專利名稱：：一種機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實用新型涉及微電子
技術(shù)領(lǐng)域：
，特別是涉及一種用于晶片量測機(jī)臺狀態(tài)的指示裝置。
背景技術(shù)：
：現(xiàn)有晶片(wafer)量測機(jī)臺在進(jìn)行晶片量測時，由于操作員無法準(zhǔn)確判斷機(jī)臺內(nèi)的材料是否已經(jīng)完成量測被送回至晶片盒(cassette),因此容易造成晶片仍在機(jī)臺內(nèi)未完成量測時，操作員就將晶片盒從載臺上取走，并按照步驟，放入下一批材料。這樣就會造成仍在機(jī)臺內(nèi)進(jìn)行量測的晶片回傳至晶片盒時，與該批材料的晶片相撞而造成疊片刮傷。另外，還有可能在進(jìn)行量測的晶片正在放入而未完全放入至晶片盒的同時，操作員將晶片盒取走，而造成晶片的刮傷，甚至造成抓住晶片的機(jī)械手變形。
實用新型內(nèi)容為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實用新型的目的是提出一種機(jī)臺狀態(tài)的指示裝置。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出的指示裝置包括機(jī)械手原始位置傳感器、機(jī)械手真空傳感器和量測臺真空傳感器，其中，還包括擺放傳感器、可編程邏輯器件和顯示燈；并且上述機(jī)械手原始位置傳感器、機(jī)械手真空傳感器、量測臺真空傳感器、以及晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器與上述可編程邏輯器件的輸入端電連接，該可編程邏輯器件的輸出端與上述顯示燈電連接。所述的機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置的顯示燈為發(fā)光二極管。所述晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器為直射式光電傳感器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實用新型采用指示裝置來指示機(jī)臺的工作狀態(tài)，使工作人員能更直觀地了解到晶片量測正在進(jìn)行的狀態(tài)，從而確保在晶片完成量測并被完全放入至晶片盒后，操作人員再將晶片盒取走，有效地避免了因為取走晶片盒時機(jī)不當(dāng)而造成的晶片損壞。圖1為適用于本實用新型指示裝置的機(jī)臺的工作流程示意圖2為適用于本實用新型指示裝置的機(jī)臺在進(jìn)行量測時，晶片流程示意圖3為本實用新型指示裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為本實用新型中機(jī)械手原始位置傳感器電路結(jié)構(gòu)原理圖5為本實用新型中機(jī)械手真空傳感器以及量測臺真空傳感器電路結(jié)構(gòu)原理圖6為本實用新型晶片擺放傳感器電路結(jié)構(gòu)原理圖。具體實施方式以下結(jié)合附圖對本實用新型的工作過程作進(jìn)一步詳細(xì)說明。本實用新型的指示裝置適用于晶片量測機(jī)臺，該機(jī)臺是公知技術(shù)，這里以KLAP240機(jī)臺為例進(jìn)行說明。其自帶機(jī)械手原始位置傳感器、機(jī)械手真空傳感器和量測臺真空傳感器，并且上述各傳感器的工作電壓為15V，因為上述器件及其相互連接關(guān)系是公知技術(shù)，容易被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解和實現(xiàn)，因此這里不再做詳細(xì)描述，也不推薦附圖。本實用新型的指示裝置還包括預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器，上述四個傳感器連接至可編程邏輯控制器(PLC)作為輸入，并且該PLC的輸出端與顯示裝置連接，這里以該顯示裝置是發(fā)光二極管為例進(jìn)行說明。上述可編程邏輯器件的工作方式為輸入信號含l的，則輸出為l;輸入信號全部為O的，則輸出為0。并且其可以為任意具有上述功能的PLC，并不限于某一特定型號。這樣，在晶片流程中，始終保持有一個傳感器傳出的結(jié)果為1，使指示燈亮起；而在晶片流程之前和結(jié)束后，所有傳感器的輸出均為O，使指示燈熄滅。從而通過指示燈的狀態(tài)使操作者了解到晶片流程的狀態(tài)。該指示裝置的工作過程如圖l所示，晶片流程開始時，指示燈亮起。此時，機(jī)械手(handler)開始從原始位置(home)伸出，抓起晶片進(jìn)行量測，直到量測完畢，機(jī)械手將晶片放入晶片盒內(nèi)，收回至原始位置，晶片流程結(jié)束，指示燈熄滅。在指示燈亮起期間，禁止載臺(stage)上的晶片盒被移動，這樣因為操作員誤操作而移動晶片盒的幾率就會下降。表1、表2和圖2對本實用新型的工作狀態(tài)指示裝置做了進(jìn)一步的詳細(xì)說明。連接點連接點狀態(tài)狀態(tài)機(jī)械手原始位置傳感器機(jī)械手不在原始位置1機(jī)械手在原始位置0機(jī)械手真空傳感器機(jī)械手真空傳感器"ON"1機(jī)械手真空傳感器"OFF"0晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器晶片在預(yù)對準(zhǔn)上1晶片不在預(yù)對準(zhǔn)上0量測臺真空傳感器量測臺真空傳感器"ON"1量測臺真空傳感器"OFF"0表1首先參照表1，各傳感器的觸發(fā)狀態(tài)為機(jī)械手原始位置傳感器(handlehomesensor)位于機(jī)臺機(jī)械手原始位置，當(dāng)其狀態(tài)為1時，表示機(jī)械手不在原始位置；相反，當(dāng)其狀態(tài)為0時，表示機(jī)械手在原始位置上。機(jī)械手真空傳感器(handlevacuumsensor)用于感測機(jī)械手是否抓住晶片，當(dāng)其狀態(tài)為1時，機(jī)械手真空傳感器為開啟(on)狀態(tài)，表明機(jī)械手正在抓住晶片；相反，當(dāng)其狀態(tài)為0時，機(jī)械手真空傳感器為關(guān)閉(off)狀態(tài)，表明機(jī)械手中沒有抓住晶片。晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器(waferinpre-alignerpresentsensor)指示晶片予頁對準(zhǔn)(pre-aligner)升降臺(lifter)上是否擺放(present)了晶片。當(dāng)其狀態(tài)為1時，表明晶片在預(yù)對準(zhǔn)升降臺上；否則，當(dāng)其狀態(tài)為0時，表明晶片不在預(yù)對準(zhǔn)升降臺上。量測臺真空傳感器(measurestagevacuumsensor)指示測量臺上是否有晶片，當(dāng)其狀5態(tài)為1時，量測臺真空傳感器為開啟(on)狀態(tài)，表明有晶片在量測臺上;相反，當(dāng)其狀態(tài)為0時，量測臺真空傳感器為關(guān)閉(off)狀態(tài)，表明量測臺上沒有晶片。<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>表2如表2所示，對晶片流程各步驟的相應(yīng)傳感器工作流程進(jìn)行說明。在機(jī)械手閑置(handleridle)狀態(tài)時，機(jī)械手原始位置傳感器對其進(jìn)行感應(yīng)，狀態(tài)為0。晶片流程開始，機(jī)械手從晶片盒中抓起晶片，此時機(jī)械手原始位置傳感器感應(yīng)到機(jī)械手從原始位置移出，而變?yōu)閘狀態(tài)；并且，機(jī)械手真空傳感器感應(yīng)到機(jī)械手抓到晶片，而由關(guān)閉(0)狀態(tài)變?yōu)殚_啟狀態(tài)，即變?yōu)?。之后，機(jī)械手將晶片放入晶片預(yù)對準(zhǔn)升降臺進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)，在機(jī)械手傳送晶片期間，機(jī)械手真空傳感器保持為1狀態(tài)。機(jī)械手將抓住的晶片放入晶片預(yù)對準(zhǔn)升降臺，晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器感應(yīng)到晶片被放在預(yù)對準(zhǔn)升降臺上而將其狀態(tài)由0變化為1;機(jī)械手真空傳感器感應(yīng)到機(jī)械手放開晶片，而變化其狀態(tài)為0。晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器在晶片預(yù)對準(zhǔn)過程中始終保持為1的狀態(tài)，直到預(yù)對準(zhǔn)結(jié)束機(jī)械手抓起晶片，晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器狀態(tài)變化為0;因為機(jī)械手在該過程中反復(fù)將晶片吸起再重新放在預(yù)對準(zhǔn)升降臺上，機(jī)械手從原始位置反復(fù)移進(jìn)移出，機(jī)械手真空傳感器和機(jī)械手原始位置傳感器的狀態(tài)隨機(jī)械手的工作狀態(tài)而改變。機(jī)械手抓住晶片從預(yù)對準(zhǔn)回到原始位置，機(jī)械手真空傳感器為1，而原始位置傳感器感測機(jī)械手回到原始位置，將其狀態(tài)改變?yōu)?。接下來，開始進(jìn)行晶片量測。機(jī)械手從原始位置移出，機(jī)械手原始位置傳感器變?yōu)?;機(jī)械手將晶片傳送并放置在量測臺上，機(jī)械手真空傳感器的由l變?yōu)?;晶片被放在量測臺的動作觸發(fā)量測臺真空傳感器，其狀態(tài)改變?yōu)閘。此后在量測過程中，測量臺真空傳感器始終為開啟(即為l)狀態(tài)；機(jī)械手放開晶片后，回到原始位置，相應(yīng)的機(jī)械手真空傳感器和原始位置傳感器變?yōu)閛。測量結(jié)束后，機(jī)械手離開原始位置，將晶片從測量臺取走，回傳至晶片盒中。機(jī)械手原始位置傳感器的狀態(tài)由0改變?yōu)?;機(jī)械手真空傳感器由0變?yōu)?;測量臺真空傳感器由1變?yōu)?的關(guān)閉狀態(tài)。機(jī)械手傳送晶片的過程中，機(jī)械手真空傳感器的狀態(tài)始終為1，直至晶片被放入晶片盒，其狀態(tài)改變?yōu)?，并回到原始位置，使機(jī)械手原始位置傳感器由1變?yōu)閛。整個晶片流程結(jié)束，指示燈熄滅。如圖2所示，在上述過程中，各個流程步驟銜接時都會先保持上一個步驟中傳感器的狀態(tài)，以保證整個流程中始終有一個傳感器處于活動狀態(tài)。上述晶片流程各步驟中，每個傳感器的狀態(tài)從表3也可以清楚地看出。7<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>表3如圖3所示，上述四個傳感器連接至可編程邏輯控制器(PLC)作為輸入，并且該PLC的輸出端與指示燈連接。更具體地說，實現(xiàn)該邏輯電路的各傳感器電路圖如圖4、5、6所示。圖4為機(jī)械手原始位置傳感器電路圖。當(dāng)開關(guān)閉合時，機(jī)械手原始位置傳感器給出的訊號為低電平(O)，表明機(jī)械手在原始位置；當(dāng)開關(guān)打開時，機(jī)械手原始位置傳感器給出的訊號為高電平(l)，表明機(jī)械手不在原始位置。機(jī)械手真空傳感器和量測臺真空傳感器的電路圖如圖5所示。當(dāng)開關(guān)閉合時，機(jī)械手真空傳感器或量測臺真空傳感器給出的訊號為低電平(o)，表明機(jī)械手沒有抓住任何東西或量測臺上沒有放置任何東西。相反，當(dāng)開關(guān)打開時，機(jī)械手真空傳感器或量測臺真空傳感器給出的訊號為高電平(1)，表明機(jī)械手中抓有晶片和量測臺上放置有晶片。圖6為晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器的電路圖。相似的，當(dāng)開關(guān)閉合時，晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器給出的訊號為低電平(O)，表示升降臺上沒有放置任何東西；否則，表明有晶片被擺放在預(yù)對準(zhǔn)升降臺上。上述四個傳感器連接至可編程邏輯器件作為輸入，當(dāng)其中某一個開關(guān)打開，輸入給可編程邏輯器件一15V的電壓，也就是輸入為1。這樣，在上述過程中始終有至少一個15V的電壓輸出給可編程邏輯器件，使得可編程邏輯器件輸出端的指示燈保持亮起，表明量測正在進(jìn)行，禁止將晶片盒從載臺上取走；當(dāng)所有開關(guān)閉合，即所有的傳感器都沒有電壓輸入給可編程邏輯器件，也就是輸入都為0，使得可編程邏輯器件輸出端的指示燈熄滅，表明量測結(jié)束，可以將晶片盒從載臺上取走。本實用新型還可有其他實施例，在不背離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本實用新型作出各種相應(yīng)的改變，但這些相應(yīng)的改變都應(yīng)屬于本實用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍。權(quán)利要求1、一種機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置，包括指示機(jī)械手位置的機(jī)械手原始位置傳感器，機(jī)械手真空傳感器，量測臺真空傳感器，其特征在于，上述機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置還包括晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器；可編程邏輯器件；顯示燈；并且上述機(jī)械手原始位置傳感器，機(jī)械手真空傳感器，量測臺真空傳感器，以及晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器分別與上述可編程邏輯器件的輸入端電連接，該可編程邏輯器件的輸出端與上述顯示燈電連接。2、如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置，其特征在于，上述顯示燈為發(fā)光二極管，位于機(jī)臺外表面。3、如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置，其特征在于，所述晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器為直射式光電傳感器。專利摘要本實用新型提出一種機(jī)臺工作狀態(tài)指示裝置，包括機(jī)械手原始位置傳感器，機(jī)械手真空傳感器，晶片預(yù)對準(zhǔn)擺放傳感器及量測臺真空傳感器連接至可編程邏輯器件的輸入端，并且該可編程邏輯器件的輸出端連接至指示裝置。本實用新型使工作人員能更直觀地了解到晶片量測過程是否結(jié)束，決定將晶片盒取走的適當(dāng)時間，避免誤操作造成的晶片刮傷。文檔編號H01L21/66GK201374319SQ20092000662公開日2009年12月30日申請日期2009年3月5日優(yōu)先權(quán)日2009年3月5日發(fā)明者虞曉亮申請人:和艦科技(蘇州)有限公司