專利名稱：移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)城
本實用新型涉及一種可確保移載容器內(nèi)、外氣壓平衡的技術(shù)領(lǐng)域，特 別是涉及一種可防止移栽容器內(nèi)部產(chǎn)生負壓的穩(wěn)壓系統(tǒng)，藉以進一步保護 移栽容器內(nèi)部的物件。
背景技術(shù)：
受到半導體制程技術(shù)不斷開發(fā)與成熟化的影響，晶圓的尺寸已由早期
的3吋、4吋、6吋、8吋進展到12吋，至于晶片上的集成電路線徑則不斷 的微細化，其線徑已由早期的0.25微米發(fā)展至90~45奈米，而使電子產(chǎn) 品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發(fā)展，這也代表半導體制程中 所產(chǎn)生的不良率，對于廠商的損失也大幅的擴大，因此如何進一步的提高 制程良率，是各半導體廠商不斷思考的方向；
而影響其制程良率的關(guān)鍵在于晶圓(Wafer)表面的微粒附著量與光罩 (Reticle)表面的微粒、霧化等現(xiàn)象。而目前晶圓或光罩于制作、清洗、操 作與儲存、運輸?shù)倪^程中，不論是置于移轉(zhuǎn)容器或無塵室的環(huán)境中，均存 在有不少的微粒、水氣、氣體、化學溶劑分子等有害物質(zhì)，這些有害物質(zhì) 會附著于晶圓或光罩的表面，且在經(jīng)長時間儲存或曝光制程的加熱后，會 在晶圓或光罩表面產(chǎn)生微粒附著、結(jié)晶、又或霧化等現(xiàn)象，這些現(xiàn)象均會 造成晶圓良率的降低，且增加清理與改善的時間，造成生產(chǎn)量降低，相對 上也會提高營運的成本；
因此，為了解決這個問題，業(yè)界開發(fā)有如美國專利第US 4，532,970號 與美國專利第US 4，534，389號的晶圓、光置密閉移轉(zhuǎn)系統(tǒng)，以確保周圓環(huán) 境的微?；蛴泻ξ镔|(zhì)不致進入緊鄰光罩與晶圓的環(huán)境中。
而由于晶圓或光罩污損的原因除了微粒外，更進一 步包括環(huán)境中的水 氣、有毒氣體、塑膠制移^^器所釋出的硫化物和制作過程中的有害物質(zhì)，其 會造成霧化與結(jié)晶的現(xiàn)象，故為了解決這些問題，業(yè)界開發(fā)有在移載容器 上加裝充、填氣的結(jié)構(gòu)，可將干凈的惰性氣體注入該移載容器內(nèi)以擠出有 害氣體，同時進一步提升該移載容器的氣密性，以防止外部微粒進入、且 防止干^今隋性氣體流失，如我國專矛]^^第223680號及第1262164號等，其 均在透過該移載容器結(jié)構(gòu)的改變，來提高移載容器的氣密性，但在結(jié)構(gòu)上 進行氣密性的改良是一項重大的工程，不僅需要增加開發(fā)、制模與組裝的 成本，且受到材質(zhì)、蓋合力與接觸面積等因素的影響，其并無法達到完全氣密的效果，因此新型人前曾開發(fā)一種循環(huán)氣流的光罩盒，透過同步注氣 與排氣的循環(huán)氣流，來保持光罩盒內(nèi)部的潔凈度。
但新型人并未以此自滿，仍以尋求更完善產(chǎn)品予客戶為志業(yè)，進而發(fā) 現(xiàn)該循環(huán)氣流系統(tǒng)在使用過程中可能因光罩盒內(nèi)部流道與儲存光罩的影 響，造成進氣量小于排氣量的現(xiàn)象，而使該光罩盒的內(nèi)部空間與外部環(huán)境 形成負壓，將影響到該光罩盒的開啟便利性，甚至無法有效的開啟，如在 機臺內(nèi)運轉(zhuǎn)過程中發(fā)生此狀況，可能造成制程機臺當機或損壞的狀況，影 響到制程效率。再者當光罩盒內(nèi)部空間形成負壓時，其在開啟的瞬間，外 部氣流會形成一股向內(nèi)的強力氣流，此強力氣流可能刮傷光罩表面或使微 ?；蛴泻ξ镔|(zhì)因氣流而揚起，進而附著于光罩表面，造成后續(xù)制程中的不 良品，由于此問題同時存在半導體制程中的其他容器中，如密封式的晶圓 容置箱等，故確實有必要做進一步的改良。
由此可見，上述現(xiàn)有的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然 仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決移載容器穩(wěn)壓系 統(tǒng)結(jié)構(gòu)存在的問題，相關(guān)廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來 一直未見適用的設(shè)計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結(jié)構(gòu)能夠解決 上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種可兼 具體積小、成本低且使用時可具有全方位調(diào)整功能的新型的移載容器穩(wěn)壓 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實屬當前重要研發(fā)課題之一，亦成為當前業(yè)界極需改進的目標。
有鑒于上述現(xiàn)有的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)存在的缺陷，本設(shè)計人基于 從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學理的運
用，積極加以研究創(chuàng)新，以辦'Ji殳一種能讓前iia曰日圓iOt罩的移載容器在充、填
氣的過程中，有效地保持其內(nèi)、外部氣壓的平衡的一賴結(jié)構(gòu)的移載容器穩(wěn)壓 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，能夠改進一般現(xiàn)有的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，使其更具有實用 性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，并經(jīng)反復試作樣品及改進后，終于創(chuàng)設(shè)出確具 實用價值的本實用新型。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于，克服現(xiàn)有的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)存在的缺 陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題 是使其藉以讓移載容器在充、填氣的過程中。其內(nèi)、外部的氣壓保持平衡， 避免影響移載容器的開啟。 、本實用新，的另一，的在于，提"一種移載容，穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu),、所要
晶圓或光罩的表面及潔凈度。
本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本實用新型提出的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，該穩(wěn)壓系統(tǒng)包括有一裝置及至少一移轉(zhuǎn)容器，其中該裝置具有至少一進氣回路與至少一排氣回路，且裝置上設(shè)有至少一連接進氣回路的進氣閥件與至少一連接排氣回路
的穩(wěn)壓閥件，其中穩(wěn)壓閥件具有一或多數(shù)流道孔；而移轉(zhuǎn)容器并具有一可選擇性啟閉的容置空間，且移轉(zhuǎn)容器上設(shè)有多個連通容置空間與外部環(huán)境的氣閥，不同氣閥并可同時串接前述裝置的進氣閥件與穩(wěn)壓閥件，其中對應(yīng)穩(wěn)壓閥件的氣閥系跨設(shè)于流道孔上，使得穩(wěn)壓閥件可同步吸排移載容器容置空間與外部環(huán)境的氣體。
本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題還可以釆用以下的技術(shù)措施來進一步實現(xiàn)。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的裝置選自晶圓或光罩的管理系統(tǒng)儲存拒、容置拒、運輸設(shè)備或制程設(shè)備的進出料機體。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的裝置為一供承置光罩盒的收納拒，其具有至少一供光罩盒放置的擺置單元，擺置單元具有供支撐光罩盒的承座，且承座上設(shè)有至少一對應(yīng)光罩盒的定位元件，而進氣閥件與穩(wěn)壓閥件系設(shè)于擺置單元的承座表面。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的移轉(zhuǎn)容器選自供容置晶圓或光罩的密封式箱體或盒體等。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的移轉(zhuǎn)容器的氣閥具有一中空的閥體，且閥體內(nèi)部中段形成有一具較小通孔的隔片，該閥體內(nèi)設(shè)有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與 一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設(shè)有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圏可相對遠離或緊貼隔片，達到讓氣閥可受進氣閥件與穩(wěn)壓閥件作用選擇性導通或密封的功效。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的裝置的進氣閥件具有一中空的閥體，且閥體內(nèi)部中段形成有一具較小通孔的隔片，該閥體內(nèi)設(shè)有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與 一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設(shè)有 一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圏可相對遠離或緊貼隔片，達到讓進氣閥件可受氣閥作用選擇性導通或密封。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的裝置的穩(wěn)壓閥件具有 一 中空的閥體，且閥體頂面形成有一道4交大徑的凸環(huán)片，且閥體內(nèi)部形成有一隔片，而同步跨接移載容器氣閥內(nèi)、外部的流道孔設(shè)于隔片上。
前述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其中所述的穩(wěn)壓閥件的隔片頂面并具有向上凸出的推桿，供選擇性啟閉移載容器氣閥的氣流通道。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。借由上述技術(shù)方案，本實用新型移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)可達到相當?shù)募夹g(shù)進步性及實
用性，并具有產(chǎn)業(yè)上的廣泛利用價值，其至少具有下列優(yōu)點
通過前述技術(shù)手段的展現(xiàn)，使得本實用新型的裝置在透過穩(wěn)壓閥件排出移載容器內(nèi)部氣體時，可防止移載容器內(nèi)部空間因排氣量大于進氣量而產(chǎn)生負壓，而不致影響到移載容器的開啟，且避免晶圓或光罩表面因瞬間強力氣流而污損，其可降低整體的制程成本，而能增進廠商的竟爭力與經(jīng)濟效益。
綜上所述，本實用新型新穎的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，尤指一種可避免移載容器因負壓而不易開啟的的穩(wěn)壓系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括有一裝置及至少一設(shè)于裝置上的移轉(zhuǎn)容器，其中裝置上設(shè)有至少一連接進氣回路的進氣閥件及至少一連接排氣回路的穩(wěn)壓閥件，而移轉(zhuǎn)容器則具有對應(yīng)裝置進氣閥件與穩(wěn)壓閥件的氣閥，其中穩(wěn)壓閥件上具有可連通移載容器內(nèi)部空間的流道孔，且該流道孔并可同步連接移載容器的外部空間，使得裝置在透過穩(wěn)壓閥件排出移栽容器內(nèi)部氣體時，防止移載容器內(nèi)部空間因排氣量大于進氣量而產(chǎn)生負壓，而影響到移載容器的開啟，且避免移載容器因負壓而于開啟時產(chǎn)生強力的瞬間進氣流動，而傷及移載容器內(nèi)部物件的表面。本實用新型具有上述諸多優(yōu)點及實用價值，其不論在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大的改進，在技術(shù)上有顯著的進步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)W增進的突出多項功效，從而更加適于實用，并具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設(shè)計。
上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。


圖l是本實用新型較佳實施例的裝置外觀立體圖。
圖2是本實用新型較佳實施例的裝置局部與移載容器的外觀示意圖，
其說明本實用新型的構(gòu)成及其相對關(guān)系。
圖3是本實用新型較佳實施例中裝置的進氣閥件與穩(wěn)壓閥件的局部分
解及剖面示意圖。
圖4是本實用新型較佳實施例中移載容器的分解示意圖。
圖5是本實用新型較佳實施例中移載容器的氣閥分解及剖面示意圖。
圖6是本實用新型較佳實施例在實際使用時保持移載容器內(nèi)部穩(wěn)壓的
剖視圖。及穩(wěn)壓閥件接合前的局部剖面示意圖。
圖8是本實用新型較佳實施例在實際使用中移載容器氣閥與進氣閥件及穩(wěn)壓閥件接合后的局部剖面示意圖。
圖9是本實用新型另 一較佳實施例的裝置與移載容器的外觀示意圖。
1:裝置10:收納柜
11:進氣回路12:排氣回路
15:擺置單元16:承座
17:定位元件18:感應(yīng)開頭
20:進氣閥件21:閥體
22:隔片23浮動桿
24:頸部25彈簧
26:密封墊圏27抵頂部
270:透孔271:推桿30:穩(wěn)壓閥件31閥體
32:凸環(huán)片33隔片
34:流道孔35推桿
40:進出料機體5:移載容器
50:光罩盒51底座
52:承抵塊53貼抵塊
55:殼罩60氣閥
61:閥體62隔片
63:浮動桿644氐頂部
65:頸部66彈簧
67:密封墊圈70晶圓容置
75:箱門
具體實施方式
為更進一步闡述本實用新型為達成預定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，
以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本實用新型提出的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。
有關(guān)本實用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點及功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細說明中將可清楚的呈現(xiàn)。為了方便說明，在以下的實施例中，相同的元件以相同的編號表示。
本實用#賴是一種移^^,級系鄉(xiāng)衫吉構(gòu)，請參閱圖l、圖2所示，該穩(wěn)壓系統(tǒng)包括有一裝置1與至少一設(shè)于裝置1上的移載容器5，其中裝置1選自晶圓或光罩的管理系統(tǒng)儲存拒、容置拒、運輸設(shè)備或制程設(shè)備的進出料機
體等，而移載容器5具有一可選擇性啟閉的容置空間，該移載容器5選自容置晶圓或光罩的密封式箱體或盒體等，且裝置1與移載容器5間具有可選擇性充填與排出的氣流回路；
本實用新型的移載容器5以光罩盒50為主要實施例，而裝置1則以供容置前述光罩盒50的收納拒10為主要實施例，至于該較佳實施例的詳細構(gòu)成，則請進一步參閱圖l、圖2及圖3所顯示，該裝置1的收納拒10具有連接廠務(wù)端的進氣回路11與排氣回路12，且收納拒10內(nèi)具有至少一供承置光罩盒50的擺置單元15，擺置單元15具有供支撐光罩盒50的承座16，且承座16上設(shè)有至少一對應(yīng)光罩盒50的定位元件17，讓光罩盒50可有效限位于擺置單元15的承座16上，再者承座16另設(shè)有感應(yīng)開關(guān)18,供檢知與記錄光罩盒50,再者擺置單元15的承座16上設(shè)有至少一連接進氣回路11的進氣閥件20與至少一連接排氣回路12的穩(wěn)壓閥件30;
其中進氣閥件20具有一中空的閥體21，且閥體21內(nèi)部中段形成有一具較小通孔的隔片22,又閥體21內(nèi)設(shè)有一可相對隔片22通孔滑動的浮動桿23，該浮動桿23兩端分別具有一可穿出隔片22的頸部24與一較大徑的抵頂部27,其中頸部24上束設(shè)有一可選擇性封閉隔片22通孔的密封墊圈26，而浮動桿23的抵頂部270與隔片22間頂撐有一彈簧25,讓浮動桿23的密封墊圏26可利用彈簧25的壓縮相對遠離或緊貼隔片22，達到讓氣流選擇性流通的目的，再者前述抵頂部27上具有至少一透孔270，而抵頂部27頂面具有向上凸出的推桿270，供選擇性啟閉光罩盒50的對應(yīng)氣流通道(如圖7、圖8所示);
而穩(wěn)壓閥件30具有一中空的閥體31，且閥體31頂面形成有一道較大徑的凸環(huán)片32，且閥體31內(nèi)部形成有一隔片33,該閥體31的隔片33鄰近凸環(huán)片32內(nèi)緣處形成有一或多個流道孔34，且前述流道孔34并可同時跨越光罩盒50對應(yīng)氣流通道的內(nèi)部與外部(如圖6、圖8所示)，且隔片33頂面并具有向上凸出的推桿35,供選擇性啟閉光罩盒50的對應(yīng)氣流通道如(圖7、圖8所示);
而移載容器5的光罩盒50則如圖4、圖5所示，該光罩盒50具有一承置光罩的底座51，且底座51頂面并設(shè)有組設(shè)呈倒平底U字型支撐體的兩承抵塊52與一貼抵塊53,供支撐與抵頂光罩，又底座51上覆設(shè)有一殼罩55，供光罩盒50形成可選擇性啟閉的密封環(huán)境，又光罩盒50在底座51底面設(shè)有多個連通前述密封環(huán)境的氣閥60,且氣閥60并分別對應(yīng)前述收納拒10擺置單元15的進氣閥件20與穩(wěn)壓閥件30;
又該氣閥60具有一中空的閥體61,且閥體61內(nèi)部中4殳形成有一具較小通孔的隔片62，又閥體61內(nèi)設(shè)有一可^J^"隔片62通孔滑動的浮動桿63，該浮動桿63兩端分別M^^^^徑的:MJ貞部64與一可穿出隔片62的頸部65,其中頸部65上束設(shè)有一可選擇性封閉隔片62通孔的密封墊圈67，而浮動桿63的抵頂部64與隔片62間頂撐有一彈簧66，讓浮動桿63的密封墊圈67可利用彈簧66的壓縮相對遠離或緊貼隔片62，而浮動桿63的抵頂部64并對應(yīng)前述進氣閥件20與穩(wěn)壓閥件30的推桿27135,達到讓氣閥60可受進氣閥件20與穩(wěn)壓閥件30作用選擇性導通的目的(如圖7、圖8所示)；
藉此，組構(gòu)成一可有效保持移載容器內(nèi)、外部環(huán)境氣壓平衡的穩(wěn)壓系
統(tǒng)
通過前述的設(shè)計，本實用新型在實際使用時，則如圖6、圖7及圖8所揭示者，當移載容器5中容置有光罩30的光罩盒50未置于裝置1的收納拒IO擺置單元15上時，該光罩盒50底座51的不同氣閥60由于未受任何外力的推抵，因此氣閥60中的浮動桿63受彈簧66回復預力頂撐而向下定位，使浮動桿63上的密封墊圏67貼抵于隔片62，讓光罩盒50容置光罩的內(nèi)部空間呈氣密狀(如圖7所示)。而收納拒10的進氣閥件20亦未受任何外力的推抵，因此進氣閥件20中的浮動桿23受彈簧25回復預力頂撐而向下定位，使浮動桿23上的密封墊圈26貼抵于隔片62，讓收納柜10的進氣回路ll(如圖1所示)無法由進氣閥件20排出氣體；
反之，如圖8所示，當光罩盒50置于擺置單元15的承座16上時，該光罩盒50底座51的不同氣閥60適可與承座16上的進氣閥件20與穩(wěn)壓閥件30相對接合，其中氣閥60的浮動桿63受到進氣閥件20的推桿271的推抵，使進氣閥件20與氣閥60的浮動桿2363同步壓縮彈簧2566，使進氣閥件20與氣閥60的浮動桿2363上的密封墊圈2667遠離隔片2262，讓進氣回路11內(nèi)的潔凈空氣可由進氣閥件20與氣閥60注入光罩盒50的內(nèi)部空間。且光罩盒50對應(yīng)穩(wěn)壓閥件30的氣閥60浮動桿63受穩(wěn)壓閥件30的推桿35的推抵，使該氣閥60的浮動桿63壓縮彈簧66,而令氣閥60的浮動桿63上的密封墊圈67遠離隔片62，讓光罩盒50內(nèi)的空氣可經(jīng)氣閥60與穩(wěn)壓閥件30由收納柜10的排氣回路12(如圖l)排出，且由于該穩(wěn)壓閥件30的閥體31流道孔34同時跨越于氣閥60的外部，使穩(wěn)壓閥件30可同步吸入光罩盒50外部的氣體(如圖8所示)，如此即可避免因排氣量大于進氣量而讓光罩盒50內(nèi)部空間形成負壓現(xiàn)象，使光罩盒50在未開啟前，其內(nèi)、外環(huán)境的氣壓保持平衡，不致影響光罩盒50的開啟，且進一步不致發(fā)生外部氣流瞬間向內(nèi)強力流動的現(xiàn)象，防止其刮傷光罩盒50內(nèi)部光罩表面或使微粒與有害物質(zhì)因氣流而揚起，進而附著于光罩表面，以提升整體制程的效率與良率。
又本實用新型另有一實施例，其如圖9所示，本實用新型的移載容器5可為容置晶圓的晶圓容置箱70,該晶圓容置箱70并具有可選擇性啟閉的箱門75，而裝置1則可選自制程設(shè)備的進出料機體40，其一樣具有前述的功效與效能。
以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于其包括一裝置及至少一移轉(zhuǎn)容器，其中該裝置具有至少一進氣回路與至少一排氣回路，且裝置上設(shè)有至少一連接進氣回路的進氣閥件與至少一連接排氣回路的穩(wěn)壓閥件，其中穩(wěn)壓閥件具有一或多數(shù)流道孔；而移轉(zhuǎn)容器并具有一可選擇性啟閉的容置空間，且移轉(zhuǎn)容器上設(shè)有多個連通容置空間與外部環(huán)境的氣閥，不同氣閥并可同時串接前述裝置的進氣閥件與穩(wěn)壓閥件，其中對應(yīng)穩(wěn)壓閥件的氣閥跨設(shè)于流道孔上，使得穩(wěn)壓閥件可同步吸排移載容器容置空間與外部環(huán)境的氣體。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所 述的裝置選自晶圓或光罩的管理系統(tǒng)儲存拒、容置拒、運輸設(shè)備或制程設(shè) 備的進出料機體。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所 述的裝置為一供承置光罩盒的收納拒，其具有至少一供光罩盒放置的擺置 單元，擺置單元具有供支撐光罩盒的承座，且承座上設(shè)有至少一對應(yīng)光罩 盒的定位元件，而進氣閥件與穩(wěn)壓閥件是設(shè)于擺置單元的承座表面。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所 述的移轉(zhuǎn)容器選自供容置晶圓或光罩的密封式箱體或盒體。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于其 中所述的移轉(zhuǎn)容器的氣閥具有一中空的閥體，且閥體內(nèi)部中段形成有一具 較小通孔的隔片，該閥體內(nèi)設(shè)有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動 桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與 一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設(shè) 有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐 有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圈可相對遠離或緊貼隔片，達到讓氣閥可受進氣閥件與穩(wěn)壓閥件作用選擇性導通或密封的功效。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在 于其中所述的裝置的進氣閥件具有一中空的閥體，且閥體內(nèi)部中段形成有 一具較小通孔的隔片，該閥體內(nèi)設(shè)有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該 浮動桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿出隔片的頸部，且頸部上 束設(shè)有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間 頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圈可相對遠離或緊貼隔片，達到讓進氣閥件受氣閥作用選擇性導通或密封。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在 于其中所述的裝置的穩(wěn)壓閥件具有一中空的閥體，且閥體頂面形成有一道 較大徑的凸環(huán)片，且閥體內(nèi)部形絲一隔片，而同步跨接移載容器氣閥內(nèi)、外部的流道孔設(shè)于隔片上。
8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所 述的穩(wěn)壓閥件的隔片頂面并具有向上凸出的推桿，供選擇性啟閉移載容器 氣閥的氣流通道。
專利摘要本實用新型是有關(guān)于一種移載容器穩(wěn)壓系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，尤指一種可避免移載容器因負壓而不易開啟的穩(wěn)壓系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括有一裝置及至少一設(shè)于裝置上的移轉(zhuǎn)容器，其中裝置上設(shè)有至少一連接進氣回路的進氣閥件及至少一連接排氣回路的穩(wěn)壓閥件，而移轉(zhuǎn)容器則具有對應(yīng)裝置進氣閥件與穩(wěn)壓閥件的氣閥，其中穩(wěn)壓閥件上具有可連通移載容器內(nèi)部空間的流道孔，且該流道孔并可同步連接移載容器的外部空間，使得裝置在透過穩(wěn)壓閥件排出移載容器內(nèi)部氣體時，防止移載容器內(nèi)部空間因排氣量大于進氣量而產(chǎn)生負壓，而影響到移載容器的開啟，且避免移載容器因負壓而于開啟時產(chǎn)生強力的瞬間進氣流動，而傷及移載容器內(nèi)部物件的表面。
文檔編號H01L21/67GK201278344SQ20082012700
公開日2009年7月22日 申請日期2008年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月19日
發(fā)明者蔡銘貴, 陳俐殷, 黃柏凱 申請人:億尚精密工業(yè)股份有限公司