專利名稱:一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置及激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置及激光器技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及光學技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置及激光器。
背景技術(shù):
[0002]一般二極管泵浦固體激光器系統(tǒng)中,激光二極管(LD,Laser Diode)對激光晶體的泵浦方式主要有兩種端面泵浦結(jié)構(gòu)和側(cè)面泵浦結(jié)構(gòu)。[0003]在LD端面泵浦結(jié)構(gòu)中,LD輻射的激光光束通常經(jīng)過光學透鏡、光錐棱鏡或傳導光纖等光學系統(tǒng)整形后,照射在激光晶體的通光端面,在其端面部位產(chǎn)生與激光器諧振腔同軸的增益區(qū)域。圖1A 圖1C描繪了端面泵浦結(jié)構(gòu)中將二極管的激光輻射輸出輸送到激光晶體的幾種主要結(jié)構(gòu),其分別通過一個光學成像系統(tǒng)、一個傳導光纖或一個非成像聚焦系統(tǒng)就能完成這種能量輸送。[0004]在LD側(cè)面泵浦結(jié)構(gòu)中,LD輻射的激光通常垂直于激光的諧振腔軸,直接照射或者通過導光元件傳輸后照射于激光晶體的側(cè)表面,在激光晶體內(nèi)產(chǎn)生大面積的增益區(qū)域。圖 2A、圖2B描繪了兩種典型的側(cè)面泵浦結(jié)構(gòu)。[0005]但是,LD端面泵浦和側(cè)面泵浦在設(shè)計結(jié)構(gòu)上的明顯差異,使得兩種泵浦結(jié)構(gòu)具有各自不同的技術(shù)特點和應用領(lǐng)域。[0006]LD端面泵浦結(jié)構(gòu)中,LD輻射光束從激光晶體端面入射,大大降低了泵浦光束的耦合損耗,同時,由于該種泵浦結(jié)構(gòu)在晶體端面產(chǎn)生的增益區(qū)域有限,使得激光晶體可以在較小的泵浦區(qū)域內(nèi)具有很高的光增益,這為激光器的高效率能量提取和高光束質(zhì)量輸出提供了良好條件;但是,相對較小的增益區(qū)域也帶來端面畸變嚴重、輸出功率受限等缺點。因而, LD端面泵浦結(jié)構(gòu)常適用于中小功率的激光器。[0007]LD側(cè)面泵浦結(jié)構(gòu)中,LD輻射光束垂直于激光晶體的光軸入射,即與激光器諧振腔軸線垂直,該泵浦方式的優(yōu)點是在晶體內(nèi)可產(chǎn)生大而均勻增益區(qū)域,為高功率的激光產(chǎn)生提供了基礎(chǔ),常應用于高功率激光器中,但缺點是輸出激光的光束質(zhì)量差和能量提取效率低。針對目前固體激光器泵浦結(jié)構(gòu)存在的缺點和不足,提出了一種新型的二極管泵浦裝置,該裝置的應用可以使固體激光器在產(chǎn)生高功率激光的同時,滿足高光束質(zhì)量的要求。實用新型內(nèi)容[0009]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置及激光器, 用以解決現(xiàn)有技術(shù)中固體激光器在產(chǎn)生高功率激光的同時不能滿足高光束質(zhì)量要求的問題。[0010]為解決上述技術(shù)問題,一方面,本實用新型提供一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置, 包括兩個光纖耦合LD模塊、兩個傳導光纖、兩個光學聚焦系統(tǒng)、一個LD側(cè)面泵浦模塊和一個激光晶體;其中,一個所述光纖耦合LD模塊發(fā)射的激光經(jīng)過一個所述傳導光纖和一個所述光學聚焦系統(tǒng)后照射在所述激光晶體的一個端面上;另一個所述光纖耦合LD模塊發(fā)射的激光經(jīng)過另一個所述傳導光纖和另一個所述光學聚焦系統(tǒng)后照射在所述激光晶體的另一個端面上;所述LD側(cè)面泵浦模塊發(fā)射的激光對所述激光晶體側(cè)面進行泵浦。[0011]進一步,所述光纖耦合LD模塊內(nèi)部包含一組或多組LD巴條,經(jīng)過內(nèi)部的光學系統(tǒng)整形后匯聚入傳導光纖的一端,在傳導光纖的另一端輸出;光學聚焦系統(tǒng)與傳導光纖輸出端連接,使傳導光纖輸出的發(fā)散LD激光匯聚于激光晶體的端面上。[0012]進一步,所述激光晶體中心部分長度與側(cè)面泵浦模塊的有效泵浦區(qū)域匹配,在所述晶體圓棒兩端分別鍵合同基質(zhì)的未摻雜晶體。[0013]進一步,LD側(cè)面泵浦模塊包括結(jié)構(gòu)支架及安裝在結(jié)構(gòu)支架上的多個水平陣列LD 模塊。[0014]另一方面,本實用新型還提供一種包含有上述的端面與側(cè)面復合泵浦裝置的激光器,其中,在所述端面與側(cè)面復合泵浦裝置中加入諧振腔。[0015]進一步,所述諧振腔包括兩個45°耦合鏡、一個激光全反鏡和一個激光輸出鏡; 其中,兩個45°耦合鏡分別設(shè)置在光學聚焦系統(tǒng)與激光晶體之間;所述激光全反鏡設(shè)置在一個45°耦合鏡下方,與該45°耦合鏡成45° ;所述激光輸出鏡設(shè)置在另一個45°耦合鏡下方,與另一個45°耦合鏡成45°。[0016]進一步,所述45°耦合鏡對二極管波段激光高透。[0017]進一步,所述45°稱合鏡對輸出激光高反。[0018]進一步,所述激光全反鏡對輸出激光全反。[0019]進一步,所述激光輸出鏡對輸出激光波段部分透射。[0020]本實用新型有益效果如下[0021]本實用新型裝置能夠既充分利用端面泵浦技術(shù)光轉(zhuǎn)換效率高、光束質(zhì)量好的特點,同時又可利 用側(cè)面泵浦技術(shù)大模體積、易于實現(xiàn)高功率激光輸出的優(yōu)勢,從而使得采用這一復合泵浦技術(shù)后,LD泵浦固體激光器可以高效率、高光束質(zhì)量的實現(xiàn)高功率激光輸出。
[0022]圖1A是現(xiàn)有技術(shù)中LD通過光學成像系統(tǒng)泵浦激光晶體的結(jié)構(gòu)示意圖;[0023]圖1B是現(xiàn)有技術(shù)中LD通過傳導光纖泵浦激光晶體的結(jié)構(gòu)示意圖;[0024]圖1C是現(xiàn)有技術(shù)中LD通過非成像聚焦系統(tǒng)泵浦激光晶體的結(jié)構(gòu)示意圖;[0025]圖2A是現(xiàn)有技術(shù)中LD輻射激光通過導光元件傳輸后照射于晶體側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖;[0026]圖2B是現(xiàn)有技術(shù)中LD輻射激光直接照射于晶體側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖;[0027]圖3是本實用新型實施例中一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;[0028]圖4是本實用新型實施例中一種包含有端面與側(cè)面復合泵浦裝置的激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0029]
以下結(jié)合附圖以及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不限定本實用新型。[0030]本實用新型實施例涉及固體激光器技術(shù)特別是二極管泵浦激光技術(shù)中必然涉及到的激光晶體的泵浦方式。二極管泵浦固體激光器技術(shù)是目前最主流的激光技術(shù),其中重要的環(huán)節(jié)之一就是,激光晶體的泵浦技術(shù)方式,它對激光的高效、高光束質(zhì)量、高功率、穩(wěn)定輸出起著決定性的作用。區(qū)別于常規(guī)單獨采用的端面泵浦或側(cè)面泵浦結(jié)構(gòu),基于提高二極管泵浦固體激光器的輸出功率及光束質(zhì)量,本實用新型實施例涉及一種端面與側(cè)面泵浦相結(jié)合的復合泵浦結(jié)構(gòu)裝置,它結(jié)合了側(cè)面泵浦和端面泵浦結(jié)構(gòu)的優(yōu)點,在激光晶體內(nèi)不僅產(chǎn)生均勻的大體積增益分布,為腔內(nèi)激光的能量提取提供基本條件,同時在晶體兩端產(chǎn)生集中的增益區(qū)域,使光束特性較好的激光獲得更多的增益,從而腔內(nèi)實現(xiàn)激光模式的主動優(yōu)選,該裝置的運用不僅可以解決了 LD側(cè)面泵浦結(jié)構(gòu)下光束質(zhì)量差的缺點,同時,也解決了 LD端面泵浦結(jié)構(gòu)下功率輸出功率提升受限的缺點,最終實現(xiàn)激光器的高光束質(zhì)量、高功率輸出。[0031]如圖3所示,本實用新型實施例涉及一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置,該裝置包括兩個光纖耦合LD模塊1、兩個傳導光纖2、兩個光學聚焦系統(tǒng)3、一個LD側(cè)面泵浦模塊4 和一支激光晶體5 ;其中,一個光纖耦合LD模塊I發(fā)射的激光經(jīng)過一個傳導光纖2和一個光學聚焦系統(tǒng)3后照射在激光晶體5的一個端面上;另一個光纖耦合LD模塊I發(fā)射的激光經(jīng)過另一個傳導光纖2和另一個光學聚焦系統(tǒng)3后照射在激光晶體5的另一個端面上;LD 側(cè)面泵浦模塊4發(fā)射的激光對激光晶體5側(cè)面進行泵浦。[0032]光纖耦合LD模塊I內(nèi)部包含一組或多組LD巴條,經(jīng)過內(nèi)部的光學系統(tǒng)整形后匯聚入傳導光纖2的一端,然后在傳導光纖2的另一端輸出;光學聚焦系統(tǒng)3與傳導光纖2輸出端連接,使傳導光纖2輸出的發(fā)散LD激光匯聚于激光晶體5的端面上。激光晶體5由三部分組成,中心部分為摻雜稀土離子的晶體圓棒,其長度 與側(cè)面泵浦模塊的有效泵浦區(qū)域匹配,在其兩端分別鍵合同基質(zhì)的未摻雜晶體。[0034]LD側(cè)面泵浦模塊4主要由結(jié)構(gòu)支架及安裝在結(jié)構(gòu)支架上的多個水平陣列LD模塊, 可從多個維度對激光晶體5側(cè)面進行泵浦,在晶體內(nèi)大體積的均勻增益分布。[0035]包含有上述激光二極管(LD)端面與側(cè)面復合泵浦裝置的激光器結(jié)構(gòu)如圖4所示, 在圖3所示裝置基礎(chǔ)上,通過加入由兩個45°耦合鏡6、一個激光全反鏡7和一個激光輸出鏡8組成的諧振腔,就構(gòu)成了一個基本的激光器。其中,兩個45°耦合鏡6分別設(shè)置在光學聚焦系統(tǒng)3與激光晶體5之間,一個激光全反鏡7設(shè)置在一個45°耦合鏡6下方,與該 45°耦合鏡6成45° 個激光輸出鏡8設(shè)置在另一個45°耦合鏡6下方,與另一個45°率禹合鏡6成45 °。[0036]其中45°耦合鏡6對二極管波段激光高透(透射率>99%),對輸出激光高反(反射率> 99%);激光全反鏡7對輸出激光全反,激光輸出鏡8對輸出激光波段部分透射(輸出激光透射率大于等于50%、且小于等于98%)。[0037]激光器在工作狀態(tài)下,復合泵浦裝置中的LD側(cè)面泵浦模塊4泵浦激光晶體5中間的摻雜部分,在晶體內(nèi)部產(chǎn)生大體積的增益區(qū)域,為高功率激光的輸出提供基礎(chǔ);而光纖耦合LD模塊I通過傳導光纖2和光學聚焦系統(tǒng)3后照射在激光晶體5的通光端面上,在激光晶體5內(nèi)產(chǎn)生的小體積高增益區(qū)域,使低階模激光在諧振腔內(nèi)振蕩過程中優(yōu)先獲得放大, 同時又抑制了高階模式激光的產(chǎn)生,最終實現(xiàn)高功率高光束質(zhì)量的激光輸出。[0038]由上述實施例可以看出,本實用新型裝置能夠既充分利用端面泵浦技術(shù)光轉(zhuǎn)換效率高、光束質(zhì)量好的特點,同時又可利用側(cè)面泵浦技術(shù)大模體積、易于實現(xiàn)高功率激光輸出的優(yōu)勢,從而使得采用這一復合泵浦技術(shù)后,LD泵浦固體激光器可以高效率、高光束質(zhì)量的實現(xiàn)高功率激光輸出。[0039]盡管為示例目的,已經(jīng)公開了本實用新型的優(yōu)選實施例,本領(lǐng)域的技術(shù)人員將意識到各種改進、增加和取代也是可能的,因此,本實用新型的范圍應當不限于上述實施例。
權(quán)利要求1.一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置,其特征在于,包括兩個光纖耦合LD模塊、兩個傳導光纖、兩個光學聚焦系統(tǒng)、一個LD側(cè)面泵浦模塊和一個激光晶體;其中,一個所述光纖耦合LD模塊發(fā)射的激光經(jīng)過一個所述傳導光纖和一個所述光學聚焦系統(tǒng)后照射在所述激光晶體的一個端面上;另一個所述光纖耦合LD模塊發(fā)射的激光經(jīng)過另一個所述傳導光纖和另一個所述光學聚焦系統(tǒng)后照射在所述激光晶體的另一個端面上;所述LD側(cè)面泵浦模塊發(fā)射的激光對所述激光晶體側(cè)面進行泵浦。
2.如權(quán)利要求1所述的端面與側(cè)面復合泵浦的裝置,其特征在于,所述光纖耦合LD模塊內(nèi)部包含一組或多組LD巴條,經(jīng)過內(nèi)部的光學系統(tǒng)整形后匯聚入傳導光纖的一端,在傳導光纖的另一端輸出;光學聚焦系統(tǒng)與傳導光纖輸出端連接,使傳導光纖輸出的發(fā)散LD激光匯聚于激光晶體的端面上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的端面與側(cè)面復合泵浦的裝置,其特征在于,所述激光晶體中心部分長度與側(cè)面泵浦模塊的有效泵浦區(qū)域匹配,在所述晶體圓棒兩端分別鍵合同基質(zhì)的未摻雜晶體。
4.如權(quán)利要求3所述的端面與側(cè)面復合泵浦的裝置,其特征在于,LD側(cè)面泵浦模塊包括結(jié)構(gòu)支架及安裝在結(jié)構(gòu)支架上的多個水平陣列LD模塊。
5.一種激光器,其特征在于,包含權(quán)利要求r4任一項所述的端面與側(cè)面復合泵浦裝置,在所述端面與側(cè)面復合泵浦裝置中加入諧振腔。
6.如權(quán)利要求5所述的激光器,其特征在于,所述諧振腔包括兩個45°耦合鏡、一個激光全反鏡和一個激光輸出鏡;其中,兩個45°耦合鏡分別設(shè)置在光學聚焦系統(tǒng)與激光晶體之間;所述激光全反鏡設(shè)置在一個45°耦合鏡下方,與該45°耦合鏡成45° ;所述激光輸出鏡設(shè)置在另一個45°耦合鏡下方,與另一個45°耦合鏡成45°。
7.如權(quán)利要求6所述的激光器,其特征在于,所述45°耦合鏡對二極管波段激光高透。
8.如權(quán)利要求7所述的激光器,其特征在于,所述45°耦合鏡對輸出激光高反。
9.如權(quán)利要求8所述的激光器,其特征在于,所述激光全反鏡對輸出激光全反。
10.如權(quán)利要求9所述的激光器,其特征在于,所述激光輸出鏡對輸出激光波段部分透射。
專利摘要本實用新型公開了一種端面與側(cè)面復合泵浦的裝置及激光器,裝置包括兩個光纖耦合激光二極管LD模塊、兩個傳導光纖、兩個光學聚焦系統(tǒng)、一個LD側(cè)面泵浦模塊和一個激光晶體;其中,兩個所述光纖耦合LD模塊發(fā)射的激光分別經(jīng)過所述傳導光纖和所述光學聚焦系統(tǒng)后分別照射在所述激光晶體的兩個端面上;所述LD側(cè)面泵浦模塊發(fā)射的激光對所述激光晶體側(cè)面進行泵浦。本實用新型裝置能夠既充分利用端面泵浦技術(shù)光轉(zhuǎn)換效率高、光束質(zhì)量好的特點,同時又可利用側(cè)面泵浦技術(shù)大模體積、易于實現(xiàn)高功率激光輸出的優(yōu)勢,從而使得采用這一復合泵浦技術(shù)后,LD泵浦固體激光器可以高效率、高光束質(zhì)量的實現(xiàn)高功率激光輸出。
文檔編號H01S3/0941GK202856144SQ20122045348
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月6日
發(fā)明者韓隆, 魏磊, 王克強, 王建軍, 苑利鋼, 吳軍勇, 何利杰 申請人:中國電子科技集團公司第十一研究所