專利名稱：一種均流擋片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽能硅電池的生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種用于擴(kuò)散制結(jié)工序的均流擋片。
背景技術(shù)：
太陽能每天都能無限供應(yīng)，而且數(shù)量龐大。如果在大的電廠利用，就減少了溫室效應(yīng)，有些能源專家和環(huán)境保護(hù)的專家則認(rèn)為，在滿足人類今后能量需要方面，太陽能的熱影響比任何其他替換品的熱影響要小得多。作為一種不污染環(huán)境，又取之不盡的新能源，它無處不在。尤其是在電力供力方面，有專家認(rèn)為太陽能發(fā)電最終將在電力供應(yīng)中占20%。太陽能電池是一種將光能直接轉(zhuǎn)化為電能的器件，其基本原理是利用PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)將光能轉(zhuǎn)化成電能。在太陽能電池中晶體硅太陽能電池占有絕大部分的份額。目前，在晶體硅太陽能電池的生產(chǎn)過程中，用于制作PN結(jié)的擴(kuò)散制結(jié)工序是關(guān)鍵工序之一。太陽能電池在不斷追求高效率的同時(shí)，擴(kuò)散也不斷追求高方阻，而方塊電阻均勻性是擴(kuò)散高方阻追求的首要目標(biāo)，方阻均勻性的好壞會(huì)嚴(yán)重影響太陽能電池的效率?，F(xiàn)有的勻流板都是不可調(diào)節(jié)勻流氣孔大小的，就無法改變擴(kuò)散氣氛?qǐng)觯瑥亩档土藬U(kuò)散方阻均勻度的可控性。

實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型目的本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種設(shè)置在石英舟兩端內(nèi)部的均流擋片，其既可以提高擴(kuò)散均勻性，又具有耐用性和牢固性。技術(shù)方案本實(shí)用新型所述的一種均流擋片，包括兩片石英片，所述石英片之間用石英柱連接，所述石英片相互平行且相互之間交錯(cuò)設(shè)置，靠近石英舟外側(cè)的所述石英片上開有排列規(guī)則的勻流氣孔且設(shè)置有將該擋片掛附在石英舟一側(cè)的石英掛鉤。進(jìn)一步,所述石英片的厚度為4_6mm。進(jìn)一步，所述均流氣孔的直徑為4_6mm。進(jìn)一步，所述石英掛鉤的形狀為正方體立柱型或長(zhǎng)方體立柱型。進(jìn)一步，所述石英片相互之間交錯(cuò)的角度為2° 4°。 本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果是(I)本實(shí)用新型和現(xiàn)有勻流板相比，此勻流擋片放置于石英舟兩端內(nèi)部，具有耐用性；此勻流擋片設(shè)有石英掛鉤，具有牢固性；此勻流擋片取代硅片，節(jié)約原材料，可降低成本；放置在石英舟爐尾處的勻流擋片可以阻擋磷摻雜源氣流直接對(duì)硅片的吹掃，造成爐尾處的方阻過低；有勻流氣孔的石英片可以促進(jìn)磷源氣氛在硅片與硅片之間的均勻分布，從而提高方塊電阻的均勻性；此勻流擋片的面積較大，使工藝氣體盡可能通過帶有勻流小孔的擋片，使?fàn)t管內(nèi)氣體均勻；(2)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于制備，且具有良好的實(shí)用性，適于推廣應(yīng)用。

[0012]圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明，但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。如圖I所示，一種均流擋片，包括兩片厚度為5_石英片1，所述石英片I之間用石英柱2連接，所述石英片I相互平行且相互之間沿長(zhǎng)度方向錯(cuò)開5°，靠近石英舟外側(cè)的石英片上開有排列規(guī)則的直徑為5m的勻流氣孔3且設(shè)置有將該擋片掛附在石英舟一側(cè)的形狀為正方體立柱型的石英掛鉤4，防止石英擋片在石英舟內(nèi)部滑動(dòng)，擠碎硅片。如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型，但其不得解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下，可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化?！?br> 權(quán)利要求1.一種均流擋片，其特征在于，包括兩片石英片，所述石英片之間用石英柱連接，所述石英片相互平行且相互之間交錯(cuò)設(shè)置，靠近石英舟外側(cè)的所述石英片上開有排列規(guī)則的勻流氣孔且設(shè)置有將該擋片掛附在石英舟一側(cè)的石英掛鉤。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的均流擋片，其特征在于，所述石英片的厚度為4-6mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的均流擋片，其特征在于，所述均流氣孔的直徑為4-6mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的均流擋片，其特征在于，所述石英掛鉤的形狀為正方體立柱型或長(zhǎng)方體立柱型。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的均流擋片，其特征在于，所述石英片相互之間交錯(cuò)的角度為2° 40。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種均流擋片，包括兩片石英片，石英片之間用石英柱連接，石英片相互平行且相互之間向某一方向錯(cuò)開一定的角度，靠近石英舟外側(cè)的石英片上開有排列規(guī)則的勻流氣孔且設(shè)置有將該擋片掛附在石英舟一側(cè)的石英掛鉤；本實(shí)用新型和現(xiàn)有勻流板相比，其放置于石英舟兩端內(nèi)部，具有耐用性；此勻流擋片設(shè)有石英掛鉤，具有牢固性；此勻流擋片取代硅片，降低了成本；放置在石英舟爐尾處的石英片可以阻擋磷摻雜源氣流直接對(duì)硅片的吹掃，造成爐尾處的方阻過低；有勻流氣孔的石英片可以促進(jìn)磷源氣氛在硅片與硅片之間的均勻分布,從而提高方塊電阻的均勻性；此勻流擋片的面積較大，使工藝氣體盡可能通過帶有勻流小孔的擋片，使?fàn)t管內(nèi)氣體均勻。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202695516SQ20122031516
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月2日
發(fā)明者劉海濤, 勾憲芳, 曹華斌, 宋愛珍, 姜利凱, 王鵬 申請(qǐng)人:中節(jié)能太陽能科技有限公司