一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，包括一相機鏡頭和高度調節(jié)機構，高度調節(jié)機構包括固設于機臺本體上的固定件和沿固定件滑移的滑移件，相機鏡頭固設于滑移件上，相機鏡頭的光源通光孔處設有一聚焦鏡片，光源在進入光源通光孔后經聚焦鏡片聚焦匯集，再經由平面鏡90度偏折反射后，從光源出口處照射在半導體元件上。本實用新型通過在光源通光孔處增設聚焦鏡片，能夠將光源轉變?yōu)榫劢沟钠叫泄?，增大了光照區(qū)域的范圍和光源的亮度，從而不會出現光照區(qū)域的邊緣位置的圖像較中心位置較暗的現象；此外，通過高度調節(jié)機構能夠調節(jié)相機鏡頭到半導體元件的距離，可以適應不同厚度的半導體元件的檢測。
【專利說明】一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導體元件檢測機，尤其涉及半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)的改良，屬于IC (集成電路)測試領域。

【背景技術】
[0002]一般半導體元件，如晶粒(Die)是以半導體材料制作而成未經封裝的一小塊集成電路本體，通常情況下，集成電路是以大批方式經光刻等多項步驟，制作在大片的半導體晶元上，然后再分割成方型小片，這一方型小片就稱為晶粒，每個晶粒就是一個集成電路的復制品。
[0003]半導體元件檢測機是用于檢測如晶粒等半導體元件品質優(yōu)劣的機臺，如圖1為目前的半導體元件檢測機的相機鏡頭的內部采光光路示意圖，光源通光孔12處具有金屬遮蔽塊13，當光線由光纖接口 11進入經過光源通光孔12時，由于金屬遮蔽塊13的遮擋，光源通光孔12的直徑要小于光纖接口 11的直徑，如光纖接口 11直徑為13mm的鏡頭，當光源經過光源通光孔12時直徑變?yōu)?_，經過平面鏡15反射后，光源出口處16的光亮直徑為6_，光亮度為6000LUM左右，而待測半導體元件8的單邊長度接近于6_，此時取像范圍(SP待測半導體元件的尺寸)與光照區(qū)域(即鏡頭光源出口處的光亮直徑)基本吻合。
[0004]由于光源出口處的光亮直徑較小會導致光亮覆蓋面積較小，從而導致取像時光照區(qū)域的邊緣位置亮度不足，出現光照區(qū)域邊緣位置的圖像較中心位置偏黑的現象，進而導致檢測判斷的誤載或黑色異物無法有效檢出的現象。
[0005]此外，目前的半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)采用的鏡頭較長(如125mm的鏡頭)，相機鏡頭被固定在固定機構上，無法進行高度的調節(jié)，而通常鏡頭光源出口處到待測半導體元件表面的距離在一定范圍內是固定的，由此，當更換不同厚度的待測半導體元件時，需更換不同的長度的鏡頭，故而增加了檢測成本。
實用新型內容
[0006]為了解決上述技術問題，本實用新型的目的在于提供一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，其不僅提高了半導體元件檢出的能力，且能夠適應不同厚度的半導體元件的檢測。
[0007]為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0008]—種半導體兀件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，包括一相機鏡頭，光源由光纖接口進入所述相機鏡頭的光源通光孔，再經由平面鏡90度偏折反射后，從光源出口處照射在半導體元件上，該視覺系統(tǒng)改良結構還包括一高度調節(jié)機構，所述高度調節(jié)機構包括一固設于機臺本體上的固定件和與所述固定件相對而設并能夠沿所述固定件滑移的滑移件，所述相機鏡頭固設于所述滑移件上，所述相機鏡頭的光源通光孔處設有一聚焦鏡片，光源在進入所述光源通光孔后經所述聚焦鏡片聚焦匯集，再經由所述平面鏡90度偏折反射后，從所述光源出口處照射在所述半導體元件上。
[0009]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述聚焦鏡片為一凹凸鏡。
[0010]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述固定件包括第一固定塊和第一滑軌，所述第一固定塊的一側通過第一鎖固件固定于所述機臺本體上，所述第一固定塊的另一側固連所述第一滑軌，所述滑移件包括第一滑移塊，所述第一滑移塊與所述固定件相對的一側設有與所述第一滑軌相匹配的第一燕尾滑槽和復數個螺孔，所述第一滑移塊通過穿設于所述螺孔中的第二鎖固件抵觸所述第一固定塊而緊密貼于所述第一固定塊，所述第一滑移塊的另一側固連所述相機鏡頭。
[0011]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述第一滑移塊的另一側具有一對第一夾持部，所述相機鏡頭夾設于該些第一夾持部之間，并通過穿設于所述第一夾持部上的第三鎖固件固定于所述第一夾持部上。
[0012]作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述固定件包括第二固定塊和第二滑軌，所述第二固定塊的一側固定于所述機臺本體上，所述第二固定塊的另一側固連所述第二滑軌，所述滑移件包括第二滑移塊、固定基座、連接塊和調節(jié)螺桿，所述第二滑移塊與所述固定件相對的一側設有與所述第二滑軌相匹配的第二燕尾滑槽，所述第二滑移塊的另一側具有一對第二夾持部，所述相機鏡頭夾設于該些第二夾持部之間，所述固定基座連接所述機臺本體，所述連接塊連接所述第二滑移塊，所述調節(jié)螺桿穿設于所述連接塊與固定基座中，且其上端設有一把手。
[0013]通過以上技術方案，本實用新型提供的半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，通過在光源通光孔處增設聚焦鏡片，能夠將光源轉變?yōu)榫劢沟钠叫泄猓瑫r相比較傳統(tǒng)的相機鏡頭光源通光孔處無金屬遮蔽塊，因而經平面鏡反射后，增大了光照區(qū)域的范圍和光源的亮度，繼而不會出現取像時光照區(qū)域的邊緣位置的圖像較中心位置較暗的現象，故提高了半導體元件的檢出能力；此外，通過高度調節(jié)機構的固定件和滑移件，可以調整相機鏡頭的高度，使相機鏡頭與半導體元件之間具有良好的焦距，以利于相機鏡頭截取清晰的影像，從而快速地判斷半導體元件上是否有缺陷，且因相機鏡頭的高度可以調節(jié)，故可以適應不同厚度的半導體元件的檢測。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本實用新型結構特征和技術要點，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型進行詳細說明。
[0015]圖1為現有技術中的半導體元件檢測機的相機鏡頭的內部采光光路圖。
[0016]圖2為本實用新型實施例所公開的一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構的內部采光光路圖；
[0017]圖3為本實用新型實施例一所公開的高度調節(jié)機構與相機鏡頭組裝的結構示意圖；
[0018]圖4為本實用新型實施例一所公開的高度調節(jié)機構的滑移件下降狀態(tài)下與相機鏡頭組裝的結構示意圖；
[0019]圖5為本實用新型實施例一所公開的高度調節(jié)機構與相機鏡頭組裝的拆解示意圖；
[0020]圖6為本實用新型實施例二所公開的高度調節(jié)機構與相機鏡頭組裝的結構示意圖；
[0021]圖1為本實用新型實施例二所公開的高度調節(jié)機構與相機鏡頭組裝的拆解示意圖。
[0022]附圖標記說明:1_相機鏡頭，11_光纖接口，12_光源通光孔，13_金屬遮蔽塊，14-聚焦鏡片，15-平面鏡，16-光源出口處，2-機臺本體，3-固定件，31-第一固定塊，32-第一滑軌，33-第二固定塊，34-第二滑軌，4-滑移件，41-第一滑移塊，41a-第一燕尾滑槽，螺孔41b，42-第一夾持部，43-第二滑移塊，43a-第二燕尾滑槽，44-連接塊，45-調節(jié)螺桿，45a-把手，46-第二夾持部，47-固定基座，5-第一鎖固件，6-第二鎖固件，7-第三鎖固件，
8-半導體元件。

【具體實施方式】
[0023]下面將結合本實施例中的附圖，對實施例中的技術方案進行具體、清楚、完整地描述。
[0024]參見圖2-5所示，為本實用新型所提供的第一較佳實施例，一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，包括一相機鏡頭I，該相機鏡頭I中設置有用于米光的光路結構，該光路結構在傳統(tǒng)光路結構的基礎上，在相機鏡頭I的光源通光孔12處增設一聚焦鏡片14，該聚焦鏡片14可以為一凹凸鏡，光源通過光纖接口 11進入光源通光孔12后經聚焦鏡片14聚焦匯集，再經由平面鏡15九十度偏折反射后，從光源出口處16照射在半導體元件8上。該視覺系統(tǒng)改良結構還包括一高度調節(jié)機構，高度調節(jié)機構包括一固設于機臺本體2上的固定件3和與固定件3相對而設并能夠沿固定件3滑移的滑移件4。
[0025]其中，固定件3包括第一固定塊31和第一滑軌32，第一固定塊31的一側通過第一鎖固件5 (如螺絲)固定于機臺本體2上，第一固定塊31的另一側固連第一滑軌32，滑移件4包括第一滑移塊41，第一滑移塊41與固定件3相對的一側設有與第一滑軌32相匹配的第一燕尾滑槽41a和復數個螺孔，第二鎖固件6穿設于該些螺孔41b中并抵觸至第一固定塊31，藉此第一滑移塊41可緊密貼于第一固定塊31，第一滑移塊41的另一側具有一對第一夾持部42 (第一夾持部42可與第一滑移塊41 一體設置，也可以與第一滑移塊41分開設置，并固定于第一滑移塊41上)，相機鏡頭I夾設于該些第一夾持部42之間，并通過穿設于第一夾持部42上的第三鎖固件7固定于第一夾持部42上。
[0026]當需調節(jié)相機鏡頭I的高度時，只需松動第一滑移塊41上的第二鎖固件6，使第一滑移塊41的第一燕尾滑槽41a沿固定件3的第一滑軌32向上或向下移動，從而調整第一滑移塊41的上下位置；當完成高度調節(jié)后，再次鎖緊第一滑移塊41上的第二鎖固件6即可定位。此外，當需要更換相機鏡頭I時，只需松動或旋轉夾持部上的第三鎖固件7，并將原相機鏡頭I從一對第一夾持部42之間移除即可。
[0027]參見圖6-7所示，為本實用新型所提供的第二較佳實施例，本實施例二與實施例一的區(qū)別在于高度調節(jié)機構的結構差異。其中，固定件3包括第二固定塊33和第二滑軌34，第二固定塊33的一側固定于機臺本體2上，第二固定塊33的另一側固連第二滑軌34，滑移件4包括第二滑移塊43、固定基座47、連接塊44和調節(jié)螺桿45，第二滑移塊43與固定件3相對的一側設有與第二滑軌34相匹配的第二燕尾滑槽43a，第二滑移塊43的另一側具有一對第二夾持部46，相機鏡頭I夾設于該些第二夾持部46之間，連接塊44連接第二滑移塊43，固定基座47連接于機臺本體2上，調節(jié)螺桿45穿設于固定基座47及連接塊44中，且調節(jié)螺桿45的上端部設有一把手45a (方便于操作調節(jié)螺桿45)。當轉動把手45a時，調節(jié)螺桿45可帶動連接塊44及第二滑移塊43向上或向下運動，以此實現第二滑移塊43上下位置的調節(jié)，進而實現相機鏡頭I高度的細微調整。
[0028]通過以上技術方案，本實用新型提供的半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，通過在光源通光孔12處增設聚焦鏡片14，能夠將光源轉變?yōu)榫劢沟钠叫泄猓瑫r相比較傳統(tǒng)的相機鏡頭I光源通光孔12處無金屬遮蔽塊，因而經平面鏡15反射后，增大了光照區(qū)域的范圍和光源的亮度，繼而不會出現取像時光照區(qū)域的邊緣位置的圖像較中心位置較暗的現象，以此提高了異常的半導體元件的檢出能力，簡單言之，如圖2所示的，若光源由直徑13_的光纖接口 11進入相機鏡頭內，最終入射到半導體元件上的光照直徑仍為13_，因而光源未被減弱，相比較單邊尺寸接近于6mm的半導體元件，直徑為13mm的光照區(qū)域較大，因而不會出現取像時光照區(qū)域邊緣位置的圖像偏暗的現象；通過高度調節(jié)機構的固定件3和滑移件4，可以調整相機鏡頭I的高度，使相機鏡頭I與半導體元件之間具有良好的焦距，以利于相機鏡頭I截取清晰的影像，從而快速地判斷半導體元件上是否有缺陷；當需檢測不同厚度的半導體元件時，只需調整滑移件4的上下位置，以使相機鏡頭I到半導體元件之間具有良好的焦距，因而本實用新型可適應不同厚度的半導體元件的檢測。
[0029]上述【具體實施方式】，僅為說明本實用新型的技術構思和結構特征，目的在于讓熟悉此項技術的相關人士能夠據以實施，但以上所述內容并不限制本實用新型的保護范圍，凡是依據本實用新型的精神實質所作的任何等效變化或修飾，均應落入本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種半導體兀件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構,包括一相機鏡頭,光源由光纖接口進入所述相機鏡頭的光源通光孔，再經由平面鏡90度偏折反射后，從光源出口處照射在半導體元件上，其特征在于，該視覺系統(tǒng)改良結構還包括一高度調節(jié)機構，所述高度調節(jié)機構包括一固設于機臺本體上的固定件和與所述固定件相對而設并能夠沿所述固定件滑移的滑移件，所述相機鏡頭固設于所述滑移件上，所述相機鏡頭的光源通光孔處設有一聚焦鏡片，光源在進入所述光源通光孔后經所述聚焦鏡片聚焦匯集，再經由所述平面鏡90度偏折反射后，從所述光源出口處照射在所述半導體元件上。
2.根據權利要求1所述的一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，其特征在于，所述聚焦鏡片為一凹凸鏡。
3.根據權利要求1所述的一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，其特征在于，所述固定件包括第一固定塊和第一滑軌，所述第一固定塊的一側通過第一鎖固件固定于所述機臺本體上，所述第一固定塊的另一側固連所述第一滑軌，所述滑移件包括第一滑移塊，所述第一滑移塊與所述固定件相對的一側設有與所述第一滑軌相匹配的第一燕尾滑槽和復數個螺孔，所述第一滑移塊通過穿設于所述螺孔中的第二鎖固件抵觸所述第一固定塊而緊密貼于所述第一固定塊，所述第一滑移塊的另一側固連所述相機鏡頭。
4.根據權利要求3所述的一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，其特征在于，所述第一滑移塊的另一側具有一對第一夾持部，所述相機鏡頭夾設于該些第一夾持部之間，并通過穿設于所述第一夾持部上的第三鎖固件固定于所述第一夾持部上。
5.根據權利要求1所述的一種半導體元件檢測機的視覺系統(tǒng)改良結構，其特征在于，所述固定件包括第二固定塊和第二滑軌，所述第二固定塊的一側固定于所述機臺本體上，所述第二固定塊的另一側固連所述第二滑軌，所述滑移件包括第二滑移塊、固定基座、連接塊和調節(jié)螺桿，所述第二滑移塊與所述固定件相對的一側設有與所述第二滑軌相匹配的第二燕尾滑槽，所述第二滑移塊的另一側具有一對第二夾持部，所述相機鏡頭夾設于該些第二夾持部之間，所述固定基座連接所述機臺本體，所述連接塊連接所述第二滑移塊，所述調節(jié)螺桿穿設于所述連接塊與固定基座中，且其上端設有一把手。
【文檔編號】H01L21/66GK203941885SQ201420402818
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年7月21日 優(yōu)先權日:2014年7月21日
【發(fā)明者】陸林 申請人:京隆科技(蘇州)有限公司