專利名稱：上芯機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光機(jī)電一體化芯片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種全自動(dòng)上芯機(jī)。
背景技術(shù)：
上芯機(jī)是半導(dǎo)體后工序生產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備之一，它主要完成對(duì)芯片進(jìn)行各種可靠的質(zhì)量檢測(cè)、精確定位，并送達(dá)下一步工序進(jìn)行引線封裝，而目前市面上的上芯機(jī) 上料器及下料器均不能與送料槽拆分，并且上料器在上料的時(shí)候是人工手動(dòng)上料，工作效率低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種可以拆分上料器及下料器的全自動(dòng)上料的上芯機(jī)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種上芯機(jī)，包括機(jī)架、控制箱、晶圓臺(tái)、送料槽、上料器、下料器、機(jī)械臂、圖像采集裝置，所述機(jī)架下方固定有控制箱，所述機(jī)架上方安裝有晶圓臺(tái)和送料槽，所述送料槽兩端分別連接有上料器和下料器，所述送料槽上方設(shè)有一機(jī)械臂，所述機(jī)械臂上方設(shè)有一圖像采集裝置。所述上料器可以拆分安裝在機(jī)架上，所述下料器也可以拆分安裝在機(jī)架上。在使用時(shí)可將物料裝在上料器內(nèi)，并將上料器安裝在機(jī)架上，使得上料器的出料口與送料槽相連，上料器內(nèi)的物料從上料器出料口輸出，由送料槽輸送到機(jī)械臂處，機(jī)械臂將晶圓臺(tái)上的晶圓盤內(nèi)的晶圓焊接在物料上，送料槽將焊接好晶圓的物料傳輸?shù)较铝掀鲀?nèi)，下料器收集滿物料后，可以將下料器拆下來(lái)，將物料裝好。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、生產(chǎn)效率高。

圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中I、機(jī)架，2、控制箱，3、晶圓臺(tái)，4、送料槽，5、上料器，6、下料器，7、機(jī)械臂，8、圖
像采集裝置。
具體實(shí)施方式
一種上芯機(jī)，包括機(jī)架I、控制箱2、晶圓臺(tái)3、送料槽4、上料器5、下料器6、機(jī)械臂7、圖像采集裝置8，所述機(jī)架I下方固定有控制箱2，所述機(jī)架I上方安裝有晶圓臺(tái)3和送料槽4，所述送料槽4兩端分別連接有上料器5和下料器6，所述送料槽4上方設(shè)有一機(jī)械臂7，所述機(jī)械臂7上方設(shè)有一圖像采集裝置8。所述上料器5可以拆分安裝在機(jī)架I上，所述下料器6也可以拆分安裝在機(jī)架I上。[0013]在使用時(shí)可將物料裝在上料器5內(nèi)，并將上料器5安裝在機(jī)架I上，使得上料器5的出料口與送料槽4相連，上料器5內(nèi)的物料從上料器5出料口輸出，由送料槽4輸送到機(jī)械臂7處，機(jī)械臂7將晶圓臺(tái)3上的晶圓盤內(nèi)的晶圓焊接在物料上，送料槽4將焊接好晶圓的物料傳輸?shù)较铝掀?內(nèi)，下料器6收集滿物料后，可以將下料器拆下來(lái)，將物料裝好。根據(jù)上述說(shuō)明書的揭示和教導(dǎo)，本實(shí)用新型所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還可以對(duì)上述實(shí) 施方式進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏托薷?。因此，本?shí)用新型并不局限于上面揭示和描述的具體實(shí)施方式
，對(duì)本實(shí)用新型的一些修改和變更也應(yīng)當(dāng)落入本實(shí)用新型的權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。此外，盡管本說(shuō)明書中使用了一些特定的術(shù)語(yǔ)，但這些術(shù)語(yǔ)只是為了方便說(shuō)明，并不對(duì)本實(shí)用新型構(gòu)成任何限制。
權(quán)利要求1.一種上芯機(jī)，其特征在于包括機(jī)架、控制箱、晶圓臺(tái)、送料槽、上料器、下料器、機(jī)械臂、圖像采集裝置，所述機(jī)架下方固定有控制箱，所述機(jī)架上方安裝有晶圓臺(tái)和送料槽，所述送料槽兩端分別連接有上料器和下料器，所述送料槽上方設(shè)有ー機(jī)械臂，所述機(jī)械臂上方設(shè)有ー圖像采集裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的上芯機(jī)，其特征在于所述上料器可以拆分安裝在機(jī)架上，所述下料器也可以拆分安裝在機(jī)架上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種上芯機(jī)，包括機(jī)架、控制箱、晶圓臺(tái)、送料槽、上料器、下料器、機(jī)械臂、圖像采集裝置，所述機(jī)架下方固定有控制箱，所述機(jī)架上方安裝有晶圓臺(tái)和送料槽，所述送料槽兩端分別連接有上料器和下料器，所述送料槽上方設(shè)有一機(jī)械臂，所述機(jī)械臂上方設(shè)有一圖像采集裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、生產(chǎn)效率高。
文檔編號(hào)H01L21/677GK202564192SQ20122014015
公開日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月5日
發(fā)明者余登華, 凌浩, 顧南雁 申請(qǐng)人:深圳市金譽(yù)半導(dǎo)體有限公司