專利名稱:光記錄介質(zhì)的制造方法及其制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光記錄介質(zhì)的制造方法及其制造裝置,更具體地講,涉及具有多個(gè)記錄層的光記錄介質(zhì)的制造方法及其制造裝置。
背景技術(shù):
近年來(lái),為了記錄/再現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間且高畫(huà)質(zhì)的動(dòng)態(tài)圖像等大容量數(shù)據(jù),期望開(kāi)發(fā)一種與過(guò)去相比能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)信息高密度化的光記錄介質(zhì)。作為這種能夠?qū)崿F(xiàn)信息高密度化的光記錄介質(zhì),有藍(lán)光光盤(pán),例如可以舉出具有在I塊介質(zhì)上設(shè)有2層(雙層)記錄層的層疊構(gòu)造的BD — R等。如果采用這種設(shè)置2層以上的記錄層的多層化技術(shù),則能夠在不改變每I層的記錄密度的情況下增大容量。這種層疊式多層光記錄介質(zhì)的中間層通常利用被稱為光致聚合法(Photo Polymerization,下面有時(shí)稱為“2P法”)的制造方法進(jìn)行制造。根據(jù)2P法,例如在形成有記錄軌道用的凹凸的透明的第I基板上依次形成第I反射層、第I記錄層、形成有記錄軌道用的凹凸的中間層、第2反射層、第2記錄層,最后形成保護(hù)層,由此制造2層構(gòu)造的光記錄介質(zhì)。在2P法中,通常以如下方式制造中間層。首先,在形成了記錄層等的基板上涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料等,然后在其上放置具有凹凸的放射線透射性壓模。然后,在使所述放射線固化性樹(shù)脂原料等固化后將壓模剝離。這樣將凹凸轉(zhuǎn)印到放射線固化性樹(shù)脂原料的表面上,從而形成中間層。然后,再在中間層上形成記錄層等,由此制造具有多個(gè)記錄層的光記錄介質(zhì)。無(wú)論記錄再現(xiàn)光從基板側(cè)或者保護(hù)層側(cè)的哪一側(cè)入射,中間層都形成了通向至少一個(gè)記錄層的記錄再現(xiàn)光的光路的一部分,中間層的光學(xué)均勻性對(duì)記錄再現(xiàn)特性產(chǎn)生較大的影響。因此,對(duì)利用2P法形成的中間層要求某種程度以上的基板整面的膜厚均勻性、以及光學(xué)特性的均勻性。通常,一般采用如下方法利用旋涂法在基板上涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料,在其上放置放射線透射性壓模,然后照射紫外線等放射線使樹(shù)脂原料固化來(lái)形成中間層(參照專利文獻(xiàn)I)。但是,在上述的現(xiàn)有技術(shù)中,基板整面的中間層的膜厚分布不均勻、中間層內(nèi)產(chǎn)生氣泡等不良情況的發(fā)生頻率較高,很難穩(wěn)定且高效地形成在光學(xué)方面具有良好的均勻性的中間層。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2004 - 288259號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題本發(fā)明正是為了解決利用這種2P法制造層疊式多層光記錄介質(zhì)時(shí)出現(xiàn)的技術(shù)課題而完成的。S卩,本發(fā)明的目的在于,提供一種改善了制造效率的層疊式多層光記錄介質(zhì)的制造方法及其制造裝置。用于解決問(wèn)題的手段為了解決這種課題,本發(fā)明的主旨如下所述。(I) 一種光記錄介質(zhì)的制造方法,該光記錄介質(zhì)在具有中心孔的圓板狀的基板上具有多個(gè)記錄層,在多個(gè)所述記錄層之間具有中間層,該中間層由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成,具有凹凸形狀,其特征在于,在形成所述中間層的步驟中按如下順序至少包括第一步驟,在放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板之間涂敷所述放射線固化性樹(shù)脂原料,使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板重疊;第二步驟,在朝相互接近的方向加壓的狀態(tài)下對(duì)所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板進(jìn)行扭動(dòng),由此使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸;第三步驟,僅向所述基板的中心孔附近照射放射線,使所述放 射線固化性樹(shù)脂原料固化;以及第四步驟,為了使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸到整個(gè)具有所述記錄層的基板,在進(jìn)行具有所述記錄層的基板和所述放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使延伸到整個(gè)所述基板的所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板粘接。(2)根據(jù)(I)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,所述基板和所述放射線透射性壓模都是在如下位置形成有圓環(huán)狀的小凸起在所述第一步驟中重疊的面?zhèn)鹊摹⒈瓤ňo區(qū)域更靠近中心孔側(cè)的位置。(3)根據(jù)(I )或(2)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第二步驟中包括使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板相對(duì)旋轉(zhuǎn)的扭轉(zhuǎn)步驟,將該扭轉(zhuǎn)步驟中的扭轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速設(shè)為O. Irpm 30rpm,將扭轉(zhuǎn)之間的按壓幅度設(shè)為10 μ m 100 μ m,將扭轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角度設(shè)為180° 360°的范圍。(4)根據(jù)(I) (3)中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第三步驟中,將照射放射線的范圍設(shè)為從所述基板的中心起半徑15_以內(nèi)的范圍。(5)根據(jù)(I) (4)中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第二步驟與所述第三步驟之間包括這樣的步驟通過(guò)向所述放射線透射性壓模和所述基板之間施加50g IOOg的荷重進(jìn)行加壓。(6)根據(jù)(I) (5)中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第二步驟與第三步驟之間包括這樣的步驟從用于固定所述放射線透射性壓模和所述基板的中心孔的中心軸對(duì)所述放射線固化性樹(shù)脂原料進(jìn)行減壓吸引。(7)根據(jù)(I) (6)中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,所述放射線固化性樹(shù)脂原料的粘度在50cP IOOOcP之間。(8)根據(jù)(2) (7)中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,所述放射線透射性壓模的所述小凸起與所述基板的所述小凸起的高度的合計(jì)值為所述中間層的目標(biāo)膜厚±15 μ m以內(nèi),所述放射線透射性壓模的所述小凸起與所述基板的所述小凸起的半徑方向的錯(cuò)位為O. 5mm以內(nèi)。(9)根據(jù)(6) (8)中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,從所述中心軸對(duì)所述放射線固化性樹(shù)脂原料進(jìn)行減壓吸引的步驟中的吸引壓力為一 IkPa 一20kPa的范圍。(10)—種光記錄介質(zhì) 的制造裝置,該光記錄介質(zhì)在具有中心孔的圓板狀的基板上具有多個(gè)記錄層,在多個(gè)所述記錄層之間具有中間層,該中間層由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成,具有凹凸形狀,其特征在于,該制造裝置用于形成所述中間層的步驟,至少具有第一單元,其在放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板之間涂敷所述放射線固化性樹(shù)脂原料,使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板重疊;第二單元,在朝相互接近的方向加壓的狀態(tài)下對(duì)所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板進(jìn)行扭動(dòng),由此使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸;第三單元,其僅向所述基板的中心孔附近照射放射線,使所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化;以及第四單元,其為了使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸到整個(gè)具有所述記錄層的基板,在進(jìn)行具有所述記錄層的基板和所述放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使延伸到整個(gè)所述基板的所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板粘接。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明,能夠制造包括在光學(xué)上整面都具有均勻特性的中間層的光記錄介質(zhì)。另外,也能夠改善基于2P法的層疊式多層光記錄介質(zhì)的制造效率。
圖I是用于說(shuō)明本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法的圖。圖2是用于說(shuō)明間隙分配法(gap dispense)的圖。圖3是用于說(shuō)明在本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法中使用的錘及遮光掩膜的設(shè)置位置的圖。圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明使用的基板的小凸起的剖視圖。圖5是用于說(shuō)明本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造裝置的圖。
具體實(shí)施例方式下面,對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式(以下也稱為發(fā)明的實(shí)施方式)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。但是,本發(fā)明不限于以下的發(fā)明的實(shí)施方式,當(dāng)然可以在不脫離其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更來(lái)實(shí)施。A.本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法的優(yōu)選實(shí)施方式圖I是用于說(shuō)明本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法的一個(gè)優(yōu)選示例的圖。在圖I中,作為層疊式多層光記錄介質(zhì)的制造方法的一例,示出了具有包含有機(jī)色素的兩個(gè)記錄層的雙層式單面入射型的光記錄介質(zhì)(單面2層DVD — R或者單面2層DVD可記錄光盤(pán))的制造方法。另外,在圖I中為了方便起見(jiàn),示出了僅將光記錄介質(zhì)的記錄區(qū)域的一部分剖面放大的圖。以圖I (f)所示的單面2層DVD — R為代表的單面2層的光記錄介質(zhì)100具有順序地層疊以下部分而得到的構(gòu)造具有中心孔的圓板(盤(pán))狀的透光性的第I基板101;包含色素的第I記錄層102 ;半透明的第I反射層103 ;由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的透光性的中間層104 ;包含色素的第2記錄層105 ;第2反射層106 ;粘接層107 ;以及形成最外層的第2基板108。在第I基板101和中間層104上分別形成有凹凸,并分別構(gòu)成記錄軌道。作為單面2層DVD — R的光記錄介質(zhì)100的光信息的記錄/再現(xiàn)是通過(guò)從第I基板101側(cè)向第I記錄層102和第2記錄層105照射的激光109來(lái)進(jìn)行的。另外,在本發(fā)明的實(shí)施方式中,“透光性(或者透明)”是指對(duì)于為了在包含色素的第I記錄層102和第2記錄層105上記錄/再現(xiàn)光信息而照射的光(激光109)的波長(zhǎng)的透光性。具體地講,是指對(duì)于記錄/再現(xiàn)用的光的波長(zhǎng)通常具有30%以上、優(yōu)選50%以上、更優(yōu)選60%以上的透射性。另一方面,對(duì)于記錄/再現(xiàn)用的光的波長(zhǎng)的透射性理想的情況是100%,但通常是99. 9%以下的值。在此,本發(fā)明涉及光記錄介質(zhì)的制造方法,該光記錄介質(zhì)在具有中心孔的圓板狀的基板上具有多個(gè)記錄層、和在這些記錄層之間具有由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的凹凸形狀的中間層,其特征在于,在形成中間層的步驟中包括后面敘述的第一步驟 第四步驟。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,對(duì)除上述中間層之外的各層的材料及制造方法沒(méi)有特別限制,能夠利用公知的現(xiàn)有技術(shù)來(lái)適當(dāng)?shù)匦纬伞?例如,圖I (a)所示的在表面上凹凸地形成有溝槽、岸臺(tái)(9 > K)及預(yù)制凹坑的第I基板101能夠通過(guò)使用鎳制壓模等對(duì)聚碳酸酯樹(shù)脂進(jìn)行注射成形等而制得。并且,在第I基板101的具有凹凸的一側(cè)的表面上通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂敷等涂敷含有有機(jī)色素的涂敷液,然后,進(jìn)行加熱等來(lái)去除涂敷液中使用的溶劑等,由此能夠使第I記錄層102成膜。另外,在使第I記錄層102成膜后,例如對(duì)Ag合金等進(jìn)行濺射或者蒸鍍,由此能夠在第I記錄層102上使第I反射層103成膜。并且,在后述的中間層104的形成步驟之后,如圖1(d)所示,通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂敷等在中間層104表面涂敷包含有機(jī)色素的涂敷液,并進(jìn)行加熱等來(lái)去除涂敷液中使用的溶劑等,由此能夠使第2記錄層105成膜。在這種情況下,優(yōu)選加熱的溫度是構(gòu)成中間層104的樹(shù)脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上的溫度。通過(guò)在上述溫度下進(jìn)行加熱,能夠抑制被認(rèn)為是由于中間層104的收縮而在第I基板101產(chǎn)生翹曲的現(xiàn)象。另外,在本發(fā)明的實(shí)施方式中,在中間層104上直接形成第2記錄層105,當(dāng)然也可以隔著其它層(例如保護(hù)層或緩沖層)來(lái)形成第2記錄層105。另外,如圖I (e)所示,通過(guò)對(duì)Ag合金等進(jìn)行濺射蒸鍍等,能夠在第2記錄層105上使第2反射層106成膜。然后,如圖I (f)所示,經(jīng)由粘接層107將通過(guò)對(duì)聚碳酸酯進(jìn)行注射成形而得到的作為鏡面基板的第2基板108粘貼在第2反射層106上等,由此完成光記錄介質(zhì)100的制造。粘接層107可以是不透明的,表面可以稍微粗糙,還能夠使用延遲固化型的粘接劑等。例如,利用絲網(wǎng)印刷等方法在第2反射層106上涂敷粘接劑,并照射紫外線,然后放置第2基板108并按壓,由此形成粘接層107。另外,也能夠采用如下方式等,即在第2反射層106和第2基板108之間夾持壓敏式雙面膠帶并進(jìn)行按壓來(lái)形成粘接層107。如上所述,圖I (f)的光記錄介質(zhì)的層結(jié)構(gòu)是具有兩個(gè)記錄層的光記錄介質(zhì)的一例。因此,當(dāng)然也可以使用圖I (f)未圖示的其它的層(例如,形成于第I基板101和第I記錄層102之間的基底層等)。下面,以在數(shù)據(jù)基板111上形成中間層104的情況為例來(lái)說(shuō)明中間層104的形成步驟(第一步驟 第四步驟),該數(shù)據(jù)基板111是在圖1(a)所示的第I基板101上依次層疊第I記錄層102和第I反射層103而得到的。另外,在本發(fā)明的實(shí)施方式中,數(shù)據(jù)基板111通常是透明的。( I)第一步驟在該步驟中,在放射線透射性壓模和具有記錄層的基板(此處是數(shù)據(jù)基板)之間涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料,將放射線透射性壓模和具有記錄層的基板重疊。具體地講,如圖2所示,在數(shù)據(jù)基板111的第I反射層側(cè)的表面上,利用噴嘴等連續(xù)地或者間斷地將作為一種放射線固化性樹(shù)脂原料的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a (下面,在放射線固化性樹(shù)脂原料是紫外線固化性樹(shù)脂原料時(shí),記作紫外線固化性樹(shù)脂原料104a,在廣義地表示放射線固化性樹(shù)脂原料時(shí),記作放射線固化性樹(shù)脂原料104a)涂敷成與數(shù)據(jù)基板111為同心圓的大致圓環(huán)狀,如圖I (C)所示,將具有凹凸形狀的放射線透射性壓模110重疊。另外,紫外線固化性樹(shù)脂原料104a也可以涂敷于放射線透射性壓模110的表面,還可以將數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110 (下面有時(shí)記作兩個(gè)基板)重疊(即相對(duì)地配置),然后涂敷于兩者的間隙中。
在上述的步驟中,關(guān)于紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的涂敷,優(yōu)選將數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110重疊(即相對(duì)地配置),然后將噴嘴插入間隙中進(jìn)行涂敷的方法。該方法被稱為間隙分配法,下面使用圖2對(duì)該方法進(jìn)行說(shuō)明。例如,將放射線透射性壓模110配置在上側(cè)、將數(shù)據(jù)基板111配置在下側(cè),并使兩者的中心孔大致一致而平衡地配置,將兩個(gè)基板的間隙固定為2 4_左右。將直徑I. 5mm左右的一個(gè)或者多個(gè)噴嘴從基板外周側(cè)橫向地插入到該間隙中,并且配置成使其噴出口位于中間層形成區(qū)域的中央附近。優(yōu)選這多個(gè)噴嘴的前端以相等間隔配置于同心圓上。在該狀態(tài)下,在從噴嘴前端噴出紫外線固化性樹(shù)脂原料104a時(shí),由于兩個(gè)基板的距離接近,因而所噴出的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a立即接觸兩個(gè)基板110及111,并通過(guò)毛細(xì)管現(xiàn)象在二者的間隙中延伸。此時(shí),使噴嘴或者數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110沿?cái)?shù)據(jù)基板111的周向旋轉(zhuǎn),由此能夠?qū)⒆贤饩€固化性樹(shù)脂原料104a涂敷成大致圓環(huán)狀。在預(yù)定量的所述紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的噴出完成后,使噴嘴退出,使配置于上側(cè)的放射線透射性壓模110下降、或者使配置于下側(cè)的數(shù)據(jù)基板111上升,從而使所述紫外線固化性樹(shù)脂原料104a進(jìn)一步延伸。由此,能夠?qū)崿F(xiàn)在外線固化性樹(shù)脂原料104a內(nèi)很少產(chǎn)生氣泡的涂敷。另外,在將數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110重疊時(shí),優(yōu)選使兩個(gè)基板110及111各自的中心孔貫通光記錄介質(zhì)的制造裝置的同一中心軸,并且進(jìn)行調(diào)整以使兩個(gè)基板的偏心量在30 μ m以內(nèi)。并且,優(yōu)選在數(shù)據(jù)基板中的第I基板101及放射線透射性壓模110進(jìn)行重疊的面?zhèn)确謩e預(yù)先形成圖4所示的圓環(huán)狀的小凸起。圖4 (a)是示意地示出第I基板101的圖,圖4 (b)是圖4 (a)的α — α線部分的剖視圖。例如,小凸起可利用對(duì)第I基板101或者放射線透射性壓模110成型時(shí)的模具按壓的位置、形狀進(jìn)行設(shè)計(jì)等公知方法,形成在期
望的位置。優(yōu)選圓環(huán)狀的小凸起的形成位置比光記錄介質(zhì)的卡緊區(qū)域(該卡緊區(qū)域指被光記錄介質(zhì)的記錄再現(xiàn)裝置卡緊的區(qū)域,通常是從光記錄介質(zhì)的中心起半徑11. 5mm 16. 5mm左右的區(qū)域)更靠近中心孔側(cè)。因此,對(duì)于數(shù)據(jù)基板中的第I基板101,優(yōu)選在從第I基板101的中心起半徑8. 5 11. 5mm的區(qū)域內(nèi)形成圓環(huán)狀的小凸起,而對(duì)于放射線透射性壓模110,優(yōu)選在與上述區(qū)域?qū)?yīng)的位置形成圓環(huán)狀的小凸起。并且,關(guān)于小凸起的高度,優(yōu)選兩個(gè)基板的小凸起的高度的合計(jì)值在期望的中間層膜厚的± 15 μ m的范圍內(nèi),更優(yōu)選在±5 μ m的范圍內(nèi)。在此,小凸起的高度是以形成有記錄軌道的數(shù)據(jù)記錄區(qū)域?yàn)榛鶞?zhǔn)的高度。通過(guò)將小凸起的高度設(shè)為這種范圍,在將兩個(gè)基板重疊并加壓時(shí),能夠使兩個(gè)基板的間隔成為理想的范圍,容易得到期望的中間層膜厚。小凸起的剖面形狀沒(méi)有特別限制,也可以是矩形狀、三角形狀、半圓狀中的任意形狀。并且,關(guān)于在使兩個(gè)基板相對(duì)時(shí)的兩個(gè)小凸起的半徑方向的位置關(guān)系,優(yōu)選兩個(gè)小凸起的頂點(diǎn)的半徑方向的錯(cuò)位為O. 5mm以下,更優(yōu)選0mm。兩個(gè)小凸起的半徑位置接近,從而能夠利用圓環(huán)狀的小凸起阻止紫外線固化性樹(shù)脂原料向中心孔方向的延伸,在期望的位置形成中間層。(2)第二步驟在第二步驟中,朝相互接近的方向?qū)υ诘谝徊襟E中重疊的兩個(gè)基板進(jìn)行加壓,在 進(jìn)一步縮小兩個(gè)基板的間隔的狀態(tài)下對(duì)兩個(gè)基板進(jìn)行扭轉(zhuǎn)。此時(shí)的按壓幅度也取決于紫外線固化性樹(shù)脂原料的量和進(jìn)行重疊時(shí)的間隔,但優(yōu)選IOym以上,更優(yōu)選30 μ m以上。并且,優(yōu)選100 μ m以下,更優(yōu)選60 μ m以下。本發(fā)明所講的按壓幅度是在第二步驟中使兩個(gè)基板的間隔進(jìn)一步縮小時(shí)的兩個(gè)基板的相對(duì)移動(dòng)距離。在該步驟中,與上述加壓同時(shí)地使重疊的兩個(gè)基板相對(duì)旋轉(zhuǎn),由此將例如重疊的兩個(gè)基板中的一方固定,而使另一方沿周向旋轉(zhuǎn),由此使所涂敷的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a在兩個(gè)基板面上延伸。在本說(shuō)明書(shū)中,將該步驟中的所述兩個(gè)基板的相對(duì)旋轉(zhuǎn)記作“扭轉(zhuǎn)”,將該步驟記作扭轉(zhuǎn)步驟。另外,也可以使兩個(gè)基板向彼此相反的方向旋轉(zhuǎn)來(lái)進(jìn)行扭轉(zhuǎn)。并且,對(duì)兩個(gè)基板的加壓可以在對(duì)兩個(gè)基板進(jìn)行扭轉(zhuǎn)之前實(shí)施,也可以在縮小兩個(gè)基板的間隔而加壓的同時(shí)進(jìn)行扭轉(zhuǎn)。通過(guò)進(jìn)行扭轉(zhuǎn)步驟,能夠使所涂敷的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a在兩個(gè)基板面上進(jìn)一步延伸。優(yōu)選對(duì)兩個(gè)基板進(jìn)行扭轉(zhuǎn)時(shí)的相對(duì)轉(zhuǎn)速為O. Irpm以上,更優(yōu)選IOrpm以上。并且,優(yōu)選30rpm以下,更優(yōu)選20rpm以下。紫外線固化性樹(shù)脂原料具有轉(zhuǎn)速越低、則越均勻地延伸的趨勢(shì),但從生產(chǎn)效率的角度考慮,轉(zhuǎn)速較高時(shí)更好。并且,對(duì)兩個(gè)基板進(jìn)行扭轉(zhuǎn)時(shí)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)角度也取決于光記錄介質(zhì)的制造裝置的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的平行度的機(jī)械精度和轉(zhuǎn)速,優(yōu)選180° 360°。如果在該范圍內(nèi),則對(duì)生產(chǎn)效率的影響減小,且紫外線固化性樹(shù)脂原料104a具有在兩個(gè)基板上均勻擴(kuò)散的趨勢(shì)。(3)加壓步驟在本發(fā)明的實(shí)施方式中,優(yōu)選在上述第二步驟之后、后述的第三步驟之前,具有通過(guò)向放射線透射性壓模110和數(shù)據(jù)基板111之間施加預(yù)定荷重來(lái)進(jìn)行加壓的步驟。具體地講,如圖3 Ca)所示,優(yōu)選將所述放射線透射性壓模110配置在上側(cè),在所述放射線透射性壓模Iio上放置錘120,由此對(duì)兩個(gè)基板110及111之間進(jìn)行加壓。在圖3
(a)中,為了使紫外線固化性樹(shù)脂原料104a進(jìn)一步向數(shù)據(jù)基板111的中心孔側(cè)延伸,將錘配置在從數(shù)據(jù)基板111的中心起半徑7. 5_ 28_的區(qū)域內(nèi),但配置錘的位置能夠根據(jù)紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的粘度等適當(dāng)調(diào)整。此時(shí)的錘的荷重優(yōu)選50g以上,更優(yōu)選70g以上。并且,優(yōu)選IOOg以下,更優(yōu)選90g以下。如果在該范圍內(nèi),則能夠使紫外線固化性樹(shù)脂原料104a延伸到理想的范圍內(nèi)。并且,如圖3 (a)所示,也可以利用多個(gè)錘進(jìn)行加壓,還可以利用一個(gè)錘進(jìn)行加壓。圖3 (a)所示的示例是這樣的示例,即配置用于對(duì)中心孔附近進(jìn)行加壓的石英環(huán)的錘120和其外側(cè)的第I遮光性錘121和其更外側(cè)的第2遮光性錘122來(lái)進(jìn)行預(yù)定的加壓。并且,在此是通過(guò)放置錘來(lái)進(jìn)行加壓,但也可以利用公知的機(jī)械加壓法進(jìn)行加壓。另外,優(yōu)選在中心孔附近配置的錘使用放射線可充分透射的材質(zhì),以便進(jìn)行后述的第三步驟的放射線照射。在作為該第三步驟的放射線照射紫外線的情況下,優(yōu)選在中心孔附近配置的錘使用紫外線可充分透射的材質(zhì)。在本發(fā)明的實(shí)施方式(紫外線照射的方式)中,為了同時(shí)實(shí)現(xiàn)紫外線的透射性和某種程度的荷重,優(yōu)選在中心孔附近配置的錘是透射紫外線的合成石英的環(huán)。另外,在使用紫外線不能充分透射的材質(zhì)的錘作為上述錘的情況下,優(yōu)選上述紫外線不能充分透射的材質(zhì)的錘的放置位置是直徑20mm以上的區(qū)域,以便在后述的第三步驟中照射紫外線時(shí)從盤(pán)的中心起直徑20mm附近的區(qū)域中不會(huì)成為錘的陰影。 并且,在第三步驟中的一個(gè)實(shí)施方式的紫外線照射之前,如圖3(a)所示,優(yōu)選在用于對(duì)兩個(gè)基板110及111的中心孔進(jìn)行固定的中心軸123的側(cè)面開(kāi)設(shè)吸引用的細(xì)孔124,從該細(xì)孔對(duì)紫外線固化性樹(shù)脂原料104a進(jìn)行減壓吸引,由此加快使紫外線固化性樹(shù)脂原料延伸到中心孔側(cè)的速度。由此,與不進(jìn)行減壓吸引時(shí)相比,所述紫外線固化性樹(shù)脂原料104a到達(dá)在數(shù)據(jù)基板111側(cè)及放射線透射性壓模110形成的圓環(huán)狀的小凸起為止的時(shí)間縮短,能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。此時(shí)的最佳的吸引壓力也取決于所述紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的粘度和數(shù)據(jù)基板111的表面形狀等,但優(yōu)選在-IkPa -20kPa的范圍內(nèi)。(4)第三步驟然后,進(jìn)行僅向所述基板的中心孔附近照射放射線并使所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化的第三步驟。具體地講,在紫外線固化性樹(shù)脂原料104a剛剛到達(dá)兩個(gè)基板110及111的圓環(huán)狀的小凸起后,如圖3 (b)所示,僅向基板的中心孔附近照射紫外線,使該區(qū)域的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a固化。此時(shí)的照射范圍如果過(guò)大,則導(dǎo)致自然延伸的膜厚不均勻的所述紫外線固化性樹(shù)脂原料104a在較大的范圍內(nèi)直接固化,即使在第四步驟中使兩個(gè)基板110及111高速旋轉(zhuǎn)來(lái)使膜厚變均勻,該照射范圍附近的膜厚分布也有可能紊亂。因此,優(yōu)選將此時(shí)的照射范圍僅限定在盡量遠(yuǎn)離被要求較高的膜厚精度的光記錄介質(zhì)的信息記錄區(qū)域的范圍內(nèi)。另外,如果照射范圍過(guò)小,則導(dǎo)致內(nèi)周端的固化不充分,在第四步驟中空氣有可能在旋轉(zhuǎn)延伸過(guò)程中從兩個(gè)基板的內(nèi)周端進(jìn)入紫外線固化性樹(shù)脂原料104a內(nèi)。最佳的照射范圍是從數(shù)據(jù)基板111 (尤其是第一基板)及放射線透射性壓模110的中心起半徑8mm以上的區(qū)域,更優(yōu)選IOmm以上的區(qū)域,特別優(yōu)選Ilmm以上的區(qū)域。并且,優(yōu)選從數(shù)據(jù)基板111 (尤其是第一基板)及放射線透射性壓模110的中心起半徑15mm以下的區(qū)域,更優(yōu)選14mm以下的區(qū)域,特別優(yōu)選13mm以下的區(qū)域。如果在該范圍內(nèi),則在后述的第四步驟中使紫外線固化性樹(shù)脂原料延伸時(shí),空氣不會(huì)進(jìn)入紫外線固化性樹(shù)脂原料104a內(nèi),且能夠得到均勻的膜厚分布。根據(jù)紫外線固化性樹(shù)脂原料的材料和制造環(huán)境適當(dāng)優(yōu)化紫外線光量和照射時(shí)間即可,通常約為20mW/cm2 200mW/cm2、0 5秒。另外,為了僅向上述限定的區(qū)域照射紫外線,在中心孔上設(shè)置具有期望半徑的圓形開(kāi)口的遮光掩膜即可,但為了防止由于紫外線的衍射而導(dǎo)致的照射區(qū)域邊界的模糊,優(yōu)選在距放射線透射性壓模Iio的上表面Imm以內(nèi)的位置平行設(shè)置遮光掩膜。并且,例如如圖3 (b)所示,關(guān)于上述的加壓用的錘,在照射紫外線的區(qū)域(中心孔側(cè)的區(qū)域)中使用紫外線透射性的合成石英環(huán),在不照射紫外線的區(qū)域中使用遮光性的錘121、122等,由此也能夠使錘具有作為遮光掩膜的作用。(5)第四步驟然后,進(jìn)行這樣的第四步驟為了使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸到整個(gè)具有所述記錄層的基板,在進(jìn)行具有所述記錄層的基板和所述放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使延伸到整個(gè)所述基板的所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板粘接。具體地講,取下在第三步驟中使用的遮光掩膜、錘等,將兩個(gè)基板110及111固定在能夠高速旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)上并進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)(旋轉(zhuǎn)涂敷),由此在使所述紫外線固化性樹(shù)脂 原料104a進(jìn)一步延伸到兩個(gè)基板的外周部的同時(shí),使紫外線固化性樹(shù)脂原料104a固化,由此形成由紫外線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的層104a (以下,將由包括紫外線固化性樹(shù)脂原料在內(nèi)的放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的層也稱為樹(shù)脂原料層104a),將放射線透射性壓模110和數(shù)據(jù)基板111粘接。旋轉(zhuǎn)涂敷時(shí)的轉(zhuǎn)速通常為500rpm 15000rpm左右。在使兩個(gè)基板旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下,隔著放射線透射性壓模110,從放射線透射性壓模110側(cè)向兩個(gè)基板110及111的整面照射紫外線,使紫外線固化性樹(shù)脂原料104a固化,在已充分固化時(shí)將放射線透射性壓模110剝離,由此形成中間層104。中間層的膜厚可以根據(jù)光記錄介質(zhì)的類(lèi)型適當(dāng)設(shè)定,單面2層DVD — R的中間層膜厚為55 μ m左右。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,為了提高中間層厚度的均勻性,在通過(guò)兩個(gè)基板的旋轉(zhuǎn)而使紫外線固化性樹(shù)脂原料延伸的同時(shí),進(jìn)行紫外線固化性樹(shù)脂原料的固化步驟。在此,在通常的旋涂法中,樹(shù)脂原料層的膜厚由于離心力而具有內(nèi)周部薄、外周部厚的趨勢(shì),因而一邊進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂敷一邊照射紫外線,同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)延伸和紫外線固化,由此能夠進(jìn)一步提高內(nèi)外周的中間層的膜厚的均勻性。并且,此時(shí)優(yōu)選在通過(guò)具有適當(dāng)開(kāi)口尺寸的膜厚分布調(diào)整用遮光掩膜來(lái)進(jìn)行紫外線照射的同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂敷。使用以向內(nèi)周側(cè)照射更多的紫外線的方式而設(shè)計(jì)的遮光掩膜作為所述膜厚分布調(diào)整用遮光掩膜,由此處于內(nèi)周比外周先固化的趨勢(shì),能夠使中間層的膜厚的均勻性良好。根據(jù)紫外線固化性樹(shù)脂原料的材料和制造環(huán)境適當(dāng)優(yōu)化本步驟中的紫外線光量和照射時(shí)間即可,通常為10mW/cm2 120mW/cm2、0. I 5. O秒左右。(6)其它步驟在光記錄介質(zhì)的實(shí)際制造時(shí),順序地進(jìn)行上述第一步驟 第四步驟,在第四步驟之后,將放射線透射性壓模110從樹(shù)脂原料層104a (參照?qǐng)DI (C))剝離。由此,形成放射線透射性壓模110的轉(zhuǎn)印用凹凸形狀被轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂原料層104a后的中間層104。另外,在本說(shuō)明書(shū)中,樹(shù)脂原料層104a是在涂敷后固化、放射線透射性壓模被剝離之前的層。并且,中間層104是放射線透射性壓模110被剝離后的層。因此,樹(shù)脂原料層104a和中間層104是形成于相同位置的層,但是其狀態(tài)不同。將放射線透射性壓模110剝離的具體方法沒(méi)有限制,通常利用這樣的方法進(jìn)行剝離即對(duì)內(nèi)周進(jìn)行真空吸附,使刀口進(jìn)入光記錄介質(zhì)的中心孔側(cè),在向此處吹入空氣的同時(shí)使形成有樹(shù)脂原料層104a的數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110分離。在此,關(guān)于上述的放射線透射性壓模110的剝離,可以在常溫下進(jìn)行等,不進(jìn)行溫度控制就進(jìn)行剝離,也可以在將形成有樹(shù)脂原料層104a的數(shù)據(jù)基板111加熱的狀態(tài)下進(jìn)行剝離,如果在加熱的狀態(tài)下將放射線透射性壓模110剝離,可以良好地進(jìn)行剝離,能夠得到具有良好的凹凸形狀的樹(shù)脂原料層104a,進(jìn)而能夠得到具有良好的凹凸形狀的中間層104,因而是優(yōu)選方式。進(jìn)行加熱操作的時(shí)期是任意的,但優(yōu)選在紫外線固化性樹(shù)脂原料104a固化后即壓模剝離步驟中進(jìn)行加熱操作。并且,剝離放射線透射性壓模110時(shí)的溫度是任意的,但通常優(yōu)選50°C以上,并且優(yōu)選樹(shù)脂原料層104a的(即中間層104的)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以下、以及壓模110的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以下。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,優(yōu)選的是,在通過(guò)將放射線透射性壓模110剝離而形成中間層104后,還對(duì)中間層104實(shí)施表面改質(zhì)處理。由此,中間層104進(jìn)一步進(jìn)行固化,并 且維持穩(wěn)定的凹凸。在此,關(guān)于表面改質(zhì)處理,只要是促進(jìn)中間層104的固化的處理,則沒(méi)有限定,但優(yōu)選放射線照射處理和/或加熱處理。并且,在放射線中優(yōu)選使用紫外線。因此,例如在樹(shù)脂原料層104a由紫外線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的情況下,作為表面改質(zhì)處理可以采用紫外線照射及加熱處理中的任何處理,但優(yōu)選至少利用紫外線照射。在上述的第一步驟、第二步驟、第三步驟、第四步驟、其它步驟的具體說(shuō)明中,記述了放射線固化性樹(shù)脂原料采用紫外線固化性樹(shù)脂原料的情況,但在采用電子線固化性樹(shù)脂原料和其它放射線固化性樹(shù)脂原料的情況下,其步驟基本上與采用紫外線固化性樹(shù)脂原料的第一步驟、第二步驟、第三步驟、第四步驟、其它步驟大致相同。(關(guān)于放射線透射性壓模)在本發(fā)明的實(shí)施方式中使用的放射線透射性壓模110的“放射線透射性”是指對(duì)于使放射線固化性樹(shù)脂原料固化時(shí)的放射線的透射性。具體地講,上述放射線通常具有30%以上、優(yōu)選50%以上、更優(yōu)選60%以上的透射性。另一方面,對(duì)于上述放射線的透射性,理想地講是100%,但通常是99. 9%以下的值。另外,在本發(fā)明中,基于包含電子線、紫外線、可見(jiàn)光、紅外線的意義,采用“放射線”。在上述實(shí)施方式中以放射線采用紫外線的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明不限于此。關(guān)于放射線透射性壓模,能夠適當(dāng)使用利用過(guò)去公知的材料及公知的制造方法而制得的壓模。關(guān)于放射線透射性壓模的材料,例如能夠使用聚烯類(lèi)樹(shù)脂或聚苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂等非極性材料、或者聚碳酸酯類(lèi)樹(shù)脂、丙烯類(lèi)樹(shù)脂等通用且低成本的樹(shù)脂。另外,放射線透射性壓模的材料可以獨(dú)立使用一種材料,也可以按照任意的組合及比率一并使用兩種以上的材料。在上述的說(shuō)明中,優(yōu)選低成本且能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的溝槽形狀的聚碳酸酯類(lèi)樹(shù)脂,尤其是光記錄介質(zhì)的基板優(yōu)選采用過(guò)去公知的聚碳酸酯類(lèi)樹(shù)脂。例如,能夠使用具有放射線透射性壓模所具備的轉(zhuǎn)印用凹凸形狀的相反(Negative)凹凸圖案的金屬制壓模(例如鎳制壓模),通過(guò)注射成形等制造放射線透射性壓模。
另外,放射線透射性壓模通常形成為在中央部形成有貫通正面和背面的中心孔的圓板形狀。在本發(fā)明的實(shí)施方式中,放射線透射性壓模優(yōu)選采用表面具有轉(zhuǎn)印用凹凸形狀、在中央部形成有中心孔的圓板形狀的壓模。從形狀穩(wěn)定性和容易操作的角度考慮,在本發(fā)明的實(shí)施方式中使用的放射線透射性壓模優(yōu)選厚度通常為O. 3mm以上。但是,通常為5_以下。如果放射線透射性壓模的厚度在該范圍內(nèi),則具有充足的放射線透射性,因而即使是隔著放射線透射性壓模照射放射線,也能夠有效地使紫外線固化性樹(shù)脂原料固化,提高生產(chǎn)性。另外,優(yōu)選放射線透射性壓模的外徑大于第I基板的外徑(即光記錄介質(zhì)的外徑)。如果預(yù)先將放射線透射性壓模的外徑設(shè)計(jì)為大于第I基板的外徑,則在進(jìn)行注射成形時(shí),能夠在光記錄介質(zhì)的外徑外側(cè)的外周部也能夠具有余量地形成凹凸形狀,能夠沿著在形成放射線透射性壓模的中間層時(shí)使用的區(qū)域的整面形成良好的凹凸形狀。另外,通過(guò)使放射線透射性壓模的外徑大于第I基板的外徑,放射線透射性壓模的外徑大于中間層(即由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的層)的外徑。由此,容易良好地形成 中間層的端面的形狀。具體地講,在將放射線透射性壓模放置在放射線固化性樹(shù)脂原料上時(shí),放射線固化性樹(shù)脂原料層的樹(shù)脂有時(shí)附著在放射線透射性壓模和中間層的外周端部,該樹(shù)脂在剝離放射線透射性壓模時(shí)有時(shí)成為毛刺。因此,通過(guò)使放射線透射性壓模的外徑大于中間層(放射線固化性樹(shù)脂原料層)的外徑,使容易成為毛刺的樹(shù)脂位于中間層外徑的外側(cè)、即放射線透射性壓模的外周端部。其結(jié)果是,即使產(chǎn)生了毛刺,也不會(huì)對(duì)中間層的端面產(chǎn)生影響,能夠去除產(chǎn)生毛刺的部分。具體地講,優(yōu)選放射線透射性壓模的外徑通常是直徑比第I基板的外徑大Imm以上,更優(yōu)選大2mm以上。但是,直徑與第I基板的外徑之差通常是15mm以下,優(yōu)選IOmm以下。(關(guān)于放射線固化性樹(shù)脂原料)作為在形成中間層時(shí)使用的放射線固化性樹(shù)脂原料,只要是含有借助放射線而固化的放射線固化性樹(shù)脂的材料,則沒(méi)有特別限制。放射線固化性樹(shù)脂可以單獨(dú)利用一種,也可以按照任意的組合及比率一并利用兩種以上。作為放射線固化性樹(shù)脂,例如可以列舉紫外線固化性樹(shù)脂和電子線固化性樹(shù)脂等各種樹(shù)脂,其中特別優(yōu)選紫外線固化性樹(shù)脂。通過(guò)采用紫外線固化性樹(shù)脂,容易進(jìn)行放射線透射性壓模的凹凸形狀的轉(zhuǎn)印。作為紫外線固化性樹(shù)脂,可以列舉自由基類(lèi)(即自由基聚合型)紫外線固化性樹(shù)脂和陽(yáng)離子類(lèi)(即陽(yáng)離子聚合型)紫外線固化性樹(shù)脂,能夠適當(dāng)使用過(guò)去公知的這些材料。在放射線固化性樹(shù)脂原料采用自由基類(lèi)紫外線固化性樹(shù)脂的情況下,例如能夠采用包括紫外線固化性化合物(自由基類(lèi)紫外線固化性化合物)和光聚合引發(fā)劑作為必須成分的組成物。作為自由基類(lèi)紫外線固化性化合物,例如能夠?qū)喂倌?甲基)丙烯酸酯及多官能(甲基)丙烯酸酯用作聚合性單體成分。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用一種,也可以按照任意的組合及比率一并利用兩種以上。另外,在此將丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯一并稱為(甲基)丙烯酸酯。另外,光聚合引發(fā)劑沒(méi)有限制,例如優(yōu)選分子裂解型或者奪氫型的光聚合引發(fā)劑。在本發(fā)明中,優(yōu)選使用以自由基聚合型的丙烯酸酯為主體的未固化的紫外線固化性樹(shù)脂原料,并使其固化來(lái)得到中間層。另一方面,在放射線固化性樹(shù)脂原料采用陽(yáng)離子類(lèi)紫外線固化性樹(shù)脂的情況下,例如能夠使用包括陽(yáng)離子聚合型光引發(fā)劑的環(huán)氧樹(shù)脂。作為環(huán)氧樹(shù)脂,例如可以列舉雙酚A—環(huán)氧氯丙烷型、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、長(zhǎng)鏈脂肪族型、溴化環(huán)氧樹(shù)脂、縮水甘油脂型、縮水甘油醚型、雜環(huán)式類(lèi)等。作為環(huán)氧樹(shù)脂,優(yōu)選使用游離的氯及氯離子含有率少的環(huán)氧樹(shù)脂。氯的量?jī)?yōu)選I重量%以下,更優(yōu)選O. 5重量%以下。并且,作為陽(yáng)離子聚合型的光引發(fā)劑,可以列舉锍鹽、碘鹽、重氮鹽等。并且,放射線固化性樹(shù)脂原料優(yōu)選采用在20°C 40°C下為液狀的樹(shù)脂原料。在涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料時(shí),不需使用溶劑即可涂敷,因而生產(chǎn)性提高。并且,優(yōu)選將放射 線固化性樹(shù)脂原料適當(dāng)調(diào)整為使其粘度在常溫下為50cP以上、IOOOcP以下。更優(yōu)選IOOcP以上。并且,更優(yōu)選500cP以下,特別優(yōu)選400cP以下。通過(guò)適當(dāng)變更放射線固化性樹(shù)脂原料中的單體的含有率等,能夠進(jìn)行放射線固化性樹(shù)脂原料的粘度的調(diào)整。B.本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法的另一優(yōu)選方式以上以單面2層DVD — R或者單面2層DVD可記錄光盤(pán)為例,對(duì)本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法進(jìn)行了說(shuō)明,但本發(fā)明不限于此。即,只要是利用包括如下步驟的制造方法而制造的光記錄介質(zhì)或者光記錄介質(zhì)用層疊體,就能夠良好發(fā)揮本發(fā)明的效果,所述步驟是在數(shù)據(jù)基板上直接或者隔著其它層涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料,在將具有凹凸形狀的放射線透射性壓模固定后進(jìn)行剝離,將放射線透射性壓模的凹凸形狀轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂上,形成中間層。即,也能夠?qū)⒈景l(fā)明的實(shí)施方式的制造方法適用于其它結(jié)構(gòu)的光記錄介質(zhì)。例如,也能夠適用于具有3層以上的記錄層、具有2層以上的中間層的光記錄介質(zhì)。在這種情況下,能夠采用本發(fā)明的實(shí)施方式的制造方法來(lái)形成2層以上的中間層。另夕卜,在上述的實(shí)施方式中對(duì)所謂基板面入射型的光記錄介質(zhì)的制造方法進(jìn)行了說(shuō)明,當(dāng)然也能夠適用于所謂膜面入射型的光記錄介質(zhì)的制造方法。作為適用本發(fā)明的實(shí)施方式的光記錄介質(zhì)的另一個(gè)不例,有藍(lán)光光盤(pán),例如可以列舉具有在I個(gè)光記錄介質(zhì)上設(shè)有2層(雙層)記錄層的層疊構(gòu)造的2層BD — R光記錄介質(zhì)。當(dāng)然,同樣能夠?qū)⑸鲜龅闹虚g層的形成方法應(yīng)用于2層BD-R光記錄介質(zhì)。在這種情況下,取代前面說(shuō)明的粘接層107、第2基板108,而是形成厚度75 μ m左右的保護(hù)層。關(guān)于保護(hù)層的形成方法能夠采用旋涂法等過(guò)去公知的制造方法。此時(shí),在2層BD — R光記錄介質(zhì)中,在規(guī)格上將中間層的膜厚設(shè)為25 μ m左右。并且,在記錄層是3層以上的情況下,適當(dāng)設(shè)定中間層的膜厚。另外,在BD — R等從保護(hù)層側(cè)進(jìn)行激光光束照射的膜面入射型的光記錄介質(zhì)中,第I記錄層及第I反射層的層疊順序、以及第2記錄層及第2反射層的層疊順序分別與上述方式的順序相反。另外,在上述的實(shí)施方式中,將中間層設(shè)為僅由I層構(gòu)成的層,但為了提高放射線透射性壓模從中間層的剝離性,也能夠采用這樣的方法使用兩種以上的樹(shù)脂材料作為形成中間層的放射線固化性樹(shù)脂原料,將中間層設(shè)為不同的樹(shù)脂的層疊構(gòu)造。這種方法的優(yōu)點(diǎn)在于,例如放射線透射性壓模側(cè)采用與放射線透射性壓模的剝離性良好的樹(shù)脂材料A,數(shù)據(jù)基板側(cè)采用與數(shù)據(jù)基板的緊貼性良好的樹(shù)脂材料B等,由此能夠改善剝離性。在這種情況下,僅對(duì)中間層的具有大部分膜厚的一方樹(shù)脂材料應(yīng)用本發(fā)明的制造方法,也能夠得到本發(fā)明的效果。具體地講,例如可以列舉這樣的示例預(yù)先將所述樹(shù)脂材料A涂敷于放射線透射性壓模并使其固化,在形成由樹(shù)脂材料B構(gòu)成的樹(shù)脂原料層時(shí)采用本發(fā)明的制造方法。另外,關(guān)于記錄層材料,只要是能夠在通常的光記錄介質(zhì)中使用的材料,就沒(méi)有特別限制,能夠采用本發(fā)明的實(shí)施方式的制造方法。例如,不僅能夠采用有機(jī)色素材料,也能夠采用相變化型的記錄材料或部分氮化膜、部分氧化膜。作為相變化型記錄材料的具體例,例如優(yōu)選采用 SbTe 類(lèi)、GeSbTe 類(lèi)、InSbTe 類(lèi)、AgSbTe 類(lèi)、AgInSbTe 類(lèi)、GeSbSn 類(lèi)、InGeSbTe類(lèi)、InGeSbSnTe類(lèi)等以Sb為主成分的組成。作為部分氮化膜、部分氧化膜的具體例,可以列舉BiGeN、SnNbN等部分氮化膜、和TeOx、BiFOx等部分氧化膜。C.本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造裝置的優(yōu)選方式 上述的光記錄介質(zhì)的制造方法通過(guò)利用以下的制造裝置等來(lái)實(shí)施。具體地講,光記錄介質(zhì)在具有中心孔的圓板狀的基板上具有多個(gè)記錄層,在多個(gè)所述記錄層之間具有由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成的凹凸形狀的中間層,光記錄介質(zhì)的制造裝置在形成所述中間層的步驟中被使用,并至少具有以下的第一單元、第二單元、第三單元、第四單元。(I)第一單元本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造裝置具有的第一單元是這樣的單元在放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板之間涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料,使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板重疊。圖5 (a)示出了第一單元的一個(gè)示例。如圖5 (a)所示,第一單元至少具有基板保持臺(tái)部201,其將形成有記錄層的數(shù)據(jù)基板111的記錄層側(cè)作為上表面,大致水平地進(jìn)行保持,并使其旋轉(zhuǎn)等;壓模保持反轉(zhuǎn)臺(tái)部202,其以使放射線透射性壓模110的凹凸形成面?zhèn)瘸蔀閿?shù)據(jù)基板111側(cè)的方式,保持放射線透射性壓模110并使其旋轉(zhuǎn)等;以及噴嘴部203,其將紫外線固化性樹(shù)脂原料104a涂敷在數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110之間?;灞3峙_(tái)部201例如具有旋轉(zhuǎn)臺(tái)210,其用于放置數(shù)據(jù)基板111 ;中心軸211,其用于插通數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模Iio的中心孔;吸引孔212,其用于固定數(shù)據(jù)基板111以使其在旋轉(zhuǎn)臺(tái)210上不移動(dòng);以及用于使旋轉(zhuǎn)臺(tái)210旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)
坐寸ο另外,壓模保持反轉(zhuǎn)臺(tái)部202具有反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214,其具有通過(guò)吸引來(lái)保持放射線透射性壓模110的吸引孔213 ;輸送機(jī)構(gòu)(未圖示),其能夠沿任意方向輸送由反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214保持的放射線透射性壓模110 ;以及用于使反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示)
坐寸ο噴嘴部203具有噴嘴、使噴嘴的前端移動(dòng)到任意位置的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)、以及使預(yù)定量的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a從噴嘴的前端噴出的控制機(jī)構(gòu)(未圖示)等。另外,用于噴出紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的噴嘴可以只設(shè)置一個(gè),也可以設(shè)置兩個(gè)以上。在第一單元中,例如,如圖5 Ca)所示,利用基板保持臺(tái)部201和壓模保持旋轉(zhuǎn)臺(tái)部202分別輸送數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110,并且以貫通同一中心軸211且相對(duì)的方式進(jìn)行配置。然后,將噴嘴部203的噴嘴的前端插入兩個(gè)基板110和111之間,使預(yù)定量的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a從噴嘴部203噴出。此時(shí),使基板保持臺(tái)部201的旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和/或壓模保持旋轉(zhuǎn)臺(tái)部202的反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214沿?cái)?shù)據(jù)基板111的周向旋轉(zhuǎn),由此將紫外線固化性樹(shù)脂原料104a涂敷成圓環(huán)狀。然后,在涂敷紫外線固化性樹(shù)脂原料104a之后使噴嘴前端退出,使旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214雙方或者任意一方向上或者向下移動(dòng),由此使數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110重疊。另外,關(guān)于本單元中的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的涂敷量等制造條件、和在本單元中使用的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a、放射線透射性壓模110、數(shù)據(jù)基板111等的材料,能夠設(shè)為與在上述的光記錄介質(zhì)的制造方法中說(shuō)明的制造條件及材料相同的制造條件及材料。(2)第二單元第二單元是這樣的單元,對(duì)所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板在向使相互接近的方向加壓的狀態(tài)下進(jìn)行扭轉(zhuǎn),即使基板彼此相對(duì)旋轉(zhuǎn),由此使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸 在第二單元中,例如如圖5 (b)所示,使上述的基板保持臺(tái)部201的旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和/或壓模保持旋轉(zhuǎn)臺(tái)部202的反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214向上或者向下移動(dòng),對(duì)數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110向使其接近的方向加壓,使所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214雙方或者任意一方沿?cái)?shù)據(jù)基板111的周向旋轉(zhuǎn),由此使通過(guò)第一單元而涂敷的紫外線固化性樹(shù)脂原料104a在兩個(gè)基板面上延伸。在第二單元中,可以將旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214中任意一方固定,使另一方向上或者向下移動(dòng)來(lái)控制加壓狀態(tài),也可以使旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214雙方向上及向下移動(dòng)來(lái)控制加壓狀態(tài)。另外,在對(duì)放射線透射性壓模110和數(shù)據(jù)基板111進(jìn)行扭轉(zhuǎn)時(shí),可以以將一方固定、使另一方沿周向旋轉(zhuǎn)的方式,控制各個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214的旋轉(zhuǎn),也可以控制成為使放射線透射性壓模110和數(shù)據(jù)基板111沿相反方向旋轉(zhuǎn),從而使各個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)210和反轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)214沿相反方向旋轉(zhuǎn)。另外,在上述旋轉(zhuǎn)后,壓模保持旋轉(zhuǎn)臺(tái)部202被從放射線透射性壓模110上卸下,放射線透射性壓模Iio以與數(shù)據(jù)基板111重疊的狀態(tài)被保持在基板保持臺(tái)部201偵U。關(guān)于上述加壓控制時(shí)的按壓幅度、扭轉(zhuǎn)時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)角度等制造條件,能夠設(shè)為與在上述的光記錄介質(zhì)的制造方法中說(shuō)明的制造條件相同的制造條件。(3)第三單元第三單元是僅向所述基板的中心孔附近照射放射線,使所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化的單元。例如,如圖5 (C)所示,第三單元是具有用于放射放射線220的放射線源205、和能夠?qū)⒊蔀槟繕?biāo)的區(qū)域遮光的遮光機(jī)構(gòu)204的單元等。另外,優(yōu)選第三單元具有對(duì)放射線透射性壓模110的中心孔側(cè)進(jìn)行加壓的加壓機(jī)構(gòu),該加壓機(jī)構(gòu)也可以兼做遮光機(jī)構(gòu)。在第三單元中使用的放射線源205只要能夠在預(yù)定的定時(shí)照射能夠使紫外線固化性樹(shù)脂原料104a固化的放射線220,則沒(méi)有特別限制,能夠根據(jù)紫外線固化性樹(shù)脂原料104a的類(lèi)型和所需要的強(qiáng)度等適當(dāng)選擇。
另外,遮光機(jī)構(gòu)例如是由遮光掩膜、和能夠?qū)⒃撜诠庋谀ぽ斔偷饺我馕恢玫恼诠庋谀ぽ斔蜋C(jī)構(gòu)等構(gòu)成的遮光機(jī)構(gòu)等。圖5 (C)示出了加壓機(jī)構(gòu)兼做遮光機(jī)構(gòu)204的方式。加壓機(jī)構(gòu)具有一個(gè)或者兩個(gè)以上的錘(在圖5 (c)中指204a 204c)以及錘輸送機(jī)構(gòu)204d,錘輸送機(jī)構(gòu)204d支撐該錘204a 204c并能夠?qū)⑵漭斔偷椒派渚€透射性壓模110上的任意位置。例如,在照射放射線的區(qū)域中配置的錘204a選擇放射線透射性的材質(zhì),在不照射放射線的區(qū)域中配置的錘204b和204c選擇遮光性的錘,由此能夠利用錘同時(shí)進(jìn)行加壓和遮光。也可以是,如圖5 (C)所示,第三單元還具有從基板保持臺(tái)部201的中心軸211進(jìn)行放射線固化性樹(shù)脂原料104a的減壓吸引的吸引機(jī)構(gòu)(未圖示)等。在設(shè)有吸引機(jī)構(gòu)的情況下,能夠在從放射線源205照射放射線之前或者照射放射線的過(guò)程中,使放射線固化性樹(shù)脂原料104a盡快延伸到數(shù)據(jù)基板111的中心孔側(cè),能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間等。
另外,在上述的放射線照射后,遮光機(jī)構(gòu)204等被從放射線透射性壓模上卸下。關(guān)于本單元中的來(lái)自放射線源的放射線照射量和照射時(shí)間、加壓量、吸引機(jī)構(gòu)的吸引壓力等制造條件,能夠設(shè)為與在上述的光記錄介質(zhì)的制造方法中說(shuō)明的制造條件相同的制造條件。(4)第四單元第四單元是這樣的單元,為了使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸到具有所述記錄層的基板整體,在進(jìn)行具有所述記錄層的基板和所述放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使延伸到所述基板整體的所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板粘接。第四單元例如是如圖5 (C)所示具有以下部分的單元旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示),其使旋轉(zhuǎn)臺(tái)210旋轉(zhuǎn),使數(shù)據(jù)基板111和放射線透射性壓模110同時(shí)高速旋轉(zhuǎn);以及放射線源206,其在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)照射用于使放射線固化性樹(shù)脂原料104a固化的放射線220。在本方式中,優(yōu)選將旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及放射線源206控制成為,與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基本同時(shí)地從放射線源206開(kāi)始放射線220的照射,與旋轉(zhuǎn)結(jié)束基本同時(shí)地結(jié)束照射,但也可以使旋轉(zhuǎn)開(kāi)始和放射線的照射開(kāi)始、以及/或者旋轉(zhuǎn)結(jié)束和放射線的照射結(jié)束的時(shí)刻適當(dāng)錯(cuò)時(shí)。放射線源206可以采用與第三單元相同的放射線源,也可以采用不同的放射線源。并且,在本發(fā)明中,優(yōu)選第四單元除了上述的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和放射線源之外,還具有遮光機(jī)構(gòu)(未圖示)。通常僅僅單純地通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)延伸,致使放射線固化性樹(shù)脂原料104a的厚度是內(nèi)周變薄、外周變厚。因此,通過(guò)具有根據(jù)半徑來(lái)改變照射量的開(kāi)口的遮光掩膜進(jìn)行紫外線照射并使高速旋轉(zhuǎn),并且在高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中從中心孔側(cè)起順序地固化,由此能夠形成在整個(gè)面上大致均勻的膜厚。作為這種遮光機(jī)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)為由能夠調(diào)整來(lái)自放射線源206的照射量的遮光掩膜、和能夠?qū)⒃撜诠庋谀ぽ斔偷饺我馕恢玫恼诠庋谀ぽ斔蜋C(jī)構(gòu)等構(gòu)成的遮光機(jī)構(gòu)等。另外,關(guān)于本單元中的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)速和來(lái)自放射線源的放射線的照射等制造條件,能夠設(shè)為與在上述的光記錄介質(zhì)的制造方法中說(shuō)明的制造條件相同的制造條件。(5)其它
另外,在上述的實(shí)施方式中,上述第一單元 第四單元采用了相同的基板保持臺(tái)部201,但這些單元也可以采用不同的基板保持臺(tái)部201。并且,進(jìn)行了放射線透射性壓模110在上側(cè)、數(shù)據(jù)基板111在下側(cè)的說(shuō)明,但也可以將這兩個(gè)基板上下顛倒地配置各個(gè)單元。并且,本發(fā)明不限于上述結(jié)構(gòu),除上述結(jié)構(gòu)之外,也可以根據(jù)需要適當(dāng)具有其它結(jié)構(gòu)。實(shí)施例下面,通過(guò)實(shí)施例來(lái)更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的具體方式,本發(fā)明只要不脫離其宗旨就不受這些實(shí)施例的限定。(實(shí)施例I)實(shí)施例I示出了利用本發(fā)明的方法制造追加寫(xiě)入式2層藍(lán)光光盤(pán)的示例。在通過(guò)注射成形而制得的聚碳酸酯基板的表面上,經(jīng)過(guò)多個(gè)濺射制膜步驟形成了由無(wú)機(jī)膜構(gòu)成的追加寫(xiě)入式記錄膜(下面,將這樣在聚碳酸酯基板上形成有記錄膜的基板 記述為“數(shù)據(jù)基板”),該聚碳酸酯基板的表面上被轉(zhuǎn)印了軌道間距O. 32 μ m、深度20nm的溝槽,該聚碳酸酯基板的厚度為I. 1mm、直徑為120mm。通過(guò)與此不同的注射成形,制得在表面上被轉(zhuǎn)印了間距O. 32 μ m、深度20nm的溝槽的、厚度為O. 6mm、直徑為124mm的聚碳酸酯基板(下面,將這樣形成有溝槽的聚碳酸酯基板記述為“放射線透射性壓?!?。數(shù)據(jù)基板表面的溝槽和放射線透射性壓模表面的溝槽采用將在注射成形時(shí)使用的鎳制壓模的溝槽的凹凸取向顛倒的溝槽,由此形成反向的凹凸取向。上述數(shù)據(jù)基板、放射線透射性壓模都是在中央形成有直徑15mm的中心孔,而且通過(guò)注射成形預(yù)先在以數(shù)據(jù)基板和放射線透射性壓模的中央為中心的直徑20_的位置、形成如圖4所示的高度約15 μ m的圓環(huán)狀的小凸起300。然后,將上述放射線透射性壓模固定在能夠高速旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)上,使用前端的外徑為I. 08mm、內(nèi)徑為O. 72mm的噴嘴,在上述放射線透射性壓模上的半徑166mm的位置,將常溫下的粘度約為280cP的紫外線固化性樹(shù)脂原料A (下面,簡(jiǎn)稱為“樹(shù)脂A”)涂敷成圓環(huán)狀。涂敷量約3g。在樹(shù)脂A于數(shù)秒后自然地充分到達(dá)放射線透射性壓模上的直徑20mm的小凸起時(shí)開(kāi)始高速旋轉(zhuǎn),在以9100rpm旋轉(zhuǎn)4秒后,對(duì)放射線透射性壓模上面的氛圍進(jìn)行氮?dú)馇鍜?,并照?0mW/cm2的紫外線I秒鐘,使樹(shù)脂A固化。此時(shí)的樹(shù)脂A的固化膜的厚度約為10 μ m。然后,將形成有這種樹(shù)脂A的固化膜的放射線透射性壓模和數(shù)據(jù)基板固定在另一個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上,然后使兩者以3_間隔相對(duì)。使兩者的旋轉(zhuǎn)臺(tái)同步地旋轉(zhuǎn)I圈,使用前端的外徑為I. 49mm、內(nèi)徑為I. Ilmm的噴嘴,在這種間隙中從放射線固化性透射性壓模和數(shù)據(jù)基板的中心起半徑30mm的位置涂敷約3g的、常溫下的粘度約為380cP的紫外線固化性樹(shù)脂原料B (下面,簡(jiǎn)稱為“樹(shù)脂B”)。此時(shí),使數(shù)據(jù)基板的中心孔和放射線透射性壓模的中心孔貫通同一中心軸,并進(jìn)行調(diào)整使兩個(gè)基板的偏心量在30 μ m以內(nèi)。然后,將數(shù)據(jù)基板的旋轉(zhuǎn)臺(tái)固定,再將兩個(gè)基板的間隔縮小45 μ m,僅使放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)臺(tái)以15rpm旋轉(zhuǎn)180°進(jìn)行扭轉(zhuǎn),使樹(shù)脂B延伸。然后,卸下放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)臺(tái),在從放射線透射性壓模的中心孔附近到盤(pán)中部圓周的范圍內(nèi),在半徑為7. 5mm Ilmm的位置放置能夠充分透射紫外線的石英環(huán),使內(nèi)周錘和外周錘接觸半徑為Ilmm 28mm的位置,并施加荷重合計(jì)80g。在此,內(nèi)周錘和外周錘采用遮光性的材質(zhì)。由此,使兩個(gè)基板上的小凸起彼此相對(duì),在該狀態(tài)下使樹(shù)脂B自然延伸到兩個(gè)基板之間,在其內(nèi)周側(cè)延伸端剛剛到達(dá)小凸起后,從放射線透射性壓模的上方僅向中心孔附近照射高壓水銀燈的紫外線。在此,內(nèi)周錘發(fā)揮遮光掩膜的作用,使只能向半徑Ilmm以內(nèi)的圓形區(qū)域中照射紫外線。此時(shí),除了向內(nèi)周側(cè)的自然延伸之外,從在貫通兩個(gè)基板的中心孔的中心軸的側(cè)面設(shè)置的減壓吸引用的細(xì)孔,以_12kPa的壓力對(duì)樹(shù)脂進(jìn)行減壓吸引,由此能夠縮短樹(shù)脂的內(nèi)周側(cè)延伸端到達(dá)上述凸起所需要的時(shí)間。此時(shí)的紫外線光量是70mW/cm2,照射時(shí)間為I秒。雖然合適的照射量取決于樹(shù)脂B的固化性能以及樹(shù)脂A的固化膜和放射線透射性壓模的透光性,但是設(shè)定為照射范圍的樹(shù)脂B完全固化的程度的照射量。然后,取下上述錘和石英環(huán),將兩個(gè)基板固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上使高速旋轉(zhuǎn),使樹(shù)脂B延伸。此時(shí),將轉(zhuǎn)速設(shè)為7800rpm,以便使兩個(gè)基板之間的中間層的厚度達(dá)到所要求的膜厚,此處是達(dá)到約25 μ m的厚度。通常僅僅單純地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)延伸,致使樹(shù)脂原料的厚度在內(nèi)周變薄在外周變厚,因 而通過(guò)具有根據(jù)半徑來(lái)改變照射量的開(kāi)口的遮光掩膜進(jìn)行紫外線照射并使高速旋轉(zhuǎn),并且在高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中先從內(nèi)周側(cè)起順序地固化,由此能夠形成在整個(gè)面上大致均勻的膜厚。這種膜厚調(diào)整用紫外線照射是這樣進(jìn)行的,即與旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基本同時(shí)地開(kāi)始照射,與旋轉(zhuǎn)結(jié)束基本同時(shí)地結(jié)束照射。根據(jù)樹(shù)脂B的固化性、樹(shù)脂A的固化膜的紫外線透射性,適當(dāng)調(diào)整遮光掩膜的形狀及紫外線照射強(qiáng)度,由此能夠在盤(pán)記錄區(qū)域整個(gè)面中將中間層的膜厚的變動(dòng)抑制為(最大膜厚-最小膜厚)2 μ m程度。在截止到旋轉(zhuǎn)結(jié)束的期間中不存在如下問(wèn)題,即空氣從直徑20mm的樹(shù)脂B的固化膜的內(nèi)周端進(jìn)入而使得基板彼此分離,或者氣泡從樹(shù)脂內(nèi)周端進(jìn)入。在使高速旋轉(zhuǎn)停止后,從放射線透射性壓模側(cè)繼續(xù)向基板整面照射紫外線,使樹(shù)脂B完全固化,借助機(jī)械力量使放射線透射性壓模與樹(shù)脂A的固化膜之間剝離。通過(guò)將與聚碳酸酯的剝離性能良好的樹(shù)脂材料用作樹(shù)脂A、將與聚碳酸酯的緊密粘接性能良好的樹(shù)脂材料用作樹(shù)脂B,在借助機(jī)械力量將上述兩個(gè)基板剝離時(shí),能夠在放射線透射性壓模與樹(shù)月旨A之間進(jìn)行剝離。在將這樣制得的數(shù)據(jù)基板、樹(shù)脂B、樹(shù)脂A按照該順序進(jìn)行層疊得到的基板上,通過(guò)多次濺射步驟來(lái)層疊追加寫(xiě)入式記錄膜,然后旋轉(zhuǎn)涂敷紫外線固化樹(shù)脂C,由此形成了厚度約75 μ m的保護(hù)層。此時(shí),需要從相當(dāng)于盤(pán)卡緊部的內(nèi)周端的直徑23mm的部分起形成均勻的保護(hù)層,但通過(guò)如上所述使該區(qū)域中的中間層形成為大致均勻狀態(tài),在涂敷樹(shù)脂C時(shí)能夠形成均勻的保護(hù)層,而且不會(huì)卷入氣泡。對(duì)通過(guò)以上步驟制得的本發(fā)明的實(shí)施例I的光記錄介質(zhì)的伺服特性進(jìn)行評(píng)價(jià),其結(jié)果如表I所示。在向形成于中間層上的第2記錄層進(jìn)行記錄再現(xiàn)時(shí)評(píng)價(jià)伺服殘余(寸一
殘?jiān)?,由此進(jìn)行伺服特性的評(píng)價(jià)。在進(jìn)行數(shù)據(jù)的記錄再現(xiàn)時(shí),需要使光拾取器的物鏡自動(dòng)地上下移動(dòng),以便使記錄再現(xiàn)用激光光束的焦點(diǎn)追隨于記錄面。伺服殘余是表示物鏡的自動(dòng)追隨時(shí)的移動(dòng)距離的指標(biāo),在對(duì)光記錄介質(zhì)進(jìn)行記錄再現(xiàn)時(shí),如果伺服殘余過(guò)大,則產(chǎn)生伺服不良,導(dǎo)致產(chǎn)生記錄再現(xiàn)錯(cuò)誤。藍(lán)光光盤(pán)的伺服殘余的值在2倍速記錄中優(yōu)選45nm以下,在4倍速記錄中優(yōu)選80nm。在本發(fā)明中,根據(jù)為了使記錄再現(xiàn)時(shí)的光拾取器的物鏡自動(dòng)追隨而需要的驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)計(jì)算伺服殘余,針對(duì)從內(nèi)周到外周進(jìn)行記錄再現(xiàn)時(shí)的各個(gè)半徑的伺服殘余的值,按照2倍速和4倍速的情況進(jìn)行了評(píng)價(jià)。根據(jù)表I,在實(shí)施例I的情況下,在光記錄介質(zhì)的整個(gè)面中,對(duì)于2倍速的情況得到了小于45nm的值,對(duì)于4倍速的情況得到了小于80nm的值,能夠得到良好的伺服特性。這說(shuō)明了中間層的膜厚的均勻性良好,因而物鏡能夠充分追隨。(比較例I)除了不進(jìn)行扭轉(zhuǎn)之外,其它與實(shí)施例I相同地制得光記錄介質(zhì),并對(duì)伺服殘余進(jìn)行了評(píng)價(jià),其結(jié)果如表2所示。雖然在2倍速時(shí)得到了小于45nm的值,但是在4倍速時(shí)在內(nèi)周側(cè)是超過(guò)80mm的值。這可以理解為由于不進(jìn)行扭轉(zhuǎn),因而在內(nèi)周側(cè)的中間層的膜厚均勻性惡化。(比較例2)除了不進(jìn)行內(nèi)周固化之外,其它與實(shí)施例I相同地制得光記錄介質(zhì),在不進(jìn)行內(nèi) 周固化的情況下,在第四步驟中的高速延伸時(shí)空氣從內(nèi)周進(jìn)入中間層,致使上面的放射線透射性壓模剝離,光記錄介質(zhì)的制造比較困難。針對(duì)上述結(jié)果,通過(guò)采用本發(fā)明的光記錄介質(zhì)的制造方法,能夠形成更均勻的中間層,能夠制造在中間層上的第2記錄層的高速記錄時(shí)也具有良好的伺服特性的光記錄介質(zhì)。[表I]
權(quán)利要求
1.一種光記錄介質(zhì)的制造方法,該光記錄介質(zhì)在具有中心孔的圓板狀的基板上具有多個(gè)記錄層,在多個(gè)所述記錄層之間具有中間層,該中間層由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成,具有凹凸形狀,其特征在于, 在形成所述中間層的步驟中按如下順序至少包括 第一步驟,在放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板之間涂敷所述放射線固化性樹(shù)脂原料,使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板重疊; 第二步驟,在朝相互接近的方向加壓的狀態(tài)下對(duì)所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板進(jìn)行扭動(dòng),由此使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸; 第三步驟,僅向所述基板的中心孔附近照射放射線,使所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化;以及 第四步驟,為了使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸到整個(gè)具有所述記錄層的基板,在進(jìn)行具有所述記錄層的基板和所述放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使延伸到整個(gè)所述基板的所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板粘接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,所述基板和所述放射線透射性壓模都是在如下位置形成有圓環(huán)狀的小凸起在所述第一步驟中重疊的面?zhèn)鹊?、比卡緊區(qū)域更靠近中心孔側(cè)的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第二步驟中包括使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板相對(duì)旋轉(zhuǎn)的扭轉(zhuǎn)步驟,將該扭轉(zhuǎn)步驟中的扭轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速設(shè)為O. Irpm 30rpm,將扭轉(zhuǎn)之間的按壓幅度設(shè)為10 μ m 100 μ m,將扭轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角度設(shè)為180° 360°的范圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第三步驟中,將照射放射線的范圍設(shè)為從所述基板的中心起半徑15_以內(nèi)的范圍。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第二步驟與所述第三步驟之間包括這樣的步驟通過(guò)向所述放射線透射性壓模和所述基板之間施加50g IOOg的荷重進(jìn)行加壓。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,在所述第二步驟與第三步驟之間包括這樣的步驟從用于固定所述放射線透射性壓模和所述基板的中心孔的中心軸對(duì)所述放射線固化性樹(shù)脂原料進(jìn)行減壓吸弓I。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,所述放射線固化性樹(shù)脂原料的粘度在50cP IOOOcP之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求2 7中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,所述放射線透射性壓模的所述小凸起與所述基板的所述小凸起的高度的合計(jì)值為所述中間層的目標(biāo)膜厚±15μπι以內(nèi),所述放射線透射性壓模的所述小凸起與所述基板的所述小凸起的半徑方向的錯(cuò)位為O. 5mm以內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6 8中任意一項(xiàng)所述的光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,從所述中心軸對(duì)所述放射線固化性樹(shù)脂原料進(jìn)行減壓吸引的步驟中的吸引壓力為一 IkPa 一20kPa的范圍。
10.一種光記錄介質(zhì)的制造裝置,該光記錄介質(zhì)在具有中心孔的圓板狀的基板上具有多個(gè)記錄層,在多個(gè)所述記錄層之間具有中間層,該中間層由放射線固化性樹(shù)脂原料構(gòu)成,具有凹凸形狀,其特征在于,該制造裝置用于形成所述中間層的步驟,至少具有 第一單元,其在放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板之間涂敷所述放射線固化性樹(shù)脂原料,使所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板重疊; 第二單元,在朝相互接近的方向加壓的狀態(tài)下對(duì)所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板進(jìn)行扭動(dòng),由此使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸; 第三單元,其僅向 所述基板的中心孔附近照射放射線,使所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化;以及 第四單元,其為了使所述放射線固化性樹(shù)脂原料延伸到整個(gè)具有所述記錄層的基板,在進(jìn)行具有所述記錄層的基板和所述放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使延伸到整個(gè)所述基板的所述放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將所述放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板粘接。
全文摘要
提供改善了制造效率的光記錄介質(zhì)的制造方法及其制造裝置。一種光記錄介質(zhì)的制造方法,該光記錄介質(zhì)在基板上具有多個(gè)記錄層,在多個(gè)記錄層之間具有凹凸形狀的中間層,該制造方法在形成中間層的步驟中至少包括第一步驟,在放射線透射性壓模和具有所述記錄層的基板之間涂敷放射線固化性樹(shù)脂原料,使放射線透射性壓模和具有記錄層的基板重疊;第二步驟,在朝相互接近的方向加壓的狀態(tài)下對(duì)放射線透射性壓模和具有記錄層的基板進(jìn)行扭動(dòng),由此使放射線固化性樹(shù)脂原料延伸;第三步驟,僅向基板的中心孔附近照射放射線,使放射線固化性樹(shù)脂原料固化;以及第四步驟,在進(jìn)行具有記錄層的基板和放射線透射性壓模的旋轉(zhuǎn)的同時(shí),使放射線固化性樹(shù)脂原料固化,將放射線透射性壓模和具有記錄層的基板粘接。
文檔編號(hào)G11B7/24GK102812516SQ20118001358
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2011年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月9日
發(fā)明者野尻誠(chéng)喜 申請(qǐng)人:三菱化學(xué)媒體股份有限公司