專利名稱：一種多環(huán)路的對(duì)稱電感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例大體上和電感器有關(guān)，且更明確地說(shuō)，系關(guān)于被施行在積體電路中的電感器。
背景技術(shù)：
電感器可以用來(lái)施行電子濾波器以及共振電路。然而，積體電路中的電感器卻會(huì)占據(jù)大量的面積以達(dá)所需的電感，而且，具有高品質(zhì)系數(shù)(Q)的電感器亦很難被施行在一積體電路之中。本發(fā)明的一或多個(gè)實(shí)施例可以解決一或多項(xiàng)上面問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明之一實(shí)施例提供一種對(duì)稱電感器,其會(huì)在一積體電路的分別導(dǎo)體層之中包含多個(gè)半環(huán)路對(duì)。每一個(gè)半環(huán)路對(duì)皆可能在該分別導(dǎo)體層之中包含一第一半環(huán)路與一第二半環(huán)路。于此實(shí)施例中，該對(duì)稱電感器可能還在一第一導(dǎo)體層之中包含第一終端電極與第二終端電極，并且在一第二導(dǎo)體層之中包含一中央分接電極。該第一終端電極與該中央分接電極會(huì)經(jīng)由一第一串聯(lián)組合被耦合，該第一串聯(lián)組合包含每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第一半環(huán)路。該第二終端電極與該中央分接電極會(huì)經(jīng)由一第二串聯(lián)組合被耦合，該第二串聯(lián)組合包含每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第二半環(huán)路。于此實(shí)施例中，該等分別導(dǎo)體層可能系該積體電路中不同的金屬層。該中央分接電極會(huì)分離該等半環(huán)路對(duì)中之一個(gè)半環(huán)路對(duì)的該等第一半環(huán)路與第二半環(huán)路，而且該等半環(huán)路對(duì)中的該半環(huán)路對(duì)可能系在該第二導(dǎo)體層之中。一分別非導(dǎo)體區(qū)會(huì)分離該半環(huán)路對(duì)的分別導(dǎo)體層之中的每一個(gè)半環(huán)路對(duì)。該對(duì)稱電感器可能在該等半環(huán)路對(duì)的一第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路以及一額外半環(huán)路對(duì) 的一第一半環(huán)路之間包含一交越連接線。該交越連接線與該額外半環(huán)路對(duì)可能會(huì)被設(shè)置在該第一半環(huán)路對(duì)的該分別導(dǎo)體層之中，而且該額外半環(huán)路對(duì)可能會(huì)被設(shè)置在該第一半環(huán)路對(duì)里面。該中央分接電極與該交越連接線可能還會(huì)進(jìn)一步分離該等半環(huán)路對(duì)中的該等第一半環(huán)路與第二半環(huán)路。除了在該等半環(huán)路對(duì)的分別非導(dǎo)體區(qū)中以外，該等半環(huán)路對(duì)會(huì)共同延伸于該積體電路的兩個(gè)橫向維度。于此實(shí)施例中，該等半環(huán)路對(duì)可能會(huì)實(shí)質(zhì)上共同延伸于彼此垂直的兩個(gè)橫向維度，而且該等半環(huán)路對(duì)可能會(huì)沿著垂直于該等兩個(gè)橫向維度的另一維度被分離。每一個(gè)第一半環(huán)路都會(huì)在該第一串聯(lián)組合中以第一順序從該第一導(dǎo)體層被連接至該第二導(dǎo)體層；每一個(gè)第二半環(huán)路都會(huì)在該第二串聯(lián)組合中以第二順序從該第一導(dǎo)體層被連接至該第二導(dǎo)體層；而且該等分別導(dǎo)體層的該等第一順序與第二順序可能相同。該等第一終端電極與第二終端電極可能分別在該對(duì)稱電感器的第一側(cè)與第二側(cè)；該等半環(huán)路對(duì)中每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的該等第一半環(huán)路與第二半環(huán)路中的每一者可能會(huì)在該等第一側(cè)與第二側(cè)中之一側(cè)；具有每一個(gè)第一半環(huán)路的第一串聯(lián)組合可能會(huì)始于該第一側(cè)并且可能會(huì)在該等第二側(cè)與第一側(cè)之間交替排列；而具有每一個(gè)第二半環(huán)路的第二串聯(lián)組合可能會(huì)始于該第二側(cè)并且可能會(huì)在該等第一側(cè)與第二側(cè)之間交替排列。于此實(shí)施例中，該等第一終端電極與第二終端電極可能分別在該對(duì)稱電感器的第一側(cè)與第二側(cè)；該等半環(huán)路對(duì)中每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的該等第一半環(huán)路與第二半環(huán)路中的每一者可能會(huì)在該等第一側(cè)與第二側(cè)中之一側(cè)；具有每一個(gè)第一半環(huán)路的第一串聯(lián)組合可能會(huì)始于該第一側(cè)并且可能會(huì)在該等第二側(cè)與第一側(cè)之間交替排列；而具有每一個(gè)第二半環(huán)路的第二串聯(lián)組合可能會(huì)始于該第二側(cè)并且可能會(huì)在該等第一側(cè)與第二側(cè)之間交替排列。該等半環(huán)路對(duì)可能包含第一半環(huán)路對(duì)與第二半環(huán)路對(duì)；該第一終端電極可能會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路與該第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極；該第一半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該對(duì)稱電感器的兩側(cè)中的第一側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，而該第二半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該等兩側(cè)中的第二側(cè)的第二導(dǎo)體層之中；該第二終端電極可能會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路與該第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極；該第一半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第二側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，而該第二半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第一側(cè)的第二導(dǎo)體層之中；以及該等第二導(dǎo)體層與第一導(dǎo)體層可能分別系依序被設(shè)置在該積體電路之中的下方導(dǎo)體層與上方導(dǎo)體層。于此實(shí)施例中，該等半環(huán)路對(duì)可能包含第一、第二、以及第三半環(huán)路對(duì)；該第一終端電極可能會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路、該第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路、以及該第三半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極。該第一半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該對(duì)稱電感器的兩側(cè)中的第一側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，該第二半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該等兩側(cè)中的第二側(cè)的分別導(dǎo)體層之中，而該第三半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該第一側(cè)的第二導(dǎo)體層之中。該第二終端電極可能會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路、該第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路、以及該第三半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極。該第一半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第二側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，該第二半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第一側(cè)的分別導(dǎo)體層之中，而該第三半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第二側(cè)的第二導(dǎo)體層之中。于此實(shí)施例中，該第二導(dǎo)體層、該第二半環(huán)路對(duì)的該分別導(dǎo)體層、以及該第一導(dǎo)體層可能分別為依序被設(shè)置在該積體電路之中的下方導(dǎo)體層、中間導(dǎo)體層、以及上方導(dǎo)體層。該第二半環(huán)路對(duì)的該分別導(dǎo)體層、該第二導(dǎo)體層、以及該第一導(dǎo)體層可能分別為依序被設(shè)置在該積體電路之中的下方導(dǎo)體層、中間導(dǎo)體層、以及上方導(dǎo)體層。于此實(shí)施例中，該等半環(huán)路對(duì)可能包含第一、第二、以及第三半環(huán)路對(duì)，該等第一半環(huán)路對(duì)與第二半環(huán)路對(duì)分別可能系一外半環(huán)路對(duì)與內(nèi)半環(huán)路對(duì)，兩者皆被施行在該第一導(dǎo)體層之中，而該第三半環(huán)路對(duì)則可能系被施行在該第二導(dǎo)體層之中；該第一終端電極可能會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路、該第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路、以及該第三半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極。該第一半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該對(duì)稱電感器的兩側(cè)中的第一側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，該第二半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該等兩側(cè)中的第二側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，而該第三半環(huán)路對(duì)的該第一半環(huán)路可能系在該第一側(cè)的第 二導(dǎo)體層之中。該第二終端電極可能會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路、該第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路、以及該第三半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極。該第一半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第二側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，該第二半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第一側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，而該第三半環(huán)路對(duì)的該第二半環(huán)路可能系在該第二側(cè)的第二導(dǎo)體層之中。于此實(shí)施例中，該第三半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路可能會(huì)被施行在該第二導(dǎo)體層與一第三導(dǎo)體層兩者的第一側(cè)，而該第三半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路可能會(huì)被施行在該第二導(dǎo)體層與該第三導(dǎo)體層兩者的第二側(cè)。本發(fā)明的對(duì)稱電感器的另一實(shí)施例會(huì)在一積體電路的多個(gè)導(dǎo)體層之中包含多個(gè)半環(huán)路對(duì)，每一個(gè)該等半環(huán)路對(duì)皆可能在該等導(dǎo)體層之一者包含一第一半環(huán)路與一第二半環(huán)路。此外，該對(duì)稱電感器可能還包含:一第一終端電極與一第二終端電極，兩者皆在該等導(dǎo)體層的第一導(dǎo)體層之中，其中該等第一終端電極與第二終端電極可能分別被設(shè)置在該對(duì)稱電感器的第一側(cè)與第二側(cè)；一位于該等導(dǎo)體層的第二導(dǎo)體層之中的中央分接電極，其中該中央分接電極會(huì)沿著該等第一側(cè)與第二側(cè)之間的對(duì)稱線被設(shè)置；以及，其中該第一終端電極與該中央分接電極會(huì)經(jīng)由該等半環(huán)路對(duì)中每一者的第一半環(huán)路所組成的第一串聯(lián)組合被耦合，而該第二終端電極與該中央分接電極會(huì)經(jīng)由該等半環(huán)路對(duì)中每一者的第二半環(huán)路所組成的第二串聯(lián)組合被耦合。于此實(shí)施例中，該第一串聯(lián)組合中的每一個(gè)第一半環(huán)路可能會(huì)從該第一側(cè)開(kāi)始于該等第一側(cè)與第二側(cè)之間交替排列，而該第二串聯(lián)組合中的每一個(gè)第二半環(huán)路可能會(huì)從該第二側(cè)開(kāi)始于該等第一側(cè)與第二側(cè)之間交替排列。每一個(gè)半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路出現(xiàn)在該第一串聯(lián)組合中的位置會(huì)匹配該半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路出現(xiàn)在該第二串聯(lián)組合中的位置。本發(fā)明用以形成一對(duì)稱電感器的方法的實(shí)施例可能包含:在一積體電路的分別導(dǎo)體層之中形成多個(gè)半環(huán)路對(duì)，每一個(gè)半環(huán)路對(duì)皆在該分別導(dǎo)體層之中包含一第一半環(huán)路與一第二半環(huán)路；形成一第一終端電極與一第二終端電極，兩者皆在分別導(dǎo)體層的一第一導(dǎo)體層之中；在分別導(dǎo)體層的一第二導(dǎo)體層之中形成一中央分接電極；利用一由該等半環(huán)路對(duì)中每一者的第一半環(huán)路所組成的第一串聯(lián)組合來(lái)稱合該第一終端電極與該中央分接電極；以及利用一由該等半環(huán)路對(duì)中每一者的第二半環(huán)路所組成的第二串聯(lián)組合來(lái)耦合該第二終端電極與該中央分接電極。于此實(shí)施例中，該等分別導(dǎo)體層為該積體電路中不同的金屬層。 應(yīng)該明白的系，在后面的實(shí)施方式及專利申請(qǐng)范圍中段落中會(huì)提出本發(fā)明的各種其它實(shí)施例。


討論上面的詳細(xì)說(shuō)明并參考下面的圖式便會(huì)明白本文所揭之實(shí)施例的各項(xiàng)觀點(diǎn)與優(yōu)點(diǎn)，其中:圖1所不的系根據(jù)一實(shí)施例的一雙環(huán)路對(duì)稱電感器之一導(dǎo)體層的布局圖；圖2所示的系圖1的雙環(huán)路對(duì)稱電感器的另一導(dǎo)體層的布局圖；圖3所示的系圖1與2的雙環(huán)路對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖；圖4所示的系根據(jù)一實(shí)施例在三個(gè)導(dǎo)體層之中具有三個(gè)環(huán)路的對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖；圖5所示的系根據(jù)一實(shí)施例在三個(gè)導(dǎo)體層之中具有三個(gè)環(huán)路的另一對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖；圖6所示的系根據(jù)一實(shí)施例在一導(dǎo)體層中具有兩個(gè)環(huán)路的三環(huán)路對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖；圖7與8所示的系根據(jù)一實(shí)施例在一導(dǎo)體層中具有兩個(gè)環(huán)路的額外三環(huán)路對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖；以及圖9所示的系圖6的三環(huán)路對(duì)稱電感器的一實(shí)施例的分解布局圖。
具體實(shí)施例方式圖1所示的系根據(jù)一實(shí)施例的一雙環(huán)路對(duì)稱電感器之一導(dǎo)體層的布局圖。圖1顯不出該對(duì)稱電感器的一第一金屬層101中的一對(duì)半環(huán)路，而圖2顯不出該對(duì)稱電感器的一第二金屬層201中的一對(duì)半環(huán)路。于一實(shí)施例中，圖1與2中所不的金屬層101與201系一積體電路的不同金屬層。該對(duì)稱電感器在圖1中所示的第一金屬層101中具有兩個(gè)終端電極102與104。該第一半環(huán)路對(duì)包含兩個(gè)半環(huán)路106與108，而且該等半環(huán)路106與108會(huì)被該第一金屬層101中一相關(guān)聯(lián)的非導(dǎo)體空乏區(qū)110分開(kāi)。該第一金屬層101中的另一非導(dǎo)體空乏區(qū)112會(huì)分開(kāi)該等終端電極102與104以及該第一半環(huán)路對(duì)的該等半環(huán)路106與108。圖2所示的系圖1的雙環(huán)路對(duì)稱電感器的另一導(dǎo)體層201的布局圖。該對(duì)稱電感器會(huì)耦合圖1中所示的半環(huán)路106與108以及圖2中所示的半環(huán)路202與204。該對(duì)稱電感器會(huì)耦合該第一半環(huán)路對(duì)的半環(huán)路106的接觸區(qū)114和該第二半環(huán)路對(duì)的半環(huán)路202的接觸區(qū)206。該對(duì)稱電感器在圖2中所不的第二金屬層201中具有一中央分接電極210。于一實(shí)施例中，該中央分接電 極會(huì)沿著該對(duì)稱電感器的左側(cè)120與右側(cè)122之間的對(duì)稱線被設(shè)置。在圖1中，終端電極102系被設(shè)置在該對(duì)稱電感器的左側(cè)120而終端電極104系被設(shè)置在該對(duì)稱電感器的右側(cè)122。該第二金屬層201的一非導(dǎo)體空乏區(qū)212會(huì)與該第二半環(huán)路對(duì)相關(guān)聯(lián)，而且該非導(dǎo)體空乏區(qū)212會(huì)分開(kāi)該等半環(huán)路202與204。該中央分接電極210也會(huì)分開(kāi)該等半環(huán)路202 與 204。于一實(shí)施例中，圖1中所示的第一半環(huán)路對(duì)和圖2中所示的第二半環(huán)路對(duì)實(shí)質(zhì)上會(huì)共同延伸于該積體電路的兩個(gè)橫向維度。除了該等第一金屬層101與第二金屬層201的非導(dǎo)體空乏區(qū)110、112、以及212以外，該等第一半環(huán)路對(duì)與第二半環(huán)路對(duì)會(huì)共同延伸于穿過(guò)圖1與2之平面的兩個(gè)橫向維度。因此，該等第一半環(huán)路對(duì)與第二半環(huán)路對(duì)突出至該積體電路之表面中的部分會(huì)相同，但系該等非導(dǎo)體空乏區(qū)110、112、以及212的突出部除外。該等兩個(gè)橫向維度為垂直，而且圖1與2中所示的該等兩個(gè)半環(huán)路對(duì)會(huì)沿著一垂直于該等兩個(gè)橫向維度的垂直維度被堆迭并且分開(kāi)。于一實(shí)施例中，該對(duì)半環(huán)路106與108為匹配半環(huán)路，除了在非導(dǎo)體空乏區(qū)110以夕卜，因?yàn)樗鼈円宰髠?cè)120與右側(cè)122之間的對(duì)稱線為基準(zhǔn)彼此互為鏡像。同樣地，該對(duì)半環(huán)路202與204為匹配半環(huán)路，因?yàn)槌嗽诜菍?dǎo)體空乏區(qū)212以外它們會(huì)相互鏡射。圖3所示的系圖1與2的雙環(huán)路對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖。圖3顯示該電感器的整體對(duì)稱性。圖中以虛線箭頭來(lái)顯示用以在導(dǎo)體層之間進(jìn)行連接的接點(diǎn)。
該對(duì)稱電感器在一積體電路的一上方導(dǎo)體層之中包含終端電極302與304，終端電極302系在該電感器之一側(cè)306而終端電極304系在該電感器的另一側(cè)308。該對(duì)稱電感器還在置中于該等側(cè)306與308之間的一下方導(dǎo)體層之中包含一中央分接電極310。該第一半環(huán)路對(duì)系在該上方導(dǎo)體層之中并且包含半環(huán)路312與314。該第二半環(huán)路對(duì)系在該下方導(dǎo)體層之中并且包含半環(huán)路316與318。該第一終端電極302與該中央分接電極310會(huì)經(jīng)由該等半環(huán)路對(duì)的該等半環(huán)路312與316所組成的第一串聯(lián)組合被耦合，而該第二終端電極304與該中央分接電極310會(huì)經(jīng)由該等半環(huán)路對(duì)的該等半環(huán)路314與318所組成的第二串聯(lián)組合被耦合。因此，該第一串聯(lián)組合包含每一個(gè)半環(huán)路對(duì)之一個(gè)半環(huán)路，而該第二串聯(lián)組合包含每一個(gè)半環(huán)路對(duì)的另一個(gè)半環(huán)路。該等半環(huán)路312與316會(huì)依序被連接在該第一串聯(lián)組合之中，而該等半環(huán)路314與318則會(huì)依序被連接在該第二串聯(lián)組合之中。該等第一串聯(lián)組合與第二串聯(lián)組合兩者系從該上方導(dǎo)體層之中的分別半環(huán)路312與314開(kāi)始，而且該等第一串聯(lián)組合與第二串聯(lián)組合兩者系結(jié)束于該下方導(dǎo)體層之中的分別半環(huán)路316與318。兩個(gè)串聯(lián)組合的導(dǎo)體層的順序都系從上方導(dǎo)體層開(kāi)始并且結(jié)束于下方導(dǎo)體層。因此，兩個(gè)串聯(lián)組合具有完全相同的導(dǎo)體層順序。

該第一半環(huán)路對(duì)會(huì)促成出現(xiàn)在該第一串聯(lián)組合中的初始半環(huán)路312以及出現(xiàn)在該第二串聯(lián)組合中的初始半環(huán)路314。該第二半環(huán)路對(duì)則會(huì)促成出現(xiàn)在該第一串聯(lián)組合中的最終半環(huán)路316以及出現(xiàn)在該第二串聯(lián)組合中的最終半環(huán)路318。因此，該第一對(duì)的半環(huán)路312及314會(huì)出現(xiàn)在該等第一串聯(lián)組合與第二串聯(lián)組合中匹配的初始位置中，而該第二對(duì)的半環(huán)路316及318則會(huì)出現(xiàn)在該等第一串聯(lián)組合與第二串聯(lián)組合中匹配的最終位置中。該等半環(huán)路312、314、316、以及318中的每一者系在該對(duì)稱電感器之側(cè)306與308中之一者處。該第一串聯(lián)組合從該第一終端電極302之側(cè)306的半環(huán)路312開(kāi)始，并且該第一串聯(lián)組合結(jié)束在側(cè)308的半環(huán)路316。同樣地，該第二串聯(lián)組合從該第二終端電極304之側(cè)308的半環(huán)路314開(kāi)始并且結(jié)束在側(cè)306的半環(huán)路318。因此，該第一串聯(lián)組合中的半環(huán)路312與316會(huì)在側(cè)306與308之間交替排列，而該第二串聯(lián)組合中的半環(huán)路314與318則會(huì)在側(cè)308與306之間交替排列。于一實(shí)施例中，該等導(dǎo)體層為依序被創(chuàng)造或被設(shè)置在該積體電路中的一下方金屬層與一上方金屬層。該第一終端電極302會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路312與該第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路316依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極310。該第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路312系在該對(duì)稱電感器之第一側(cè)306的上方金屬層之中，而該第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路316則系在第二側(cè)308的下方金屬層之中。該第二終端電極304會(huì)經(jīng)由該第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路314與該第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路318依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極310。該第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路314系在該第二側(cè)308的上方金屬層之中，而該第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路318則系在該第一側(cè)306的下方金屬層之中。該電感器對(duì)稱于該中央分接電極310，因?yàn)閺娜我唤K端電極302或304至該中央分接電極310的路徑系一通過(guò)分別半環(huán)路的串聯(lián)組合，該等分別半環(huán)路會(huì)藉由匹配相同導(dǎo)體層之中的半環(huán)路對(duì)而以某種順序在側(cè)306與308之間交替排列。該等半環(huán)路對(duì)在各種實(shí)施例中會(huì)被堆迭。當(dāng)該等半環(huán)路對(duì)被緊密堆迭在一起并且實(shí)質(zhì)上共同延伸于該積體電路的該等兩個(gè)橫向維度時(shí)，由每一個(gè)半環(huán)路對(duì)所產(chǎn)生的磁通量通常會(huì)經(jīng)由其它半環(huán)路對(duì)被耦合。當(dāng)此情況發(fā)生時(shí)，由該電感器所產(chǎn)生的電感便會(huì)與導(dǎo)體環(huán)路的數(shù)量平方成正比。因此，針對(duì)一指定的電感，電感器的尺寸可大幅地縮減，而積體電路則可以施行更多此等電感器。本發(fā)明的各種實(shí)施例提供操作在廣泛頻率范圍中的堆迭式電感器。一電感器的品質(zhì)系數(shù)Q系其電抗除以其電阻。當(dāng)通過(guò)一電感器的信號(hào)的頻率提高時(shí)，寄生元件會(huì)導(dǎo)致電感器Q值下降。當(dāng)電感器Q值下降過(guò)低時(shí)，包含該電感器的應(yīng)用電路的操作實(shí)用性會(huì)變低，或者完全無(wú)法操作。舉例來(lái)說(shuō)，電感器可用來(lái)施行一可變振蕩器的LC共振槽電路。高Q值的電感器會(huì)降低該可變振蕩器的抖動(dòng)。當(dāng)該可變振蕩器的調(diào)諧至越來(lái)越高的頻率時(shí)，Q值會(huì)下降，直到抖動(dòng)變得無(wú)法接受或者該共振槽電路無(wú)法振蕩為止。經(jīng)發(fā)現(xiàn)，具有對(duì)稱性的電感器在一應(yīng)用電路的差動(dòng)式施行方式中會(huì)耦合較少的雜訊。圖4所示的系根據(jù)一實(shí)施例在三個(gè)導(dǎo)體層之中具有三個(gè)環(huán)路的對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖。該電感器對(duì)稱于中央分接電極402，因?yàn)閺娜我唤K端電極404或406至該中央分接電極402的路徑系一通過(guò)匹配導(dǎo)體層之交替?zhèn)?08與410中分別半環(huán)路的串聯(lián)組合。該第一半環(huán)路對(duì)在該等終端電極404與406的上方導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)408的半環(huán)路412以及側(cè)410的半環(huán)路414 ;該第二半環(huán)路對(duì)在一中間導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)410的半環(huán)路416以及側(cè)408的半環(huán)路418 ;以及該第三半環(huán)路對(duì)在該中央分接電極402的下方導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)408的半環(huán)路420以及側(cè)410的半環(huán)路422。該第一終端電極404會(huì)經(jīng)由該第一對(duì)的第一半環(huán)路412、該第二對(duì)的第一半環(huán)路416、以及該第三對(duì)的第 一半環(huán)路420依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極402。該第一對(duì)的第一半環(huán)路412系在該對(duì)稱電感器之第一側(cè)408的上方導(dǎo)體層之中，該第二對(duì)的第一半環(huán)路416系在第二側(cè)410的中間導(dǎo)體層之中，而該第三對(duì)的第一半環(huán)路420則系在該第一側(cè)408的下方導(dǎo)體層之中。該第二終端電極406會(huì)經(jīng)由該第一對(duì)的第二半環(huán)路414、該第二對(duì)的第二半環(huán)路418、以及該第三對(duì)的第二半環(huán)路422依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極402。該第一對(duì)的第二半環(huán)路414系在該第二側(cè)410的上方導(dǎo)體層之中，該第二對(duì)的第二半環(huán)路418系在第一側(cè)408的中間導(dǎo)體層之中，而該第三對(duì)的第二半環(huán)路422則系在該第二側(cè)410的下方導(dǎo)體層之中。圖5所示的系根據(jù)一實(shí)施例在三個(gè)導(dǎo)體層之中具有三個(gè)環(huán)路的另一對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖。圖5重新排列圖4之對(duì)稱電感器的導(dǎo)體層，同時(shí)保持對(duì)稱于該中央分接電極 502。該第一半環(huán)路對(duì)在該等終端電極504與506的上方導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)508的半環(huán)路512以及側(cè)510的半環(huán)路514 ;該第二半環(huán)路對(duì)在下方導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)510的半環(huán)路516以及側(cè)508的半環(huán)路518 ;以及該第三半環(huán)路對(duì)在一中間導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)508的半環(huán)路520以及側(cè)510的半環(huán)路522。當(dāng)電流流經(jīng)一電感器時(shí)，會(huì)跨越每一個(gè)連續(xù)半環(huán)路512、514、516、518、520、以及522的阻抗出現(xiàn)電壓降。電極504與506之間的半環(huán)路所組成的完整串聯(lián)組合依序包含半環(huán)路512、516、520、522、518、以及514。兩個(gè)半環(huán)路之間的電壓差會(huì)隨著此串聯(lián)組合中的分離距離增加而增加。該等半環(huán)路512、514、516、518、520、以及522之間會(huì)有寄生電容，而且該寄生電容主要系在相鄰導(dǎo)體層之相同側(cè)的半環(huán)路之間。因此，該等主要的寄生電容系介于半環(huán)路520及其實(shí)體相鄰的半環(huán)路512與518之間以及介于半環(huán)路522及其實(shí)體相鄰的半環(huán)路514與516之間。每一個(gè)寄生電容的不利效應(yīng)約略為該寄生電容和跨越該寄生電容之電壓降的乘積。自我共振以下的頻率的電壓分布系由電感來(lái)定義。相鄰層之間的電壓降越大，它們之間的有效電容便越大。所以，在層之間有較小電壓降的排列會(huì)有較小的寄生電容。半環(huán)路520會(huì)藉由一半環(huán)路516與半環(huán)路512分開(kāi)，而且半環(huán)路520會(huì)藉由一半環(huán)路522與半環(huán)路518分開(kāi)。同樣地，半環(huán)路522會(huì)藉由一半環(huán)路518與半環(huán)路514分開(kāi)，而且半環(huán)路522會(huì)藉由一半環(huán)路520與半環(huán)路516分開(kāi)。因此，圖5的電感器因半環(huán)路512、514、516、518、520、以及522之間的寄生電容所造成的不利效應(yīng)約略為四個(gè)寄生電容乘以跨越之一個(gè)半環(huán)路的電壓差。相反地，圖4的電感器因半環(huán)路412、414、416、418、420、以及422之間的寄生電容所造成的不利效應(yīng)約略為四個(gè)寄生電容乘以跨越三個(gè)半環(huán)路的電壓差。因此，圖5的電感器中導(dǎo)體層的排列明顯優(yōu)于圖4的電感器中導(dǎo)體層的排列。在圖5所示的實(shí)施例中，該中央分接電極502系在下方導(dǎo)體層并且透過(guò)中間導(dǎo)體層之中的半環(huán)路520與522之間的接點(diǎn)被連接。于另一實(shí)施例中，該中央分接電極系在該中間導(dǎo)體層，直接被連接在半環(huán)路520與522之間。圖6所示的系根據(jù)一實(shí)施例在一導(dǎo)體層中具有兩個(gè)環(huán)路的三環(huán)路對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖。該電感器對(duì)稱于中央分接電極602，因?yàn)閺娜我唤K端電極604或606至該中央分接電極602的路徑系一通過(guò)匹配導(dǎo)體層之交替?zhèn)?08與610中分別半環(huán)路的串聯(lián)組合。該第一半環(huán)路對(duì)系一位于該等終端電極604與606的上方導(dǎo)體層之中的外側(cè)對(duì)。該第一半環(huán)路對(duì)包含側(cè)608的半環(huán)路612以及側(cè)610的半環(huán)路614。該第二半環(huán)路對(duì)系一位于該外側(cè)對(duì)半環(huán)路612與614內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)對(duì)，其同樣系在上方導(dǎo)體層之中。該第二半環(huán)路對(duì)包含側(cè)610的半環(huán)路616以及側(cè)608的半環(huán)路618。該第三半環(huán)路對(duì)系在一下方導(dǎo)體層之中并且包含側(cè)608的半環(huán)路620以及側(cè)610的半環(huán)路622。該第一終端電極604會(huì)經(jīng)由該第一對(duì)的第一半環(huán)路612、該第二對(duì)的第一半環(huán)路616、以及該第三對(duì)的第一半環(huán)路620依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極602。該第一對(duì)的第一半環(huán)路612系在第一側(cè)608的上方導(dǎo)體層之中，該第二對(duì)的第一半環(huán)路616系在第二側(cè)610的上方導(dǎo)體層之中，而該第三對(duì)的第一半環(huán)路620則系在該第一側(cè)608的下方導(dǎo)體層之中。該第二終端電極606會(huì)經(jīng)由該第一對(duì)的第二半環(huán)路614、該第二對(duì)的第二半環(huán)路618、以及該第三對(duì)的第二半環(huán)路622依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極602。該第一對(duì)的第二半環(huán)路614系在該第二側(cè)610的上方導(dǎo)體層之中，該第二對(duì)的第二半環(huán)路618系在第一側(cè)608的上方導(dǎo)體層之中，而該第三對(duì)的第二半環(huán)路622則系在該第二側(cè)610的下方導(dǎo)體層之中。一交越連接線包含 由半環(huán)路612與614組成的外側(cè)對(duì)以及半環(huán)路616與618組成的內(nèi)側(cè)對(duì)兩者的上方導(dǎo)體層之中的一部分624。該交越連接線中的該部分624會(huì)耦合該外側(cè)對(duì)的半環(huán)路612與該內(nèi)側(cè)對(duì)的半環(huán)路616。該交越連接線還包含該積體電路的中間導(dǎo)體層之中的一部分626。該交越連接線中的該部分626會(huì)耦合該外側(cè)對(duì)的半環(huán)路614與該內(nèi)側(cè)對(duì)的半環(huán)路618。該中央分接電極602與具有部分624與部分626的交越連接線會(huì)分離該上方導(dǎo)體層之中該外側(cè)對(duì)的半環(huán)路612與614、該上方導(dǎo)體層之中該內(nèi)側(cè)對(duì)的半環(huán)路616與618、以及該下方導(dǎo)體層之中的半環(huán)路對(duì)的半環(huán)路620與622。圖7與8所不的系根據(jù)一實(shí)施例在一導(dǎo)體層中具有兩個(gè)環(huán)路的額外三環(huán)路對(duì)稱電感器的簡(jiǎn)化透視圖。圖7與8為圖6之對(duì)稱電感器的修正例。在一積體電路之制造過(guò)程的金屬層通常并不相同。舉例來(lái)說(shuō)，該等上方金屬層通常比較厚而且每平方的電阻會(huì)小于該等下方金屬層。因此，當(dāng)一上方金屬層之中的一半環(huán)路和一下方金屬層之中的一半環(huán)路共同延伸于兩個(gè)橫向維度時(shí)，該下方金屬層之中的半環(huán)路的電阻通常會(huì)高于該上方金屬層之中的半環(huán)路。為克服該等下方金屬層之中每平方較高的電阻，二或多個(gè)該等下方金屬層會(huì)被捆綁在一起，從而導(dǎo)致該等被捆綁的下方金屬層每平方的電阻會(huì)接近甚至低于該等上方金屬層每平方的電阻。在圖7中，該第三·半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路704系被施行在該中央分接電極702的下方導(dǎo)體層與該中間導(dǎo)體層兩者的第一側(cè)706，而該第三半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路710則系被施行在該下方導(dǎo)體層與該中間導(dǎo)體層兩者的第二側(cè)708。圖8以雷同的方式捆綁一對(duì)稱電感器800的下方金屬層與中間金屬層。圖9所示的系圖6的三環(huán)路對(duì)稱電感器的一實(shí)施例的分解布局圖。該等三個(gè)半環(huán)路對(duì)系在一上方金屬層932與一下方金屬層934中，而一中間金屬層936會(huì)被提供至供該上方金屬層932與該下方金屬層934之間的連接。該電感器會(huì)對(duì)稱于中央分接電極902。該第一半環(huán)路對(duì)系一位于該等終端電極904與906的上方金屬層932中的外側(cè)對(duì)。該第一半環(huán)路對(duì)包含側(cè)908的半環(huán)路912以及側(cè)910的半環(huán)路914。該第二半環(huán)路對(duì)系一位于該外側(cè)對(duì)半環(huán)路912與914內(nèi)側(cè)的內(nèi)側(cè)對(duì),其同樣系在上方導(dǎo)體層932中。該第二半環(huán)路對(duì)包含側(cè)910的半環(huán)路916以及側(cè)908的半環(huán)路918。該第三半環(huán)路對(duì)系在一下方金屬層934中并且包含側(cè)908的半環(huán)路920以及側(cè)910的半環(huán)路922。該第一終端電極904會(huì)經(jīng)由該第一對(duì)的第一半環(huán)路912、該下方金屬層932中的交越連接線924、該第二對(duì)的第一半環(huán)路916、該中間金屬層936中的連接線928、以及該第三對(duì)的第一半環(huán)路920依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極902。該第二終端電極906會(huì)經(jīng)由該第一對(duì)的第二半環(huán)路914、該中間金屬層936中的交越連接線926、該第二對(duì)的第二半環(huán)路918、該中間金屬層936中的連接線930、以及該第三對(duì)的第二半環(huán)路922依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至該中央分接電極902。在圖中所示的實(shí)施例中，該上方金屬層932中的半環(huán)路912、914、916、以及918的組合實(shí)質(zhì)上會(huì)與該下方金屬層934中的半環(huán)路920以及922的組合共同延伸于兩個(gè)橫向維度。于另一實(shí)施例中，該下方金屬層934中的該等半環(huán)路920以及922具有分別的溝槽(圖中并未顯示)，它們會(huì)部分或完全與該上方金屬層932中用以分開(kāi)半環(huán)路912與918的空間以及用以分開(kāi)半環(huán)路914與916的雷同空間共同延伸。于一實(shí)施例中，該對(duì)半環(huán)路912與914為匹配半環(huán)路，除了在靠近連接線924與926的地方以外，因?yàn)樗鼈儽舜嘶閷?duì)稱的鏡像。同樣地，該對(duì)半環(huán)路916與918為匹配半環(huán)路而該對(duì)半環(huán)路920與922為匹配半環(huán)路，因?yàn)樗鼈儗?shí)質(zhì)上為對(duì)稱。
本發(fā)明中的一或多個(gè)實(shí)施例被視為可應(yīng)用至包含電感器的各式各樣系統(tǒng)。熟習(xí)本技術(shù)的人士從本說(shuō)明書的討論中便會(huì)明白并可實(shí)行本文所揭示的一或多個(gè)實(shí)施例。該等實(shí)施例可以被施行在特定應(yīng)用積體電路(ASIC)之中或系被施行在可成系邏輯裝置之中。本發(fā)明希望本說(shuō)明書及圖中所示的實(shí)施例僅系作為范例，而本發(fā)明的真實(shí)范疇與精神則系由下面的權(quán)利要求來(lái)明確規(guī)定。
權(quán)利要求
1.一種對(duì)稱電感器,其包括: 積體電路的多個(gè)分別導(dǎo)體層之中的多個(gè)半環(huán)路對(duì)，每一個(gè)半環(huán)路對(duì)皆在所述分別導(dǎo)體層之中包含第一半環(huán)路與第二半環(huán)路； 第一終端電極與第二終端電極，兩者皆在所述多個(gè)分別導(dǎo)體層之中的第一導(dǎo)體層之中； 中央分接電極，其系位于所述多個(gè)分別導(dǎo)體層之中的第二導(dǎo)體層之中；以及 其中所述第一終端電極與所述中央分接電極會(huì)經(jīng)由第一串聯(lián)組合被耦合，所述第一串聯(lián)組合系由每一個(gè)所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第一半環(huán)路所組成，而所述第二終端電極與所述中央分接電極會(huì)經(jīng)由第二串聯(lián)組合被耦合，所述第二串聯(lián)組合系由每一個(gè)所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第二半環(huán)路所組成。
2.如權(quán)利要求第I項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中所述多個(gè)分別導(dǎo)體層系所述積體電路中之多個(gè)不同金屬層。
3.如權(quán)利要求第I或2項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中所述中央分接電極會(huì)分離所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中之一個(gè)半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路與第二半環(huán)路，且所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中之所述一個(gè)半環(huán)路對(duì)系在所述第二導(dǎo)體層之中。
4.如權(quán)利要求第I到3項(xiàng)中任一項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中分別非導(dǎo)體區(qū)會(huì)分離所述半環(huán)路對(duì)的分別導(dǎo)體層之中的每一個(gè)半環(huán)路對(duì)。
5.如權(quán)利要求第4項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其進(jìn)一步包括: 位于所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路及額外半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路之間的交越連接線；以及 其中，所述交越連接線與所述額外半環(huán)路對(duì)會(huì)被設(shè)置在所述第一半環(huán)路對(duì)的分別導(dǎo)體層之中，而且所述額外半環(huán)路對(duì)會(huì)被設(shè)置在所述第一半環(huán)路對(duì)里面。
6.如權(quán)利要求第5項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中所述中央分接電極與所述交越連接線會(huì)進(jìn)一步分離所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第一半環(huán)路與第二半環(huán)路。
7.如權(quán)利要求第4項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中除了在所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)的分別非導(dǎo)體區(qū)中以外，所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)會(huì)共同延伸于所述積體電路的兩個(gè)橫向維度。
8.如權(quán)利要求第I項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)會(huì)實(shí)質(zhì)上共同延伸于彼此垂直的兩個(gè)橫向維度，而且所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)會(huì)沿著垂直于所述兩個(gè)橫向維度兩者的另一維度中被分離。
9.如權(quán)利要求第I項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中: 每一個(gè)第一半環(huán)路都會(huì)在所述第一串聯(lián)組合中以第一順序從所述第一導(dǎo)體層被連接至所述第二導(dǎo)體層； 每一個(gè)第二半環(huán)路都會(huì)在所述第二串聯(lián)組合中以第二順序從所述第一導(dǎo)體層被連接至所述第二導(dǎo)體層；以及 所述多個(gè)分別導(dǎo)體層的第一順序與第二順序?yàn)橄嗤?br> 10.如權(quán)利要求第9項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中: 所述第一終端電極與所述第二終端電極分別在所述對(duì)稱電感器的第一側(cè)與第二側(cè)； 所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的所述第一半環(huán)路與所述第二半環(huán)路中的每一者會(huì)在所述第一側(cè)與所述第二側(cè)中之一側(cè)；具有每一個(gè)第一半環(huán)路的第一串聯(lián)組合會(huì)始于所述第一側(cè)并且會(huì)在所述第二側(cè)與所述第一側(cè)之間交替排列；以及 具有每一個(gè)第二半環(huán)路的第二串聯(lián)組合會(huì)始于所述第二側(cè)并且會(huì)在所述第一側(cè)與所述第二側(cè)之間交替排列。
11.如權(quán)利要求第I項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中: 所述第一終端電極與所述第二終端電極分別在所述對(duì)稱電感器的第一側(cè)與第二側(cè)；所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第一半環(huán)路與第二半環(huán)路中每一者會(huì)在所述第一側(cè)與所述第二側(cè)中之一側(cè)； 具有每一個(gè)第一半環(huán)路的第一串聯(lián)組合會(huì)始于所述第一側(cè)并且會(huì)在所述第二側(cè)與所述第一側(cè)之間交替排列；以及 具有每一個(gè)第二半環(huán)路的第二串聯(lián)組合會(huì)始于所述第二側(cè)并且會(huì)在所述第一側(cè)與所述第二側(cè)之間交替排列。
12.如權(quán)利要求第I項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中: 所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)包含第一半環(huán)路對(duì)與第二半環(huán)路對(duì)； 所述第一終端電極會(huì)經(jīng)由所述第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路與所述第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路所依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至所述中央分接電極； 所述第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路系在所述對(duì)稱電感器的兩側(cè)中的第一側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，而所述第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路系在所述兩側(cè)中的第二側(cè)的第二導(dǎo)體層之中；所述第二終端電極會(huì)經(jīng)由所述第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路與所述第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路所依序組成的第二串聯(lián)組合 被耦合至所述中央分接電極； 所述第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路系在所述第二側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，而所述第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路系在所述第一側(cè)的第二導(dǎo)體層之中；以及 所述第二導(dǎo)體層與所述第一導(dǎo)體層分別系依序被設(shè)置在所述積體電路之中的下方導(dǎo)體層與上方導(dǎo)體層。
13.如權(quán)利要求第I項(xiàng)的對(duì)稱電感器，其中: 所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)包含第一、第二、以及第三半環(huán)路對(duì)； 所述第一終端電極會(huì)經(jīng)由所述第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路、所述第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路、以及所述第三半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路所依序組成的第一串聯(lián)組合被耦合至所述中央分接電極； 所述第一半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路系在所述對(duì)稱電感器的兩側(cè)中的第一側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，所述第二半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路系在所述兩側(cè)中的第二側(cè)的分別導(dǎo)體層之中，而所述第三半環(huán)路對(duì)的第一半環(huán)路系在所述第一側(cè)的第二導(dǎo)體層之中； 所述第二終端電極會(huì)經(jīng)由所述第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路、所述第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路、以及所述第三半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路所依序組成的第二串聯(lián)組合被耦合至所述中央分接電極；以及 所述第一半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路系在所述第二側(cè)的第一導(dǎo)體層之中，所述第二半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路系在所述第一側(cè)的分別導(dǎo)體層之中，而所述第三半環(huán)路對(duì)的第二半環(huán)路系在所述第二側(cè)的第二導(dǎo)體層之中。
14.一種用以形成對(duì)稱電感器的方法，其包括:在積體電路的多個(gè)分別導(dǎo)體層之中形成多個(gè)半環(huán)路對(duì)，每一個(gè)半環(huán)路對(duì)皆在所述分別導(dǎo)體層之中包含第一半環(huán)路與第二半環(huán)路； 形成第一終端電極與第二終端電極，兩者皆在所述多個(gè)分別導(dǎo)體層的第一導(dǎo)體層之中； 在所述多個(gè)分別導(dǎo)體層的第二導(dǎo)體層之中形成中央分接電極； 利用由所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中每一者的第一半環(huán)路所組成的第一串聯(lián)組合來(lái)耦合所述第一終端電極與所述中央分接電極；以及 利用由所述多個(gè)半環(huán)路對(duì)中每一者的第二半環(huán)路所組成的第二串聯(lián)組合來(lái)耦合所述第二終端電極與所述中央分接電極。
15.如權(quán)利要求第14項(xiàng)的方法，其中所述多個(gè)分別導(dǎo)體層為所述積體電路中之多個(gè)不同 金屬層。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對(duì)稱電感器，其包含多對(duì)半環(huán)路(舉例來(lái)說(shuō)，312、314、316、318)，第一終端電極與第二終端電極(舉例來(lái)說(shuō)，302、304)，以及一中央分接電極(舉例來(lái)說(shuō)，310)。該等半環(huán)路對(duì)系在一積體電路的分別導(dǎo)體層(舉例來(lái)說(shuō)，101、201)之中。每一個(gè)半環(huán)路對(duì)皆在分別導(dǎo)體層之中包含一第一半環(huán)路(舉例來(lái)說(shuō)，312、316)與一第二半環(huán)路(舉例來(lái)說(shuō)，314、318)。該等第一終端電極與第二終端電極系在一第一導(dǎo)體層之中，而該中央分接電極則系在一第二導(dǎo)體層之中。第一終端電極與該中央分接電極會(huì)經(jīng)由一第一串聯(lián)組合被耦合，該第一串聯(lián)組合包含每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第一半環(huán)路。該第二終端電極與該中央分接電極會(huì)經(jīng)由一第二串聯(lián)組合被耦合，該第二串聯(lián)組合包含每一個(gè)半環(huán)路對(duì)中的第二半環(huán)路。
文檔編號(hào)H01F17/00GK103229256SQ201180049684
公開(kāi)日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2011年9月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者梵希利·奇里弗, 帕瑞格·尤帕德海亞, 馬克·J·馬雷特 申請(qǐng)人:吉林克斯公司