設(shè)兩個(gè)單端口聲表面波諧振器，在第一IDT 12與第四IDT 22之間插入第一單端口聲表面波諧振器，并且在第三IDT 14與第六IDT 24之間可以插入第二單端口聲表面波諧振器。
圖8是顯示本發(fā)明第二實(shí)施例的軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器的電極結(jié)構(gòu)的頂視圖。在第二實(shí)施例的聲表面波濾波器101中，除了不在第三IDT 14A中執(zhí)行串聯(lián)權(quán)重，而是執(zhí)行交叉寬度權(quán)重外，其它結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例的軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器1相同。所以，在該實(shí)施例中，給予相同部分相同的參考標(biāo)號并省略說明。
在本實(shí)施例中，在連接平衡輸入端子33的第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11中，IDT 13的位于IDT 14A側(cè)的最外電極指13a和IDT14A的位于IDT 13側(cè)的最外電極指14a是位于熱端的相同極性的電極。在IDT 14A中，在包括最外電極指14a的多個(gè)電極指14a至14c中執(zhí)行交叉寬度權(quán)重。
此外，在這種使用交叉寬度權(quán)重而不使用串聯(lián)權(quán)重的情況中，在IDT14A和IDT 13彼此相鄰的部分中改變電場應(yīng)用的方式，所以，可以有效抑制振幅平衡特征和相位平衡特征中的類似峰值波紋。
正如從第一和第二實(shí)施例得知的那樣，在本發(fā)明中，為改善上述振幅平衡和相位平衡的權(quán)重不限于串聯(lián)權(quán)重，而是可以包含交叉寬度權(quán)重，或者可以使用通過變薄的權(quán)重和通過改變負(fù)載比的權(quán)重。然而，由于可以有效改變電場在信號反相部分中應(yīng)用的方式，因此改變包括最外電極指的多個(gè)電極指的長度的權(quán)重，類似串聯(lián)權(quán)重和交叉寬度權(quán)重，是可取的。
權(quán)利要求
1.一種具有平衡-不平衡變換功能的平衡型聲表面波濾波器，具有不平衡信號端子和第一及第二平衡信號端子，該平衡型聲表面波濾波器包括壓電基片；第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分，具有沿壓電基片上表面波傳播方向設(shè)置的第一至第三IDT，連接不平衡信號端子的中間第二IDT；第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分，具有沿壓電基片上表面波傳播方向設(shè)置的第四至第六IDT，其中第四IDT連接第一IDT，第五IDT連接第一和第二平衡信號端子；其中，經(jīng)過連接第一IDT和第四IDT的信號線的電信號與經(jīng)過連接第三IDT和第六IDT的信號線的電信號的相位差約為180度；其中，在第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，在第一和第二IDT彼此相鄰和/或第二和第三IDT彼此相鄰的部分中，在相鄰IDT之一和/或相鄰IDT之另一個(gè)中，對多個(gè)電極指，包括最接近相對IDT的最外電極指執(zhí)行權(quán)重。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平衡型聲表面波濾波器，其中，在第一和第二IDT彼此相鄰的部分和/或第二和第三IDT彼此相鄰的部分，在諸相鄰最外電極指具有相同極性的部分中，執(zhí)行權(quán)重。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的平衡型聲表面波濾波器，其中，按照使包括最外電極指的多個(gè)電極指的長度不同于其它電極指的長度的方式，執(zhí)行權(quán)重。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平衡型聲表面波濾波器，其中，權(quán)重是交叉寬度權(quán)重或者串連權(quán)重。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的平衡型聲表面波濾波器，其中，執(zhí)行權(quán)重的電極指被設(shè)置在窄間距電極指部分中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的平衡型聲表面波濾波器，其中，在第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分中，在表面波傳播方向上位于中間的第五IDT的電極指數(shù)量是偶數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的平衡型聲表面波濾波器，其中，位于第二軸向諧振器型聲表面波濾波器部分的中間的第五IDT的一個(gè)端子連接第一平衡端子，并且另一個(gè)端子連接第二平衡信號端子。
全文摘要
為了改善平衡型聲表面波濾波器在通頻帶內(nèi)的振幅平衡和相位平衡，該平衡型聲表面波濾波器中設(shè)有平衡－不平衡變換功能，其中第一和第二聲表面波濾波器部分被兩級級聯(lián)連接。在平衡型聲表面波濾波器1中，連接不平衡輸入端子33的第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11，和連接第一和第二平衡輸入端子34和35的第二軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分21被兩級級聯(lián)連接。在第一軸向耦合諧振器型聲表面波濾波器部分11中，在第一及第二IDT12及13彼此相鄰的部分和第二及第三IDT 13及14彼此相鄰的部分中，對多個(gè)電極指14a和14b執(zhí)行權(quán)重，這些電極指包括最接近位于鄰近IDT13和14的一個(gè)和/或另一個(gè)中的相對IDT的最外電極指14a。
文檔編號H03H9/145GK1842962SQ20058000107
公開日2006年10月4日 申請日期2005年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月2日
發(fā)明者谷將和 申請人:株式會社村田制作所