紅光微發(fā)光二極管的形成方法、制造方法、背板及電子設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種紅光微發(fā)光二極管的形成方法、制造方法、背板及電子設(shè)備。該方法包括：在激光透明的承載襯底上形成基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，其中，基礎(chǔ)微發(fā)光二極管是藍色或綠色微發(fā)光二極管；將基礎(chǔ)微發(fā)光二極管附著到顯示背板上；使用激光從承載襯底側(cè)照射基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，以剝離基礎(chǔ)微發(fā)光二極管襯底；將基礎(chǔ)微發(fā)光二極管接合到顯示背板；以及在基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉，以形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。根據(jù)本發(fā)明的方法，可以通過較簡單的方式形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管。
【專利說明】
紅光微發(fā)光二極管的形成方法、制造方法、背板及電子設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的方法、制造顯示背板的方法、顯示背板及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在顯示技術(shù)領(lǐng)域，由于微發(fā)光二極管在對比度、響應(yīng)速度、重量輕、體積薄、柔性等方面具有顯著的優(yōu)勢，它已經(jīng)獲得了非常關(guān)注和應(yīng)用。但是，微發(fā)光二極管的壽命、價格及防水性等要求也令它的應(yīng)用受到限制。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，通常使用加熱的方式將微發(fā)光二極管從生長襯底上轉(zhuǎn)移到顯示背板上。在轉(zhuǎn)移過程中，需要至少兩次加熱以將微發(fā)光二極管從生長襯底轉(zhuǎn)移到顯示背板。這對微發(fā)光二極管的性能會產(chǎn)生不利影響。
[0004]此外，還可以通過靜電拾取的方式來轉(zhuǎn)移微發(fā)光二極管。但是，靜電拾取系統(tǒng)對拾取和放置襯底的平整度和潔凈程度等都有很高的要求。這種高要求會增加制造成本。
[0005]還可以通過激光剝離的方式來轉(zhuǎn)移微發(fā)光二極管。
[0006]—般來說，藍光和綠光微發(fā)光二極管的生長襯底是A1203(即藍寶石襯底)，它是透明的。因此，可以直接利用激光剝離將這些微發(fā)光二極管從生長襯底轉(zhuǎn)移到顯示背板。然而，紅光微發(fā)光二極管的生長襯底是GaAs襯底，它是不透明的。因此，在將紅光微發(fā)光二極管從生長襯底轉(zhuǎn)移到顯示背板的過程中無法直接利用激光剝離技術(shù)。紅光微發(fā)光二極管在被接合到顯示背板上之前通常需要通過加熱的方式來執(zhí)行至少一次轉(zhuǎn)移。這使得紅光微發(fā)光二極管的良率較低。
[0007]因此，需要對現(xiàn)有技術(shù)進行改進，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的至少一個問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的一個目的是提供一種用于形成微發(fā)光二級管的新技術(shù)方案。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的方法。該方法包括:在激光透明的承載襯底上形成基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，其中，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管是藍色或綠色微發(fā)光二極管;將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管附著到顯示背板上;使用激光從承載襯底側(cè)照射所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，以剝離所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管;將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管接合到顯示背板；以及在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉，以形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。
[0010]優(yōu)選地，在顯示背板上形成杯碗結(jié)構(gòu)，其中，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管在所述杯碗結(jié)構(gòu)中被接合在顯示背板上。
[0011 ]優(yōu)選地，紅色熒光粉被填充在所述杯碗結(jié)構(gòu)中。
[0012]優(yōu)選地，所述杯碗結(jié)構(gòu)的深度等于所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的高度與紅色熒光粉的厚度之和。
[0013]優(yōu)選地，該方法還包括:在承載襯底上，在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的周圍與所述杯碗結(jié)構(gòu)的側(cè)壁對應(yīng)的位置處形成凹槽，其中，該凹槽使得能夠?qū)⒒A(chǔ)微發(fā)光二極管在所述杯碗結(jié)構(gòu)中被接合到顯示背板上，而不會使得所述承載襯底與所述杯碗結(jié)構(gòu)發(fā)生相互妨礙。
[0014]優(yōu)選地，該方法還包括:在顯示背板上形成藍色微發(fā)光二極管和綠色微發(fā)光二極管，其中所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的尺寸大于所述藍色微發(fā)光二極管或綠色微發(fā)光二極管的尺寸。
[0015]優(yōu)選地，所述紅色熒光粉被包含在紅色熒光粉膠中，并且在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉膠。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種制造顯示背板的方法，包括使用根據(jù)本發(fā)明的形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的方法在顯示背板上形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供了一種顯示背板，其中，該顯示背板是根據(jù)本發(fā)明的制造顯示背板的方法被制造的。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供了一種電子設(shè)備，包括根據(jù)本發(fā)明的顯示背板。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比，根據(jù)本發(fā)明，可以通過較簡單的方式形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管。
[0020]通過以下參照附圖對本發(fā)明的示例性實施例的詳細描述，本發(fā)明的其它特征及其優(yōu)點將會變得清楚。
【附圖說明】
[0021]被結(jié)合在說明書中并構(gòu)成說明書的一部分的附圖示出了本發(fā)明的實施例，并且連同其說明一起用于解釋本發(fā)明的原理。
[0022]圖1-6示意性地示出了將紅色微發(fā)光二極管從生長襯底轉(zhuǎn)移到顯示背板的過程。
[0023]圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的方法的示意流程圖。
[0024]圖8-9示出了用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的一個例子的示意圖。
[0025]圖10示出了用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的另一個例子的示意圖。
【具體實施方式】
[0026]現(xiàn)在將參照附圖來詳細描述本發(fā)明的各種示例性實施例。應(yīng)注意到:除非另外具體說明，否則在這些實施例中闡述的部件和步驟的相對布置、數(shù)字表達式和數(shù)值不限制本發(fā)明的范圍。
[0027]以下對至少一個示例性實施例的描述實際上僅僅是說明性的，決不作為對本發(fā)明及其應(yīng)用或使用的任何限制。
[0028]對于相關(guān)領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的技術(shù)、方法和設(shè)備可能不作詳細討論，但在適當(dāng)情況下，所述技術(shù)、方法和設(shè)備應(yīng)當(dāng)被視為說明書的一部分。
[0029]在這里示出和討論的所有例子中，任何具體值應(yīng)被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制。因此，示例性實施例的其它例子可以具有不同的值。
[0030]應(yīng)注意到:相似的標(biāo)號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進行進一步討論。
[0031]下面，參照附圖來描述根據(jù)本發(fā)明的各個實施例和例子。
[0032]為了方便說明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面，首先參照圖1-6說明將紅色微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到顯示背板上的過程。
[0033]如圖1所示，首先在GaAs襯底I上生成紅色微發(fā)光二極管2AaAs襯底是不透明的。因此，不能夠直接利用激光剝離的方式將所生成的紅色微發(fā)光二極管2轉(zhuǎn)移到顯示背板。需要首先將紅色微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到激光透明的轉(zhuǎn)移襯底上，才能夠使用激光剝離技術(shù)。所述轉(zhuǎn)移襯底例如是藍寶石襯底。
[0034]如圖2所示，通過接合層3將紅色微發(fā)光二極管2結(jié)合到激光透明的轉(zhuǎn)移襯底4上。
[0035]如圖3所示，從生長襯底I剝離紅色微發(fā)光二極管2，從而將紅色微發(fā)光二極管2轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移襯底4。在這個剝離過程中，通常需要對微發(fā)光二極管2進行加熱，這會對微發(fā)光二極管的性能造成不利影響。
[0036]如圖4所示，通過接合層6將轉(zhuǎn)移襯底4上的紅色微發(fā)光二極管2接合到顯示背板5。
[0037]如圖5所示，可以通過激光剝離，將紅色微發(fā)光二極管2從轉(zhuǎn)移襯底4剝離，從而將紅色微發(fā)光二極管2轉(zhuǎn)移到顯示背板。
[0038]如圖6所示，可以對顯示背板5上的紅色微發(fā)光二極管2進行后續(xù)處理，例如，對接合層6進行蝕刻以分離各個紅色微發(fā)光二極管2。
[0039]上面參照圖1-6示意性地說明了將紅色微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到顯示背板的過程。由于一般在不透明的襯底上生成紅色微發(fā)光二極管，因此，在轉(zhuǎn)移紅色微發(fā)光二極管的過程中，很難直接利用激光剝離。由于在轉(zhuǎn)移過程中需要使用加熱的方式，因此，這會對微發(fā)光二極管的性能產(chǎn)生不利影響。
[0040]圖7是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的方法的示意流程圖。
[0041]在這個實施例中，通過使用藍色或綠色微發(fā)光二極管結(jié)合紅色熒光粉來形成發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管，這可以避免在不透明的襯底上形成微發(fā)光二極管。通過這個方式，可以更加充分地利用激光剝離技術(shù)所帶來的好處。
[0042]如圖7所示，在步驟S1100，在激光透明的承載襯底上形成基礎(chǔ)微發(fā)光二極管。所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管是藍色或綠色微發(fā)光二極管。優(yōu)選地，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管是藍色微發(fā)光二極管。
[0043]例如，可以直接在承載襯底上生長所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管。在種情況下，利用本發(fā)明的技術(shù)方案，可以只經(jīng)過一次這激光剝離而將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到顯示背板上。可選地，也可以在另外的激光透明的襯底上生長所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，接著將所述生長的基礎(chǔ)微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移到承載襯底上，然后將基礎(chǔ)微發(fā)光二極管從承載襯底轉(zhuǎn)移到顯示背板。
[0044]在步驟S1200，將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管附著到顯示背板上。
[0045]在步驟S1300，使用激光從承載襯底側(cè)照射所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，以剝離所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管。
[0046]在步驟S1200和S1300中，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管沒有被接合到顯示背板上。但是，當(dāng)將某些基礎(chǔ)微發(fā)光二極管從承載襯底剝離時，所述附著力足以使得所剝離的基礎(chǔ)微發(fā)光二極管脫離所述承載襯底，而不會使得未剝離的基礎(chǔ)微發(fā)光二極管脫離所述承載襯底。
[0047]例如，可以加熱顯示背板，使得它上面的接合層熔化。利用接合層的表面張力使得所剝離的基礎(chǔ)微發(fā)光二極管脫離所述承載襯底。
[0048]此外，為了提高剝離的效果，還可以利用非接觸的作用力。
[0049]例如，利用重力、靜電力或電磁力來幫助剝離所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管。
[0050]在利用靜電力的情況下，可以通過顯示背板側(cè)的接墊(焊盤)施加靜電力，從而幫助所述剝離。
[0051]在利用電磁力的情況下，可以從顯示背板側(cè)施加電磁力來幫助所述剝離。為了進一步增加剝離的效果，可以在所形成的基礎(chǔ)微發(fā)光二極管中添加磁性材料。
[0052]在步驟S1400，將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管接合到顯示背板。
[0053]在步驟S1500，在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉，以形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。
[0054]例如，所述紅色熒光粉被包含在紅色熒光粉膠中。在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉膠。
[0055]為了防止熒光粉對其他顏色的微發(fā)光二極管的影響，可以在顯示背板上形成杯碗結(jié)構(gòu)。所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管在所述杯碗結(jié)構(gòu)中被接合在顯示背板上。紅色熒光粉被填充在所述杯碗結(jié)構(gòu)中。此外，在顯示背板上形成碗杯結(jié)構(gòu)，這有利于光線的會聚，從而提升顯不光效并降低功耗。
[0056]例如，所述杯碗結(jié)構(gòu)的深度等于所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的高度與紅色熒光粉的厚度之和。
[0057]為了減小將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管放置到所述杯碗結(jié)構(gòu)中時杯碗結(jié)構(gòu)與承載襯底之間的相互影響，還可以在承載襯底上預(yù)先形成凹槽。例如，在承載襯底上，在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的周圍與所述杯碗結(jié)構(gòu)的側(cè)壁對應(yīng)的位置處形成凹槽。該凹槽使得能夠?qū)⒒A(chǔ)微發(fā)光二極管在所述杯碗結(jié)構(gòu)中被接合到顯示背板上，而不會使得所述承載襯底與所述杯碗結(jié)構(gòu)發(fā)生相互妨礙。
[0058]另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)能夠想到，在預(yù)先在顯示背板上形成杯碗結(jié)構(gòu)的情況下，在安裝藍色微發(fā)光二極管和綠色微發(fā)光二極管時，也可以在它們的承載襯底上形成所述凹槽，以避免承載襯底與杯碗結(jié)構(gòu)發(fā)生相互妨礙。藍色微發(fā)光二極管和綠色微發(fā)光二極管不是本發(fā)明所針對的，因此，在這里不再進行討論。
[0059]另外，在顯示背板上還形成藍色微發(fā)光二極管和綠色微發(fā)光二極管，用于發(fā)射藍光和綠光。由于在這里使用藍色或綠色微發(fā)光二極管激發(fā)紅色熒光粉來產(chǎn)生紅光，這種紅光的亮度可能會低于紅色微發(fā)光二極管所產(chǎn)生的亮度。因此，為了提高顯示的均勻性，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的尺寸大于所述藍色微發(fā)光二極管或綠色微發(fā)光二極管的尺寸。這種大尺寸的基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的良率更高。
[0060]通過本實施例的技術(shù)方案，提供了一種與現(xiàn)有技術(shù)完全不同的形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管的方式。
[0061]通過本實施例的技術(shù)方案，可以避免在將紅色微發(fā)光二極管接合到顯示背板之前的二次微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移。這有利于提高生產(chǎn)良率。另外，這種方式也能實現(xiàn)更可靠的量產(chǎn)。
[0062]由于可以避免在將紅色微發(fā)光二極管接合到顯示背板之前的二次微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移，因此，通過本實施例的技術(shù)方案，可以有效減少生產(chǎn)工藝步驟，降低工藝要求。這節(jié)省了成本；
[0063]根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，還提供了一種制造顯示背板的方法。該方法包括使用上面參照圖7描述的方法在顯示背板上形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。
[0064]根據(jù)本發(fā)明的又一個實施例，還提供了一種顯示背板。該顯示背板是使用前面所述的制造顯示背板的方法被制造的。該顯示背板是顯示器的顯示背板。
[0065]根據(jù)本發(fā)明的再一個實施例，還提供了一種電子設(shè)備。該電子設(shè)備包括前面所述的顯示背板。該電子設(shè)備例如可以是電腦、電視等需要顯示屏的電子設(shè)備。
[0066]圖8-9示出了用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的一個例子的示意圖。
[0067]如圖8所示，承載襯底11上形成有藍色(或綠色)微發(fā)光二極管15。將微發(fā)光二極管15與顯示背板12上的接墊17對準。按照圖8中箭頭所示的方向，將微發(fā)光二極管15放置到顯示背板12上。
[0068]在顯示背板12上可以預(yù)先形成杯碗結(jié)構(gòu)16。微發(fā)光二極管15被放置在杯碗結(jié)構(gòu)16中。
[0069]通過激光剝離的方式從承載襯底11剝離微發(fā)光二極管15。將微發(fā)光二極管15接合(鍵合)到顯示背板12。
[0070]顯示背板12上還可以包括藍色微發(fā)光二極管13和綠色微發(fā)光二極管14。
[0071]如圖9所示，在將微發(fā)光二極管15放置在杯碗結(jié)構(gòu)16中并將它接合到顯示背板12上之后，在杯碗結(jié)構(gòu)16中填充紅色熒光粉(紅色熒光粉膠)，從而形成能夠發(fā)射紅光的紅色焚光粉微發(fā)光二極管。
[0072]圖10示出了用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的另一個例子的示意圖。
[0073]圖10的例子與圖8和9的例子的區(qū)別在于，預(yù)先在承載襯底11上形成凹槽19。例如，凹槽19位于微發(fā)光二極管15的周圍并與杯碗結(jié)構(gòu)16的側(cè)壁對應(yīng)。該凹槽19使得能夠?qū)⑽l(fā)光二極管15在杯碗結(jié)構(gòu)16中被接合到顯示背板12上，而不會使得承載襯底11與杯碗結(jié)構(gòu)16發(fā)生相互妨礙。
[0074]圖10的例子中的其他處理與圖8和9的例子中的類似，因此，在這里不再重復(fù)描述。
[0075]雖然已經(jīng)通過例子對本發(fā)明的一些特定實施例進行了詳細說明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，以上例子僅是為了進行說明，而不是為了限制本發(fā)明的范圍。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，可在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，對以上實施例進行修改。本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求來限定。
【主權(quán)項】
1.一種用于形成能發(fā)射紅光的微發(fā)光二極管的方法，包括: 在激光透明的承載襯底上形成基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，其中，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管是藍色或綠色微發(fā)光二極管； 將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管附著到顯示背板上； 使用激光從承載襯底側(cè)照射所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管，以剝離所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管； 將所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管接合到顯示背板；以及 在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉，以形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，包括: 在顯示背板上形成杯碗結(jié)構(gòu)； 其中，所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管在所述杯碗結(jié)構(gòu)中被接合在顯示背板上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，紅色熒光粉被填充在所述杯碗結(jié)構(gòu)中。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，所述杯碗結(jié)構(gòu)的深度不小于所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的高度與紅色熒光粉的厚度之和。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，還包括: 在承載襯底上，在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的周圍與所述杯碗結(jié)構(gòu)的側(cè)壁對應(yīng)的位置處形成凹槽，其中，該凹槽使得能夠?qū)⒒A(chǔ)微發(fā)光二極管在所述杯碗結(jié)構(gòu)中被接合到顯示背板上，而不會使得所述承載襯底與所述杯碗結(jié)構(gòu)發(fā)生相互妨礙。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括: 在顯示背板上形成藍色微發(fā)光二極管和綠色微發(fā)光二極管，其中所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管的尺寸大于所述藍色微發(fā)光二極管或綠色微發(fā)光二極管的尺寸。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述紅色熒光粉被包含在紅色熒光粉膠中，并且在所述基礎(chǔ)微發(fā)光二極管上覆蓋紅色熒光粉膠。8.—種制造顯示背板的方法，包括使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法在顯示背板上形成能發(fā)射紅光的紅色熒光粉微發(fā)光二極管。9.一種顯示背板，其中，該顯示背板是使用根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法被制造的。10.—種電子設(shè)備，包括根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯示背板。
【文檔編號】H01L33/50GK105826435SQ201610280001
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年4月28日
【發(fā)明人】侯風(fēng)超
【申請人】歌爾聲學(xué)股份有限公司