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用于管板式橫流氣體激光器的新型電極板的制作方法

文檔序號(hào):6810929閱讀:752來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:用于管板式橫流氣體激光器的新型電極板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型是一種適用于管板式橫流氣體激光器的新型電極板。
已有技術(shù)管板式橫流CO2激光器的陽(yáng)極板多數(shù)是以專利USP3,772,610為基礎(chǔ)發(fā)展而成的,參見(jiàn)專利CN1049575A《脈沖予電離管-條電極》。該專利中陽(yáng)極板是將一塊塊銅質(zhì)的陽(yáng)極條2固定于一絕緣板3上,然后陽(yáng)極條2之間填上水泥填料1,表面磨光打平。陽(yáng)極條的背而與絕緣板之間有一通水的水冷方銅管以便對(duì)陽(yáng)極條進(jìn)行冷卻,陽(yáng)極條和水冷方銅管4之間隔了一層絕緣薄膜5,如圖1所示。這種陽(yáng)極板的主要問(wèn)題是在放電起弧時(shí),陽(yáng)極板容易擊穿,表現(xiàn)為鄰近兩塊陽(yáng)極條之間燒壞水泥填料,燒壞陽(yáng)極條與水冷銅管之間的絕緣薄膜,以及燒損絕緣板,陽(yáng)極板壽命短而嚴(yán)重地影響了激光器的正常運(yùn)行。
本實(shí)用新型的日的是為了克服上述陽(yáng)極板所存的缺點(diǎn),提供一種新型電極板能夠消除電極條之間,電極條與水冷方管之間的擊穿,以利提高激光器運(yùn)行的可靠性。
本實(shí)用新型的電極板含有置于絕緣板11凹槽內(nèi)的水冷方管14,緊靠水冷方管14的平表面上置放著多根平行排列的電極條8,兩兩電極條8之間填滿著絕緣填料6,電極條8的外表面9與絕緣填料6的外表而構(gòu)成一光滑的平面。電極條8除露在外面的外表而9以外,其它三個(gè)接觸而7、10、12均包有絕緣薄膜13。也就是說(shuō),每個(gè)電極條8與絕緣填料6的接觸面7、12、和每個(gè)電極條8與水冷方管14及絕緣板11的接觸而10上均包有絕緣薄膜13。
所說(shuō)的絕緣薄膜13是耐高壓的薄膜,通常要求絕緣薄膜13的絕緣強(qiáng)度B大于電極條8對(duì)地電壓Vd的兩倍,即B>2Vd。且要求三個(gè)接觸面7、10、12的絕緣強(qiáng)度B均勻,無(wú)局部絕緣缺陷。
為了使電極條8上所產(chǎn)生的熱量能夠很快地傳遞到水冷方管14而被水流帶走,達(dá)到冷卻效果,要求絕緣薄膜13既要達(dá)到上述絕緣強(qiáng)度B的要求,又要求導(dǎo)熱系數(shù)盡量的大,而且要求厚度要盡量的薄。
所說(shuō)的絕緣薄膜13可以采用耐高壓的聚脂薄膜或者其他耐高壓的薄膜,水冷方管14是銅管或者是其他導(dǎo)熱性能好的材料,絕緣填料6可以采用低價(jià)的水泥填料或者其他絕緣性能好的填料。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)由于在每塊電極條8的三個(gè)接觸而7、10、12均有耐高壓的絕緣薄膜13,加強(qiáng)了鄰近兩塊電極條8的絕緣強(qiáng)度,即使當(dāng)放電起弧引起鄰近兩塊電極條8之間的電位不平衡時(shí),也僅引起鄰近陽(yáng)極條8之間在流場(chǎng)表面的放電,而不會(huì)形成電極條8之間在絕緣填料6內(nèi)部氣體間隙的通道上放電,不會(huì)影響電極條與水冷方管的絕緣,不會(huì)燒損絕緣板。本新型從根本上消除了傳統(tǒng)電極板擊穿的問(wèn)題,提高了電極板的安全可靠性以致延長(zhǎng)了使用壽命。用于激光器上,可以使激光器長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行。


如下圖1是已有技術(shù)中陽(yáng)極板的剖視示意圖。
圖2是圖1的A-A而剖視圖。
圖3是本實(shí)用新型的電極板縱向剖視示意圖。
圖4是圖3的B-B面剖視圖。
實(shí)施例本實(shí)用新型用于10KW橫流CO2激光器的陽(yáng)極,該激光器件放電時(shí)電極條2上的對(duì)地電壓Vd為4000V,每塊電極條8上流過(guò)的電流Id為0.2A,絕緣薄膜13采用耐高壓的聚脂薄膜,絕緣薄膜13的耐壓B為9000V以上,其厚度為0.2mm,導(dǎo)熱系數(shù)在0.95~1.25(千卡/米·時(shí)·度)之間,絕緣填料6采用水泥填料。使用已有技術(shù)中的陽(yáng)極板,由于陽(yáng)極經(jīng)常擊穿,致使激光器件無(wú)法運(yùn)行。使用本實(shí)用新型的新型電極板激光器長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)行穩(wěn)定,未發(fā)生陽(yáng)極板擊穿的現(xiàn)象。
權(quán)利要求1.一種用于管板式橫流氣體激光器的新型電極板,含有置于絕緣板(11)凹槽內(nèi)的水冷方管(14),緊靠水冷方管(14)的平表面上置放著多根平行排列的電極條(8),兩兩電極條(8)之間填滿著絕緣填料(6),電極條(8)的外表面(9)與絕緣填料(6)的外表面構(gòu)成一光滑的平表面,其特征在于電極條(8)除露在外面的外表面(9)以外,其它三個(gè)接觸面(7)、(10)、(12)均包有耐高壓的均勻無(wú)絕緣缺陷的絕緣薄膜(13)。
2.依照權(quán)利要求1所述的一種新型電極板,其特征在于絕緣薄膜(13)的耐壓強(qiáng)度B大于電極條(8)對(duì)地電壓Vd的兩倍,即B>2Vd。
專利摘要一種用于管板式橫流氣體激光器的新型電極板,包括絕緣板上凹槽內(nèi)置有水冷方管,水冷方管上置放著多根平行排列的電極條,電極條之間填有絕緣填料,電極條除露在外面的外表面外,其它三個(gè)接觸面均包有耐高壓的絕緣薄膜,使用本新型的電極板安全可靠,壽命長(zhǎng),可以使激光器長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行。
文檔編號(hào)H01S3/038GK2232165SQ9524436
公開(kāi)日1996年7月31日 申請(qǐng)日期1995年7月12日 優(yōu)先權(quán)日1995年7月12日
發(fā)明者楊逸根, 查鴻逵, 王潤(rùn)文, 陸鴻飛, 黃捷 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
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