專利名稱：信號(hào)傳輸電路及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
背景技術(shù)：
可提供微條線圖案(micro strip line pattern)或條線圖案來(lái)控制信號(hào)傳輸 電路的傳輸特性。在常規(guī)微條線結(jié)構(gòu)中，具有地電壓或電源電壓的基準(zhǔn)傳輸 面(reference transmission plane )可位于信號(hào)傳輸線下面。常^L條線結(jié)構(gòu)中， 多個(gè)基準(zhǔn)傳輸面可分別布置在多條信號(hào)傳輸線上面和下面。條線結(jié)構(gòu)的信號(hào) 傳輸線和基準(zhǔn)傳輸面可通過(guò)多個(gè)絕緣層彼此電隔離。信號(hào)傳輸電路的傳輸特 性可通過(guò)基準(zhǔn)傳輸面或信號(hào)傳輸線的圖案來(lái)調(diào)整。
圖l是常規(guī)信號(hào)傳輸電路的透視圖。圖1的信號(hào)傳輸電路可包括多個(gè)第 一至第五信號(hào)傳輸線SL1、 SL2、 SL3、 SL4和SL5及多個(gè)基準(zhǔn)傳輸面RP1 和RP2，以及多個(gè)絕緣層D1、 D2和D3。所述多個(gè)第一至第五信號(hào)傳輸線 SL1、 SL2、 SL3、 SL4和SL5可由多個(gè)金屬層形成，所述多個(gè)基準(zhǔn)傳輸面 RP1和RP2可由多個(gè)金屬層形成。圖2示出了圖1的第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2及基準(zhǔn)傳輸面RP1 的一部分?，F(xiàn)在將參照?qǐng)D2解釋相鄰信號(hào)傳輸線之間的干護(hù)L (例如串?dāng)_)。參照?qǐng)D2,第一信號(hào)傳輸線SL1可傳輸?shù)谝恍盘?hào)電流Isl且第二信號(hào)傳 輸線SL2可傳輸?shù)诙盘?hào)電流Is2。基準(zhǔn)傳輸面RP1可傳輸對(duì)應(yīng)于第一信號(hào) 電流Isl的返回電流Irl和對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)電流Is2的返回電流Ir2。
參照?qǐng)D2,在基準(zhǔn)傳輸面RP1中，伴隨返回電流Irl的電石茲波噪聲Nw 會(huì)影響第二信號(hào)電流Is2，且伴隨返回電流Ir2的電磁波噪聲Nw會(huì)影響第一 信號(hào)電流Isl,由此導(dǎo)致第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2之間的串?dāng)_。此 外，如果高頻信號(hào)通過(guò)信號(hào)傳輸線傳輸，串?dāng)_會(huì)增大，這會(huì)進(jìn)一步降低系統(tǒng) 性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一示例性實(shí)施例涉及信號(hào)傳輸電路，包括多條信號(hào)傳輸線和基 準(zhǔn)傳輸面，所述多條信號(hào)傳輸線的每條配置來(lái)通過(guò)信號(hào)電流傳送數(shù)據(jù)，基準(zhǔn) 傳輸面配置來(lái)傳送對(duì)應(yīng)于信號(hào)電流的返回電流，基準(zhǔn)傳輸面通過(guò)絕緣層與多 條信號(hào)傳輸線的每條隔離，基準(zhǔn)傳輸面包括至少一個(gè)隔離槽。本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例涉及形成信號(hào)傳輸電路的方法，包括形成多 條信號(hào)傳輸線和形成基準(zhǔn)傳輸面，所述多條信號(hào)傳輸線的每條配置為通過(guò)信 號(hào)電流傳送數(shù)據(jù)，基準(zhǔn)傳輸面配置為傳送對(duì)應(yīng)于信號(hào)電流的返回電流，基準(zhǔn) 傳輸面通過(guò)絕緣層與所述多條信號(hào)傳輸線的每條隔離，基準(zhǔn)傳輸面包括至少一個(gè)隔離才曹(separation slot )。本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例涉及信號(hào)傳輸電路，包括形成在基準(zhǔn)傳輸面 中的隔離槽從而減少相鄰信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_。


提供附圖以提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，且附圖包括在說(shuō)明書中并構(gòu)成 說(shuō)明書的一部分。附圖示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，并與說(shuō)明書一起用來(lái) 解釋本發(fā)明的原理。附圖中圖1是常規(guī)信號(hào)傳輸電路的透視圖；圖2示出了圖1的第一和第二信號(hào)傳輸線及基準(zhǔn)傳輸面的一部分； 圖3輸出了根據(jù)本發(fā)明一示例性實(shí)施例的信號(hào)傳輸電路； 圖4輸出了根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的沿圖3的信號(hào)傳輸電路的線 IV-IV得到的剖視圖；圖5A是圖2的常規(guī)信號(hào)傳輸電路的平面圖；圖5B是根據(jù)本發(fā)明另 一示例性實(shí)施例的圖3的信號(hào)傳輸電路的平面圖； 圖5C和5D是根據(jù)本發(fā)明其它示例性實(shí)施例的信號(hào)傳輸電路的平面圖； 圖6A示出了包括常規(guī)公共基準(zhǔn)傳輸面的信號(hào)傳輸電路； 圖6B示出了包括根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的公共基準(zhǔn)傳輸面的信 號(hào)傳輸電路；圖7A示出了不包括隔離槽的常規(guī)信號(hào)傳輸電路； 圖7B示出了根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的包括隔離槽的信號(hào)傳輸電 路；以及圖8A、 8B、 8C和8D是曲線圖，比較圖7A所示的常規(guī)信號(hào)傳輸電路
的S參數(shù)和圖7B所示的信號(hào)傳輸電路的S參數(shù)。
具體實(shí)施方式
這里公開本發(fā)明的詳細(xì)的說(shuō)明性的示例實(shí)施例。然而，這里公開的具體 結(jié)構(gòu)和功能細(xì)節(jié)僅是代表性的，用于描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。本發(fā)明的 示例性實(shí)施例仍可以以很多替代方式實(shí)施而不應(yīng)理解為局限于這里提出的 實(shí)施例。因此，盡管本發(fā)明的示例性實(shí)施例易于進(jìn)行各種修改和替代形式，其具 體實(shí)施例通過(guò)示例方式在附圖中示出并將在這里詳細(xì)描述。然而，應(yīng)該理解， 這并不意圖限制本發(fā)明的示例性實(shí)施例為所公開的特定形式，而是相反，本 發(fā)明的示例性實(shí)施例將涵蓋落在本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)的所有變型、等價(jià)和 替代。在說(shuō)明書附圖中相似的附圖標(biāo)記可始終表示相似的元件。將理解，盡管術(shù)語(yǔ)第一、第二等可以在這里用來(lái)表示各種元件，但是這 些元件不應(yīng)局限于這些術(shù)語(yǔ)。這些術(shù)語(yǔ)僅用于將一個(gè)元件與另一元件區(qū)別 開。例如，第一元件可以被稱為第二元件并且第二元件可以稱為第一元件而 不會(huì)偏離本發(fā)明的范圍。這里使用時(shí)，術(shù)語(yǔ)"和/或"包括相關(guān)所列項(xiàng)的一個(gè)或更多的任意和全部組合。應(yīng)理解，當(dāng)元件被稱為"連接"或"耦接"到另一元件時(shí)，其可以直接 連接或耦接到其它元件或者可以存在居間元件。相反，當(dāng)元件被稱為"直接 連接，，或"直接耦接"到另一元件時(shí)，沒(méi)有居間元件。用于描述元件之間的 關(guān)系的其它詞語(yǔ)應(yīng)該以類似方式理解(刮如，"在...之間"與"直接在...之間"， "相鄰"與"直接相鄰"等)。這里使用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述特定實(shí)施例的目的而無(wú)意限制本發(fā)明的示 例性實(shí)施例。這里使用時(shí)，單數(shù)形式"一，，和"該"意在也包括復(fù)數(shù)形式， 除非上下文另外地清楚描述。還將理解，當(dāng)在本說(shuō)明書中使用時(shí)術(shù)語(yǔ)"包含" 和/或"包括"指定所陳述的特征、整體、步驟、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除一個(gè)或更多其他特征、整體、步驟、澡作、元件、部件和/ 或其群組的存在或增加。除非另外定義，這里使用的所有術(shù)語(yǔ)(包括科技術(shù)語(yǔ))具有與本發(fā)明所 屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員一般理解的意思相同的意思。還將理解，術(shù)語(yǔ)， 例如 一般使用的字典中定義的那些術(shù)語(yǔ)，應(yīng)被理解為具有與它們?cè)谙嚓P(guān)技術(shù)
和本公開的背景中的意思一致的意思，且將不會(huì)在理想化或過(guò)于正式的意義 上來(lái)理解，除非這里清楚地這樣定義。圖3輸出了根據(jù)本發(fā)明一示例性實(shí)施例的信號(hào)傳輸電路。在圖3的示例性實(shí)施例中，信號(hào)傳輸電路可包括傳輸?shù)谝恍盘?hào)電流Isl的第一信號(hào)傳輸線SL1、傳輸?shù)诙盘?hào)電流Is2的第二信號(hào)傳輸線SL2及具有多個(gè)隔離槽SS的基準(zhǔn)傳輸面RPSS。在圖3的示例性實(shí)施例中，第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2可由第一金屬層形成且基準(zhǔn)傳輸面RPSS可由第二金屬層(例如與第 一金屬層不同)形成。形成第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2的第一金屬層可通過(guò)絕緣層 (未示出)與形成基準(zhǔn)傳輸面RPSS的第二金屬層電隔離?；鶞?zhǔn)傳輸面RPSS可相對(duì)于第一和第二信號(hào)傳輸線SL1 SL2維持給定電壓(例如地電壓或電源電壓)。在圖3的示例性實(shí)施例中，第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2的第一 和第二信號(hào)電流Isl和Is2可包含數(shù)據(jù)信息。例如，第一信號(hào)電流Isl可表示 第一數(shù)據(jù)且第二信號(hào)電流Is2可表示第二數(shù)據(jù)(例如與第一數(shù)據(jù)不同)。對(duì)應(yīng) 于第 一信號(hào)電流Is 1的返回電流Irl和對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)電流Is2的返回電流Ir2 可通過(guò)基準(zhǔn)傳輸面RPSS傳輸。在圖3的示例性實(shí)施例中，基準(zhǔn)傳輸面RPSS可分成對(duì)應(yīng)于第一信號(hào)傳 輸線SL1的區(qū)域RG1、對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)傳輸線SL2的區(qū)域RG2、第一和第 二信號(hào)傳輸線SL1和SL2及RG1和RG2之間的區(qū)域RG—SS。在一示例中， 對(duì)應(yīng)于第一信號(hào)電流Isl的返回電流lrl的路徑可形成在對(duì)應(yīng)于第一信號(hào)傳 輸線SL1的區(qū)域RG1中，對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)電流Is2的返回電流Ir2的路徑可 形成在對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)傳輸線SL2的區(qū)域RG2中，多個(gè)隔離槽(separation slot) SS可位于第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2之間的區(qū)域RG—SS中。 如圖3的示例性實(shí)施例所示，多個(gè)隔離槽SS可與相鄰的信號(hào)傳輸線平行地 形成(例如與第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2平行)。在圖3的示例性實(shí)施例中，在一示例中，例如與圖2所示的常夫見(jiàn)信號(hào)傳 輸電路(發(fā)生串?dāng)_)相比，包括在基準(zhǔn)傳輸面RPSS中的多個(gè)隔離槽SS可 減小相鄰的第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2之間的串?dāng)_，并減小伴隨返 回電流Irl的電磁波噪聲Nw對(duì)第二信號(hào)電流Is2的影響。此外，伴隨返回 電流Ir2的電磁波噪聲Nw對(duì)第一信號(hào)電流Isl的影響也可以相對(duì)降低。這
樣，在示例中，包括在基準(zhǔn)傳輸面RPSS中的隔離槽SS可用作電磁波噪聲 減小或阻擋區(qū)域。即，隔離槽SS可部分地將對(duì)應(yīng)于第一信號(hào)傳輸線SL1的 區(qū)域RG1與對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)傳輸線SL2的區(qū)域RG2隔離從而減小第一和第 二信號(hào)傳輸線SL1和SL2 (例如其可彼此相鄰)之間的串?dāng)_。另外，如圖3 所示，例如，應(yīng)理解隔離槽SS可布置在給定信號(hào)傳輸線(例如SL1、 SL2 等)的兩側(cè)。例如，在"端"信號(hào)傳輸線(例如特定布置中的最后信號(hào)傳輸 線)處，隔離槽SS可布置在端信號(hào)傳輸線的兩側(cè)，甚至隔離槽SS不必在相 鄰信號(hào)傳輸線"之間"。下面將參照?qǐng)D4的示例性實(shí)施例更詳細(xì)地描述包括在基準(zhǔn)傳輸面RPSS 中的隔離槽SS的示例作用。圖4輸出了根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例沿圖3的信號(hào)傳輸電路的線 IV-IV得到的剖視圖。在圖4的示例性實(shí)施例中，通過(guò)第一信號(hào)傳輸線SL1傳輸?shù)牡谝恍盘?hào)電 流Isl感應(yīng)的磁通可由實(shí)線表示，通過(guò)與第一信號(hào)傳輸線SL1對(duì)應(yīng)的區(qū)域 RG1傳輸?shù)姆祷仉娏鱅rl感應(yīng)的；茲通可由虛線表示。在圖4的示例性實(shí)施例中，第一信號(hào)電流Isl和返回電流Irl的；茲通在 第一信號(hào)傳輸線SL1和區(qū)域RG1之間的區(qū)域中可彼此對(duì)應(yīng)，且可發(fā)生》茲通 集中效應(yīng)。然而，第一信號(hào)電流Isl和返回電流Irl的磁通可分別在除了第 一信號(hào)傳輸線SL1和區(qū)域RG1之間的區(qū)域以外的區(qū)域中彼此相反，這會(huì)誘 發(fā)磁通抵消效應(yīng)。發(fā)生在第一信號(hào)傳輸線SL1和區(qū)域RG1之間的區(qū)域中的 磁通集中效應(yīng)會(huì)由于基準(zhǔn)傳輸面RPSS中的隔離槽SS而加強(qiáng)。第一信號(hào)傳 輸線SL1可將基準(zhǔn)傳輸面RPSS看作傳輸線RPSS (RG1 )。這樣，第一信號(hào) 傳輸線SL1和基準(zhǔn)傳輸面RPSS的區(qū)域RG1可起到差分信號(hào)傳輸線對(duì) (differential signal transmission line pair)的作用。此夕卜，傳輸?shù)男盘?hào)中的給 定量(例如大部分)的能量由于磁通集中效應(yīng)可集中在信號(hào)傳輸線和基準(zhǔn)傳 輸面的區(qū)域之間，因此可進(jìn)一步減小相鄰信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_。圖5A是圖2的常規(guī)信號(hào)傳輸電路的平面圖。圖5B是根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的圖3的信號(hào)傳輸電路的平面圖。如圖5B、 5C和5D的示例性實(shí)施例所示，包括在基準(zhǔn)傳輸面RPSS中 的多個(gè)隔離槽SS的水平切割面(cutface)可包括諸如多邊形、圓形、橢圓 形、矩形等各種形狀中的任何形狀。如圖5D所示，多個(gè)隔離槽SS可與相 鄰的第一和第二信號(hào)傳輸線SL1和SL2平行地以單行或多行形成。在示例 中，隔離槽SS可通過(guò)切穿形成基準(zhǔn)傳輸面RPSS的金屬層來(lái)形成并且可用 形成絕緣層的材料諸如電介質(zhì)物質(zhì)來(lái)填充。圖6A示出了包括常規(guī)公共基準(zhǔn)傳輸面RP—C的信號(hào)傳輸電路。 圖6B示出了包括根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的公共基準(zhǔn)傳輸面 RPSS一C的信號(hào)傳輸電路。參照?qǐng)D6A和圖6B的示例性實(shí)施例，圖6A所示的常規(guī)公共基準(zhǔn)傳輸面 RP—C和圖6B所示的公共基準(zhǔn)傳輸面RPSS—C可分別用作第一信號(hào)傳輸線 SLll、第二信號(hào)傳輸線SL12、第三信號(hào)傳輸線SU1和第四信號(hào)傳輸線SL22 的公共基準(zhǔn)傳輸面。這樣，圖6A所示的常規(guī)^^共基準(zhǔn)傳輸面RP—C和圖6B 所示的公共基準(zhǔn)傳輸面RPSS—C可相對(duì)于第一、第二、第三和第四信號(hào)傳輸 線SLll、 SL12、 SL21和SL22保持給定電壓(例如地電壓或電源電壓)并 傳輸相應(yīng)的返回電流。然而，圖6B所示的公共基準(zhǔn)傳輸面RPSS—C可包括 多個(gè)公共隔離槽SS—C,而圖6A所示的常規(guī)公共基準(zhǔn)傳輸面RP—C不包括公共隔離槽ss一c。在圖6B的示例性實(shí)施例中，第一和第二信號(hào)傳輸線SL11和SL12可由 第一金屬層形成，第三和第四信號(hào)傳輸線SL21和SL22可由第二金屬層形 成，公共基準(zhǔn)傳輸面RPSS—C可由位于第一和第二金屬層之間的第三金屬層 形成。在示例中，第一、第二和第三金屬層可通過(guò)絕緣層(未示出)彼此電 隔離。多個(gè)公共隔離槽SS—C可以以這樣的方式形成，即第三金屬層可至少 部分地被切穿并且電介質(zhì)材料(例如其可形成絕緣層)可至少部分地填充到 切割部分中。在圖6B的示例性實(shí)施例中，多個(gè)公共隔離槽SS一C可占據(jù)由對(duì)應(yīng)于第 一信號(hào)傳輸線SL11的區(qū)域RG11、對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)傳輸線SL12的區(qū)域RG12、 對(duì)應(yīng)于第三信號(hào)傳輸線SL21的區(qū)域RG21和對(duì)應(yīng)于第四信號(hào)傳輸線SL22 的區(qū)域RG22之間的區(qū)域所定義的公共基準(zhǔn)傳輸面RPSS—C的區(qū)域。對(duì)應(yīng)于 第一信號(hào)電流Isll的返回電流Irll的路徑可形成在對(duì)應(yīng)于第一信號(hào)傳輸線 SL11的區(qū)域RGll中，對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)電流Is12的返回電流Ir12的路徑可 形成在對(duì)應(yīng)于第二信號(hào)傳輸線SU2的區(qū)域RG12中。另外，對(duì)應(yīng)于第三信 號(hào)電流Is21的返回電流Ir21的路徑可形成在對(duì)應(yīng)于第三信號(hào)傳輸線SL21的
區(qū)域RG21中，對(duì)應(yīng)于第四信號(hào)電流Is22的返回電流Ir22的路徑可形成在對(duì) 應(yīng)于第四信號(hào)傳輸線SL22的區(qū)域RG22中。在圖6B的示例性實(shí)施例中，包括在公共基準(zhǔn)傳輸面RPSS—C中的公共 隔離槽SS一C可減小返回電流Irl 1和Irl2引起的第一和第二信號(hào)傳輸線SL11 和SL12之間的串?dāng)_和/或返回電流Ir21和lr22引起的第三和第四信號(hào)傳輸線 SL21和SL22之間的串?dāng)_。圖7A示出了不包括隔離槽的常規(guī)信號(hào)傳輸電路。特別地，圖7A示出 了信號(hào)傳輸線SL1、 SL2和SL3以及基準(zhǔn)傳輸面RP。圖7B示出了根據(jù)本發(fā)明另一示例性實(shí)施例的包括隔離槽的信號(hào)傳輸電 路。圖7B示出了三條信號(hào)傳輸線SL1、 SL2和SL3、多個(gè)隔離槽SS和基準(zhǔn) 傳輸面RPSS。圖8A、 8B、 8C和8D是曲線圖，比較圖7A所示的常規(guī)信號(hào)傳輸電路 的S參數(shù)和圖7B所示的信號(hào)傳輸電路的S參數(shù)。在圖8A、 8B、 8C和8D 中，水平軸("x軸，，)代表頻率FREQ [GHz]且垂直軸("y軸")代表S參數(shù) 的大小[dB]。在圖8A、 8B、 8C和8D中，S參數(shù)可代表高頻信號(hào)傳輸電路的傳輸特 性。例如，4言號(hào)傳^T電^各可包括三個(gè)發(fā)送口 (transmission port) 1T、 3T和 5T及三個(gè)接收口 ( receiving port) 2T、 4T和6T,如圖7A和7B所示。如果 信號(hào)從發(fā)送口 3T傳輸?shù)浇邮湛?4T,則表示傳輸特性的S參數(shù)S43可以是表 示輸入到發(fā)送口 3T的信號(hào)傳輸?shù)浇邮湛?4T的程度的指標(biāo)。表示傳輸特性的 S參數(shù)S33可以是表示輸入到發(fā)送口 3T的信號(hào)反射到發(fā)送口 3T的程度的指 標(biāo)。表示近端串?dāng)_(NEXT)特性的S參數(shù)可以是表示輸入到發(fā)送口 3T的 信號(hào)影響發(fā)送口 1T的程度的指標(biāo)。表示遠(yuǎn)端串?dāng)_(FEXT)特性的S參數(shù)可 以是表示輸入到發(fā)送口 3T的信號(hào)影響接收口 2T的程度的指標(biāo)。圖8A示出了表示圖7A中基準(zhǔn)傳輸面RP的S參數(shù)S43的S參數(shù)S43—RP 和表示圖7B中基準(zhǔn)傳輸面RPSS的S參數(shù)S43的S參數(shù)S43—RPSS。圖8B 示出了表示圖7A中基準(zhǔn)傳輸面RP的S參數(shù)S33的S參數(shù)S33一RP和表示 圖7B中基準(zhǔn)傳輸面RPSS的S參數(shù)S33的S參數(shù)S33—RPSS。圖8C示出了 表示圖7A中基準(zhǔn)傳輸面RP的S參數(shù)S12的S參數(shù)S12一RP和表示圖7B中 基準(zhǔn)傳輸面RPSS的S參數(shù)S12的S參數(shù)S12—RPSS。圖8D示出了表示圖 7A中基準(zhǔn)傳輸面RP的S參數(shù)S23的S參數(shù)S23—RP和表示圖7B中基準(zhǔn)傳
輸面RPSS的S參數(shù)S23的S參數(shù)S23—RPSS。參照?qǐng)D8A，圖7B中包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的傳輸特性與圖7A中 不包括隔離槽的常規(guī)信號(hào)傳輸電路的傳輸特性相比在較高頻率區(qū)域中可得 到改善。相反，S參數(shù)S43—RP和S參數(shù)S43一RPSS在較低頻率區(qū)域可基本類似。參照?qǐng)D8B,圖7B中包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的反射特性與圖7A中 不包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的反射特性相比沒(méi)有明顯不同。參照?qǐng)D8C,圖7B中包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的NEXT特性與圖7A 中不包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的NEXT特性相比可稍微降低。然而NEXT 特性的稍微降低不是問(wèn)題，因?yàn)橛糜诎l(fā)送信號(hào)的驅(qū)動(dòng)器可設(shè)置在發(fā)送口 1T、 3T和5T。參照?qǐng)D8D,圖7B中包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的FEXT特性與圖7A 中不包括隔離槽的信號(hào)傳輸電路的FEXT特性相比在較高頻率區(qū)域中可得到 改善。在本發(fā)明另 一示例性實(shí)施例中'，相鄰信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_可被減小。 在又一實(shí)施例中，可改善信號(hào)傳輸電路的傳輸特性和FEXT特性。這樣描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，顯然它能夠以纟艮多方式變化。例如， 盡管圖5B、 5C和5D示出了隔離槽的示例形狀和數(shù)目，但應(yīng)該理解本發(fā)明 的其它示例性實(shí)施例可涉及任何數(shù)目和/或形狀的隔離槽。這些變型不認(rèn)為是偏離了本發(fā)明示例性實(shí)施例的精神和范圍，且所有這 些對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員顯然的變型意圖包括在下面的權(quán)利要求的范圍內(nèi)。盡管本發(fā)明參照其實(shí)施例進(jìn)行了特定示出和描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠 理解，在不脫離本發(fā)明的權(quán)利要求所定義的精神和范圍的情況下可以進(jìn)行形 式和細(xì)節(jié)上的各種改變。本申請(qǐng)要求2006年9月13日向韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國(guó)專利申請(qǐng) No. 10-2006-0088694的權(quán)益和優(yōu)先權(quán)，在此引用其全部?jī)?nèi)容作為參考。
權(quán)利要求
1. 一種信號(hào)傳輸電路，包括多條信號(hào)傳輸線，所述多條信號(hào)傳輸線的每條配置為通過(guò)信號(hào)電流傳送 數(shù)據(jù)；以及基準(zhǔn)傳輸面，配置為傳送與所述信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流，所述基準(zhǔn)傳 輸面通過(guò)絕緣層與所述多條信號(hào)傳輸線的每條隔離，所述基準(zhǔn)傳輸面包括至 少一個(gè)隔離槽。
2. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中所述至少一個(gè)隔離槽是所述基 準(zhǔn)傳輸面的去除部分。
3. 如權(quán)利要求2的信號(hào)傳輸電路，其中所述基準(zhǔn)傳輸面的該去除部分 被至少部分地填充有電介質(zhì)材料。
4. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中所述至少一個(gè)隔離槽在所述基 準(zhǔn)傳輸面內(nèi)具有給定形狀。
5. 如權(quán)利要求4的信號(hào)傳輸電路，其中所述給定形狀是多邊形、圓形 和橢圓形中的一種。
6. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中所述多條信號(hào)傳輸線的每條由 多個(gè)金屬層中的一個(gè)形成，且所述基準(zhǔn)傳輸面由所述多個(gè)金屬層中的另 一個(gè) 形成。
7. 如權(quán)利要求6的信號(hào)傳輸電路，其中所述多條信號(hào)傳輸線包括傳輸 表示第 一數(shù)據(jù)的第 一信號(hào)電流的第 一信號(hào)傳輸線和傳輸表示不同于該第一 數(shù)據(jù)的第二數(shù)據(jù)的第二信號(hào)電流的第二信號(hào)傳輸線，所述第 一信號(hào)傳輸線由 所述多個(gè)金屬層中的所述一個(gè)形成，所述第二信號(hào)傳輸線由所述多個(gè)金屬層 中的所述一個(gè)形成，且其中所述基準(zhǔn)傳輸面?zhèn)鬏攲?duì)應(yīng)于所述第 一信號(hào)電流的第 一返回電流和 對(duì)應(yīng)于所述第二信號(hào)電流的第二返回電流，所述基準(zhǔn)傳輸面由所述多個(gè)金屬 層中的所述另一個(gè)形成。
8. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中所述多條信號(hào)傳輸線由多個(gè)金 屬層中的第 一金屬層形成，所述基準(zhǔn)傳輸面由所述多個(gè)金屬層中的第二金屬 層形成，且所述至少一個(gè)隔離槽包括與所述多條信號(hào)傳輸線中的相鄰信號(hào)傳 輸線平行地形成的多個(gè)隔離槽。
9. 如權(quán)利要求8的信號(hào)傳輸電路，其中配置所述多個(gè)隔離槽從而減小 由于所述返回電流導(dǎo)致的所述相鄰信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_。
10. 如權(quán)利要求8的信號(hào)傳輸電路，其中所述返回電流的路徑分別形成 在與所述相鄰信號(hào)傳輸線對(duì)應(yīng)的所述基準(zhǔn)傳輸面的區(qū)域中，并且所述多個(gè)隔的區(qū)域中。
11. 如權(quán)利要求8的信號(hào)傳輸電路，其中所述多個(gè)隔離槽通過(guò)切穿形成 所述基準(zhǔn)傳輸面的所述多個(gè)金屬層中的所述第二金屬層而形成。
12. 如權(quán)利要求11的信號(hào)傳輸電路，其中所述多個(gè)隔離槽填充有電介質(zhì)材料。
13. 如權(quán)利要求8的信號(hào)傳輸電路，其中所述多個(gè)隔離槽以多個(gè)行的至 少一行形成，所述至少一行與所述相鄰信號(hào)傳輸線平行。
14. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中所述基準(zhǔn)傳輸面相對(duì)于所述多 條信號(hào)傳輸線設(shè)定為給定電壓。
15. 如權(quán)利要求14的信號(hào)傳輸電路，其中所述給定電壓是地電壓和電 源電壓之一。
16. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中配置所述至少一個(gè)隔離槽從而 減小由于第一和第二返回電流導(dǎo)致的第一和第二信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_。
17. 如權(quán)利要求16的信號(hào)傳輸電路，其中所述至少一個(gè)隔離槽通過(guò)切 穿形成所述基準(zhǔn)傳輸面的金屬層并通過(guò)用電介質(zhì)物質(zhì)至少部分填充所述切 割部分而形成。
18. 如權(quán)利要求16的信號(hào)傳輸電路，其中所述第一信號(hào)傳輸線傳輸表 示第 一翁:據(jù)的第 一信號(hào)電流，所述第 一信號(hào)傳輸線由所述多個(gè)金屬層中的第 一金屬層形成，且所述第二信號(hào)傳輸線傳輸表示不同于第一數(shù)據(jù)的第二數(shù)據(jù) 的第二信號(hào)電流，所述第二信號(hào)傳輸線由所述多個(gè)金屬層中的所述第 一金屬 層形成，其中所述基準(zhǔn)傳輸面?zhèn)鬏攲?duì)應(yīng)于所述第 一信號(hào)電流的第 一返回電流和對(duì)應(yīng)于所述第二信號(hào)電流的第二返回電流，所述基準(zhǔn)傳輸面由所述多個(gè)金屬 層中的第二金屬層形成，其中對(duì)應(yīng)于所述第 一信號(hào)電流的所述第 一返回電流的路徑形成在所述 基準(zhǔn)傳輸面的對(duì)應(yīng)于所述第一信號(hào)傳輸線的區(qū)域中，對(duì)應(yīng)于所述第二信號(hào)電流的所述第二返回電流的路徑形成在所述基準(zhǔn)傳輸面的對(duì)應(yīng)于所述第二信 號(hào)傳輸線的區(qū)域中，且其中所述至少一個(gè)隔離槽包括形成在所述基準(zhǔn)傳輸面的位于與所述第 一和第二信號(hào)傳輸線對(duì)應(yīng)的所述區(qū)域之間并與之平行的區(qū)域中。
19. 如權(quán)利要求1的信號(hào)傳輸電路，其中所述多條信號(hào)傳輸線包括由第 一金屬層形成的第一和第二信號(hào)傳輸線以及由第二金屬層形成的第三和第 四信號(hào)傳輸線，且其中所述基準(zhǔn)傳輸面是由第三金屬層形成并位于所述第一和第二金屬 層之間的公共基準(zhǔn)傳輸面，所述至少一個(gè)隔離槽是在分別位于對(duì)應(yīng)于所述第 一信號(hào)傳輸線的區(qū)域、對(duì)應(yīng)于所述第二信號(hào)傳輸線的區(qū)域、對(duì)應(yīng)于所述第三 信號(hào)傳輸線的區(qū)域和對(duì)應(yīng)于所述第四信號(hào)傳輸線的區(qū)域之間的區(qū)域處位于 所述公共基準(zhǔn)傳輸面內(nèi)的多個(gè)公共隔離槽。
20. 如權(quán)利要求19的信號(hào)傳輸電路，其中與通過(guò)所述第一信號(hào)傳輸線 傳輸?shù)牡?一信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流的路徑形成在所述公共基準(zhǔn)傳輸面的對(duì)應(yīng)于所述第一信號(hào)傳輸線的所述區(qū)域中，與通過(guò)所述第二信號(hào)傳輸線傳輸 的第二信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流的路徑形成在所述公共基準(zhǔn)傳輸面的對(duì)應(yīng)于所述第二信號(hào)傳輸線的所述區(qū)域中，與通過(guò)所述第三信號(hào)傳輸線傳輸?shù)牡?三信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流的路徑形成在所述公共基準(zhǔn)傳輸面的對(duì)應(yīng)于所 述第三信號(hào)傳輸線的所述區(qū)域中，與通過(guò)所述第四信號(hào)傳輸線傳輸?shù)牡谒男?號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流的路徑形成在所述公共基準(zhǔn)傳輸面的對(duì)應(yīng)于所述第 四信號(hào)傳輸線的所述區(qū)域中。
21. 如權(quán)利要求20的信號(hào)傳輸電路，其中配置所述^^共隔離槽從而減 小由與所述第 一信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流和與所述第二信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返 回電流引起的所述第 一和第二信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_、以及由與所述第三信 號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流和與所述第四信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返回電流引起的所述 第三和第四信號(hào)傳輸線之間的串?dāng)_。
22. 如權(quán)利要求19的信號(hào)傳輸電路，其中所述^^共隔離槽通過(guò)切穿形 成所述公共基準(zhǔn)傳輸面的所述第三金屬層而形成。
23. 如權(quán)利要求22的信號(hào)傳輸電路，其中所述公共隔離槽被填充以電 介質(zhì)物質(zhì)。
24. 如權(quán)利要求19的信號(hào)傳輸電路，其中所述公共基準(zhǔn)傳輸面相對(duì)于所述第一、第二、第三和第四信號(hào)傳輸線設(shè)定為給定電壓。
25. 如權(quán)利要求24的信號(hào)傳輸電路，其中所述給定電壓是地電壓和電 源電壓之一。
26. —種形成信號(hào)傳輸電路的方法，包括形成多條信號(hào)傳輸線，所述多條信號(hào)傳輸線的每條配置為通過(guò)信號(hào)電流 傳送數(shù)據(jù)；以及形成基準(zhǔn)傳輸面，所述基準(zhǔn)傳輸面配置為傳送與所述信號(hào)電流對(duì)應(yīng)的返 回電流，所述基準(zhǔn)傳輸面通過(guò)絕緣層與所述多條信號(hào)傳輸線的每條隔離，所 述基準(zhǔn)傳輸面包括至少 一個(gè)隔離槽。
27. 如權(quán)利要求26的方法，其中所述多條信號(hào)傳輸線由第一金屬層形 成且所述基準(zhǔn)傳輸面由第二金屬層形成。
28. 如權(quán)利要求27的方法，其中所述基準(zhǔn)傳輸面的所述至少一個(gè)隔離 槽通過(guò)去除部分所述第二金屬層且通過(guò)用電介質(zhì)物質(zhì)至少部分地填充該去 除部分而形成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種信號(hào)傳輸電路及其形成方法。該信號(hào)傳輸電路可包括多條信號(hào)傳輸線和基準(zhǔn)傳輸面，所述多條信號(hào)傳輸線的每條配置為通過(guò)信號(hào)電流傳送數(shù)據(jù)，所述基準(zhǔn)傳輸面配置為傳送對(duì)應(yīng)于所述信號(hào)電流的返回電流，所述基準(zhǔn)傳輸面通過(guò)絕緣層與所述多條信號(hào)傳輸線的每條隔離，所述基準(zhǔn)傳輸面包括至少一個(gè)隔離槽。
文檔編號(hào)H01L23/52GK101145554SQ200710149679
公開日2008年3月19日 申請(qǐng)日期2007年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月13日
發(fā)明者樸光洙, 李載濬, 金鐘勛 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社