專利名稱：機(jī)臺預(yù)約方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種機(jī)臺預(yù)約方法，且特別是涉及一種預(yù)約用以處理特殊批 貨所需要的機(jī)臺的機(jī)臺預(yù)約方法。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的竟?fàn)幦遮吋ち?，為了縮短生產(chǎn)時(shí)間以增加公司營收， 如何更有效地管理芯片廠內(nèi)的各式機(jī)臺、避免堆貨情況產(chǎn)生進(jìn)而使各個(gè)機(jī)臺 發(fā)揮最大的產(chǎn)能，對于現(xiàn)今的半導(dǎo)體業(yè)者來說無疑是最重要的課題之一。以
目前處理批貨(Lot)的流程為例，當(dāng)在制品(Wafer-In Process, WIP)到 達(dá)芯片廠內(nèi)的各個(gè)站點(diǎn)時(shí)，必須等待站點(diǎn)中的機(jī)臺閑置后才能開始進(jìn)行批貨 處理。
然而，對于一批具有較高等級，且必須快速知道處理過程及結(jié)果的在制 品來說，為了降低在各個(gè)站點(diǎn)等待機(jī)臺閑置以供處理批貨的時(shí)間，現(xiàn)行的作 法是必須通過人為操作來設(shè)定系統(tǒng)，進(jìn)而讓此在制品所需要的機(jī)臺預(yù)先閑置 下來等待在制品到站。當(dāng)在制品到站后，同樣必須再以人為操作的方式將機(jī) 臺切換回可以處理批貨的狀態(tài)，接著再進(jìn)行批貨處理流程。
由上所述不難發(fā)現(xiàn)，為了因應(yīng)特殊批貨的處理需求，必須以人工的方式 操作部份機(jī)臺預(yù)先進(jìn)入閑置狀態(tài)以等待在制品到站。然而，價(jià)格動輒數(shù)百萬 的機(jī)臺 一旦閑置下來不僅會影響 一般批貨的生產(chǎn)計(jì)劃，同時(shí)更會降低機(jī)臺本 身的產(chǎn)能，進(jìn)而造成公司莫大的損失。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種機(jī)臺預(yù)約方法，能事先預(yù)約處理特殊批貨所 需要的機(jī)臺，據(jù)以減少處理特殊批貨所需要的時(shí)間。
本發(fā)明提出一種機(jī)臺預(yù)約方法，此方法包括下列步驟首先根據(jù)歷史記 錄計(jì)算特殊批貨在每個(gè)站點(diǎn)的處理時(shí)間及相鄰站點(diǎn)之間的傳送時(shí)間。接著，
依據(jù)處理時(shí)間及傳送時(shí)間，預(yù)測特殊批貨到達(dá)每個(gè)站點(diǎn)的到站時(shí)間。對于每個(gè)站點(diǎn)，再以對應(yīng)的到站時(shí)間與站點(diǎn)中每個(gè)機(jī)臺的機(jī)臺狀態(tài)，計(jì)算每個(gè)機(jī)臺 的占用率。最后根據(jù)占用率來預(yù)約機(jī)臺。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，歷史記錄包括每 個(gè)機(jī)臺每次處理批貨的處理周期及生產(chǎn)周期，而計(jì)算特殊批貨在每個(gè)站點(diǎn)的 處理時(shí)間包括根據(jù)站點(diǎn)的每個(gè)機(jī)臺的處理周期及生產(chǎn)周期來計(jì)算處理時(shí)間。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，計(jì)算特殊批貨在 相鄰站點(diǎn)之間的傳送時(shí)間的步驟包括根據(jù)傳送機(jī)制及傳送速率計(jì)算傳送時(shí) 間。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，預(yù)測特殊批貨到 達(dá)每個(gè)站點(diǎn)的到站時(shí)間的步驟包括對于每個(gè)站點(diǎn)，以位于站點(diǎn)上游的所有站 點(diǎn)的處理時(shí)間，以及位于站點(diǎn)上游的所有相鄰站點(diǎn)之間的傳送時(shí)間的總和做 為到站時(shí)間。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，在預(yù)測特殊批貨 到達(dá)每個(gè)站點(diǎn)的到站時(shí)間的步驟之后更包括判斷到站時(shí)間是否小于最長預(yù)約時(shí)間。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，歷史記錄包括每 個(gè)機(jī)臺每次處理批貨的處理周期及生產(chǎn)周期，而計(jì)算每個(gè)機(jī)臺的占用率的步 驟包括判斷機(jī) 臺狀態(tài)為處理狀態(tài)，并根據(jù)到站時(shí)間、剩余處理時(shí)間，及機(jī)臺 的上述生產(chǎn)周期的平均值來計(jì)算占用率。其中，以機(jī)臺的處理周期及目前時(shí)
間來計(jì)算剩余處理時(shí)間，并計(jì)算占用率=(Arrival—T-Remained—T) /Avg—TC, 而Arrival—T為到站時(shí)間，Remained—T為剩余處理時(shí)間，Avg—TC為生產(chǎn)周期 的平均值。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，歷史記錄包括每 個(gè)機(jī)臺每次處理批貨的處理周期及生產(chǎn)周期，而計(jì)算每個(gè)機(jī)臺發(fā)占用率的步 驟包括判斷機(jī)臺狀態(tài)為閑置狀態(tài)，并根據(jù)到站時(shí)間、機(jī)臺發(fā)上述處理周期的 最大值，及機(jī)臺的上述生產(chǎn)周期的平均值來計(jì)算占用率。其中，計(jì)算占用率-(Arrival —T Max—TM) /Avg—TC, Arrival-T為到站時(shí)間,Max—TM為處理周 期的最大值，而Avg—TC為生產(chǎn)周期的平均值。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述發(fā)機(jī)臺預(yù)約方法，其中，根據(jù)占用率預(yù)約 機(jī)臺的步驟包括預(yù)約具有最小的占用率，且占用率小于1的機(jī)臺。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，根據(jù)占用率預(yù)約機(jī)臺的步驟更包括根據(jù)每個(gè)機(jī)臺的機(jī)臺特性來預(yù)約機(jī)臺。
依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，在預(yù)約機(jī)臺的步 驟之后更包括當(dāng)特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)時(shí)，以預(yù)約的機(jī)臺處理特殊批貨，并將預(yù) 約的機(jī)臺處理特殊批貨的處理周期及生產(chǎn)周期記錄于歷史記錄。
本發(fā)明根據(jù)歷史記錄預(yù)測特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)的時(shí)間，并同時(shí)根據(jù)此到站 時(shí)間以及站點(diǎn)中各個(gè)機(jī)臺的狀態(tài)，來預(yù)約適于處理特殊批貨的機(jī)臺，從而避 免特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)后必須等待需要的機(jī)臺閑置所耗費(fèi)的時(shí)間，據(jù)以達(dá)到縮 短特殊批貨的生產(chǎn)周期的目的。
為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并 配合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1是依照本發(fā)明較佳實(shí)施例所繪示的機(jī)臺預(yù)約方法的流程圖。
圖2是依照本發(fā)明較佳實(shí)施例所繪示的機(jī)臺占用率的計(jì)算方法的流程圖。
圖3是依照本發(fā)明另一較佳實(shí)施例所繪示的機(jī)臺占用率的計(jì)算方法的流 程圖。
附圖符號說明
110 ~ 170:本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺預(yù)約方法的各步驟
210 - 220:本發(fā)明的較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺占用率的計(jì)算方法的各步驟
310 - 320:本發(fā)明的另一較佳實(shí)施例所述的機(jī)臺占用率的計(jì)算方法的各步驟。
具體實(shí)施例方式
在半導(dǎo)體生產(chǎn)線，對于需要了解其處理過程并快速得到處理結(jié)果的特殊 批貨來說，若能在進(jìn)行處理流程之前，事先在各個(gè)站點(diǎn)中預(yù)約適于使用的機(jī) 臺，勢必能減少等待時(shí)間并提高特殊批貨的產(chǎn)能。本發(fā)明便是基于上述觀點(diǎn) 進(jìn)而發(fā)展出的一種機(jī)臺預(yù)約方法。為了使本發(fā)明的內(nèi)容更為明了，以下特舉 實(shí)施例來做為本發(fā)明確實(shí)能夠據(jù)以實(shí)施的范例。
以下的實(shí)施例是以芯片廠的生產(chǎn)線為例，說明如何在特殊批貨到達(dá)某一 站點(diǎn)之前，事先預(yù)約處理特殊批貨所需要的機(jī)臺，據(jù)以縮短特殊批貨的生產(chǎn)周期的詳細(xì)步驟。為了方便說明，在以下的實(shí)施例中假設(shè)芯片廠的生產(chǎn)線具
有2個(gè)站點(diǎn)(分別為第一站點(diǎn)及第二站點(diǎn))，而在各個(gè)站點(diǎn)中分別有3個(gè)機(jī)臺 用以處理批貨。然而上述站點(diǎn)及機(jī)臺的數(shù)目僅是用以舉例說明，并非用以限 定本發(fā)明。換言之，本發(fā)明可針對任意的站點(diǎn)及機(jī)臺數(shù)目進(jìn)行預(yù)約動作，在 此并不限制其范圍。
在本實(shí)施例中，當(dāng)每一批貨通過各站點(diǎn)并處理完畢之后，負(fù)責(zé)處理這批
其中，處理周期表示機(jī)臺從開始到處理完成一批貨所需要的時(shí)間；而生產(chǎn)周 期則代表機(jī)臺在連續(xù)處理批貨的狀態(tài)之下，生產(chǎn)一批貨所需要的時(shí)間(即包 括傳送批貨所需要的時(shí)間)。
圖1是依照本發(fā)明較佳實(shí)施例所繪示的機(jī)臺預(yù)約方法的流程圖。請參閱 圖1,如步驟110所示，在準(zhǔn)備處理批貨之前，倘若經(jīng)由特殊標(biāo)記判斷所欲 處理的批貨為特殊批貨，則根據(jù)歷史記錄中對應(yīng)第一站點(diǎn)及第二站點(diǎn)中各個(gè) 機(jī)臺的處理周期及生產(chǎn)周期，計(jì)算特殊批貨分別在第一站點(diǎn)與第二站點(diǎn)的處 理時(shí)間。并根據(jù)傳送機(jī)制及傳送速率計(jì)算特殊批貨由第一站點(diǎn)傳送到第二站 點(diǎn)所需要的傳送時(shí)間。
接著在步驟12Q中，依據(jù)上述處理時(shí)間及傳送時(shí)間，預(yù)測特殊批貨到達(dá) 每個(gè)站點(diǎn)的到站時(shí)間。在本實(shí)施例中，對于芯片廠內(nèi)的每個(gè)站點(diǎn)，根據(jù)歷史 記錄取得位于各個(gè)站點(diǎn)上游的所有站點(diǎn)的處理時(shí)間，以及各站點(diǎn)上游的所有 相鄰站點(diǎn)之間的傳送時(shí)間，并以上述處理時(shí)間以及傳送時(shí)間的總和來^:為特 殊批貨到達(dá)每個(gè)站點(diǎn)的到站時(shí)間。以計(jì)算特殊批貨到達(dá)第二站點(diǎn)的到站時(shí)間 為例，倘若根據(jù)歷史記錄計(jì)算特殊批貨在第一站點(diǎn)所需要的處理時(shí)間為2小 時(shí)，而由第一站點(diǎn)傳送至第二站點(diǎn)的傳送時(shí)間為1小時(shí)，那么便可預(yù)測特殊 批貨會在到達(dá)第一站點(diǎn)的3小時(shí)后到達(dá)第二站點(diǎn)。
在預(yù)測特殊批貨的到站時(shí)間后，如步驟130所示，判斷到站時(shí)間是否小 于最長預(yù)約時(shí)間。其中，最長預(yù)約時(shí)間的計(jì)算方式例如可以根據(jù)歷史記錄中 各個(gè)機(jī)臺所對應(yīng)的處理周期及生產(chǎn)周期，計(jì)算出芯片廠內(nèi)機(jī)臺最長的批貨處 理時(shí)間，據(jù)以決定特殊批貨的最長預(yù)約時(shí)間。判斷到站時(shí)間是否小于最長預(yù) 約時(shí)間的目的在于避免不必要的預(yù)約動作，換句話說，惟有當(dāng)?shù)秸緯r(shí)間小于 最長預(yù)約時(shí)間時(shí)，才需要進(jìn)行接下來的機(jī)臺預(yù)約動作。舉例來說，若生產(chǎn)線 有站點(diǎn)A、站點(diǎn)B、及站點(diǎn)C這3個(gè)站點(diǎn)，假設(shè)特殊批貨在站點(diǎn)B所需要的處理時(shí)間為8小時(shí)，而在站點(diǎn)C所需要的處理時(shí)間為2小時(shí)，由于當(dāng)站點(diǎn)B在 處理一批貨時(shí)，站點(diǎn)C可以處理4批其它批貨，因此同時(shí)預(yù)約站點(diǎn)B及站點(diǎn) C的機(jī)臺便沒有任何意義，反而可能因?yàn)檎加闷渌浭褂脵C(jī)臺的機(jī)會進(jìn)而 影響產(chǎn)能。在另一個(gè)例子當(dāng)中，假設(shè)特殊批貨到達(dá)第一站點(diǎn)的時(shí)間為pm2: 50， 且特殊批貨在第一站點(diǎn)的處理時(shí)間為3小時(shí)，而在第二站點(diǎn)的處理時(shí)間為1 小時(shí)，那么可以在第一站點(diǎn)處理批貨一段時(shí)間之后(例如在pm4: 50時(shí))再預(yù) 約第二站點(diǎn)中的機(jī)臺。
接下來如步驟140所示，對于每個(gè)站點(diǎn)，以對應(yīng)的到站時(shí)間與站點(diǎn)中每 個(gè)機(jī)臺的機(jī)臺狀態(tài)，計(jì)算每個(gè)機(jī)臺的占用率。圖2是依照本發(fā)明較佳實(shí)施例 所繪示的機(jī)臺占用率的計(jì)算方法的流程圖。以計(jì)算第二站點(diǎn)的機(jī)臺的占用率 為例，在步驟210中，若判斷機(jī)臺的狀態(tài)為處理狀態(tài)(即目前有其它批貨正 在處理當(dāng)中)，便如步驟220所示，以特殊批貨的到站時(shí)間、此機(jī)臺的剩余 處理時(shí)間，以及對應(yīng)此機(jī)臺的生產(chǎn)周期的平均值，來計(jì)算此機(jī)臺的占用率。 在本實(shí)施例中是以下列算式來計(jì)算器臺的占用率 占用率=(Arrival—T-Remained—T) /Avg—TC 其中，Arrival-T表示到站時(shí)間，Remained-T是剩余處理時(shí)間，而Avg_TC 則為機(jī)臺的生產(chǎn)周期的平均值。剩余處理時(shí)間例如是以歷史記錄中對應(yīng)此機(jī) 臺的處理周期的平均值以及目前時(shí)間的差值來計(jì)算之。
舉例來說，倘若在第二站點(diǎn)中具有機(jī)臺X、機(jī)臺Y，及機(jī)臺Z三個(gè)機(jī)臺， 且經(jīng)過上述步驟已計(jì)算出特殊批貨將在3小時(shí)后到達(dá)第二站點(diǎn)。其中，機(jī)臺 X處理批貨已經(jīng)經(jīng)過3小時(shí)，機(jī)臺Y已經(jīng)處理2小時(shí)，而機(jī)臺Z已經(jīng)處理1 小時(shí)。倘若第二站點(diǎn)的處理周期的平均值為4小時(shí)，那么表示對機(jī)臺X來說 需要經(jīng)過1小時(shí)(即4-3)后才會有批貨處理完畢；機(jī)臺Y則還需要2小時(shí) (即4-2)才能將目前所處理的批貨處理完畢；而機(jī)臺Z則是要在3小時(shí)后 (即4-1)才能閑置下來。布i設(shè)第二站點(diǎn)的生產(chǎn)周期平均值為4小時(shí)，那么 通過上述算式可以計(jì)算出機(jī)臺X、機(jī)臺Y，與機(jī)臺Z所分別對應(yīng)的占用率為 1/2、 1/4，及0。
圖3是依照本發(fā)明另一較佳實(shí)施例所繪示的機(jī)臺占用率的計(jì)算方法的流 程圖。在本實(shí)施例中，如步驟31G所示，倘若機(jī)臺目前沒有在處理任何批貨， 也就是說機(jī)臺狀態(tài)為閑置狀態(tài)，那么如步驟320所示，以特殊批貨的到站時(shí) 間、機(jī)臺的處理周期的最大值，以及機(jī)臺的生產(chǎn)周期的平均值，據(jù)以計(jì)算器
8臺的占用率。在本實(shí)施例中是以下列算式來計(jì)算器臺的占用率 占用率=(Arrival—T Max_TM) /Avg一TC 其中，Arrival_T表示特殊批貨的到站時(shí)間，Max_TM是機(jī)臺的處理周期 的最大值，而Avg-TC則為機(jī)臺的生產(chǎn)周期的平均值。以機(jī)臺的處理周期的最 大值做為計(jì)算其占用率的參數(shù)的原因在于當(dāng)機(jī)臺狀態(tài)為閑置時(shí)，在不知道 什么時(shí)候會有批貨到達(dá)站點(diǎn)并且通過此機(jī)臺進(jìn)行處理的情況之下，最大的處
請回到圖1的步驟150，在根據(jù)機(jī)臺狀態(tài)與到站時(shí)間計(jì)算出各站點(diǎn)中每 個(gè)機(jī)臺的占用率后，根據(jù)占用率來進(jìn)行機(jī)臺的預(yù)約動作。在本實(shí)施例中，將 預(yù)約具有最小的占用率且占用率小于1的機(jī)臺來做為處理特殊批貨的用途。 更近一步來說，機(jī)臺所對應(yīng)的占用率越小，表示預(yù)約此機(jī)臺后，機(jī)臺閑置下 來等待特殊批貨到達(dá)的閑置時(shí)間越短。倘若機(jī)臺的占用率為0，即表示在特 殊批貨到達(dá)站點(diǎn)時(shí)，此機(jī)臺剛好處理完畢一批貨，進(jìn)而能接著對特殊批貨進(jìn) 行處理，據(jù)此將能使機(jī)臺達(dá)到最佳的產(chǎn)能。
在另一實(shí)施例中，除了根據(jù)機(jī)臺的占用率來預(yù)約機(jī)臺之外，更可以根據(jù) 機(jī)臺本身的機(jī)臺特性來判斷是否要預(yù)約此機(jī)臺。舉例來說，某些特殊批貨可
能需要具有處理化學(xué)藥品能力的機(jī)臺，因此在預(yù)約機(jī)臺時(shí)除了選擇具有較小 的占用率的機(jī)臺之外，還必須判斷機(jī)臺是否具備處理特殊批貨所需要的能力。
值得一提的是，上述預(yù)約動作是以機(jī)臺的加載端口為單位來進(jìn)行預(yù)約。 也就是說，被預(yù)約的機(jī)臺將保留特定的加載端口以等待特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)， 而其它尚未被預(yù)先保留的加載端口仍然可用來處理一般批貨，因此本發(fā)明所 述的機(jī)臺預(yù)約方法并不會影響 一般批貨的處理流程。
接著如步驟160所示，當(dāng)特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)時(shí)，便能夠以先前所預(yù)約的 機(jī)臺進(jìn)行處理流程，而不需要再花費(fèi)任何時(shí)間等待機(jī)臺閑置。最后在步驟170 中，機(jī)臺處理特殊批貨的處理周期及生產(chǎn)周期也將一并記錄于歷史記錄，以 隨時(shí)更新歷史記錄。
在另一實(shí)施例中，倘若在處理批貨的流程中發(fā)生任何異常(exception) 狀況，在特殊批貨尚未到達(dá)站點(diǎn)之前，均能針對此站點(diǎn)的機(jī)臺預(yù)約進(jìn)行更動， 并配合目前的情況重新進(jìn)行預(yù)約，據(jù)此將不會對特殊批貨的生產(chǎn)計(jì)劃造成負(fù) 面的影響。
綜上所述，本發(fā)明所述的機(jī)臺預(yù)約方法至少具有下列優(yōu)點(diǎn)1. 通過事先預(yù)約機(jī)臺的方式，在特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)時(shí)快速順暢地進(jìn)行處 理，據(jù)此減少特殊批貨的生產(chǎn)周期。
2. 以機(jī)臺的加載端口做為預(yù)約單位，據(jù)以提高機(jī)臺產(chǎn)能，同時(shí)將不會對 一般批貨的生產(chǎn)狀況造成不良影響。
3. 在處理流程中可依照處理流程的現(xiàn)況對預(yù)約結(jié)果進(jìn)行調(diào)整，進(jìn)而使得 特殊批貨的處理流程變的更有彈性。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作 些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視本發(fā)明申請專利范圍所界定 者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種機(jī)臺預(yù)約方法，該方法包括下列步驟根據(jù)一歷史記錄計(jì)算一特殊批貨在每一站點(diǎn)的一處理時(shí)間及相鄰站點(diǎn)之 間的一傳送時(shí)間；依據(jù)所述處理時(shí)間及所述傳送時(shí)間，預(yù)測該特殊批貨到達(dá)每一所述站點(diǎn) 的一到站時(shí)間；對于每一所述站點(diǎn)，以對應(yīng)的該到站時(shí)間與該站點(diǎn)中每一機(jī)臺的一才幾臺 狀態(tài)，計(jì)算每一所述機(jī)臺的一占用率；以及 根據(jù)所述占用率預(yù)約所述機(jī)臺其中之一 。
2. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，該歷史記錄包括每一所述 機(jī)臺每次處理批貨的一處理周期及一生產(chǎn)周期，而計(jì)算該特殊批貨在每一所 述站點(diǎn)的該處理時(shí)間的步驟包括根據(jù)該站點(diǎn)的每一所述機(jī)臺的所述處理周期及所述生產(chǎn)周期計(jì)算該處理 時(shí)間。
3. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，計(jì)算該特殊批貨在相鄰站點(diǎn)之間的該傳送時(shí)間的步驟包括根據(jù)一傳送機(jī)制及一傳送速率計(jì)算該傳送時(shí)間。
4. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，預(yù)測該特殊批貨到達(dá)每一 所述站點(diǎn)的該到站時(shí)間的步驟包括對于每一所述站點(diǎn)，以位于該站點(diǎn)上游的所有站點(diǎn)的該處理時(shí)間，以及 位于該站點(diǎn)上游的所有相鄰站點(diǎn)之間的該傳送時(shí)間的總和做為該到站時(shí)間。
5. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，在預(yù)測該特殊批貨到達(dá)每 一所述站點(diǎn)的該到站時(shí)間的步驟之后更包括判斷該到站時(shí)間是否小于 一 最長預(yù)約時(shí)間。
6. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，該歷史記錄包括每一所述 機(jī)臺每次處理批貨的一處理周期及一生產(chǎn)周期，而計(jì)算每一所述機(jī)臺的該占 用率的步驟包括判斷該^U臺狀態(tài)為一處理狀態(tài)；以及根據(jù)該到站時(shí)間、 一剩余處理時(shí)間，與該機(jī)臺的所述生產(chǎn)周期的平均值，計(jì)算該占用率。
7. 如權(quán)利要求6所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，計(jì)算該占用率的步驟包括 計(jì)算該占用率- ( Arrival-T-Remained-T ) /Avg—TC，其中，Arrival—T表示該到站時(shí)間，Remained—T表示該剩余處理時(shí)間，而Avg_TC表示所述生產(chǎn)周期的平均值。
8. 如權(quán)利要求6所述的機(jī)臺預(yù)約方法，更包括以該機(jī)臺的所述處理周期及一 目前時(shí)間計(jì)算該剩余處理時(shí)間。
9. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，該歷史記錄包括每一所述 機(jī)臺每次處理批貨的一處理周期及一生產(chǎn)周期，而計(jì)算每一所述機(jī)臺的該占 用率的步驟包括判斷該機(jī)臺狀態(tài)為一閑置狀態(tài)；以及根據(jù)該到站時(shí)間、該機(jī)臺的所述處理周期的最大值，與該機(jī)臺的所述生 產(chǎn)周期的平均值，計(jì)算該占用率。
10. 如權(quán)利要求9所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，計(jì)算該占用率的步驟包括 計(jì)算該占用率=(Arrival—T Max —TM) /Avg—TC,其中，Arrival—T表示該到站時(shí)間，Max—TM表示所述處理周期的最大值，而Avg-TC表示所述生產(chǎn) 周期的平均值。
11. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，根據(jù)所述占用率預(yù)約所述 機(jī)臺其中之一 的步驟包括預(yù)約具有最小的該占用率且該占用率小于1的該^L臺。
12. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，根據(jù)所述占用率預(yù)約所述 機(jī)臺其中之一 的步驟更包括根據(jù)每一所述機(jī)臺的一機(jī)臺特性，預(yù)約所述機(jī)臺其中之一。
13. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺預(yù)約方法，其中，在預(yù)約所述機(jī)臺其中之一 的步驟之后更包括當(dāng)該特殊批貨到達(dá)該站點(diǎn)時(shí)，以預(yù)約的該機(jī)臺處理該特殊批貨；以及 將預(yù)約的該機(jī)臺處理該特殊批貨的一處理周期及一生產(chǎn)周期記錄于該歷 史記錄。
全文摘要
一種機(jī)臺預(yù)約方法，本發(fā)明是根據(jù)歷史記錄預(yù)測特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)的時(shí)間，并同時(shí)根據(jù)此到站時(shí)間以及站點(diǎn)中各個(gè)機(jī)臺的狀態(tài)，來預(yù)約適于處理特殊批貨的機(jī)臺，從而避免特殊批貨到達(dá)站點(diǎn)后等待機(jī)臺閑置所耗費(fèi)的時(shí)間，據(jù)以縮短特殊批貨的生產(chǎn)周期。
文檔編號H01L21/00GK101311860SQ200710105048
公開日2008年11月26日 申請日期2007年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月22日
發(fā)明者吳德龍, 張世昌, 偉 程 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司