專利名稱：一種熱機(jī)軌道透明式蓋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，屬于集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域，特別是涉及粘晶工序中軌道密封蓋板的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體封裝工業(yè)粘晶工序中，熱機(jī)設(shè)備軌道部需要完成針對引線的加熱、點(diǎn)錫、粘晶、降溫等相關(guān)工藝。軌道部由U形槽，軌道板，軌道蓋板，加熱結(jié)構(gòu)，冷卻結(jié)構(gòu)及支撐端組成。粘晶區(qū)域的工作溫度較高，一般在400°C左右。引線進(jìn)入加熱區(qū)域后，本身的溫度逐漸上升，并保持在錫絲熔點(diǎn)溫度形成恒溫。粘晶工藝結(jié)束后，引線沿工作臺軌道被搬移出加熱區(qū)，并在冷卻結(jié)構(gòu)的作用下，溫度逐漸降低至常溫。為保證引線在加熱過程中不被氧化，軌道部一般采用全封閉式結(jié)構(gòu)。以往的軌道蓋板結(jié)構(gòu)，引線一旦進(jìn)入工作臺后，其運(yùn)行過程將完全處于封閉結(jié)構(gòu)內(nèi)，無法瞬時(shí)觀察其運(yùn)行狀態(tài)及變化。若出現(xiàn)引線堵塞、點(diǎn)錫或粘晶等工藝問題時(shí)，操作人員無法及時(shí)發(fā)現(xiàn)，從而造成原材料浪費(fèi)及對設(shè)備的損壞。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述技術(shù)背景中存在的問題，提供一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，使軌道蓋板上的一定區(qū)域可以觀察到引線的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，包括帶側(cè)板的以軌道為底面的U型槽，所述U型槽上設(shè)有出料蓋板、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板和進(jìn)料蓋板，所述蓋板上設(shè)有透明窗口，所述蓋板一端卡在軌道一側(cè)側(cè)板的U型槽上，另一側(cè)用螺絲固定在軌道另一側(cè)的側(cè)板上，蓋板上設(shè)有透明窗口。所述蓋板包括底座、耐熱玻璃、密封罩和滑動片，在底座的凹槽中嵌入優(yōu)質(zhì)的耐熱玻璃，用固定螺絲將依次疊加在一起的密封罩、耐熱玻璃和底座密封固定在軌道的側(cè)板上。所述密封罩上設(shè)有滑動片。滑動片為搬運(yùn)位置密封擋片，功能與密封罩類似。本發(fā)明的有益效果是這種熱機(jī)軌道透明式蓋板包括出料蓋板、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板和進(jìn)料蓋板，蓋板上設(shè)有透明窗口，并固定在軌道的側(cè)板上。采用加置耐熱性較好的透明玻璃后，軌道蓋板上的一定區(qū)域可以觀察到引線的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)，保證了結(jié)構(gòu)的整體性和密封效果的同時(shí)，可以有效的避免出現(xiàn)引線堵塞、點(diǎn)錫或粘晶等工藝問題時(shí)，從而節(jié)省原材料，及時(shí)避免設(shè)備的損壞，提高設(shè)備的生產(chǎn)效率，并延長其使用壽命。
圖I是軌道部整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是進(jìn)料軌道蓋板外部示意圖。圖3是進(jìn)料軌道蓋板裝配示意圖。圖中1、左支撐，2、U形槽，3、右支撐，4、出料蓋板，5、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板，6.、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板，7、進(jìn)料蓋板，8、進(jìn)料口，9、出料口，10、固定螺絲，11、底座，12、耐熱玻璃，13、密封罩，
14、滑動片。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做詳細(xì)的說明。圖1、2、3示出了進(jìn)料軌道蓋板結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，在軌道的兩側(cè)固定有側(cè)板，形成了以軌道為底面的U型結(jié)構(gòu)；分別在軌道的出料、冷卻、粘晶、進(jìn)料處覆蓋上一層透明密封的蓋板，即出料蓋板4、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板5、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板6和進(jìn)料蓋板7，這些密封蓋板一端卡在軌道一側(cè)側(cè)板的U型槽上，另一側(cè)用螺絲固定在軌道另一側(cè)的側(cè)板上；密封蓋板由底座
11、耐熱玻璃12、密封罩13和滑動片14組成；在底座11的凹槽中嵌入優(yōu)質(zhì)的耐熱玻璃12，用固定螺絲10將密封罩13、耐熱玻璃12和底座11相疊加密封固定粘合起來；在密封罩13上開有滑動片14，滑動片14為搬運(yùn)位置密封擋片，功能與密封罩類似。所有軌道蓋板與U形槽及軌道板連接處，均采用卡槽結(jié)構(gòu)。接觸面表面粗糙度均為O. 8;零件加工時(shí)嚴(yán)格限制其公差要求及誤差范圍。按照嚴(yán)格的裝配工藝，保證結(jié)構(gòu)的整體性能與密封性能。
權(quán)利要求
1.一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，包括帶側(cè)板的以軌道為底面的U型槽(2)，其特征在于所述U型槽(2)上設(shè)有出料蓋板(4)、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板(5)、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板(6)和進(jìn)料蓋板(7)，所述蓋板上設(shè)有透明窗口，所述蓋板一端卡在軌道一側(cè)側(cè)板的U型槽(2)上，另一側(cè)用螺絲固定在軌道另一側(cè)的側(cè)板上，蓋板上設(shè)有透明窗口。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，其特征在于所述蓋板包括底座(11 )、耐熱玻璃(12)、密封罩(13)和滑動片(14)，在底座(11)的凹槽中嵌入優(yōu)質(zhì)的耐熱玻璃(12)，用固定螺絲(10)將依次疊加在一起的密封罩(13)、耐熱玻璃(12)和底座(11)密封固定在軌道的側(cè)板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，其特征在于所述密封罩(13)上設(shè)有滑動片(14)。
全文摘要
一種熱機(jī)軌道透明式蓋板，屬于集成電路設(shè)計(jì)領(lǐng)域。這種熱機(jī)軌道透明式蓋板包括出料蓋板、冷卻結(jié)構(gòu)蓋板、粘晶結(jié)構(gòu)蓋板和進(jìn)料蓋板，蓋板上設(shè)有透明窗口，并固定在軌道的側(cè)板上。采用加置耐熱性較好的透明玻璃后，軌道蓋板上的一定區(qū)域可以觀察到引線的實(shí)時(shí)運(yùn)行狀態(tài)，保證了結(jié)構(gòu)的整體性和密封效果的同時(shí)，可以有效的避免出現(xiàn)引線堵塞、點(diǎn)錫或粘晶等工藝問題時(shí)，從而節(jié)省原材料，及時(shí)避免設(shè)備的損壞，提高設(shè)備的生產(chǎn)效率，并延長其使用壽命。
文檔編號H01L21/67GK102938388SQ20121046746
公開日2013年2月20日 申請日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月19日
發(fā)明者陳濤, 杜紹明, 王修儒 申請人:大連佳峰電子有限公司