專利名稱：真空腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空腔，更具體地，涉及排氣效率高且制造成本低的真空腔。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體晶片或平面基板等工藝中，廣泛使用真空腔。例如，成膜處理或蝕刻處理在規(guī)定氣壓以下的真空狀態(tài)下進(jìn)行，并排出工藝中所用的氣體，因此，利用腔室內(nèi)部保持真空狀態(tài)且能夠排出內(nèi)部氣體的真空腔。一般情況下，在真空腔中形成有貫穿腔室下部或側(cè)部的排氣口。排氣口與排氣泵連接，使腔室內(nèi)部的氣體向腔室外部排出。
現(xiàn)有真空腔的排氣口形成為具有與排氣泵相應(yīng)口徑的圓柱形狀，或者形成為口徑逐漸向腔室內(nèi)側(cè)變大的圓錐形狀。但是，雖然圓柱形的排氣口容易加工，但排氣效率低，存在需要形成多個排氣口的問題，而圓錐形的排氣口雖然比圓柱形的排氣口排氣效率高，但難以加工，從而導(dǎo)致腔室制造成本增加。

實用新型內(nèi)容本實用新型是為了解決所述問題而提出的，本實用新型的目的在于提供排氣效率高且制造成本低的真空腔。用于解決所述問題的本實用新型涉及的真空腔包括外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間；排氣槽，形成在所述外殼的內(nèi)側(cè)面上；排氣孔，形成在所述排氣槽的一面上，并貫穿所述外殼；以及排氣泵，與所述排氣孔連接，排出所述外殼內(nèi)部的氣體。所述排氣槽可以形成為，所述排氣槽的截面積大于所述排氣孔的截面積。所述排氣孔與所述排氣槽可以形成臺階。所述排氣槽的外輪廓可以形成為圓形。所述排氣槽的外輪廓可以形成為多邊形。所述排氣槽的外輪廓可以形成為矩形。所述排氣槽可以具有主槽以及從所述主槽的一側(cè)向所述外殼的內(nèi)側(cè)方向延伸形成的突出槽。所述突出槽的寬度小于所述主槽的寬度，所述突出槽與所述主槽可以形成臺階。所述突出槽的外輪廓可以形成為矩形。所述突出槽的一側(cè)的外輪廓可以形成為圓弧形。在所述外殼內(nèi)的所述空間中具有用于支承所述被處理體的工作臺，所述突出槽的至少一部分可位于所述工作臺的下部。一種真空腔，其特征在于，在所述外殼內(nèi)的所述空間中具有用于支承所述被處理體的工作臺，所述突出槽位于所述工作臺下部的外側(cè)。所述排氣孔的外輪廓可以形成為圓形。[0020]所述排氣孔的外輪廓可以形成為多邊形。 所述排氣孔的外輪廓可以形成為矩形。用于解決所述問題的本實用新型涉及的真空腔包括外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間；排氣部，在所述外殼的一面上貫穿形成，內(nèi)側(cè)面折曲形成為具有規(guī)定級差的多級臺階；排氣泵，與所述排氣部連接，用于排出所述外殼內(nèi)部的氣體。本實用新型涉及的真空腔具有降低制造成本且提高排氣效率的效果。本實用新型的技術(shù)效果并不限于如上所述的效果，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可通過下面的記載明確理解未提到的其它技術(shù)效果。

圖I是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的概略剖視圖。圖2是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖3是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的排氣部的剖視圖。圖4是示出本實用新型的第二實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖5是示出本實用新型的第三實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖6是示出本實用新型的第四實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖7是示出本實用新型的第五實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖8是示出本實用新型的第六實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖9是示出本實用新型的第七實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。圖10是示出本實用新型的實施例涉及的排氣部和工作臺的布置狀態(tài)的一實施例的剖視圖。圖11是示出本實用新型的實施例涉及的排氣部和工作臺的布置狀態(tài)的另一實施例的剖視圖。附圖標(biāo)記100:真空腔110:外殼111 :排氣面130 :排氣泵140:閘門150 :工作臺120、220、320、420、520、620、720 :排氣部121、221、321、421、521、621、721 :排氣槽122、222、322、422、522、622、722 :排氣孔123、223、323、423、523、623、723 :臺階部A :被處理體
具體實施方式
參照附圖詳細(xì)說明本實用新型的實施例。但是，本實施例并僅不限于下面公開的實施例，可以以各種形式實施，本實施例只是為了充分公開本實用新型，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員全面了解發(fā)明的主旨。為了更清楚地說明，附圖中存在夸張示出要素形狀等的情況，在附圖中以相同標(biāo)記表示的要素表示相同要素。圖I是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的概略剖視圖。[0047]如圖I所示，本實用新型的第一實施例涉及的真空腔100包括外殼110，具有用于收容或移送被處理體A的空間101 ;排氣部120，貫穿外殼110的一面；排氣泵130，與排氣部120連接，用于排出外殼110內(nèi)部的氣體。被處理體A可以是在半導(dǎo)體工藝中使用的晶片或IXD等平板顯示板、在LED工藝中使用的基板等。外殼110可以形成為在內(nèi)部形成有空間的多面體。例如，可以是由四個側(cè)壁和一個底面和一個上表面形成的六面體，根據(jù)側(cè)壁的數(shù)量可形成多種類型的多面體。如圖I所示，在外殼110的側(cè)壁上可形成有閘門140，能夠使被處理體A出入于外殼110內(nèi)的空間101?；蛘撸m然未圖示，外殼110的上表面可以形成為能夠開閉的蓋的結(jié)構(gòu)，以便被處理體A出入。如圖I所示，在外殼110內(nèi)的空間101中可具有用于支承被處理體A的工作臺150?；蛘撸m然未圖示，可具有用于移送被處理體A的移送單元。作為移送單元可以使用機(jī)器臂或移送輸送機(jī)等。在外殼110的一個面(下面稱為排氣面111)上形成有貫穿排氣面111的排氣部120。設(shè)在外殼110外部的排氣泵130與排氣部120連接，通過排氣部120排出外殼110內(nèi)部的氣體。下面說明本實用新型的第一實施例涉及的真空腔100的排氣部120。圖2是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖，圖3是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的排氣部的剖視圖。如圖2及圖3所示，排氣部120可以形成為包括排氣槽121和排氣孔122。如圖2所示，在排氣面111上可形成有一個以上的排氣槽121。為了均勻有效地排出外殼Iio內(nèi)的氣體，可沿著外殼110的排氣面111的周圍隔開形成有多個排氣槽121。排氣槽121的深度可以小于排氣面111的厚度。排氣槽121可以形成為大致多邊形，根據(jù)加工難易度，可以形成為大致矩形。在排氣槽121的與內(nèi)側(cè)壁大致垂直的底面上，可以形成有排氣孔122，該排氣孔122貫穿形成有排氣槽121的排氣面111。排氣孔122可以形成為圓柱形，排氣孔122的內(nèi)徑可以與排氣泵130的排氣量相對應(yīng)地形成。如圖3所示，排氣孔122的直徑d2小于排氣槽121的寬度dl，在排氣槽121的底面上可形成有通過排氣孔122形成的臺階部123。由于排氣泵130的排氣性能有限等原因，排氣孔122的內(nèi)徑不能超過一定值。因此，使與外殼110內(nèi)的空間101接觸的排氣槽121的截面積較大，可有效地排出外殼110內(nèi)的氣體。考慮與外殼110內(nèi)的結(jié)構(gòu)的關(guān)系及排氣效率，排氣槽121的截面積優(yōu)選以適當(dāng)大小形成。通過形成截面積大于排氣孔122截面積的排氣槽121，與僅形成有排氣孔122的結(jié)構(gòu)相比，可提高排氣效率，并通過形成具有臺階部123的排氣部120而不是直徑不斷變化的圓錐形，可降低腔室的制造成本。下面說明本實用新型的另一實施例涉及的真空腔。為了便于說明，與第一實施例類似的部分使用了相同的附圖標(biāo)記，省略說明與第一實施例相同的部分。[0064]圖4是示出本實用新型的第二實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。本實用新型的第一實施例的排氣部120具備具有大致多邊形開口部的排氣槽121和具有大致圓形開口部的排氣孔122，但是如圖4所示，根據(jù)本實用新型的第二實施例的排氣部220，排氣槽221的開口部可形成為圓形或橢圓形。在本實用新型的第二實施例中，優(yōu)選排氣孔222的內(nèi)徑小于排氣槽221的內(nèi)徑，以便在排氣槽221的底面也形成有通過排氣孔222形成的臺階部223。圖5是示出本實用新型的第三實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。本實用新型的第一實施例的排氣部120具備具有大致多邊形開口部的排氣槽121和具有大致圓形開口部的排氣孔122，但是如圖5所示，根據(jù)本實用新型的第三實施例的排氣部320，排氣孔322的開口部可形成為具有多邊形截面。 S卩，排氣孔322可形成為大致多邊柱形，根據(jù)加工難易度等，可形成為大致方柱形。在本實用新型的第三實施例中，優(yōu)選排氣孔322的開口寬度小于排氣槽321的開口寬度，以便在排氣槽321的底面也形成有通過排氣孔322形成的臺階部323。圖6是示出本實用新型的第四實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。本實用新型的第一實施例的排氣部120具備具有大致多邊形開口部的排氣槽121和具有大致圓形開口部的排氣孔122，但是如圖6所示，根據(jù)本實用新型的第四實施例的排氣部420，排氣槽421的開口部可形成為圓形或橢圓形，排氣孔422的開口部可形成為具有大致多邊形截面。在本實用新型的第四實施例中，優(yōu)選排氣孔422的開口寬度小于排氣槽421的開口寬度，以便在排氣槽421的底面也形成有由排氣孔422形成的臺階部423。圖7是示出本實用新型的第五實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。如圖7所示，本實用新型的第五實施例的排氣部520與第一至第四實施例的排氣部120、220、320、420的形狀不同。第五實施例的排氣槽521、521a、521b形成為寬度向排氣面111的中心部逐漸變窄的臺階式。即,排氣槽521可具有主槽52Ia和自主槽52Ia的一側(cè)向排氣面111的中心部延伸形成的矩形的突出槽521b。突出槽521b的寬度小于主槽521a的寬度，可在主槽521a與突出槽521b相接的部分形成臺階524。在本實用新型的第五實施例中，在排氣槽521的底面也形成有排氣孔522。排氣孔522可橫跨主槽521a和突出槽521b，優(yōu)選排氣孔522的寬度小于主槽521a及突出槽521b的開口寬度，以便在排氣槽521的底面形成臺階部523。排氣孔522可以形成為具有圓形的開口部，也可以形成為具有多邊形的開口部。圖8是示出本實用新型的第六實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。本實用新型的第五實施例的排氣部520具有矩形的突出槽521b，但是如圖8所示，本實用新型的第六實施例涉及的突出槽621b形成為一側(cè)的外輪廓呈圓弧。S卩，在突出槽621b中，與主槽621a相接側(cè)相反方向的側(cè)面可形成為曲面?；蛘?，可以從在主槽621a與突出槽621相接的位置形成的臺階624開始，突出槽621b形成為曲面。如上所述，通過形成第五、六實施例所述的排氣槽521、621，將經(jīng)排氣孔522、622排出的氣體流通過突出槽521b、621b導(dǎo)向主槽521a、621a，并通過排出孔522、622排出，從而能夠提高排出效率。另外，與簡單以矩形形成排氣槽521的情況相比，在突出槽621b處寬度縮窄，從而使排氣槽521的整個截面積減少，由此，可提高排氣壓力。圖9是示出本實用新型的第七實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。本實用新型的第一實施例的排氣部120，在排氣槽121與排氣孔122之間形成有一個臺階部123，但如圖7所示，本實用新型的第七實施例的排氣部720，在內(nèi)側(cè)面上可形成有多級的臺階部723。排氣槽721和排氣孔722的開口部可大致形成為多邊形、橢圓形或圓形，在連接排氣槽722與排氣孔723的內(nèi)側(cè)面上可形成有以規(guī)定間距形成階梯狀的多級臺階部723。各臺階部723a、723b的水平面的周邊形狀可根據(jù)加工的難易度、制造成本、排氣效率等因素形成為多邊形、橢圓形或圓形。下面說明本實用新型的實施例涉及的排氣部的位置。圖10是示出本實用新型的 實施例涉及的排氣部和工作臺的布置狀態(tài)的一實施例的剖視圖，圖11是示出本實用新型的實施例涉及的排氣部和工作臺的布置狀態(tài)的另一實施例的剖視圖。為了便于說明，示出本實用新型的第五實施例的排氣部520來進(jìn)行說明，但是其它實施例的排氣部也可以同樣適用。圖10及圖11是從工作臺150的上部觀看形成有排氣部520的排氣面111的真空腔100的剖視圖。如圖10所示，排氣部520可形成在排氣面111中的工作臺150下部區(qū)域的外側(cè)。通過這樣布置排氣部520，可有效排出工作臺150上部的廢氣等氣體?；蛘?，如圖11所示，排氣部520可形成為，突出槽521b的至少一部分位于工作臺150的下部區(qū)域。通過這樣布置排氣部520，可同時有效地排出工作臺150上部和下部的廢氣等氣體。S卩，工作臺150下部的氣體通過突出槽521b被引導(dǎo)至主槽521a，從而提高了排出效率。不單獨具有突出槽521b的第一至第四實施例的排氣部120、220、320、420的情況，通過使排氣槽121、221、321、421的至少一部分位于工作臺150的下部，可獲得相同效果。在上面說明并圖示的本實用新型的實施例，不能解釋為限定本實用新型的技術(shù)思想。本實用新型的保護(hù)范圍限定于權(quán)利要求書中記載的事項，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠基于本實用新型的技術(shù)思想進(jìn)行各種形式的改善及變更。這些改善及變更對本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言是顯而易見的，屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種真空腔，其包括 外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間； 排氣槽，形成在所述外殼的內(nèi)側(cè)面上； 排氣孔，形成在所述排氣槽的一面上，并貫穿所述外殼；以及 排氣泵，與所述排氣孔連接，用于排出所述外殼內(nèi)部的氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣槽的截面積大于所述排氣孔的截面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣孔與所述排氣槽形成臺階。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣槽的外輪廓形成為圓形。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣槽的外輪廓形成為多邊形。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣槽的外輪廓形成為矩形。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于，所述排氣槽具有 主槽以及從所述主槽的一側(cè)向所述外殼的內(nèi)側(cè)方向延伸形成的突出槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空腔，其特征在于， 所述突出槽的寬度小于所述主槽的寬度，所述突出槽與所述主槽形成臺階。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的真空腔，其特征在于， 所述突出槽的外輪廓形成為矩形。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的真空腔，其特征在于， 所述突出槽的一側(cè)的外輪廓形成為圓弧形。
11.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的真空腔，其特征在于， 在所述外殼內(nèi)的所述空間中具有用于支承所述被處理體的工作臺，所述突出槽的至少一部分位于所述工作臺的下部。
12.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的真空腔，其特征在于， 在所述外殼內(nèi)的所述空間中具有用于支承所述被處理體的工作臺，所述突出槽位于所述工作臺下部的外側(cè)。
13.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣孔的外輪廓形成為圓形。
14.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣孔的外輪廓形成為多邊形。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的真空腔，其特征在于， 所述排氣孔的外輪廓形成為矩形。
16.一種真空腔，其包括 外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間； 排氣部，在所述外殼的一面上貫穿形成，內(nèi)側(cè)面折曲形成為具有規(guī)定級差的多級臺階；排氣泵，與 所述排氣部連接，用于排出所述外殼內(nèi)部的氣體。
專利摘要本實用新型涉及的真空腔包括外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間；排氣槽，形成在所述外殼的內(nèi)側(cè)面上；排氣孔，形成在所述排氣槽的一面上，并貫穿所述外殼；以及排氣泵，與所述排氣孔連接，用于排出所述外殼內(nèi)部的氣體。本實用新型可降低腔體的制造成本且提高排氣效率。
文檔編號H01L21/67GK202633249SQ201220201550
公開日2012年12月26日 申請日期2012年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者樸宇鐘, 樸希偵 申請人:麗佳達(dá)普株式會社