本公開涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，并且更為具體地，涉及一種晶片存儲器。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶片存儲器作為一種自動化存儲設(shè)備，通過與自動化物料搬運(yùn)系統(tǒng)的協(xié)同作業(yè)，實(shí)現(xiàn)晶片在不同工藝之間的流轉(zhuǎn)。晶片存儲器內(nèi)部設(shè)有存儲倉和交換室。存儲倉用于存放晶片盒。晶片盒可以從外部環(huán)境經(jīng)交換室送入存儲倉，也可以從存儲倉經(jīng)交換室送出到外部環(huán)境。然而，在以往的晶片存儲器中，晶片盒行進(jìn)路線較長，搬運(yùn)效率較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本公開提供一種晶片存儲器，以改善以往晶片盒送入和送出晶片存儲器時(shí)，搬運(yùn)效率低的問題。

2、該晶片存儲器包括存儲倉、交換室、內(nèi)窗板、內(nèi)窗框以及搬運(yùn)裝置。存儲倉用于存放晶片盒。晶片盒從外部環(huán)境經(jīng)交換室送入存儲倉，并且從存儲倉經(jīng)交換室送出到外部環(huán)境。內(nèi)窗板打開和關(guān)閉交換室與存儲倉交互的內(nèi)側(cè)窗口。當(dāng)內(nèi)側(cè)窗口打開時(shí)，晶片盒能夠經(jīng)內(nèi)側(cè)窗口在交換室和存儲倉之間移動。內(nèi)窗框包括與內(nèi)窗板形狀匹配的上框部，使得內(nèi)窗板相對內(nèi)窗框上升至與上框部接觸而關(guān)閉內(nèi)側(cè)窗口。搬運(yùn)裝置用于將晶片盒在存儲倉和交換室之間搬運(yùn)，搬運(yùn)裝置具有沿上下方向延伸的主軸線。在俯視視角下，內(nèi)窗板和上框部向背離主軸線的方向凹陷。

3、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在俯視視角下，內(nèi)窗板和上框部均具有向背離主軸線的方向凹陷的弧線的形狀。

4、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在俯視視角下，弧線為以主軸線為圓心的圓弧線。

5、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，交換室內(nèi)設(shè)有多個(gè)暫存臺，在俯視視角下，多個(gè)暫存臺沿著弧線間隔排列。

6、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在俯視視角下，多個(gè)暫存臺到弧線的距離相等。

7、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在俯視視角下，內(nèi)窗板和上框部均具有向背離主軸線的方向凹陷的多段線的形狀。

8、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，在俯視視角下，多段線的多個(gè)直線段到主軸線的距離相等。

9、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，交換室內(nèi)設(shè)有多個(gè)暫存臺，多段線包括多個(gè)直線段，多個(gè)暫存臺與多個(gè)直線段分別對應(yīng)。在俯視視角下，多個(gè)暫存臺沿著多段線間隔排列，并且每個(gè)暫存臺隔著對應(yīng)的直線段與主軸線相對。

10、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，每個(gè)暫存臺到對應(yīng)的直線段的距離相等。

11、作為一種可能的實(shí)現(xiàn)方式，交換室內(nèi)設(shè)有暫存臺。晶片存儲器還包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)。在內(nèi)側(cè)窗口打開的情況下，驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動暫存臺在第一位置和第二位置間移動。當(dāng)暫存臺位于第一位置時(shí)，晶片盒全部位于交換室內(nèi)。當(dāng)暫存臺位于第二位置時(shí)，晶片盒與搬運(yùn)裝置結(jié)合的部分跨過內(nèi)側(cè)窗口而伸入存儲倉內(nèi)。

12、本公開晶片存儲器中交換室的內(nèi)窗板和上框部向背離主軸線的方向凹陷，使得晶片盒通過搬運(yùn)裝置在存儲倉和交換室之間搬運(yùn)時(shí)，在水平方向上需要移動的距離減少，提升了晶片盒的搬運(yùn)效率。

技術(shù)特征：

1.一種晶片存儲器，其特征在于，所述晶片存儲器包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片存儲器，其特征在于，在俯視視角下，所述內(nèi)窗板和所述上框部均具有向背離所述主軸線的方向凹陷的弧線的形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片存儲器，其特征在于，在俯視視角下，所述弧線為以所述主軸線為圓心的圓弧線。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片存儲器，其特征在于，所述交換室內(nèi)設(shè)有多個(gè)暫存臺，在俯視視角下，多個(gè)所述暫存臺沿著所述弧線間隔排列。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶片存儲器，其特征在于，在俯視視角下，所述多個(gè)暫存臺到所述弧線的距離相等。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片存儲器，其特征在于，在俯視視角下，所述內(nèi)窗板和所述上框部均具有向背離所述主軸線的方向凹陷的多段線的形狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶片存儲器，其特征在于，在俯視視角下，所述多段線的多個(gè)直線段到所述主軸線的距離相等。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶片存儲器，其特征在于，所述交換室內(nèi)設(shè)有多個(gè)暫存臺，所述多段線包括多個(gè)直線段，所述多個(gè)暫存臺與所述多個(gè)直線段分別對應(yīng)；在俯視視角下，所述多個(gè)暫存臺沿著所述多段線間隔排列，并且每個(gè)暫存臺隔著對應(yīng)的直線段與所述主軸線相對。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶片存儲器，其特征在于，每個(gè)暫存臺到對應(yīng)的直線段的距離相等。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片存儲器，其特征在于，所述交換室內(nèi)設(shè)有暫存臺；還包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)；在所述內(nèi)側(cè)窗口打開的情況下，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動所述暫存臺在第一位置和第二位置間移動；當(dāng)所述暫存臺位于所述第一位置時(shí)，所述晶片盒全部位于所述交換室內(nèi)；當(dāng)所述暫存臺位于所述第二位置時(shí)，所述晶片盒與所述搬運(yùn)裝置結(jié)合的部分跨過所述內(nèi)側(cè)窗口而伸入所述存儲倉內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本公開涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，提供一種晶片存儲器。該晶片存儲器包括存儲倉、交換室、內(nèi)窗板、內(nèi)窗框以及搬運(yùn)裝置。晶片盒從外部環(huán)境經(jīng)交換室送入存儲倉，并且從存儲倉經(jīng)交換室送出到外部環(huán)境。內(nèi)窗板打開和關(guān)閉交換室與存儲倉交互的內(nèi)側(cè)窗口。當(dāng)內(nèi)側(cè)窗口打開時(shí)，晶片盒能夠經(jīng)內(nèi)側(cè)窗口在交換室和存儲倉之間移動。內(nèi)窗框包括與內(nèi)窗板形狀匹配的上框部，使得內(nèi)窗板相對內(nèi)窗框上升至與上框部接觸而關(guān)閉內(nèi)側(cè)窗口。搬運(yùn)裝置用于將晶片盒在存儲倉和交換室之間搬運(yùn)。在俯視視角下，內(nèi)窗板和上框部向背離搬運(yùn)裝置的主軸線的方向凹陷。晶片盒在存儲倉和交換室之間搬運(yùn)時(shí)，在水平方向上需要移動的距離減少，提升了晶片盒的搬運(yùn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：王振強(qiáng),戚漢凌,于奇,王成鑫,鄭瑜謙
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京和崎精密科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9