陶瓷毛細管放電裝置的制造方法
【專利摘要】陶瓷毛細管放電裝置，涉及陶瓷毛細管放電技術，為了解決陶瓷毛細管與管座不能緊密配合造成工作失常的問題。該裝置包括陶瓷毛細管和兩個管座，兩個管座的結構相同，管座為圓筒，圓筒的一端同時設有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細管的兩端均通過圓板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛細管與小孔之間的空隙充滿702膠。本實用新型的管座與陶瓷毛細管固化成一體，不會出現(xiàn)打穿現(xiàn)象，本實用新型適用于在大電流快脈沖時放電。
【專利說明】
陶瓷毛細管放電裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及陶瓷毛細管放電技術。
【背景技術】
[0002]毛細管放電Z箍縮極紫外光技術(DPP技術)基本工作原理就是在直徑為的陶瓷毛細管兩端加上大電流(>10KA)快脈沖(<120ns)放電，在工作氣體氙(Xe)上產(chǎn)生強電磁場，使工作介質(zhì)電離，在管壁附近首先形成等離子體，在勞倫茲力作用下等離子體向軸心運動，稱為Z箍縮。在箍縮同時產(chǎn)生歐姆加熱，產(chǎn)生高溫，從而使工作介質(zhì)氣體產(chǎn)生高價電離。離子復合過程產(chǎn)生極紫外光輻射，對Xe介質(zhì)，Xe十價離子可以產(chǎn)生13.5nm極紫外光，所以技術的核心是毛細管在大電流快脈沖時放電。
[0003]在結構上，加工出的陶瓷毛細管需放置在一個座上，放置在放電室中，并在毛細管兩端加裝電極。陶瓷毛細管放置在管座上的安置技術有很大的意義，如何做到緊密配合是研究的重點，通過大量實驗發(fā)現(xiàn)，經(jīng)常在工作中有打穿現(xiàn)象，即在毛細管管壁與管座間某一極小區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生打火，而在毛細管管壁上燒出一微小的孔，孔內(nèi)有碳化現(xiàn)象，存在這一小損傷的情況下在大電流快脈沖放電時，便形成了一個旁路通道，使毛細管內(nèi)放電電流大大衰減，造成工作失常。為此陶瓷毛細管與管座之間耦合，便是正常工作的一個極大的瓶頸。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型是為了解決陶瓷毛細管與管座不能緊密配合造成工作失常的問題，從而提供陶瓷毛細管放電裝置。
[0005]本實用新型所述的陶瓷毛細管放電裝置，包括陶瓷毛細管和兩個管座，兩個管座的結構相同，管座為圓筒，圓筒的一端同時設有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細管的兩端均通過圓板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛細管與小孔之間的空隙充滿702膠。
[0006]陶瓷毛細管與管座接觸表面加工上要求表面粗糙度要低，但是陶瓷毛細管是一次成型的，不能再機械加工，也就是表面粗糙度無法通過再機械加工降低粗糙度。管座的材料通常較軟，也不可能降低加工的粗糙度。但是兩者表面粗糙度要求做到盡量好。
[0007]在這樣條件下，無論兩者如何緊密配合，兩者接觸表面總會留有細微的縫隙，在真空中，抽真空難以將殘存的空氣排除凈，也就是在兩者接觸面處，真空度難以做到很高。只要有一點小的縫隙，就會殘留稀薄的空氣，這就是造成做為絕緣介質(zhì)的管座與毛細管管壁間中間有斷層，由高絕緣介質(zhì)管座，經(jīng)過空氣層的低絕緣介質(zhì)再到毛細管陶瓷管壁的高絕緣介質(zhì)，電磁場在接觸面處有突變，因而會造成場強有突變，這一突變便成為導致打穿的主要原因。
[0008]基于以上分析，就要求陶瓷毛細管安裝到管座上時兩接觸面間不允許有空氣層，為此本實用新型提出，在安裝配合時，用填充物填充在兩接觸面間，使管座與陶瓷毛細管固化成一體，用填充物排除接觸面夾層中的殘余空氣，本實用新型采用702膠填充，毛細管在長期工作中，陶瓷毛細管和管座接觸面處都沒再出現(xiàn)打穿的現(xiàn)象，工作實現(xiàn)了穩(wěn)定。
[0009]本實用新型適用于在大電流(>10KA)快脈沖(<120ns)時放電。
【附圖說明】
[0010]圖1是【具體實施方式】一所述的陶瓷毛細管放電裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011 ]【具體實施方式】一:參照圖1具體說明本實施方式，本實施方式所述的陶瓷毛細管放電裝置，包括陶瓷毛細管I和兩個管座2，兩個管座2的結構相同，管座2為圓筒，圓筒的一端同時設有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細管I的兩端均通過圓板中心的小孔固定在管座2上，陶瓷毛細管I與小孔之間的空隙充滿702膠。
[0012]【具體實施方式】二:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的陶瓷毛細管放電裝置作進一步說明，本實施方式中，管座2為聚四氟乙稀座。
[0013]聚四氟乙稀座耐高溫、耐腐蝕、電絕緣性好。
[0014]【具體實施方式】三:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的陶瓷毛細管放電裝置作進一步說明，本實施方式中，小孔的外圍設有一圈凹槽，凹槽的一端延伸至小孔。
[0015]由凹槽處滴落702膠，不僅方便滴膠，同時可保證陶瓷毛細管I與小孔無空隙粘接。
【主權項】
1.陶瓷毛細管放電裝置，其特征在于，包括陶瓷毛細管(I)和兩個管座(2)，兩個管座(2)的結構相同，管座(2)為圓筒，圓筒的一端同時設有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細管(I)的兩端均通過圓板中心的小孔固定在管座(2)上，陶瓷毛細管(I)與小孔之間的空隙充滿702膠。2.根據(jù)權利要求1所述的陶瓷毛細管放電裝置，其特征在于，管座(2)為聚四氟乙稀座。3.根據(jù)權利要求1或2所述的陶瓷毛細管放電裝置，其特征在于，小孔的外圍設有一圈凹槽，凹槽的一端延伸至小孔。
【文檔編號】H01J17/18GK205645745SQ201620519252
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月31日
【發(fā)明人】趙永蓬, 徐強, 王騏
【申請人】哈爾濱工業(yè)大學