專利名稱：一種基于npb和bnd的紫外光探測(cè)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光電子信息領(lǐng)域，涉及一種有機(jī)紫外光探測(cè)器，主要用于生產(chǎn)低噪音 和高響應(yīng)的有機(jī)紫外光探測(cè)器。
背景技術(shù)：
紫外光探測(cè)器廣泛應(yīng)用于天體物理分析，太陽輻射和大氣臭氧層研究，環(huán)境監(jiān)測(cè) 及預(yù)報(bào)，醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域，其研究工作對(duì)信息高速公路的發(fā)展、國(guó)防建設(shè)以及國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社 會(huì)發(fā)展具有重要的意義。紫外光探測(cè)器有p-n結(jié)型，p-i-n型，金屬/半導(dǎo)體/金屬型等多 種結(jié)構(gòu)。紫外光探測(cè)器目前主要采用無機(jī)寬禁帶半導(dǎo)體材料制造，雖然具有體積小，暗電流 小，光電響應(yīng)大，壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，但是存在制造設(shè)備昂貴，工藝較為復(fù)雜，成本較高，選用材 料有限等缺點(diǎn)。最近發(fā)展起來的公開號(hào)為CN101604731A，發(fā)明名稱為“一種有機(jī)薄膜紫外 探測(cè)器”中公開了一種有機(jī)薄膜紫外探測(cè)器的結(jié)構(gòu)為空穴傳輸材料和電子傳輸材料分層結(jié) 構(gòu)，接觸面積小，光電流產(chǎn)生效率低，光電響應(yīng)小。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器。本發(fā)明的技術(shù)方案一種基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器，該紫外光探測(cè)器包括ITO導(dǎo)電玻璃陽極、功 能層、氟化鋰陰極修飾層、鋁金屬薄膜陰極，其中功能層為N，N' -(1-萘基)-N，N' -二苯 基-4，4'-聯(lián)苯二胺和2，5-(4_ 二萘基)-1，3，4_惡二唑的混合層，其質(zhì)量比例為4 1， 厚度為80 120nm。本發(fā)明所述的紫外光探測(cè)器的探測(cè)范圍為波長(zhǎng)300 400nm的紫外光。本發(fā)明和已有技術(shù)相比所具有的有效果本發(fā)明所述的一種基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器，功能層采用N，N' _(1_萘 基)-N，N' - 二苯基-4，4'-聯(lián)苯二胺和2，5-(4_ 二萘基)-1，3，4_惡二唑的混合層代替 了公開號(hào)為CN101604731A的空穴傳輸材料和電子傳輸材料分層結(jié)構(gòu)，加大了空穴傳輸材 料和電子傳輸材料的接觸面，提高了光電流產(chǎn)生的效率，從而提高了紫外光探測(cè)器的光電 響應(yīng)。


圖1為基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中ΙΤ0導(dǎo)電玻璃陽極4，功能層3、氟化鋰陰極修飾層2、鋁金屬薄膜陰極1。圖2為基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器的光譜響應(yīng)圖。
具體實(shí)施例方式結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
實(shí)施方式一在ITO導(dǎo)電玻璃陽極4襯底上直接真空蒸鍍SOnm的NPB和BND的混合層，其質(zhì)量 比為4 1，然后真空蒸鍍厚度為0. 5nm的氟化鋰陰極修飾層2，厚度為IOOnm的鋁金屬薄 膜陰極1。實(shí)施方式二在ITO導(dǎo)電玻璃陽極4襯底上直接真空蒸鍍IOOnm的NPB和BND的混合層，其質(zhì) 量比為4 1，然后真空蒸鍍厚度為Inm的氟化鋰陰極修飾層2，厚度為IOOnm的鋁金屬薄 膜陰極1。實(shí)施方式三在ITO導(dǎo)電玻璃陽極4襯底上直接真空蒸鍍120nm的NPB和BND的混合層，其質(zhì) 量比為4 1，然后真空蒸鍍厚度為2nm的氟化鋰陰極修飾層2，厚度為150nm的鋁金屬薄 膜陰極1。按上述實(shí)施方式二所制作的有機(jī)紫外光探測(cè)器，在-3V偏壓下的光譜響應(yīng)曲線如 圖2所示，其響應(yīng)區(qū)間在300nm到400nm之間的紫外光區(qū)，其中在350nm光照射下，其響應(yīng) 度為 57. 5mA/W。
權(quán)利要求
一種基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器，該紫外光探測(cè)器包括ITO導(dǎo)電玻璃陽極(4)、氟化鋰陰極修飾層(2)、鋁金屬薄膜陰極(1)，在ITO導(dǎo)電玻璃陽極(4)和氟化鋰陰極修飾層(2)之間為功能層(3)，其特征是功能層(3)為N，N′ (1 萘基) N，N′ 二苯基 4，4′ 聯(lián)苯二胺和2，5 (4 二萘基) 1，3，4 惡二唑的混合層，其質(zhì)量比例為4∶1。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器，其特征是功能層(3) 的厚度為80 120nm。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于NPB和BND的紫外光探測(cè)器，屬于光電子信息領(lǐng)域，主要用于天體物理分析，太陽輻射和大氣臭氧層研究，環(huán)境監(jiān)測(cè)及預(yù)報(bào)，醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。本發(fā)明是在ITO導(dǎo)電玻璃陽極(4)上依次真空蒸鍍空穴傳輸材料NPB與電子傳輸材料BND的功能層(3)，氟化鋰陰極修飾層(2)和鋁金屬薄膜陰極(1)。其中NPB和BND混合層的厚度為80～120nm，其質(zhì)量比例4∶1。該紫外光探測(cè)器的探測(cè)范圍為波長(zhǎng)300～400nm的紫外光。該紫外光探測(cè)器具有成本低，工作電壓低，簡(jiǎn)單易制，光電流產(chǎn)生的效率高，光電響應(yīng)大的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L51/42GK101964397SQ20101025641
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月18日
發(fā)明者代千, 孫建, 張希清, 王永生 申請(qǐng)人:北京交通大學(xué)