專利名稱：一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及精密機(jī)械領(lǐng)域，具體來說，是一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置。
背景技術(shù)：
隨著高分辨率觀測、激光通訊等技術(shù)的廣泛應(yīng)用，對高性能、高可靠性穩(wěn)定平臺的需求日益迫切。高精度光學(xué)設(shè)備和激光設(shè)備要求工作在低噪聲環(huán)境中，而基座產(chǎn)生的擾動會影響這些設(shè)備的正常工作。由于這些擾動大多屬于IOOHz以下的低頻擾動，很難通過被動方式進(jìn)行有效控制，因此研究開發(fā)針對低頻振動控制的平臺成為亟待解決的問題。目前振動主動控制平臺大多采用六桿Stewart并聯(lián)機(jī)構(gòu)構(gòu)型，它具有精度高、剛度大、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、承載能力強(qiáng)、動態(tài)特性好等優(yōu)點(diǎn)，特別是其六自由度運(yùn)動能力為精密設(shè)備的全方位振動控制提供了很好的解決方案。但六桿Stewart隔振平臺屬于無冗余并聯(lián)機(jī)構(gòu)，只要有一根作動桿出現(xiàn)故障就會導(dǎo)致隔振平臺失去作用，因此很難滿足航空航天等行業(yè)的高可靠性要求。為解決這一問題，研究具有冗余備份桿的振動控制平臺便成為這一領(lǐng)域的必然研究方向。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種具有冗余備份作動器的高可靠性六自由度振動主動控制平臺，以彌補(bǔ)傳統(tǒng)六桿平臺可靠性低的問題。本發(fā)明一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置，包括上平臺、下平臺以及八個主動隔振機(jī)構(gòu)。其中，上平臺與下平臺水平設(shè)置，上平臺與下平臺間通過八個主動隔振機(jī)構(gòu)相連。所述的下平臺周向上設(shè)置有八個連接槽B，所述的上平臺周向上設(shè)置有四個連接槽A，連接槽A與連接槽B分別在上平臺與下平臺的周向上交錯布置；其中每個連接槽A上連接兩個主動隔振機(jī)構(gòu)的上平臺柔性鉸鏈，所述的兩個主動隔振機(jī)構(gòu)的下平臺柔性鉸鏈分別與兩個連接槽B連接，所述的兩個連接槽B距離所述的連接槽A的距離相等并且最??；所述主動隔振機(jī)構(gòu)包括上平臺柔性鉸鏈、動態(tài)力傳感器、音圈電機(jī)作動器、下平臺柔性鉸鏈；其中，下平臺柔性鉸鏈與音圈電機(jī)作動器一端相連，音圈電機(jī)作動器的另一端與動態(tài)力傳感器一端同軸連接，動態(tài)力傳感器的另一端連接有上平臺柔性鉸鏈。所述音圈電機(jī)作動器包括音圈電機(jī)作動器動子和音圈電機(jī)作動器定子。音圈電機(jī)做動器動子位于音圈電機(jī)作動器定子內(nèi)部，所述音圈電機(jī)作動器動子包括動子伸出桿、膜片彈簧、動子線圈和動子導(dǎo)向桿。動子導(dǎo)向桿上部由下至上依次套接有動子線圈、膜片彈簧和動子伸出桿。動子線圈為空心圓筒結(jié)構(gòu)，頂部為圓臺結(jié)構(gòu)，動子線圈的外圈上繞有線圈； 膜片彈簧為中部鏤空的圓形薄片。其中動子線圈中的圓臺部分頂部與膜片彈簧底部接觸， 膜片彈簧頂部與動子伸出桿的底部接觸。動子伸出桿、膜片彈簧、動子線圈和動子導(dǎo)向桿之間緊密連接。
所述音圈電機(jī)作動器定子包括頂部直線軸承、定子頂蓋、定子外殼、永磁體、底部直線軸承和定子底蓋。定子外殼呈中空圓筒狀，定子外殼內(nèi)部下方設(shè)置有一階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)與定子外殼內(nèi)壁相連，圓環(huán)結(jié)構(gòu)永磁體固定套接在階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)外圈，永磁體與定子外殼內(nèi)壁間存在間隙。其中，音圈電機(jī)作動器動子中的動子導(dǎo)向桿下部位于定子外殼內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)。底部直線軸承與頂部直線軸承均具有空心圓柱結(jié)構(gòu)，底部直線軸承上的空心圓柱結(jié)構(gòu)位于定子外殼內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)，且與動子導(dǎo)向桿下部套接，并與定子外殼內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)底部固連?？招膱A錐結(jié)構(gòu)的定子底蓋套在底部直線軸承外側(cè)， 與定子外殼底部固連；頂部直線軸承上的空心圓柱結(jié)構(gòu)套接在音圈電機(jī)作動器動子中動子伸出桿上，空心圓錐狀的定子頂蓋套接在音圈電機(jī)作動器動子中動子伸出桿上，與定子頂蓋固連。定子頂蓋與定子外殼頂部固連。通過上述結(jié)構(gòu)的八桿冗余 構(gòu)型振動主動控制平臺，具有六自由度運(yùn)動能力，可以進(jìn)行全方位的振動隔離和抑制。其主動部件音圈電機(jī)作動器響應(yīng)速度快、定位精度高、可靠性好，可使本發(fā)明振動主動控制平臺對振動進(jìn)行有效隔離和抑制。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于(1)本發(fā)明采用了八桿構(gòu)型，比傳統(tǒng)六桿構(gòu)型的平臺多出兩個冗余桿，使平臺在兩根作動器發(fā)生故障時依然可以正常工作，提高了平臺的整體可靠性；(2)本發(fā)明通過八根音圈電機(jī)作動器伸縮運(yùn)動，上平臺可實(shí)現(xiàn)三自由度平動和三自由度轉(zhuǎn)動運(yùn)動，當(dāng)這六個自由度的運(yùn)動與下平臺傳來的運(yùn)動方向相反時，可實(shí)現(xiàn)六自由度全方位的振動隔離效果，使上平臺擁有安靜的工作環(huán)境，大大提高安裝在上平臺上的光學(xué)設(shè)備及激光設(shè)備的精度；(3)本發(fā)明八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置中由于沒有傳動部件，因此響應(yīng)速度快、精度高、可靠性好。


圖1為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為上平臺上V型槽A及其分布位置示意圖；圖3為下平臺上V型槽B及其分布位置示意圖；圖4為主動隔振機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為音圈電機(jī)作動器外部結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為音圈電機(jī)作動器側(cè)剖圖；圖7為音圈電機(jī)作動器動子結(jié)構(gòu)爆炸圖；圖8為音圈電機(jī)作動器定子結(jié)構(gòu)爆炸圖。圖中1.上平臺2.下平臺3.主動隔振機(jī)構(gòu)101.連接槽A 201.連接槽B3-1.上平臺柔性鉸鏈3-2.下平臺柔性鉸鏈3-3.動態(tài)力傳感器3-4.音圈電機(jī)作動器 3-4-1.音圈電機(jī)作動器動子 3_4_la.動子伸出桿3-4-lb.膜片彈簧3-4-lc.動子線圈3-4_ld.動子導(dǎo)向桿3-4-2.音圈電機(jī)作動器定子3-4_2a.頂部直線軸承3_4_2b.定子頂蓋
3-4-2c.定子外殼3-4-2d·永磁體3-4_2e.底部直線軸承 3-4-2f.定子底蓋
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖來對本發(fā)明作出進(jìn)一步說明。本發(fā)明一種八桿冗余構(gòu)型振動主動控制裝置，本發(fā)明采用八桿并聯(lián)冗余構(gòu)型振動機(jī)構(gòu)構(gòu)型，具有較高的可靠性和隔振性能，包括上平臺1、下平臺2，以及八個主動隔振機(jī)構(gòu) 3，如圖1所示，上平臺1與下平臺2水平設(shè)置，上平臺1與下平臺2間通過八個主動隔振機(jī)構(gòu)3相連。本實(shí)施例中，采用形狀相同的上平臺1與下平臺2，上平臺1與下平臺2均為具有四條長邊和四條短邊的八邊形結(jié)構(gòu)。其中，上平臺1與下平臺2形狀相同，均為具有四條長度相等且不相鄰的長邊與四條長度相等且不相鄰的短邊構(gòu)成的八邊形平板框架結(jié)構(gòu)，且上平臺1與下平臺2在水平面上互為投影，上平臺1與下平臺2的長與寬均為400mm。如圖1所示，設(shè)上平臺1的四條長邊分別為a、b、c、d，4條短變分別為e、f、g、h， 下平臺2中對應(yīng)上平臺1的四條長邊分別為&1、131、(31、(11，下平臺2中對應(yīng)上平臺1的四條短邊分別為el、fl、gl、hl，其中，在上平臺1的四條長邊的中心位置分別開有V型連接槽A101，一共有四個連接槽A101，每個連接槽AlOl的兩邊對稱設(shè)置兩個螺紋孔，如圖2所示；下平臺2的四條短邊el、fl、gl、hi上分別開有兩個V型連接槽B201，一共有八個連接槽B201，每條長邊上設(shè)置有兩個螺紋孔，如圖3所示，上述螺紋孔用來連接主動隔振機(jī)構(gòu)3 中的上平臺柔性鉸鏈3-1、下平臺柔性鉸鏈3-2，且上述V型槽A中一斜面與相鄰的V型連接槽B—斜面平行，其中每2個主動隔振機(jī)構(gòu)3中的上平臺柔性鉸鏈3-1由上平臺1下方分別與上平臺1上V型連接槽AlOl中的兩個斜面相連，下平臺柔性鉸鏈3-2分別與下平臺 V型連接槽B201的斜面相連，所述的下平臺V型連接槽B201的斜面與上平臺柔性鉸鏈3_1 連接的V型連接槽AlOl中斜面相對。如圖4所示，所述主動隔振機(jī)構(gòu)3包括上平臺柔性鉸鏈3-1、動態(tài)力傳感器3-3、音圈電機(jī)作動器3-4、下平臺柔性鉸鏈3-2。其中，下平臺柔性鉸鏈3-2與音圈電機(jī)作動器3-4 一端相連，音圈電機(jī)作動器3-4的另一端與動態(tài)力傳感器3-3 —端同軸連接，動態(tài)力傳感器 3-3的另一端連接有上平臺柔性鉸鏈3-1，四者同軸連接。每個下平臺2上的連接槽B201中都連接有一個主動隔振機(jī)構(gòu)3，并且每相鄰的兩個隔振機(jī)構(gòu)3的上平臺柔性鉸鏈3-1連接在同一個連接槽AlOl上，其中，每2個主動隔振機(jī)構(gòu)3中的上平臺柔性鉸鏈3-1與上平臺1上的1個V型連接槽AlOl相連，下平臺柔性鉸鏈3-2分別與與上平臺柔性鉸鏈3-1連接的連接槽AlOl相鄰近的連接槽B201相連，即每 2個主動隔振機(jī)構(gòu)3中的上平臺柔性鉸鏈3-1與上平臺1的a、b、c、d四條邊上的連接槽 AlOl相連，而下平臺柔性鉸鏈3-2分別與下平臺2的el、hl，el、fl，fl、gl，gl、hl邊上的連接槽B201相連，由此使八個主動隔振機(jī)構(gòu)3在上平臺1與下平臺2間形成八桿并聯(lián)冗余構(gòu)型振動機(jī)構(gòu)構(gòu)型，且上平臺1上表面與下平臺2下表面間的垂直高度為144mm。上述上平臺柔性鉸鏈3-1和下平臺柔性鉸鏈3-2結(jié)構(gòu)相同，通過上平臺柔性鉸鏈 3-1和下平臺柔性鉸鏈3-2的彈性變形可提供兩個彎曲轉(zhuǎn)動自由度，并實(shí)現(xiàn)傳動，可保證本發(fā)明振動主動控制裝置運(yùn)動時不受機(jī)械零件間隙影響，使本發(fā)明振動主動控制裝置可以高精度平穩(wěn)運(yùn)動。 所述動態(tài)力傳感器3-3為石英壓電式動態(tài)力傳感器，收到軸向拉力或壓力時會輸出與外部控制器成比例的電壓信號。所述音圈電機(jī)作動器3-4是基于音圈電機(jī)的振動主動控制裝置，可對中低頻振動進(jìn)行主動隔離和抑制，如圖5、圖6所示，包括音圈電機(jī)作動器動子3-4-1和音圈電機(jī)作動器定子3-4-2。所述音圈電機(jī)作動器動子3-4-1包括動子伸出桿3-4-la、膜片彈簧3_4_lb、動子線圈3-4-lc和動子導(dǎo)向桿3-4-ld，如圖7所示。動子導(dǎo)向桿3-4-ld呈階梯軸狀，頂部有螺紋結(jié)構(gòu)用于與動子伸出桿3-4-la底部螺紋連接，動子導(dǎo)向桿3-4-ld上部由下至上依次固定套接有動子線圈3-4-lc、膜片彈簧3-4-lb。動子線圈3-4-lc為繞有線圈的空心圓筒， 頂部有圓臺凸起結(jié)構(gòu)，膜片彈簧3-4-lb為中部鏤空的圓形薄片。動子伸出桿3-4-la呈階梯軸狀。其中動子線圈3-4-lc中的圓臺部分頂部與膜片彈簧3-4-lb底部接觸，膜片彈簧 3-4-lb頂部與動子伸出桿3-4-la的底部接觸。通過動子導(dǎo)向桿3-4-ld頂部的螺紋結(jié)夠與動子伸出桿3-4-la底部螺紋連接，將膜片彈簧3-4-lb、動子線圈3_4_lc軸向定位，并且使膜片彈簧3-4-lb、動子線圈子導(dǎo)向桿3-4-ld間緊密連接。所述音圈電機(jī)作動器定子3-4-2包括頂部直線軸承3-4_2a、定子頂蓋3_4_2b、定子外殼3-4-2c、永磁體3-4-2d、底部直線軸承3-4-2e和定子底蓋3_4_2f，如圖8所示。定子外殼3-4-2C呈中空圓筒狀，內(nèi)部下方設(shè)置有一階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)，環(huán)狀永磁體3-4-2d固定套接在階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)外圈，永磁體3-4-2d與定子外殼3-4-2c內(nèi)壁間存在間隙。永磁體3-4-2d輻射狀充磁，與定子外殼3-4-2c形成閉合磁路，在永磁體3-4-2d外圈和定子外殼3-4-2c之間的空隙產(chǎn)生均勻的磁場。其中，音圈電機(jī)作動器動子3-4-1位于定子外殼3-4-2c內(nèi)部，音圈電機(jī)作動器動子3-4-1中的動子導(dǎo)向桿3-4-ld下部位于定子外殼3-4-2c內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)。 底部直線軸承3-4-2e具有空心圓柱結(jié)構(gòu)，空心圓柱結(jié)構(gòu)位于定子外殼3-4-2c內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)，且與動子導(dǎo)向桿3-4-ld下部套接，并通過螺栓與定子外殼3-4-2C內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)底部固連，由此實(shí)現(xiàn)了音圈電機(jī)作動器動子3-4-1下部分的定位?？招膱A錐結(jié)構(gòu)的定子底蓋3-4-2f套在底部直線軸承3-4-2e外側(cè)，通過螺栓與定子外殼3_4_2c 底部固連。頂部直線軸承3-4-2a同樣具有空心圓柱結(jié)構(gòu)，套接在音圈電機(jī)作動器動子 3-4-1中動子伸出桿3-4-la上，空心圓錐狀的定子頂蓋3_4_2b套接在音圈電機(jī)作動器動子3-4-1中動子伸出桿3-4-la上，頂部直線軸承3_4_2a通過螺栓與定子頂蓋3_4_2b固連，定子頂蓋3-4-2b通過螺栓與定子外殼3-4-2c頂部固連從而實(shí)現(xiàn)了音圈電機(jī)作動器動子3-4-1上部分的定位，由此實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)作動器動子3-4-1與音圈電機(jī)作動器定子3-4-2 間的相對定位。音圈電機(jī)作動器3-4在運(yùn)行時，音圈電機(jī)作動器動子3-4-1相對音圈電機(jī)作動器定子3-4-2上下運(yùn)動，抵消由定子傳來的振動，使音圈電機(jī)作動器動子3-4-1保持穩(wěn)定。當(dāng)動子線圈3-4-lc有電流通過時，與永磁體3-4-2d產(chǎn)生的磁場發(fā)生相互作用，產(chǎn)生軸向推力或拉力，驅(qū)動音圈電機(jī)作動器動子3-4-1上下運(yùn)動。由于沒有傳動部件，因此響應(yīng)速度快、精度高、可靠性好。通過上述結(jié)構(gòu)的八桿冗余構(gòu)型振動主動控制平臺，具有六自由度運(yùn)動能力，可以進(jìn)行全方位的振動隔離和抑制。其主動部件音圈電機(jī)作動器3-4響應(yīng)速度快、定位精度高、 可靠性好，可使本發(fā)明振動主動控制裝置對振動進(jìn)行有效隔離和抑制。 通過八根音圈電機(jī)作動器3-4伸縮運(yùn)動，上平臺1可實(shí)現(xiàn)三自由度平動和三自由度轉(zhuǎn)動運(yùn)動，當(dāng)這六個自由度的運(yùn)動與下平臺2傳來的運(yùn)動方向相反時，可實(shí)現(xiàn)六自由度全方位的振動隔離效果，使上平臺1擁有安靜的工作環(huán)境，大大提高安裝在上平臺1上的光學(xué)設(shè)備及激光設(shè)備的精度。本發(fā)明八桿冗余構(gòu)型振動主動控制裝置在進(jìn)行振動控制時，通過外部控制器采集動態(tài)力傳感器3-3的力信號，再通過外部控制器采集到的力信號轉(zhuǎn)換為動子線圈3-4-lc中的電流，使音圈電機(jī)作動器動子3-4-1相對音圈電機(jī)作動器定子3-4-2產(chǎn)生位移，從而抵消振動。本發(fā)明中膜片彈簧3-4-lb的材料為鈹青銅，采用激光或線切割工藝加工。其余部件除動子伸出桿3-4-la和動子導(dǎo)向桿3-4-ld的材料采用鋼之外，均采用硬鋁加工。
權(quán)利要求
1.一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置，其特征在于包括上平臺、下平臺以及八個主動隔振機(jī)構(gòu)；其中，上平臺與下平臺水平設(shè)置，上平臺與下平臺之間通過八個主動隔振機(jī)構(gòu)相連；所述主動隔振機(jī)構(gòu)包括上平臺柔性鉸鏈、動態(tài)力傳感器、音圈電機(jī)作動器和下平臺柔性鉸鏈；其中，下平臺柔性鉸鏈與音圈電機(jī)作動器一端相連，音圈電機(jī)作動器的另一端與動態(tài)力傳感器一端同軸連接，動態(tài)力傳感器的另一端連接有上平臺柔性鉸鏈；所述的下平臺周向上設(shè)置有八個連接槽B，所述的上平臺周向上設(shè)置有四個連接槽A， 連接槽A與連接槽B分別在上平臺與下平臺的周向上交錯布置；其中每個連接槽A上連接兩個主動隔振機(jī)構(gòu)的上平臺柔性鉸鏈，所述的兩個主動隔振機(jī)構(gòu)的下平臺柔性鉸鏈分別與兩個連接槽B連接，所述的兩個連接槽B距離所述的連接槽A的距離相等并且最?。凰鲆羧﹄姍C(jī)作動器包括音圈電機(jī)作動器動子和音圈電機(jī)作動器定子；音圈電機(jī)作動器動子位于音圈電機(jī)作動器定子內(nèi)部，所述音圈電機(jī)作動器動子包括動子伸出桿、膜片彈簧、動子線圈和動子導(dǎo)向桿；動子導(dǎo)向桿上部由下至上依次固定套接有動子線圈、膜片彈簧和動子伸出桿；動子線圈為空心圓筒結(jié)構(gòu)，頂部為圓臺結(jié)構(gòu)，動子線圈的外圈上繞有線圈； 膜片彈簧為中部鏤空的圓形薄片；其中動子線圈中的圓臺部分頂部與膜片彈簧底部接觸， 膜片彈簧頂部與動子伸出桿的底部接觸；動子伸出桿、膜片彈簧、動子線圈和動子導(dǎo)向桿之間緊密連接；所述音圈電機(jī)作動器定子包括頂部直線軸承、定子頂蓋、定子外殼、永磁體、底部直線軸承和定子底蓋；定子外殼呈中空圓筒狀，定子外殼內(nèi)部下方設(shè)置有一階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)與定子外殼內(nèi)壁相連，圓環(huán)結(jié)構(gòu)永磁體固定套接在階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)外圈，永磁體與定子外殼內(nèi)壁間存在間隙；其中，音圈電機(jī)作動器動子中的動子導(dǎo)向桿下部位于定子外殼內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)；底部直線軸承與頂部直線軸承均具有空心圓柱結(jié)構(gòu)，底部直線軸承上的空心圓柱結(jié)構(gòu)位于定子外殼內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)，且與動子導(dǎo)向桿下部套接，并與定子外殼內(nèi)部的階梯圓臺筒狀結(jié)構(gòu)底部固連；空心圓錐結(jié)構(gòu)的定子底蓋套在底部直線軸承外側(cè)，與定子外殼底部固連；頂部直線軸承上的空心圓柱結(jié)構(gòu)套接在音圈電機(jī)作動器動子中動子伸出桿上，空心圓錐狀的定子頂蓋套接在音圈電機(jī)作動器動子中動子伸出桿上，與定子頂蓋固連；定子頂蓋與定子外殼頂部固連。
2.如權(quán)利要求1所述一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置，其特征在于所述連接槽A與連接槽B為V型連接槽，連接槽A中一斜面與相鄰的連接槽B —斜面平行，其中每兩個主動隔振機(jī)構(gòu)中的上平臺柔性鉸鏈分別與連接槽A中的兩個斜面相連，下平臺柔性鉸鏈分別與連接槽B的斜面相連。
3.如權(quán)利要求1所述一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置，其特征在于所述動態(tài)力傳感器為石英壓電式動態(tài)力傳感器。
4.如權(quán)利要求1所述一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置，其特征在于所述動子導(dǎo)向桿與動子伸出桿均為階梯軸狀，且動子導(dǎo)向桿頂部有螺紋結(jié)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明一種八桿冗余構(gòu)型六自由度振動主動控制裝置，包括上平臺、下平臺以及八個主動隔振機(jī)構(gòu)。上平臺與下平臺水平設(shè)置，上平臺與下平臺之間通過八個主動隔振機(jī)構(gòu)相連。主動隔振機(jī)構(gòu)包括上平臺柔性鉸鏈、動態(tài)力傳感器、音圈電機(jī)作動器、下平臺柔性鉸鏈。通過上述結(jié)構(gòu)的八桿冗余構(gòu)型振動主動控制平臺，具有六自由度運(yùn)動能力，可以進(jìn)行全方位的振動隔離和抑制。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于通過八根音圈電機(jī)作動器伸縮運(yùn)動，上平臺可實(shí)現(xiàn)三自由度平動和三自由度轉(zhuǎn)動運(yùn)動，且上平臺擁有安靜的工作環(huán)境，大大提高安裝在上平臺上的光學(xué)設(shè)備及激光設(shè)備的精度；且本發(fā)明響應(yīng)速度快、精度高、可靠性好。
文檔編號H02K33/02GK102155516SQ20111002564
公開日2011年8月17日 申請日期2011年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月24日
發(fā)明者崔龍, 張澤, 王海強(qiáng), 黃海 申請人:北京航空航天大學(xué)