本發(fā)明涉及線性馬達、載臺裝置、光刻裝置以及物品制造方法。

背景技術：

1、在專利文獻1中記載了一種利用線性馬達使移動體移動的載臺裝置。該線性馬達具備作為定子的多個線圈和作為動子的磁鐵，通過切換多個線圈之中的通電的線圈，利用洛倫茲力來產生推力。在該載臺裝置中，將配置在相互分離的位置上的一對線圈之中與磁鐵面對的線圈作為動態(tài)制動用線圈來使用，將另一方的線圈作為電流限制電阻來使用。

2、在先技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本特開2006－237069號公報

技術實現思路

1、發(fā)明所要解決的課題

2、通過在動態(tài)制動動作時限制在動態(tài)制動用線圈中流動的電流，能防止線圈的破損。但是，為了將2個線圈的接地側的端子相互連接或是向地線連接，需要相對于1個線圈在接地側設置2個開關(例如fet等晶體管)。因此，在這樣的構成中，構成將會變復雜。

3、本發(fā)明的目的在于提供有利于簡化動態(tài)制動用構成的技術。

4、用于解決課題的方案

5、本發(fā)明的第1方面涉及一種線性馬達，該線性馬達具備具有磁鐵列的動子和包括配置在上述動子的可動范圍中的多個線圈的定子，其特征在于，上述線性馬達具備：多個選擇開關，該多個選擇開關分別配置在驅動上述多個線圈的驅動器與上述多個線圈之間；以及路徑，該路徑設在上述驅動器與上述多個選擇開關之間，在制動動作時，使上述多個線圈之中與上述磁鐵列面對的線圈和上述多個線圈之中不與上述磁鐵列面對的線圈短路。

6、本發(fā)明的第2方面涉及一種線性馬達，該線性馬達具備具有磁鐵列的動子和包括配置在上述動子的可動范圍中的多個線圈的定子，上述多個線圈包括由第1驅動器驅動的多個第1線圈和由第2驅動器驅動的多個第2線圈，其特征在于，上述線性馬達具備：多個第1選擇開關，該多個第1選擇開關分別與上述多個第1線圈對應；多個第2選擇開關，該多個第2選擇開關分別與上述多個第2線圈對應；第1路徑，該第1路徑設在上述第1驅動器與上述多個第1選擇開關之間，在制動動作時，使上述多個第1線圈之中與上述磁鐵列面對的第1線圈和上述多個第1線圈之中不與上述磁鐵列面對的第1線圈短路；以及第2路徑，該第2路徑設在上述第2驅動器與上述多個第2選擇開關之間，在制動動作時，使上述多個第2線圈之中與上述磁鐵列面對的第2線圈和上述多個第2線圈之中不與上述磁鐵列面對的第2線圈短路。

7、本發(fā)明的第3方面涉及一種載臺裝置，其特征在于，上述載臺裝置具備：載臺；以及上述第1或第2方面所涉及的線性馬達，該線性馬達構成為驅動上述載臺。

8、本發(fā)明的第4方面涉及一種光刻裝置，該光刻裝置向基板轉印原版的圖案，其特征在于，上述光刻裝置具備：載臺，該載臺保持上述基板或者上述原版；以及上述第1或第2方面所涉及的線性馬達，該線性馬達構成為驅動上述載臺。

9、本發(fā)明的第5方面涉及一種物品制造方法，其特征在于，上述物品制造方法包括：由上述第4方面所涉及的光刻裝置向基板轉印原版的圖案的轉印工序；以及通過對被轉印了上述圖案的上述基板進行處理來獲得物品的處理工序。

10、發(fā)明的效果

11、根據本發(fā)明，可提供有利于簡化動態(tài)制動用構成的技術。

技術特征：

1.一種線性馬達，該線性馬達具備具有磁鐵列的動子和包括配置在上述動子的可動范圍中的多個線圈的定子，其特征在于，

2.如權利要求1所述的線性馬達，其特征在于，

3.如權利要求2所述的線性馬達，其特征在于，

4.如權利要求3所述的線性馬達，其特征在于，

5.如權利要求3所述的線性馬達，其特征在于，

6.如權利要求3所述的線性馬達，其特征在于，

7.如權利要求3所述的線性馬達，其特征在于，

8.如權利要求3所述的線性馬達，其特征在于，

9.如權利要求3所述的線性馬達，其特征在于，

10.一種線性馬達，該線性馬達具備具有磁鐵列的動子和包括配置在上述動子的可動范圍中的多個線圈的定子，上述多個線圈包括由第1驅動器驅動的多個第1線圈和由第2驅動器驅動的多個第2線圈，其特征在于，

11.如權利要求10所述的線性馬達，其特征在于，

12.如權利要求11所述的線性馬達，其特征在于，

13.如權利要求12所述的線性馬達，其特征在于，

14.如權利要求12所述的線性馬達，其特征在于，

15.如權利要求12所述的線性馬達，其特征在于，

16.如權利要求12所述的線性馬達，其特征在于，

17.如權利要求12所述的線性馬達，其特征在于，

18.如權利要求12所述的線性馬達，其特征在于，

19.一種載臺裝置，其特征在于，

20.一種光刻裝置，該光刻裝置向基板轉印原版的圖案，其特征在于，

21.一種物品制造方法，其特征在于，

技術總結
本發(fā)明提供線性馬達、載臺裝置、光刻裝置以及物品制造方法。線性馬達具備：動子，其具有磁鐵列；定子，其包括配置在上述動子的可動范圍中的多個線圈；多個選擇開關，其分別配置在驅動上述多個線圈的驅動器與上述多個線圈之間；以及路徑，其配置在上述驅動器與上述多個選擇開關之間，在制動動作時，使上述多個線圈之中與上述磁鐵列面對的線圈和上述多個線圈之中不與上述磁鐵列面對的線圈短路。

技術研發(fā)人員：神谷重雄
受保護的技術使用者：佳能株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/6