專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物。更詳細而言，涉及可以適宜地用于阻焊劑、各種涂料、粘合劑、印刷油墨用粘結劑、彩色濾光片用粘結劑等的、可以形成耐熱性、與基板的密合性、顯影特性優(yōu)異的固化涂膜的感光性樹脂組合物。
背景技術：
：近年來，從節(jié)省資源、節(jié)省能量的觀點考慮，在印刷、涂料、粘樹脂。即使在印刷電路板等電子設備領域中為了長期保護搭載零件后的電路板，使用阻焊劑。作為可用光刻膠法在印刷電路板中使用的材料，一般為酸側鏈型酚醛清漆環(huán)氧丙烯酸酯，但由于與銅鍍敷的密合性不充分，在作為多層印刷電路板使用時，存在無法得到導體電路之間充分的密合強度的問題，此外，撓性也差，因此，存在容易破裂的問題。為了解決這些問題，提出了在使用了(甲基)丙烯酸酯共聚物的感光性樹脂組合物中混合無機添加劑的方法(例如專利文獻1)，但遺留如下問題，即對于酸側鏈型酚醛清漆環(huán)氧丙烯酸酯，耐熱性差。在彩色液晶顯示裝置或固體撮像元件中使用彩色濾光片，這些彩色濾光片由在基板上以規(guī)定的圖案著色為紅(R)、綠(G)、藍(B)等顏色的著色涂膜和它們之間的黑色的黑矩陣(blackmatrix)構成。通常，通過在玻璃等透明基板上形成黑矩陣，接著依次形成R、G、B等著色涂膜圖案來制造。一般而言，彩色濾光片可用染色法、印刷法、顏料分散法或電沉積法等制造方法制造。其中，尤其是顏料分散法，因耐光性、耐熱性等耐久性優(yōu)異，針孔等缺陷少，因此目前成為主流，所述顏料分散法為使用以堿可溶性樹脂、反應性單體、光聚合引發(fā)劑、顏料及溶劑為主體的光固化性樹脂組合物，在透明基板上進行涂布，用反復進行曝光、顯影、后固化的光刻法制作。顏料分散法具有上述優(yōu)點，但另一方面，由于反復形成黑矩陣、R、G、B等圖案，因此，對成為涂膜的粘結劑的堿可溶性樹脂要求高的耐熱性、與基板的密合性。作為提高堿可溶性樹脂的耐熱性的方法，目前提出了以側鏈上具有環(huán)狀結構的(甲基)丙烯酸酯為共聚成分的樹脂組合物(例如專利文獻2)、以含有馬來酰亞胺的單體為共聚成分的樹脂組合物(例如專利文獻3)等。但是，前者的以側鏈上具有環(huán)狀結構的(甲基)丙烯酸酯為共聚成分的樹脂組合物存在如下問題為了提高耐熱性而增大其使用比率時，其與基板的密合性降低；對顯影工序中使用的顯影液的樹脂的溶解性降低，顯影工序中花費的時間延長，而且不能顯影，無法得到規(guī)定的圖案；即使得到圖案，在進行為了固著涂膜而實施的加熱處理的后固化時，側鏈被熱分解，成為揮發(fā)性成分，由此污染生產線。對后者的以含有馬來酰亞胺的單體為共聚成分的樹脂組合物而言，由于分子中含有的氮原子，引起由黃色著色為黃褐色，使涂膜的透明性惡化。而且存在如下問題在進行加熱處理的后固化時，著色進一步進行。專利文獻l:特開2006-190848號公報專利文獻2:特開2004-240396號公報專利文獻3:特開2003-29018號公報
發(fā)明內容發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的在于，提供感光性樹脂組合物，所述感光性樹脂組合物不僅具有可以用于光刻工序的顯影特性，而且能形成耐熱性、密5合性、透明性均優(yōu)異的固化涂膜。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題，進行了潛心研究。其結果發(fā)現(xiàn)，包含含有在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-1)、和在分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)作為必須成分的共聚物的樹脂組合物，能解決上述課題，基于該見解完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明的感光性樹脂組合物是含有聚合物成分(A)和光聚合性單體(B)而形成的感光性樹脂組合物，其特征在于，聚合物成分(A)是含有以在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-l)和在分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)為必須的單體成分而形成的共聚物。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可以提供感光性樹脂組合物，所述感光性樹脂組合物在具有可以用于光刻工序的顯影特性的基礎上，可以形成耐熱性、密合性、透明性均優(yōu)異的固化涂膜。另外，由本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的固化涂膜，對玻璃基板、半導體基板的耐熱性、密合性優(yōu)異，具有堿顯影性，因此，在各種抗蝕劑領域中的利用價值極其高。具體實施例方式下面，對本發(fā)明進行詳細it明。本發(fā)明的感光性樹脂組合物通過含有共聚物作為聚合物成分(A)，所述共聚物含有以在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-l)和在分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)為必須的單體成分而形成的，不僅具有可以用于光刻工序中的顯影特性，而且能形成耐熱性、密合性、透明性優(yōu)異的固化涂膜。以下對聚合物成分(A)進行說明。在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-l)沒有特別限定，作為其具體例，可以列舉甘油單(甲基)丙烯酸酯、丁三醇單(甲基)丙烯酸酯、戊三醇單(甲基)丙烯酸酯等亞烷基多元醇單(甲基)丙烯酸酯類；咖啡因酸(力7工4》酸)、莽草酸等。其中，從密合性、顯影特性的方面考慮，優(yōu)選甘油單(甲基)丙烯酸酯。得到上述聚合物成分(A)時的、單體成分中的在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-l)的比例沒有特別限制，為總單體成分中的3~30摩爾％，優(yōu)選為5~20摩爾％，更優(yōu)選為5~15摩爾％。該聚合性單體(a-l)在該范圍內時，密合性等涂膜性能也充分，而且由于可以保持適當?shù)膸谆膶肓?，因此感光性樹脂組合物溶液的粘度不升高，也不需要提高感光性樹脂組合物中的溶劑比率，所以，可以高地保持配合的自由度。另外，通過可以相對地提高其它單體的配合比率，不僅不會使耐熱性降低，而且在后面敘述的堿顯影中必要的羧基或在光固化中必要的感光性基團的導入量也不受限制。由于該聚合性單體(a-1)賦予顯影性及密合性的性能高，配合比例少也可以，所以，可以相對地增多賦予耐熱性的聚合性單體、賦予顯影性的聚合性單體、賦予感光性的聚合性單體的配合比例，可以使作為聚合物成分(A)的顯影性、感光性和耐熱性、密合性兩立。作為分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)，作為其具體例，可列舉(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸曱基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸乙基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)己酯、1，4-環(huán)己烷二甲醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸基氧乙酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊烯基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸金剛烷酯、(甲基)丙烯酸松香酯、(甲基)丙烯酸降水片酯、(甲基)丙烯酸-5-甲基降冰片酯、(甲基)丙烯酸-5-乙基降冰片酯等(甲基)丙烯酸酯類；ot-蒗烯、a-薛品醇等分子內具有C-C雙鍵的單碎烯類；降水片烯、5-甲基降水片烯、5-降水片烯-2-羧酸、5-降水片烯-2，3-二羧酸、5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐等環(huán)烯烴類等。其中，從耐熱性的方面考慮，特別優(yōu)選(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯、(曱基)丙烯酸松香酯、降冰片烯。得到上述聚合物成分(A)時的單體成分中在分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)的比例沒有特別限制，為總單體成分中的3~30摩爾％，優(yōu)選5~20摩爾％，更優(yōu)選5~15摩爾％即可。化合物(a-2)在該范圍內時，其它單體的配合比率也不相對變低，與基板的密合性變充分，在后面敘述的堿顯影中必要的羧基或在光固化中必要的感光性基團的導入量也不受限制。另外，由于可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的導入量不增多，因此，不會使樹脂對顯影液的溶解性降低，顯影工序中花費的時間也不變長，也不會不能顯影，可得到規(guī)定的圖案。另外，耐熱性等涂膜性能也變得充分。上述聚合物成分(A)的酸值為20~180mgKOH/g，優(yōu)選為30~150mgKOH/g,進一步優(yōu)選為40~140mgKOH/g。酸值在該范圍內時，可得到充分的堿顯影特性。即，酸值只要在該范圍內，則對堿顯影液的溶解性就變得充分，固化部分不會在堿顯影液中溶解或溶脹。上述聚合物成分(A)的重均分子量(利用GPC法的聚苯乙烯換算的數(shù)值)優(yōu)選為5000~80000。只要重均分子量在該范圍內，則耐熱性或撓性就都不降低，對堿顯影液的溶解性也變得充分。為了在上述聚合物成分(A)中導入酸值，已知有如下方法使不飽和一元酸(a-3)與將不飽和一元酸(a-3)用作共聚成分(共聚物(A-1)、共聚物(A-2))的、或將具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物(a-5)用作共聚成分的共聚物的環(huán)氧基反應后，使多元酸酐(a-6)與生成的羥基或共聚成分(a-l)的羥基反應(共聚物(A-3))。共聚物(A-l)通過使(a-l)和(a-2)、(a-3)及(a-4)共聚而得到，其共聚比率為(a-l)為總單體成分中的3~30摩爾％，優(yōu)選為520摩爾％，更優(yōu)選為5~15摩爾％;(a-2)為3~30摩爾％，優(yōu)選為5~20摩爾％，更優(yōu)選為5~15摩爾％;(a-3)為20~70摩爾％，優(yōu)選為20~60摩爾％，更優(yōu)選為20~50摩爾％;(a-4)為0~75摩爾％，優(yōu)選為20~60摩爾％,進一步優(yōu)選為25~50摩爾％,它們的總計為100摩爾％。使(a-l)為3~30摩爾％、(a-2)為3~30摩爾％，如上所述。為了使羧基存在于共聚物(A-l)的側鏈上而使共聚物具有酸值，使用(a-3)。作為本發(fā)明的(a-3)的不飽和一元酸，沒有特別限定，可以列舉例如(曱基)丙烯酸、丁烯酸、肉桂酸等。另外，也可以使用具有1個羥基和1個以上(甲基)丙烯酰基的多官能(曱基)丙烯酸酯(例如(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯、(甲基)丙烯酸羥丁酯、三羥曱基丙烷二(曱基)丙烯酸酯等)和多元酸酐的反應產物等。其中，優(yōu)選使用(甲基)丙烯酸。這些可以使用l種或并用2種以上。作為(a-l)、(a-2)及(a-3)以外的自由基聚合性化合物(a-4)，只要具有乙烯性不飽和基團，就沒有特別限定。作為其具體例，可列舉丁二烯、2，3-二甲基丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等二烯類；(甲基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙酯、(曱基)丙烯酸異丙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(曱基)丙烯酸新戊酯、(曱基)丙烯酸節(jié)酯、(曱基)丙烯酸異戊酯、(曱基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十二垸基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(曱基)丙烯酸炔丙酯、(曱基)丙烯酸胡椒酯、(甲基)丙烯酸水楊酯、(甲基)丙烯酸呋喃酯、(甲基)丙烯酸糠酯、(曱基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸吡喃酯、(曱基)丙烯酸苯乙酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸-l，1，1-三氟乙酯、(甲基)丙埽酸全氟乙酯、(甲基)丙烯酸全氟正丙酯、(甲基)丙烯酸全氟異丙酯、(曱基)丙烯酸三苯基甲酯、(甲基)丙烯酸枯烯酯、3-(N，N-二甲基氨基)丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸蒽酯等(甲基)丙烯酸酯類；(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸-N,N-二甲基酰胺、(甲基)丙烯酸-N，N-二乙基酰胺、(甲基)丙烯酸-N，N-二丙基酰胺、(甲基)丙烯酸N，N-二異丙基酰胺、(曱基)丙烯酸蒽基酰胺等(甲基)丙烯酰胺；(甲基)丙烯酰苯胺((爿夕)7夕卩/"酸7-卩K)、(曱基)丙烯腈((乂夕)7*夕卩口卜！iA)、丙烯醛、氯乙烯、偏氯乙烯、9氟乙烯、偏氟乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、醋酸乙烯酯等乙烯基化合物；苯乙烯，苯乙烯的cc-、鄰、間、對烷基、硝基、氰基、酰胺衍生物；檸康酸二乙酯、馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等不飽和二羧酸二酯；N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-月桂基馬來酰亞胺、N-(4-羥苯基)馬來酰亞胺等單馬來酰亞胺類；N-(甲基)丙烯?；彵蕉柞啺返取Ｔ谏鲜鲋?，從固化涂膜的密合性、透明性的觀點考慮，優(yōu)選使用(甲基)丙烯酸千酯、(曱基)丙烯酸-2-羥乙酯、苯乙烯或乙烯基甲苯。這些可以使用1種或并用2種以上。用于得到共聚物(A-l)的自由基共聚反應沒有特別限制，可以應用以往進行的通常的自由基聚合法。例如，在丙二醇單曱醚、丙二醇單曱醚乙酸酯這樣的二醇醚類溶劑；甲苯或二甲苯這樣的烴類或醋酸乙酯這樣的不具有官能團的有機溶劑中，以所希望的比率溶解上述(a-l)、(a-2)優(yōu)選(a-3)及(a-4)的共聚成分，將偶氮二異丁腈、偶氮二異戊腈、過氧化苯曱酰、過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯這樣的聚合引發(fā)劑混合，在回流狀態(tài)下、在50~13(TC左右下使其聚合1~20小時左右，由此得到共聚物(A-1)的有機溶劑熔液。聚合引發(fā)劑的使用量相對(a-l)、(a-2)、(a-3)及(a-4)的總計量100質量份，通常為0.5~20質量份左右，優(yōu)選為1.0~IO質量份。也可以不使用有機溶劑、僅以(a-l)、(a-2)、(a-3)及(a-4)和聚合引發(fā)劑進行本體聚合。有機溶劑的使用量相對(a-1)、(a-2)、(a-3)及(a-4)的總計量100質量份，通常為30~1000質量份左右，優(yōu)選為50~800質量份左右。通過將有機溶劑的使用量設定為1000質量份以下，可以利用鏈轉移作用防止共聚物(A-l)的分子量降低，并且將最終得到的共聚物(A-1)的固體成分濃度控制在適當?shù)姆秶?。通過設定為30質量份以上，可以防止異常的聚合反應，進行穩(wěn)定的聚合反應，可以防止樹脂著色或凝膠化。本發(fā)明的共聚物(A-1)作為混合有后述的反應性稀釋劑或溶劑的感光性樹脂組合物，主要用作抗蝕劑等電子材料，因此，用如上所述的自由基共聚法制造共聚物(A-l)時，優(yōu)選使用丙二醇單曱醚乙酸酯這樣的二醇酯類溶劑。共聚物(A-2)通過使(a-l)、(a-2)、(a-3)及(a-4)共聚，使(a-5)成分與得到的共聚物中的羧基反應而得到。(a-l)、(a-2)、(a-3)及(a-4)的共聚比率與共聚物(A-l)同樣，而且，通過使作為(a-5)的具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物與存在于側鏈上的羧基反應，使羧基的一部分變換為不飽和基團。作為(a-5)的具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物的使用量相對存在于共聚物的側鏈上的羧基100摩爾，為5~80摩爾。通過控制在580摩爾，羧基和不飽和基團的平衡好，可以適當保持共聚物(A-2)的固化性及由堿引起的顯影性。(a-l)、(a-2)、(a-3)及(a-4)的共聚反應可以在與共聚物(A-1)同樣的條件下進行反應。作為(a-5)的具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物，沒有特別限定，可列舉例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、具有環(huán)式環(huán)氧基的3，4-環(huán)氧環(huán)己基曱基(甲基)丙烯酸酯及其內酯加成物[例如夕'4七/k化學工業(yè)林式會社制造的廿4夕口T一A200、MIOO]、3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3，，4，-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯的單(曱基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊烯酯的環(huán)氧化物、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊烯基氧乙酯的環(huán)氧化物等，從得到原料的容易程度考慮，優(yōu)選使用(甲基)丙烯酸縮水甘油酯及3，4-環(huán)氧環(huán)己基曱基(甲基)丙烯酸酯。這些可以使用l種或并用2種以上。使(a-5)的具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物與共聚物中的羧基反應如下進行。即，為了防止由不飽和一元酸或生成的含不飽和基團共聚物的聚合引起的凝膠化，在對苯二酚、甲基對苯二酚、對苯二酚單甲醚、氧等聚合抑制劑的存在下，并且在三乙胺這樣的叔胺、三乙基節(jié)基氯化銨這樣的季銨鹽、三苯基膦這樣的磷化合物、鉻的螯合物等催化劑的存在下，通常在50~15(TC左右、優(yōu)選80~13(TC下進行反應。在用于得到共聚物的自由基共聚反應中使用有機溶劑時，可以直接以共聚物有機溶劑溶液的狀態(tài)用于以后的反應。共聚物(A-3)通過使(a-l)、(a-2)、(a-5)及(a-4)共聚，使(a-3)與得到的共聚物中的環(huán)氧基反應后，使作為多元酸酐的(a-6)與生成的羥基或(a-l)的幾基反應而得到。(a-l)、(a-2)、(a-5)及(a-4)的共聚比率為(a-l)為總單體成分中的3~30摩爾％，優(yōu)選為5~20摩爾％,更優(yōu)選為5~15摩爾％;(a-2)為3~30摩爾％，優(yōu)選為5~20摩爾％,更優(yōu)選為5~15摩爾°/。；(a-5)為30~85摩爾％，優(yōu)選為30~70摩爾％，更優(yōu)選為30~60摩爾°/。；(a-4)為0~65摩爾％，優(yōu)選為15~55摩爾％,更優(yōu)選25~50摩爾％，它們的總計為100摩爾％。使(a-l)為3~30摩爾％、(a-2)為3~30摩爾％，如上所述。(a-5)是為了在共聚物的側鏈上導入環(huán)氧基，使其與后面的(a-3)的羧基反應而導入不飽和基團而使用的。而且，也用于通過使作為多元酸酐的(a-6)與生成的羥基反應而導入酸值。因此，與被導入到共聚物(A-2)的側鏈上的(a-5)功能不同、導入量也不同，但可以使用同樣的環(huán)氧化合物。通過將(a-5)設定為30~85摩爾％，可以控制環(huán)氧基的導入量、即來自(a-3)的不飽和一元酸的不飽和基團的導入量，可以控制共聚物(A-3)的固化性。通過使(a-l)、(a-2)及(a-5)為如上所述的比率,(a-4)可以在0~65摩爾％的范圍內適當選定。該共聚物(A-3)通過使上述(a-l)、(a-2),優(yōu)選(a-5)及(a-4)進行自由基共聚而形成共聚物后，使(a-3)的不飽和一元酸反應，接著使(a-6)的多元酸酐反應而得到。(a-3)的不飽和一元酸的羧基與來自(a-5)的側鏈的環(huán)氧基反應，將環(huán)氧基開環(huán)，形成羥基，同時賦予末端不飽和基團。(a-6)的多元酸酐與(a-l)的羥基或與通過(a-3)中的羧基和來自(a-5)的側鏈的環(huán)氧基的反應產生的雍基反應，將酸酐基開環(huán)，變換為羧基。作為(a-3)的不飽和一元酸的使用量，相對來自(a-5)的側鏈的環(huán)氧基100摩爾，為10100摩爾，優(yōu)選為30~100摩爾，進一步優(yōu)選為50~IOO摩爾。12通過將不飽和一元酸的使用量設定為IO摩爾以上，可以導入樹脂固化中所必要的不飽和基團的最低量，通過將不飽和一元酸的使用量設定為100摩爾以下，可以減少得到的本發(fā)明的共聚物(A-3)中未反應的不飽和一元酸的量。進行反應的(a-6)的多元酸酐的使用量相對(a-l)的幾基、及由(a-3)中的羧基和來自(a-5)的側鏈的環(huán)氧基的反應所產生的羥基的總計IOO摩爾，為5100摩爾，優(yōu)選為10~90摩爾，進一步優(yōu)選為20~90摩爾。通過相對鞋基100摩爾將多元酸酐的摩爾數(shù)設定為5~100摩爾的范圍，可以將得到的共聚物(A-3)的酸值(JISK6901)控制在20~180mgKOH/g的范圍。上述共聚物的羥基和多元酸酐(a-6)的反應如下進行使(a-3)的不飽和一元酸與來自上述共聚物中的(a-5)的側鏈的環(huán)氧基反應，然后直接添加規(guī)定量的該(a-6)，通常在50~15(TC左右、優(yōu)選80~130。C下進行加熱。不需要重新添加催化劑。作為本發(fā)明的共聚物(A-3)中的(a-6)的多元酸酐，沒有特別限定，可列舉例如琥珀酸酐、馬來酸酐、檸康酸酐、衣康酸酐、鄰苯二曱酸酐、四氫鄰苯二甲酸肝、橋亞甲基四氫鄰苯二甲酸肝、甲基四氫鄰苯二曱酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸酐等。其中，優(yōu)選使用四氬鄰苯二甲酸酐、琥珀酸酐。這些可以使用1種或并用2種以上。在含有如上得到的共聚物(A-1)~(A-3)的聚合物成分(A)和光聚合性單體(B)而成的本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，可以添加光聚合引發(fā)劑(C)及溶劑(D)。作為可以使用的光聚合性單體(B)，只要可以與聚合物成分(A)反應，就沒有特別限制?？梢粤信e例如苯乙烯、a-甲基苯乙烯、oc-氯曱基苯乙烯、乙烯基曱苯、二乙烯基苯、鄰苯二曱酸二烯丙酯、苯膦酸二烯丙酯等芳香族乙烯基類單體類；醋酸乙烯酯、己二酸乙烯酯等多羧酸單體類；(甲基)丙烯酸甲酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-^-羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯、乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、二乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三幾曱基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三(羥乙基)異氰脲酸酯的三(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯類單體；氰尿酸三烯丙酯等。這些可以使用l種或并用2種以上。光聚合性單體(B)的添加量相對聚合物成分(A)10G質量份，通常為10~200質量份，優(yōu)選為20~150質量份。通過將其設定為上述范圍內，可以將光固化性保持在適當?shù)姆秶?，而且，也可以調整粘度。作為感光性樹脂組合物中所添加的溶劑(D)，只要是不與聚合物成分(A)及光聚合性單體(B)反應的惰性溶劑，就可以沒有限制地使用。作為可以利用的溶劑(D),可以列舉丙二醇單曱醚、丙二醇單曱醚乙酸酯、二丙二醇單曱醚乙酸酯、醋酸乙酯、醋酸丁酯、醋酸異丙酯、丙二醇單曱醚、二丙二醇單曱醚、三丙二醇單甲醚、乙二醇單曱醚、二乙二醇單甲醚、甲基乙基酮、曱基異丁酮、環(huán)己酮、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇乙醚乙酸酯等。其中，優(yōu)選使用在上述自由基聚合反應中優(yōu)選使用的丙二醇單曱醚乙酸酯。溶劑(D)的添加量相對聚合物成分(A)IOO質量份，通常為30~IOOO質量份，優(yōu)選為50~800質量份。通過將其設定為上述范圍，可以保持適當?shù)恼扯取１景l(fā)明的感光性樹脂組合物使用紫外線等活性光作為活性能量線使其光固化時，添加光聚合引發(fā)劑(C)。作為可以利用的光聚合引發(fā)劑(C)，沒有特別限定，可列舉例如苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚等苯偶姻和其烷基醚類；苯乙酮、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、l，l-二氯苯乙酮、4-(1-叔丁基二氧-l-甲基乙基)苯乙酮等苯乙酮類；2-甲基蒽醌、2-戊基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、l-氯蒽醌等蒽醌類；2，4-二甲基遙噸酮、2，4-二異丙基噻噸酮、2-氯噻噸酮等噻噸酮類；苯乙酮二甲基縮酮、芐基二甲基縮酮等縮酮類；二苯甲酮、4-(l-叔丁基二氧-l-甲基乙基)二苯甲酮、3，3，，4，4，-四(叔丁基二氧羰基)二苯甲酮等二苯甲酮類；2一甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉-丙烷-1-酮或2-千基-2-二曱氨基-1-(4-嗎啉苯基)丁酮-1;?；趸㈩惣摆嗾紘嵧惖?。這些可以使用l種或并用2種以上。光聚合引發(fā)劑(C)的配合量相對本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的固體成分IOO質量份，通常優(yōu)選為0.1~30質量份，更優(yōu)選為0.5~20質量份，進一步優(yōu)選為1~10質量份。通過將其設定為0.1~30質量份，可以將光固化性保持在適當?shù)姆秶?。而且，本發(fā)明的感光性樹脂組合物可以根據(jù)需要含有公知的著色劑或消泡劑、偶聯(lián)劑、流平劑等。作為該著色劑，可以使用無機顏料或有機顏料、染料等公知的著色劑。作為可以使用的顏料的具體例，可列舉例如C.I顏料黃l、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料；C.I顏料橙13、31、36、38.、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色顏料；C.I顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料；C.I顏料藍15、15:3、15:4、15:6、16、60等藍色顏料；C.I顏料紫l、19、23、29、32、36、38等紫色顏料；C.I顏料綠7、36等綠色顏料；C.I顏料棕23、25等茶色顏料；C.I顏料黑l、7、炭黑、鈦黑、氧化鐵等黑色顏料等。這些著色劑根據(jù)目的象素的顏色，可分別單獨使用或組合2種以上使用。著色劑的配合量沒有特別限定，相對本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的固體成分IOO質量份，通常優(yōu)選為20~70質量份，更優(yōu)選為25~60質量份，進一步優(yōu)選為30~50質量份。為了提高顏料的分散性，也可以進一步添加公知的分散劑。作為分散劑，如果使用高分子分散劑，隨時間的分散穩(wěn)定性優(yōu)異，因此優(yōu)選。作為高分子分散劑，可以列舉例如氨基甲酸酯類分散劑、聚乙烯亞胺類分散劑、聚氧乙烯烷基醚類分散劑、聚氧化亞乙基二醇二酯類分散劑、山脫水梨糖醇脂肪族酯類分散劑、脂肪族改性酯類分散劑等。作為這種分散劑的具體例，可列舉商品名EFKA(工7力一少；、力匕'一7'4(EFKA)公司制造)、Disperbyk(匕'^夕少；、一公司制造)、f4X^口x(楠本化成林式會社制造)、SOLSPERSE(七矛力公司制造)等。分散劑的配合量沒有特別限定，相對使用的顏料IOO質量份，通常優(yōu)選為IOO質量份以下，更優(yōu)選為1~90質量份，進一步優(yōu)選為10~70質量份。如上所述，由于本發(fā)明的聚合物成分(A)的酸值為20~180mgKOH/g，因此，使用了含有其的感光性樹脂組合物的抗蝕劑類可以使用堿水溶液進行顯影。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可通過例如如下方法進行顯影，即，用絲網印刷法、輥涂法、幕涂法、噴涂法、旋涂法等在印刷電路板或玻璃基板、陣列基板上進行涂布，使必要的部分光固化后，用堿水溶液沖洗其未固化(未曝光)部分。作為顯影中所使用的堿水溶液，可以使用碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸鈞、氫氧化鈉等的水溶液；胺類中的氨基酚類化合物，但優(yōu)選使用對苯二胺類化合物，作為其代表例，可列舉3-甲基-4-氨基-N，N-二乙基苯胺、3-甲基-4-氨基-N-乙基-N-P-羥乙基苯胺、3-曱基-4-氨基-N-乙基-甲磺酰胺乙基苯胺、3-甲基-4-氨基-N-乙基-N-|3-甲氧基乙基苯胺及它們的硫酸鹽、鹽酸鹽或對甲苯磺酸鹽的水溶液。作為進行光照射而使涂布面固化時所使用的光源，可使用低壓水銀燈、中壓水銀燈、高壓水銀燈、氙燈、金屬卣化物燈等。實施例下面，示出實施例及比較例，對本發(fā)明進行具體說明，但本發(fā)明并不受這些例子的任何限定。16需要說明的是，份及百分數(shù)只要沒有特別說明，全部為質量標準。共聚物的分子量為利用GPC(凝膠滲透色譜法)測定的聚苯乙烯換算的重均分子量(Mw)。合成例1在具備攪拌裝置、滴液漏斗、冷凝器、溫度計、氣體導入管的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯700g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由甲基丙烯酸三環(huán)癸酯(a-2)53.2g、甘油單丙烯酸酯(a-1)19.3g、乙烯基曱苯(a-4)165.4g及甲基丙烯酸(a-3)56.lg組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯6.0g。花費2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在120。C下攪拌2小時，得到固體成分酸值為122.0mgKOH/g、重均分子量為29800的共聚物(A-l)-1(感光性樹脂l)的溶液。合成例2在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單曱醚乙酸酯600g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由甲基丙烯酸環(huán)己酯(a-2)73.4g、甘油單丙烯酸酯(a-1)69.9g、乙烯基曱苯(a-4)171.9g、甲基丙烯酸(a-3)50.lg組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯34.7g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在12(TC下攪拌2小時，得到固體成分酸值為81.7mgK0H/g、重均分子量為9500的共聚物(A-l)-2(感光性樹脂2)的溶液。合成例3在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯700g,—邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由甲基丙烯酸三環(huán)癸酯(a-2)45.9g、甘油單丙烯酸酯(a-l)33.4g、乙烯基甲苯(a-4)96.0g及甲基丙烯酸(a-3)73.6g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯5.0g。花費2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在12(TC下攪拌2小時，得到共聚物的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物溶液中投入甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)44.4g、三苯基膦0.8g及甲基對苯二酚0.8g，在120。C下繼續(xù)反應，得到固體成分酸值為101.4mgK0H/g、重均分子量為30500的共聚物(A-2)-l(感光性樹脂3)的溶液。合成例4在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單曱醚乙酸酯600g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至12(TC。接著，在由甲基丙烯酸環(huán)己酯(a-2)40.5g、甘油單丙烯酸酯(a-1)38.6g、甲基丙烯酸(a-3)93.3g、曱基丙烯酸千酯(a-4)148.5g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯25.3g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在12(TC下攪拌2小時，得到共聚物的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物溶液中投入曱基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)51.4g、三苯基膦1.2g及曱基對苯二酚1.2g，在120。C下繼續(xù)反應，得到固體成分酸值為101.4mgKOH/g、重均分子量為10500的共聚物(A-2)-2(感光性樹脂4)的溶液。合成例5在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單曱醚乙酸酯700g,—邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至12(TC。接著，投入甲基丙烯酸三環(huán)癸酯(a-2)27.9g、甘油單丙烯酸酯(a-1)20.3g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)99.2g及苯乙烯單體(a-4)33.0g,添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯3.7g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在120'C下攪拌2小時，得到共聚物1的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物1的溶液中投入丙烯酸(a-3)48.8g、三苯基膦0.8g及甲基對苯二酚0.8g,在12(TC下繼續(xù)反應，在固體成分的酸值達到0.8mgK0H/g時終止反應，得到共聚物la的溶液。接著，加入四氫鄰苯二曱酸酐(a-6)65.6g，在115。C下使其反應2小時，由此得到固體成分酸值為80.7mgK0H/g、重均分子量為30800的共聚物(A-3)-l(感光性樹脂5)的溶液。合成例6在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯600g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由曱基丙烯酸三環(huán)癸酯(a-2)36.3g、甲基丙烯酸環(huán)己酯(a-2)55.4g、甘油單丙烯酸酯(a-1)26.4g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)117.lg及乙烯基曱苯(a-4)19.5g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯20.5g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在120。C下攪拌2小時，得到共聚物2的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，投入丙烯酸(a-3)57.6g、三苯基膦1.0g及曱基對苯二酚1.0g，在120。C下繼續(xù)反應，在固體成分的酸值達到0.8mgK0H/g時終止反應，得到共聚物2a的溶液。接著，加入四氫鄰苯二甲酸酐(a-6)65.2g，在115。C下使其反應2小時，由此得到固體成分酸值為60.2mgK0H/g、重均分子量為9400的共聚物(A-3)-2(感光性樹脂6)的溶液。比較合成例1在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯600g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至12(TC。接著，在由甘油單丙烯酸酯(a-l)74.4g、乙烯基曱苯(a-4)241.8g、甲基丙烯酸(a-3)50.7g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯32.9g。花費2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在120。C下攪拌2小時，得到固體成分酸值為82.7mgKOH/g、重均分子量為10200的比較感光性樹脂1的溶液。比較合成例2在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單曱醚乙酸酯600g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由甲基丙烯酸環(huán)己酯(a-2)190.7g、乙烯基曱苯(a-4)130.6g、甲基丙烯酸(a-3)51.2g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯27.5g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在1WC下攪拌、反應2小時，得到固體成分酸值為83.6mgK0H/g、重均分子量為9200的比較感光性樹脂2的溶液。比較合成例3在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單曱醚乙酸酯19700g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由曱基丙烯酸三環(huán)癸酯(a-2)46.9g、甲基丙烯酸-2-幾乙酯(a-4)27.7g、乙烯基甲苯(a-4)98.lg、甲基丙烯酸(a-3)75.lg組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯5.lg?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在12(TC下攪拌2小時，得到共聚物的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物溶液中投入甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)45.4g、三苯基膦0.9g及甲基對苯二酚0.9g，在120。C下繼續(xù)反應，得到固體成分酸值為103.6mgK0H/g、重均分子量為29800的比較感光性樹脂3的溶液。比較合成例4在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單曱醚乙酸酯650g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由曱基丙烯酸三環(huán)癸酯(a-2)128.5g、甲基丙烯酸(a-3)68.6g及甲基丙烯酸節(jié)酯(a-4)99.4g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯10.1g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在120匸下攪拌、反應2小時，得到共聚物的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物溶液中投入甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)41.5g、三苯基膦1.Og及甲基對苯二酚1.0g，在120。C下繼續(xù)反應，得到固體成分酸值為81.1mgK0H/g、重均分子量為20800的比較感光性樹脂4的溶液。比較合成例5在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯600g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120。C。接著，在由甲基甘油單丙烯酸酯(a-1)27.lg、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)144.2g、甲基丙烯酸正丁酯(a-4)72.lg組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯19.5g?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在12(TC下攪拌、反應2小時，得到共聚物的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物溶液中投入丙烯酸(a-3)70.9g、三苯基膦1.0g及曱基對苯二酚1.0g，在120。C下繼續(xù)反應，在固體成分的酸值達到0.8mgK0H/g時終止反應，得到共聚物的溶液。接著，加入四氫鄰苯二甲酸酐(a-6)64.3g，在115。C下使其反應2小時，由此得到固體成分酸值為59.3mgK0H/g、重均分子量為9800的比較感光性樹脂5的溶液。比較合成例6在與合成例1同樣的燒瓶中加入作為溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯700g，一邊進行氮氣置換，一邊攪拌，升溫至120°C。接著，在由曱基丙烯酸環(huán)己酯(a-2)56.9g、甲基丙烯酸縮水甘油酯(a-5)96.2g、甲基丙烯酸正丁酯(a-4)16.0g組成的單體混合物中添加過氧化(2-乙基己酸)叔丁酯5.lg?；ㄙM2小時將其從滴液漏斗滴加到燒瓶，進一步在120'C下攪拌、反應2小時，得到共聚物的溶液。接著，將燒瓶內置換為空氣，在上述共聚物溶液中投入丙烯酸(a-3)47.3g、三苯基膦0.7g及甲基對苯二酚0.7g，在120。C下繼續(xù)反應，在固體成分的酸值達到0.8mgK0H/g時終止反應，得到共聚物的溶液。接著，加入四氫鄰苯二甲酸酐(a-6)77.2g，在115。C下使其反應2小時，由此得到固體成分酸值為95.0mgKOH/g、重均分子量為31000的比較感光性樹脂6的溶液。實施例1~6、比較例1~6作為實施例1~6，使用由合成例1~6得到的感光性樹脂1~6的各溶液；作為比較例1~6,使用由比較合成例1~6得到的比較感光性樹脂1~6的各溶液。將在各感光性樹脂的溶液的固體成分100份中添加30份的季戊四醇四丙烯酸酯、作為光聚合引發(fā)劑的2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮4份而調制的感光性樹脂組合物用涂布器在玻璃基板上以濕潤時的厚度10jum進行涂布，在100。C的溫風干燥器中使低沸點物質揮發(fā)后，使用才一夕制作所林式會社制造的超高壓水銀燈，根據(jù)需要通過掩模以150mJ/cm2進行曝光，得到厚度2jam的固化涂膜，接著，進行堿顯影?！淳G色顏料分散液1的調制>在填充有直徑0.5mm的氧化鋯珠180質量份的SUS容器中投入7.58質量份的C.I顏料綠36、7.58質量份的由合成例2得到的感光性樹脂2、28.54質量份的丙二醇單甲醚乙酸酯及6.31質量份的分散劑U、7夕少《一公司制造的Disperbyk-161)，用涂料搖擺器(paintshaker)使其分散6小時，得到綠色顏料分散液1。〈綠色顏料分散液2的調制>在填充有直徑0.5mm的氧化鋯珠180質量份的SUS容器中投入7.58質量份的C.I顏料綠36、7.58質量份的由比較合成例2得到的比較感光性樹脂2、28.54質量份的丙二醇單甲醚乙酸酯及6.31質量份的分散劑(匕、7夕少$—公司制造的Disperbyk-161)，用涂料搖擺器使其分散6小時，得到綠色顏料分散液2?！淳G色感光性樹脂組合物1的調制>將50質量份的由上述得到的綠色顏料分散液1、20.8質量份的由合成例3得到的感光性樹脂3、6.25質量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、2.5質量份的4^力'*-7907(^^義N'》*卩^4一少$力^X株式會社制造)、31.1質量份的丙二醇單甲醚乙酸酯混合，得到綠色感光性樹脂組合物1?！淳G色感光性樹脂組合物2的調制>將50質量份的由上述得到的綠色顏料分散液2、20.8質量份的由比較合成例4得到的比較感光性樹脂4、6.25質量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、2.5質量份的4》;ir^-7*907(f^義《〉X卩^>f一少《力》X林式會社制造)、31.1質量份的丙二醇單甲醚乙酸酯混合，得到綠色感光性樹脂組合物2。實施例7、比較例7作為實施例7，使用綠色感光性樹脂組合物1;作為比較例7，使用綠色感光性樹脂組合物2,用涂布器在玻璃基板上以干燥時的厚度為2jim的方式進行涂布，在IOOX:的溫風干燥器中使低沸點物質揮發(fā)后，使用才一夕制作所林式會社制造的超高壓水銀燈，根據(jù)需要通過掩模以150mJ/cm2進行曝光，得到厚度2nm的固化涂膜，接著，進行械顯影。(1)耐熱性試驗切出由實施例1~7及比較例1~7得到的各固化涂膜，進行熱重分析(TGA)。將切出的試樣加熱至22(TC，測定保持了2小時時的重量變化率。(2)耐熱變色性試驗將在玻璃基板上制成的涂膜放置在230'C的干燥機中1小時，用色差計比較加熱處理前后的涂膜的著色，用以下的基準進行評價。〇AE*ab為0.3以下x:AE本ab超過0.3(3)透明性將在玻璃基板上制成的涂膜放置在230'C的干燥機中1小時，用分光光度計測定加熱處理前后的涂膜的400nra處的透過率，用以下的基準進行評價。〇透過率的變化率為1%以下x:透過率的變化率超過1%(4)密合性使用固化涂膜，根據(jù)JISK5400進行交錯劃線式試驗(碁盤目試験)，目測觀察IOO個交錯劃線的剝離狀態(tài)，用以下基準進行評價。〇完全沒有看到剝離。x:在整體的10%以上看到剝離。(5)堿顯影性將通過掩模曝光了的固化涂膜在23。C下使用0.1%的碳酸鈉水溶液進行噴霧顯影，觀察水洗后的涂膜的有無，用以下基準進行評價。〇顯影時間70秒后，目測，沒有涂膜x:顯影時間70秒后，目測，有涂膜[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>由表14來看，在實施例中，加熱時的重量減少或耐熱變色、透明性的惡化少，并且，看不到固化涂膜的剝離，予以說明的是，而且，不損害堿顯影性。工業(yè)上的可利用性由本發(fā)明的感光性樹脂組合物形成的固化涂膜，對玻璃基板或半導體基板的耐熱性、密合性優(yōu)異，具有堿顯影性，因此在各種抗蝕劑領域的利用價值非常高。權利要求1、一種感光性樹脂組合物，其是含有聚合物成分(A)和光聚合性單體(B)而形成的感光性樹脂組合物，其特征在于，聚合物成分(A)是含有以在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-1)和在分子中具有碳數(shù)6～20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)為必須的單體成分而形成的聚合物。2、如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，聚合物成分(A)的酸值為20~180mgKOH/g。3、如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，聚合物成分(A)的重均分子量為5000-80000。4、如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，上述聚合物成分(A)是使分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-l)、分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)、不飽和一元酸(a-3)、以及能夠與它們共聚的除(a-1)、(a-2)及(a-3)以外的自由基聚合性化合物(a-4)共聚而形成的共聚物(A-l)。5、如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，上述聚合物成分(A)是使分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-1)、分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)、不飽和一元酸(a-3)、以及能夠與它們共聚的除(a-1)、(a-2)及(a-3)以外的自由基聚合性化合物(a-4)共聚，使具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物(a-5)與得到的共聚物中的羧基反應而形成的共聚物(A-2)。6、如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，上述聚合物成分(A)是使分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-l)、分子中具有碳數(shù)6~20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)、具有環(huán)氧基的自由基聚合性化合物(a-5)、以及能夠與它們共聚的除(a-l)、(a-2)及(a-5)以外的自由基聚合性化合物(a-4)共聚，使不飽和一元酸(a-3)與得到的共聚物中的環(huán)氧基反應后，使多元酸酐(a-6)與羥基反應而形成的共聚物(A-3)。7、如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，還含有光聚合引發(fā)劑(C)以及溶劑(D)。8、如權利要求1或7所述的感光性樹脂組合物，其中，還含有著色劑。全文摘要本發(fā)明的目的在于提供一種感光性樹脂組合物，所述感光性樹脂組合物不僅具有可以用于光刻工序的顯影特性，而且能形成耐熱性、密合性、透明性均優(yōu)異的固化涂膜，其式含有聚合物成分(A)和光聚合性單體(B)而形成的感光性樹脂組合物，聚合物成分(A)是含有以在分子中具有2個以上羥基的聚合性單體(a-1)和在分子中具有碳數(shù)6～20的可具有交聯(lián)結構的脂環(huán)式骨架的聚合性單體(a-2)為必須的單體成分的聚合物。文檔編號H01L21/027GK101517486SQ20078003546公開日2009年8月26日申請日期2007年11月8日優(yōu)先權日2006年11月10日發(fā)明者佐藤光,木下健宏,柳井隆之申請人:昭和高分子株式會社