)在50至100 Mm的范圍內(nèi)，其中分隔壁20的高度為大約10 mm。在加熱期間，分隔壁20的材料隨著平均間隙高度的減少而發(fā)生相對較大地膨脹(圖5B)。例如，隨著分隔壁20加熱至T=450°C的溫度(溫差400°C )，分隔壁20的豎直尺寸方面的變化達(dá)到大約40 Mffl，使得間隙23的平均間隙高度下降到10至50 Mm范圍內(nèi)的值，即起始值的最大50%。
[0064]在這種情況下，，處理空間21的高度由于熱膨脹的放大必須少于間隙23。這個目的的實(shí)現(xiàn)在于例如，圖2中的處理空間21的材料由石英玻璃(5X10_7 /K的熱膨脹系數(shù))或另一具有小于1X10—6 /K的熱膨脹系數(shù)的材料組成?；蛘撸绺鶕?jù)圖1的配置中所示，殼體3的高度可通過側(cè)壁7的溫度控制而保持恒定不變。
[0065]圖5C和圖描繪了參照分隔壁20的視圖的一種變體。為了避免不必要的重復(fù)，只解釋相對于圖5A和圖5B的差異，并且其它方面可參考這里所作的說明。相應(yīng)地，帶狀分隔壁20從底壁5延伸至頂壁6，其中一個或多個豎直間隙23以分隔壁20的裂口形式來實(shí)現(xiàn)。在水平方向上所測量的間隙寬度在50至100 Mm的范圍內(nèi)(圖5C)。通過定制兩個間隙23之間的分隔壁區(qū)域的尺寸，使之大于高度10 m，從而在分隔壁20加熱至例如T=450°C的溫度的情況下可獲得相對更大的行程，其可能達(dá)到例如若干個100 Mm。具體地說，間隙23的總的開口面積可減少至例如起始值的最大50%。
[0066]圖5E和圖5F描繪了參照分隔壁20的視圖的另一變體。為了避免不必要的重復(fù)，同樣只解釋相對于圖5A和圖5B的差異，并且其它方面可參考這里所作的說明。相應(yīng)地，提供了多個圓孔27以替代間隙23，其在各種情況下以分隔壁20的穿孔形式來實(shí)現(xiàn)。從分隔壁20的溫度為例如T=150°C的情形開始(圖5E)，圓孔37的開口直徑的減少可通過加熱分隔壁20至例如T=450°C的溫度來實(shí)現(xiàn)(圖5F)。具體地說，圓孔27的整個開口面積可減少至例如起始值的最大50%。
[0067] 標(biāo)號列表:
I裝置 2物體 3殼體 4殼體壁 5底壁 6頂壁 7側(cè)壁 8殼體開口 9密封件 10加熱裝置 11中空的空間 12輻射式加熱器 13，13’冷卻劑連接件 14冷卻裝置
15閥
16氣體通道
17氣體連接件
18抽空裝置
19供氣裝置 20分隔壁 21處理空間 22中間空間
23間隙
24槽口
25開口面積
26內(nèi)表面
27圓孔
28核心區(qū)域
29邊緣區(qū)域。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于對物體(2)，尤其帶涂層的襯底進(jìn)行熱處理的裝置(I)，其具有尤其可氣密性密封的殼體(3)，所述殼體(3)封閉了中空的空間(11)，其中所述中空的空間(11)具有分隔壁(20)，通過所述分隔壁，所述中空的空間(11)被分隔成用于容納所述物體(2)的處理空間(21)，以及中間空間(22)，其中所述分隔壁(20)具有一個或多個開口(23，24)，所述一個或多個開口(23，24)被實(shí)現(xiàn)成使得所述分隔壁(20)用作阻礙所述處理空間(21)中由于所述物體(2)的熱處理而產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)從所述處理空間(21)擴(kuò)散到所述中間空間(22)中的阻隔，其中所述殼體(3)具有與在用于對其進(jìn)行主動冷卻的冷卻裝置(14)聯(lián)接的至少一個殼體部段(9)，其中所述分隔壁(20)設(shè)置在所述物體(2)和所述可冷卻的殼體部段(9)之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置(I)，其特征在于，所述分隔壁(20)被實(shí)現(xiàn)成使得熱處理期間的氣態(tài)物質(zhì)的質(zhì)量損失少于50%，優(yōu)選少于20%，更優(yōu)選少于10%，其中由所述一個或多個開口(23，24)的總的開口面積(25)除以所述處理空間(21)的內(nèi)表面(26)而形成的面積比在5 X 10_5至5 X 10 _4范圍內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，所述分隔壁(20)包含的材料具有的熱膨脹系數(shù)使得所述一個或多個開口(23，24)的總的開口面積(25)在熱處理期間由于加熱所述分隔壁(20)而減少至熱處理之前的總的開口面積(25)的最大50%，優(yōu)選最大30%，更優(yōu)選最大10%。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置(I)，其特征在于，所述分隔壁(20)包含熱膨脹系數(shù)大于5 X KT6IT1的材料。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，所述殼體(3)由熱膨脹系數(shù)小于5 X ΙΟΙ—1的材料制成，例如石英玻璃。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，包括用于加熱所述處理空間(21)以便對所述物體(2)進(jìn)行熱處理的加熱裝置(10)，并且/或者所述殼體(3)包括被實(shí)現(xiàn)成使得所述物體可通過沖擊在所述殼體上的電磁熱輻射而進(jìn)行熱處理的至少一個殼體部段(5，6)，并且/或者所述殼體(3)具有聯(lián)接在用于加熱所述處理空間(21)的加熱裝置(12)上的至少一個殼體部段(5，6)。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，所述分隔壁(20)設(shè)置在所述中空的空間(11)的較熱的區(qū)域(28)和至少一個較冷的區(qū)域(29)之間。8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，聯(lián)接在冷卻裝置(14)上的所述殼體部段(9)具有可密封的氣體通道(16)，其通向所述中間空間(22)，以用于除去/供給至少一種氣態(tài)物質(zhì)。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，聯(lián)接在冷卻裝置(14)上的殼體部段(9)是所述殼體(3)的側(cè)壁部段(7)，其包括尤其密封件(9)，用于密封殼體開口⑶。10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一權(quán)項(xiàng)所述的裝置(I)，其特征在于，所述分隔壁(20)并不到達(dá)殼體壁￠)，其中在所述分隔壁(20)和所述殼體壁(6)之間保留了開口，尤其間隙(23)。11.分隔壁(20)在用于對物體(2)進(jìn)行熱處理的裝置(I)的尤其可氣密性密封的殼體(3)中的一種用途，其中所述殼體(3)封閉了中空的空間(11)，所述中空的空間(11)通過所述分隔壁(20)而被分隔成用于容納所述物體(2)的處理空間(21)，以及中間空間(22)，其中所述殼體(3)具有聯(lián)接在用于對其進(jìn)行主動冷卻的冷卻裝置(14)上的至少一個殼體部段(9)，其中所述分隔壁(20)設(shè)置在所述物體(2)和所述可冷卻的殼體部段(9)之間，并且所述分隔壁(20)具有一個或多個開口(23，24)，所述一個或多個開口(23，24)被實(shí)現(xiàn)成使得所述分隔壁(20)用作阻礙所述處理空間(21)中由于所述物體(2)的熱處理而產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)從所述處理空間(21)擴(kuò)散到所述中間空間(22)中的阻隔。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的用途，其特征在于，所述分隔壁(20)被實(shí)現(xiàn)成使得熱處理期間的氣態(tài)物質(zhì)的質(zhì)量損失少于50%，優(yōu)選少于20%，更優(yōu)選少于10%，其中所述分隔壁(20)被實(shí)現(xiàn)成使得由所述一個或多個開口(23，24)的總的開口面積(25)除以所述處理空間(21)的內(nèi)表面(26)而形成的面積比在5 X 10_5至5 X 10 _4范圍內(nèi)。13.根據(jù)權(quán)利要求11或12中的任一權(quán)項(xiàng)所述的用途，其特征在于，所述分隔壁(20)具有的熱膨脹系數(shù)使得所述一個或多個開口(23，24)的總的開口面積(25)在所述物體(2)的熱處理期間由于加熱所述分隔壁而減少至熱處理之前的總的開口面積的最大50%，優(yōu)選最大30%，更優(yōu)選最大10%，其中所述分隔壁(20)包含尤其具有超過5 X KT6IT1的熱膨脹系數(shù)的材料。14.一種用于對物體(2)，尤其帶涂層的襯底進(jìn)行熱處理的方法，其具有以下步驟: -將物體引入到尤其可氣密性密封的殼體(3)的中空的空間(11)中，其中所述中空的空間被分隔壁(20)分隔成容納所述物體的處理空間(21)，以及中間空間(22)，所述分隔壁(20)具有一個或多個開口(23，24)， -對所述物體(2)進(jìn)行熱處理，其中所述分隔壁(20)用作阻礙所述處理空間(21)中由于所述物體(2)的熱處理而產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)從所述處理空間(21)擴(kuò)散到所述中間空間(22)中的阻隔， -在所述物體的熱處理期間冷卻限定了所述中間空間(22)的至少一個殼體部段(9)。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述處理空間(21)通過從所述中間空間(22)除去至少一種氣態(tài)物質(zhì)而被抽空，并且/或者通過引入到所述中間空間(22)中而將至少一種氣態(tài)物質(zhì)輸送給所述處理空間(21)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于對物體，尤其帶涂層的襯底進(jìn)行熱處理的裝置，其具有尤其可氣密性密封的殼體，殼體封閉了中空的空間，其中中空的空間具有分隔壁，通過該分隔壁將中空的空間分隔成用于容納物體的處理空間，以及中間空間，其中分隔壁具有一個或多個開口，開口被實(shí)現(xiàn)成使得分隔壁用作阻礙處理空間中由于物體的熱處理而產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)從處理空間擴(kuò)散到中間空間中的阻隔。殼體具有聯(lián)接在用于對其進(jìn)行主動冷卻的冷卻裝置上的至少一個殼體部段，其中分隔壁設(shè)置在物體和可冷卻的殼體部段之間。本發(fā)明還涉及在用于對物體進(jìn)行熱處理的裝置中使用分隔壁作為擴(kuò)散阻隔，以及相對應(yīng)的用于對物體進(jìn)行熱處理的方法。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN104919580
【申請?zhí)枴緾N201380046837
【發(fā)明人】M.費(fèi)爾芬格, S.喬斯特, J.帕爾姆
【申請人】法國圣戈班玻璃廠
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2013年7月9日
【公告號】EP2870624A1, US20150206781, WO2014009388A1