一種半導(dǎo)體工廠用rfid讀卡器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種射頻識(shí)別(RFID)讀寫裝置，尤其涉及一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器。
【背景技術(shù)】
[0002]RFID (Rad1 Frequency Identificat1n，射頻識(shí)別)是一種利用射頻通信實(shí)現(xiàn)的非接觸式自動(dòng)識(shí)別技術(shù)，RFID標(biāo)簽具有體積小、容量大、壽命長(zhǎng)、可重復(fù)使用等特點(diǎn)，可支持快速讀寫、非可視識(shí)別、移動(dòng)識(shí)別、多目標(biāo)識(shí)別、定位及長(zhǎng)期跟蹤管理，一個(gè)典型的基于RFID技術(shù)的應(yīng)用系統(tǒng)由RFID讀卡器和RFID電子標(biāo)簽、RFID應(yīng)用軟件三部分組成，利用RFID射頻技術(shù)在讀卡器和電子標(biāo)簽之間進(jìn)行非接觸的數(shù)據(jù)傳輸，達(dá)到目標(biāo)識(shí)別和數(shù)據(jù)交換的目的。
[0003]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，晶圓代工產(chǎn)量的上升。制造過(guò)程中需要將各類晶圓承載盒在不同位置間移動(dòng)，因此通過(guò)RFID追蹤與定位晶圓盒的位置，將大幅提高生產(chǎn)效率。
[0004]目前還沒(méi)有一種讀寫器同時(shí)兼容8”，12”兩種尺寸載具電子標(biāo)簽的讀寫。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的:提供一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，低成本，高效率，兼容8”、12”晶圓承載盒，有效的解決了半導(dǎo)體工廠內(nèi)多種尺寸載具貼附的電子標(biāo)簽位置不同而需要使用特定RFID讀寫器獲取電子標(biāo)簽內(nèi)容的問(wèn)題。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0007]—種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，包括兼容儲(chǔ)位、天線組件、動(dòng)作傳感器、無(wú)線射頻讀寫組件及通訊處理組件;所述的兼容儲(chǔ)位上設(shè)有兼容8”載具及12”載具的凹陷部;所述的動(dòng)作傳感器設(shè)置在所述的兼容儲(chǔ)位上，圍繞在所述的凹陷部的邊緣處;所述的天線組件包括前置天線及后置天線，所述的前置天線通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀寫12”載具，所述的后置天線通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀寫8”載具;所述的前置天線及后置天線由銅線圈制成，且外部包覆有ABS外殼;所述的前置天線由一個(gè)220uH圓形天線與一個(gè)220uH棒狀天線串聯(lián)構(gòu)成；所述的無(wú)線射頻讀寫組件包括讀寫裝置及感應(yīng)器，所述的讀寫裝置發(fā)出134.2kHz的電磁波對(duì)所述的感應(yīng)器充電，所述的感應(yīng)器將密碼通過(guò)FM的調(diào)變方式傳送到所述的天線組件，所述的天線組件接收密碼并完成解密、讀寫操作;所述的通訊處理組件上設(shè)有RS232接口，所述的通訊處理組件通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀取到8”載具及12”載具電子標(biāo)簽中的內(nèi)容，并通過(guò)微控制器經(jīng)RS232串口連接線傳送至計(jì)算機(jī)。
[0008]上述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其中，所述的天線組件的電感值為430uH-460uHo
[0009]上述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其中，所述的220uH圓形天線的直徑為90mm，厚度為1.5mmο
[0010]上述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其中，所述的220uH棒狀天線的長(zhǎng)度為30mm，直徑為7mm。
[0011]上述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其中，所述的后置天線為方塊天線，所述的方塊天線的長(zhǎng)度為87mm，寬度為64mm，高度為4mm;且所述的后置天線上的所述的ABS外殼的長(zhǎng)度為180mm，寬度為138mm，高度為4.5mm。
[0012]上述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其中，所述的12”載具的讀取面積為120mm*120mmο
[0013]上述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其中，所述的動(dòng)作傳感器為紅外傳感器。
[0014]本實(shí)用新型采用模塊化設(shè)計(jì)，電路設(shè)計(jì)精簡(jiǎn)，方便檢修；讀寫器無(wú)線電頻譜為134.2kHz，接收靈敏度高，讀寫標(biāo)簽的距離遠(yuǎn)；系統(tǒng)功耗低，同時(shí)兼容8”，12”多種類型載具的讀寫，支持多協(xié)議。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器的兼容儲(chǔ)位的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器的前置天線的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3是本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器的后置天線的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例。
[0019]請(qǐng)參見附圖1至附圖3所示，一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，包括兼容儲(chǔ)位1、天線組件、動(dòng)作傳感器3、無(wú)線射頻讀寫組件及通訊處理組件;所述的兼容儲(chǔ)位I上設(shè)有兼容8”載具及12”載具的凹陷部11，通過(guò)兼容儲(chǔ)位I，可以輕松的將不同尺寸的載具有效的放入讀寫裝置有效范圍內(nèi)；所述的動(dòng)作傳感器3設(shè)置在所述的兼容儲(chǔ)位I上，圍繞在所述的凹陷部11的邊緣處;所述的天線組件包括前置天線21及后置天線22，所述的前置天線21通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀寫12”載具，所述的后置天線22通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀寫8”載具;所述的前置天線21及后置天線22由銅線圈制成，且外部包覆有ABS外殼;所述的前置天線21由一個(gè)220uH圓形天線與一個(gè)220uH棒狀天線串聯(lián)構(gòu)成;所述的無(wú)線射頻讀寫組件包括讀寫裝置及感應(yīng)器，所述的讀寫裝置發(fā)出134.2kHz的電磁波對(duì)所述的感應(yīng)器充電，所述的感應(yīng)器將密碼通過(guò)FM的調(diào)變方式傳送到所述的天線組件，所述的天線組件接收密碼并完成解密、讀寫操作;所述的通訊處理組件上設(shè)有RS232接口，所述的通訊處理組件通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀取到8”載具及12”載具電子標(biāo)簽中的內(nèi)容，并通過(guò)微控制器經(jīng)RS232串口連接線傳送至計(jì)算機(jī)。
[0020]所述的天線組件的電感值為430uH-460uH。
[0021 ] 所述的220uH圓形天線的直徑為90mm，厚度為1.5mm。
[0022]所述的220uH棒狀天線的長(zhǎng)度為30mm，直徑為7mm。
[0023]所述的后置天線22為方塊天線，所述的方塊天線的長(zhǎng)度為87mm，寬度為64mm，高度為4mm;且所述的后置天線22上的所述的ABS外殼的長(zhǎng)度為180mm，寬度為138mm，高度為4.5mm0
[0024]所述的12”載具的讀取面積為120mm* 120mm D
[0025]所述的動(dòng)作傳感器3為紅外傳感器，有效監(jiān)測(cè)載具是否放置于兼容儲(chǔ)位I上，當(dāng)紅外傳感器感知到物體靠近時(shí)，用于觸發(fā)無(wú)線射頻讀寫組件，對(duì)RFID標(biāo)簽進(jìn)行讀寫操作。
[0026]通過(guò)前置天線21與后置天線22，有效的讀取各尺寸載具上貼附的電子標(biāo)簽。
[0027]由讀寫裝置發(fā)出134.2kHz的電磁波對(duì)感應(yīng)器充電，此時(shí)若有感應(yīng)器在此磁場(chǎng)范圍內(nèi)，就會(huì)有磁能轉(zhuǎn)換的遠(yuǎn)離，將接收到的電磁波轉(zhuǎn)換為其所需之電能，并將讀寫器所存有的密碼以FM的調(diào)變方式傳送回去，此時(shí)讀寫裝置停止發(fā)射電磁波，并經(jīng)由天線組件接收傳回的密碼，進(jìn)行解密的動(dòng)作，如此便完成讀寫操作。
[0028]在工業(yè)領(lǐng)域，RS232接口采用的比較多，因此在通訊處理組件上有串口通訊。
[0029]綜上所述，本實(shí)用新型采用模塊化設(shè)計(jì)，電路設(shè)計(jì)精簡(jiǎn)，方便檢修;讀寫器無(wú)線電頻譜為134.2kHz，接收靈敏度高，讀寫標(biāo)簽的距離遠(yuǎn);系統(tǒng)功耗低，同時(shí)兼容8”，12”多種類型載具的讀寫，支持多協(xié)議。
[0030]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換，或直接或間接運(yùn)用附屬在其他相關(guān)產(chǎn)品的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:包括兼容儲(chǔ)位、天線組件、動(dòng)作傳感器、無(wú)線射頻讀寫組件及通訊處理組件;所述的兼容儲(chǔ)位上設(shè)有兼容8”載具及12”載具的凹陷部;所述的動(dòng)作傳感器設(shè)置在所述的兼容儲(chǔ)位上，圍繞在所述的凹陷部的邊緣處;所述的天線組件包括前置天線及后置天線，所述的前置天線通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀寫12”載具，所述的后置天線通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀寫8”載具;所述的前置天線及后置天線由銅線圈制成，且外部包覆有ABS外殼;所述的前置天線由一個(gè)220uH圓形天線與一個(gè)220uH棒狀天線串聯(lián)構(gòu)成;所述的無(wú)線射頻讀寫組件包括讀寫裝置及感應(yīng)器，所述的讀寫裝置發(fā)出134.2kHz的電磁波對(duì)所述的感應(yīng)器充電，所述的感應(yīng)器將密碼通過(guò)FM的調(diào)變方式傳送到所述的天線組件，所述的天線組件接收密碼并完成解密、讀寫操作;所述的通訊處理組件上設(shè)有RS232接口，所述的通訊處理組件通過(guò)所述的無(wú)線射頻讀寫組件讀取到8”載具及12”載具電子標(biāo)簽中的內(nèi)容，并通過(guò)微控制器經(jīng)RS232串口連接線傳送至計(jì)算機(jī)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:所述的天線組件的電感值為430uH-460uH。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:所述的220uH圓形天線的直徑為90mm，厚度為1.5mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:所述的220uH棒狀天線的長(zhǎng)度為30mm，直徑為7_。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:所述的后置天線為方塊天線，所述的方塊天線的長(zhǎng)度為87mm，寬度為64mm，高度為4mm;且所述的后置天線上的所述的ABS外殼的長(zhǎng)度為180mm，寬度為138mm，高度為4.5mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:所述的12”載具的讀取面積為120mm* 120mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，其特征在于:所述的動(dòng)作傳感器為紅外傳感器。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體工廠用RFID讀卡器，包括兼容儲(chǔ)位、天線組件、動(dòng)作傳感器、無(wú)線射頻讀寫組件及通訊處理組件；天線組件其中前置天線用于讀寫FOUP，后置天線讀寫POD，動(dòng)作傳感器主要通過(guò)紅外觸發(fā)。當(dāng)在線操作人員將各式8”，12”FOUP或POD放入兼容儲(chǔ)位上，該讀寫裝置即會(huì)通過(guò)紅外傳感器感應(yīng)到晶圓承載盒并觸發(fā)無(wú)線射頻感應(yīng)器讀寫晶圓承載盒上的無(wú)線射頻標(biāo)簽并取得數(shù)據(jù)，如：識(shí)別數(shù)據(jù)(ID)。上報(bào)給工廠自動(dòng)化執(zhí)行系統(tǒng)，讓產(chǎn)線工人能通過(guò)PC準(zhǔn)確、快速的在系統(tǒng)端查到產(chǎn)品所在位置，及時(shí)下達(dá)作業(yè)指令。
【IPC分類】G06K17/00
【公開號(hào)】CN205354071
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620116435
【發(fā)明人】蘇盼勇, 邱玨敏, 劉幸偉, 潘曉
【申請(qǐng)人】上海暉哲通訊科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2016年2月5日