產(chǎn)生布局圖案的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種產(chǎn)生布局圖案的方法，其包括下列步驟。提供起始布局，起始布局圖案包括多條第一條狀圖案于第一群組區(qū)中，各第一條狀圖案沿第一方向延伸，且第一條狀圖案于第二方向上具有相同的節(jié)距。產(chǎn)生多條錨點(diǎn)帶狀圖案，各錨點(diǎn)帶狀圖案沿第一方向延伸，且錨點(diǎn)帶狀圖案于第二方向上具有相同的節(jié)距。至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案于第二方向上的兩邊緣分別與兩條相鄰的第一條狀圖案的邊緣對(duì)齊。至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案與兩條相鄰的第一條狀圖案之間的第一間隔重疊。在與錨點(diǎn)帶狀圖案重疊的第一間隔處產(chǎn)生第一軸心圖案，并將第一軸心圖案輸出至光掩模。
【專利說(shuō)明】
產(chǎn)生布局圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種產(chǎn)生布局圖案的方法，尤指一種利用錨點(diǎn)帶狀圖案來(lái)形成軸心圖案的產(chǎn)生布局圖案的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著場(chǎng)效晶體管(field effect transistors, FETs)元件尺寸持續(xù)地縮小，現(xiàn)有的平面式(planar)場(chǎng)效晶體管元件的發(fā)展已面臨到制作工藝上的極限。因此，為了克服制作工藝限制，以非平面(non-planar)的場(chǎng)效晶體管元件例如鰭狀場(chǎng)效晶體管(fin fieldeffect transistor, FinFET)元件來(lái)取代平面晶體管元件已成為目前業(yè)界的發(fā)展趨勢(shì)。
[0003]一般而言，鰭狀場(chǎng)效晶體管內(nèi)的圖案化結(jié)構(gòu)，例如鰭狀結(jié)構(gòu)(fin structure)，可通過(guò)側(cè)壁圖案轉(zhuǎn)移(sidewall image transfer, SIT)技術(shù)制得，其程序大致包括:提供一包括有欲形成的圖案化結(jié)構(gòu)的布局圖案至電腦系統(tǒng)，經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)倪\(yùn)算以產(chǎn)生相對(duì)應(yīng)的軸心(mandrel)圖案并將此軸心圖案定義于光掩模中，再利用此光掩模進(jìn)行光刻制作工藝以及對(duì)應(yīng)的蝕刻制作工藝，進(jìn)而獲得以SIT技術(shù)形成的圖案化結(jié)構(gòu)。然而，由于一般在芯片上的各群組(cluster)區(qū)的鰭狀結(jié)構(gòu)并不一定會(huì)彼此對(duì)齊(一般稱之為可能不會(huì)全部都o(jì)nglobal grid)，故必須對(duì)各群組區(qū)的鰭狀結(jié)構(gòu)的布局圖案分別進(jìn)行運(yùn)算才能得到所需的軸心圖案而造成運(yùn)算所需時(shí)間增加。因此，尚需要一種改良式的產(chǎn)生布局圖案的方法，以加快對(duì)于更復(fù)雜的圖案化結(jié)構(gòu)的處理速度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種產(chǎn)生布局圖案的方法，利用錨點(diǎn)帶狀圖案來(lái)形成軸心圖案，由此達(dá)到簡(jiǎn)化運(yùn)算方式以及加快處理速度的目的。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，本發(fā)明提供一種產(chǎn)生布局圖案的方法，包括下列步驟。首先，提供一起始布局圖案至電腦系統(tǒng)，起始布局圖案包括多條第一條狀圖案于一第一群組區(qū)中，各第一條狀圖案沿一第一方向延伸，且第一條狀圖案于一第二方向上具有相同的節(jié)距(pitch)。然后，產(chǎn)生多條錨點(diǎn)帶狀圖案，各錨點(diǎn)帶狀圖案沿第一方向延伸，且錨點(diǎn)帶狀圖案于第二方向上具有相同的節(jié)距，至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案于第二方向上的兩邊緣分別與兩條相鄰的第一條狀圖案的邊緣對(duì)齊，且至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案與兩條相鄰的第一條狀圖案之間的一第一間隔重疊。接著，在與錨點(diǎn)帶狀圖案重疊的第一間隔處產(chǎn)生一第一軸心圖案，并將第一軸心圖案輸出至一光掩模。
[0006]通過(guò)本發(fā)明所提供的產(chǎn)生布局圖案的方法，可利用錨點(diǎn)帶狀圖案決定軸心圖案的位置，故可同時(shí)處理位于不同群組區(qū)中的條狀圖案，由此達(dá)到簡(jiǎn)化運(yùn)算方式以及加快處理速度等目的。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1至圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖；
[0008]圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法的流程圖；
[0009]圖5與圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法不意圖；
[0010]圖7至圖10為本發(fā)明第三實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖；
[0011]圖11為本發(fā)明第三實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法的流程圖；
[0012]圖12與圖13為本發(fā)明第四實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖。
[0013]主要元件符號(hào)說(shuō)明
[0014]11第一塊狀圖案
[0015]12第二塊狀圖案
[0016]21第一條狀圖案
[0017]22第二條狀圖案
[0018]31錨點(diǎn)帶狀圖案
[0019]3IA上部
[0020]3IB下部
[0021]41第一軸心圖案
[0022]42第二軸心圖案
[0023]101、102起始布局圖案
[0024]Al第一間隔
[0025]A2第二間隔
[0026]Dl第一方向
[0027]D2第二方向
[0028]D3垂直方向
[0029]P21第一節(jié)距
[0030]P22第二節(jié)距
[0031]P31第三節(jié)距
[0032]Rl第一群組區(qū)
[0033]R2第二群組區(qū)
[0034]S11-S16、S21-S28步驟
[0035]SPll第六間距
[0036]SP12第七間距
[0037]SP21第一間距
[0038]SP22第二間距
[0039]SP31第三間距
[0040]Wll第六寬度
[0041]W12第七寬度
[0042]W21第一寬度
[0043]W22第二寬度
[0044]W31第三寬度
[0045]W41第四寬度
[0046]W42第五寬度
【具體實(shí)施方式】
[0047]請(qǐng)參閱圖1至圖4。圖1至圖3所繪示為本發(fā)明第一實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖。圖4所繪示為本實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法的流程圖。本實(shí)施例提供一種產(chǎn)生布局圖案的方法，包括下列步驟。首先，如圖1與圖4所示，進(jìn)行步驟S11，提供一起始布局圖案101至電腦系統(tǒng)，本實(shí)施例的起始布局圖案101包括多條第一條狀圖案21以及多條第二條狀圖案22，但并不以此為限。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中也可使起始布局圖案101僅包括多條第一條狀圖案21。第一條狀圖案21至少部分位于一第一群組區(qū)Rl中，第二條狀圖案22至少部分位于一第二群組區(qū)R2中，第一群組區(qū)Rl與第二群組區(qū)R2互相分離，但并不以此為限。各第一條狀圖案21沿一第一方向Dl延伸，且多條第一條狀圖案21沿一第二方向D2以相同的節(jié)距(pitch)重復(fù)排列。第一方向Dl大體上與第二方向D2正交，但并不以此為限。各第二條狀圖案22沿第一方向Dl延伸，且多條第二條狀圖案22沿第二方向D2以相同的節(jié)距重復(fù)排列。換句話說(shuō)，第二條狀圖案22與第一條狀圖案21互相平行，但第二條狀圖案22并未與第一條狀圖案21對(duì)齊。
[0048]進(jìn)一步說(shuō)明，本實(shí)施例的各第一條狀圖案21優(yōu)選具有相同的寬度，各第二條狀圖案22優(yōu)選具有相同的寬度，兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的間距與兩條相鄰的第二條狀圖案22之間的間距相同，且各第一條狀圖案21的寬度優(yōu)選與各第二條狀圖案22的寬度相同，但并不以此為限。舉例來(lái)說(shuō)，各第一條狀圖案21于第二方向D2上具有一第一寬度W21，各第二條狀圖案22于第二方向D2上具有一第二寬度W22，兩條相鄰的第一條狀圖案21之間具有一第一間距SP21，兩條相鄰的第二條狀圖案22之間具有一第二間距SP22，第一條狀圖案21具有一第一節(jié)距P21，而第二條狀圖案22具有一第二節(jié)距P22。第一節(jié)距P21等于一個(gè)第一寬度W21以及一個(gè)第一間距SP21的總和，第二節(jié)距P22等于一個(gè)第二寬度W22以及一個(gè)第二間距SP22的總和。第一寬度W21優(yōu)選與第二寬度W22相等，第一間距SP21優(yōu)選與第二間距SP22相等，而第一節(jié)距P21優(yōu)選與第二節(jié)距P22相等，但并不以此為限。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，也可視需要使第一節(jié)距P21與第二節(jié)距P22相等，但使第一寬度W21與第二寬度W22不相等。值得說(shuō)明的是，本實(shí)施例的第一條狀圖案21與第二條狀圖案22可分別用以代表后續(xù)于半導(dǎo)體元件中不同區(qū)域內(nèi)所需形成的部件例如鰭狀結(jié)構(gòu)或柵極的位置，但并不以此為限。因此，第一條狀圖案21與第二條狀圖案22會(huì)因設(shè)計(jì)需要而彼此未互相對(duì)齊，但本發(fā)明并不以此為限。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，位于不同群組區(qū)的第一條狀圖案21與第二條狀圖案22也可彼此互相對(duì)齊。
[0049]接著，如圖2與圖4所示，進(jìn)行步驟S12，產(chǎn)生多條錨點(diǎn)(anchor)帶狀圖案31。各錨點(diǎn)帶狀圖案31沿第一方向Dl延伸，且至少部分的錨點(diǎn)帶狀圖案31延伸至第一群組區(qū)Rl或/及第二群組區(qū)R2。至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案31于第二方向D2上的兩邊緣分別與兩條相鄰的第一條狀圖案21的邊緣對(duì)齊且部分重疊，且多條錨點(diǎn)帶狀圖案31沿第二方向D2以相同的節(jié)距(如圖2中所示的第三節(jié)距P31)重復(fù)排列。在本實(shí)施例中，各錨點(diǎn)帶狀圖案31的第三寬度W31等于一個(gè)兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的第一間距SP21與兩倍的第一條狀圖案21的第一寬度W21的總和，在第二方向D2上兩條相鄰的錨點(diǎn)帶狀圖案31之間的第三間距SP31等于兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的第一間距SP21，而錨點(diǎn)帶狀圖案31的第三節(jié)距P31等于兩倍的第一節(jié)距P21。換句話說(shuō)，本實(shí)施例以第一條狀圖案21為基準(zhǔn)來(lái)產(chǎn)生錨點(diǎn)帶狀圖案31，并使錨點(diǎn)帶狀圖案31延伸至第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22所處的第一群組區(qū)Rl與第二群組區(qū)R2中。
[0050]此外，至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案31與兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的一第一間隔Al于一垂直方向D3上重疊，且至少一條錨點(diǎn)帶狀圖案31與兩條相鄰的第二條狀圖案22之間的一第二間隔A2于垂直方向D3上部分重疊。由于錨點(diǎn)帶狀圖案31以第一條狀圖案21為基準(zhǔn)所產(chǎn)生，而第二條狀圖案22并未與第一條狀圖案21對(duì)齊，故錨點(diǎn)帶狀圖案31也不會(huì)與第二條狀圖案22對(duì)齊。因此，錨點(diǎn)帶狀圖案31與第一間隔Al重疊時(shí)會(huì)完全覆蓋第一間隔Al，而錨點(diǎn)帶狀圖案31于第二方向D2上的一上部31A與一下部31B會(huì)分別與不同的第二間隔A2部分重疊。
[0051]然后，如圖2至圖3以及圖4所示，進(jìn)行步驟S13，檢查條狀圖案是否與錨點(diǎn)帶狀圖案31對(duì)齊，若有對(duì)齊則進(jìn)行步驟S14，若未對(duì)齊則進(jìn)行步驟S15。舉例來(lái)說(shuō)，由于第一條狀圖案21與錨點(diǎn)帶狀圖案31互相對(duì)齊，故會(huì)于第一群組區(qū)Rl中進(jìn)行步驟S14，在與錨點(diǎn)帶狀圖案31重疊的第一間隔Al處產(chǎn)生一第一軸心圖案41。相對(duì)地，由于第二條狀圖案22并未與錨點(diǎn)帶狀圖案31互相對(duì)齊，故會(huì)于第二群組區(qū)R2中進(jìn)行步驟S15，在與錨點(diǎn)帶狀圖案31重疊的第二間隔A2處產(chǎn)生一第二軸心圖案42，而且第二軸心圖案42需滿足所對(duì)應(yīng)的第二間隔A2僅與錨點(diǎn)帶狀圖案31的上部31A或下部31B的一者重疊。在本實(shí)施例中，各第二軸心圖案42所對(duì)應(yīng)的第二間隔A2均與錨點(diǎn)帶狀圖案31的下部31B重疊，但于本發(fā)明的其他實(shí)施例中也可使各第二軸心圖案42所對(duì)應(yīng)的第二間隔A2均與錨點(diǎn)帶狀圖案31的上部31A重疊。
[0052]接著，進(jìn)行步驟S16，將軸心圖案輸出至一光掩模。舉例來(lái)說(shuō)，由于本實(shí)施例會(huì)產(chǎn)生第一軸心圖案41與第二軸心圖案42，故可將第一軸心圖案41與第二軸心圖案42同時(shí)輸出至同一光掩?；蚍謩e輸出至不同光掩模。舉例來(lái)說(shuō)，全部的第一軸心圖案41可輸出至一光掩模而全部的第二軸心圖案42可輸出至另一個(gè)光掩模；或者，一部分的第一軸心圖案41與一部分的第二軸心圖案42可輸出至一光掩模，而另一部分的第一軸心圖案41與另一部分的第二軸心圖案42可輸出至一另一個(gè)光掩模，但不不以此為限。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，當(dāng)起始布局圖案僅包括第一條狀圖案21而僅產(chǎn)生第一軸心圖案41時(shí)，則僅將第一軸心圖案41輸出至一光掩模。通過(guò)本實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法，可利用錨點(diǎn)帶狀圖案31同時(shí)對(duì)位于不同區(qū)域且彼此未對(duì)齊的第一條狀圖案21與第二條狀圖案22進(jìn)行處理而產(chǎn)生第一軸心圖案41與第二軸心圖案42，故可由此達(dá)到簡(jiǎn)化運(yùn)算方式以及加快處理速度的目的。
[0053]在本實(shí)施例中，第一軸心圖案41于第二方向D2上的第四寬度W41與第二軸心圖案42于第二方向D2上的第五寬度W42大體上相同，且第四寬度W41大體上等于兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的第一間距SP21，但并不以此為限。本實(shí)施例所產(chǎn)生的第一軸心圖案41與第二軸心圖案42可通過(guò)所輸出的光掩模，直接于一基底上形成相對(duì)應(yīng)的第一軸心體與第二軸心體，然后再搭配側(cè)壁圖案轉(zhuǎn)移(Sidewall Image Transfer, SIT)技術(shù)而于各第一軸心體與各第二軸心體周圍分別形成間隙壁，最后再施以fin cut,以于基底上產(chǎn)生與各第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22對(duì)應(yīng)的圖案化結(jié)構(gòu)，而此圖案化結(jié)構(gòu)可用以形成半導(dǎo)體元件中的鰭狀結(jié)構(gòu)或柵極，但并不以此為限。
[0054]請(qǐng)參閱圖5與圖6。圖5與圖6所繪示為本發(fā)明第二實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖。如圖5與圖6所示，與上述第一實(shí)施例不同的地方在于，在本實(shí)施例中，兩條相鄰的錨點(diǎn)帶狀圖案31之間的第三間距SP31等于兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的第一間距SP21的三倍以及第一條狀圖案21的第一寬度W21的兩倍的總和。也就是說(shuō)，雖然錨點(diǎn)帶狀圖案31仍以第一條狀圖案21為基準(zhǔn)所產(chǎn)生，但本實(shí)施例的各錨點(diǎn)帶狀圖案31之間的間距較大。此外，在本實(shí)施例的錨點(diǎn)帶狀圖案31的分布狀態(tài)下，第一軸心圖案41于第二方向D2上的第四寬度W41等于一個(gè)第一條狀圖案21的第一節(jié)距P21與一個(gè)第一條狀圖案21的第一寬度W21的總和，而第二軸心圖案42的第五寬度W42大體上等于第一軸心圖案41的第四寬度W41，但并不以此為限。本實(shí)施例所產(chǎn)生的第一軸心圖案41與第二軸心圖案42可通過(guò)所輸出的光掩模，直接于一基底上形成相對(duì)應(yīng)的第一軸心體與第二軸心體，然后再搭配雙重側(cè)壁圖案轉(zhuǎn)移(Dual SIT)技術(shù)與fin cut而于基底上產(chǎn)生與各第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22對(duì)應(yīng)的圖案化結(jié)構(gòu)，但并不以此為限。值得說(shuō)明的是，在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，也可視需要更進(jìn)一步放大錨點(diǎn)帶狀圖案31的間距以及對(duì)應(yīng)調(diào)整所產(chǎn)生的第一軸心圖案41與第二軸心圖案42的大小，用于應(yīng)用于更多重的側(cè)壁圖案轉(zhuǎn)移技術(shù)。
[0055]請(qǐng)參閱圖7至圖11。圖7至圖10所繪示為本發(fā)明第三實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖。圖11所繪示為本實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法的流程圖。本實(shí)施例提供一種產(chǎn)生布局圖案的方法，包括下列步驟。首先，如圖7與圖11所示，進(jìn)行步驟S21，提供一起始布局圖案102至電腦系統(tǒng)，本實(shí)施例的起始布局圖案102包括至少一第一塊狀圖案11以及至少一第二塊狀圖案12，第一塊狀圖案11位于第一群組區(qū)Rl中，而第二塊狀圖案12位于第二群組區(qū)R2中，第二塊狀圖案12未與第一塊狀圖案11對(duì)齊。本實(shí)施例的起始布局圖案102以包括多個(gè)第一塊狀圖案11以及多個(gè)第二塊狀圖案12為例，但本發(fā)明并不以此為限。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中也可使起始布局圖案102僅包括第一塊狀圖案11而未包括其他塊狀圖案。
[0056]然后，進(jìn)行步驟S22，檢查起始布局圖案102是否包括條狀圖案，若無(wú)則進(jìn)行步驟S23后再進(jìn)行步驟S24，若有則直接進(jìn)行步驟S24。舉例來(lái)說(shuō)，若起始布局圖案102未包括上述第一實(shí)施例的第一條狀圖案21與第二條狀圖案22，則如圖8與圖11所示，進(jìn)行步驟S23，在第一群組區(qū)Rl中產(chǎn)生多條第一條狀圖案21，并于第二群組區(qū)R2中產(chǎn)生多條第二條狀圖案22。如圖7至圖8所示，第一塊狀圖案11于第二方向D2上的兩邊緣分別與兩條第一條狀圖案21的邊緣對(duì)齊且部分重疊，第二塊狀圖案12于第二方向D2上的兩邊緣也分別與兩條第二條狀圖案22的邊緣對(duì)齊且部分重疊。每一第一塊狀圖案11于第二方向D2上的一第六寬度Wll大體上等于第一條狀圖案21的第一節(jié)距P21的整數(shù)倍以及一個(gè)第一條狀圖案21的第一寬度W21的總和，而每一第二塊狀圖案12于第二方向D2上的一第七寬度W12大體上等于第二條狀圖案22的第二節(jié)距P22的整數(shù)倍以及一個(gè)第二條狀圖案22的第二寬度W22的總和，在第二方向D2上兩相鄰的第一塊狀圖案11之間的一第六間距SPll大體上等于第一條狀圖案21的第一節(jié)距P21的整數(shù)倍以及一個(gè)兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的第一間距SP21的總和，第二方向D2上兩相鄰的第二塊狀圖案12之間的一第七間距SP12大體上等于第二條狀圖案22的第二節(jié)距P22的整數(shù)倍以及一個(gè)兩條相鄰的第二條狀圖案22之間的第二間距SP22的總和，但并不以此為限。
[0057]換句話說(shuō)，第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22分別對(duì)應(yīng)第一塊狀圖案11以及第二塊狀圖案12而產(chǎn)生，但本發(fā)明并不以此為限。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，也可使提供至電腦系統(tǒng)的起始布局圖案102即已包括第一塊狀圖案11與對(duì)應(yīng)的第一條狀圖案21，以及二塊狀圖案12與對(duì)應(yīng)的第二條狀圖案22，故可不需進(jìn)行上述的步驟S23而直接進(jìn)行步驟S24。本實(shí)施例的第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22的技術(shù)特征與上述第一實(shí)施例相似，故在此并不再贅述。
[0058]接著，如圖9與圖11所示，進(jìn)行步驟S24，產(chǎn)生多條錨點(diǎn)帶狀圖案31。本實(shí)施例的步驟S24與上述第一實(shí)施例中的步驟Sll相似，且錨點(diǎn)帶狀圖案31的相關(guān)技術(shù)特征也已于上述第一實(shí)施例中說(shuō)明，故在此并不再贅述。值得說(shuō)明的是，第一塊狀圖案11于第二方向D2上的至少一邊緣與一個(gè)錨點(diǎn)帶狀圖案31的邊緣對(duì)齊且至少部分重疊，而第二塊狀圖案12于第二方向D2上的兩邊緣均未與錨點(diǎn)帶狀圖案31的邊緣對(duì)齊。
[0059]然后，如圖9至圖10以及圖11所示，進(jìn)行步驟S25，檢查條狀圖案是否與錨點(diǎn)帶狀圖案31對(duì)齊，若有對(duì)齊則進(jìn)行步驟S26，若未對(duì)齊則進(jìn)行步驟S27 ;最后則進(jìn)行步驟S28將軸心圖案輸出至光掩模。本實(shí)施例的步驟S25、步驟S26、步驟S27以及步驟S28與上述第一實(shí)施例中的步驟S13、步驟S14、步驟S15以及步驟S16相似，且所形成的第一軸心圖案41與第二軸心圖案42的技術(shù)特征也已于上述第一實(shí)施例中說(shuō)明，故在此并不再贅述。值得說(shuō)明的是，本實(shí)施例的第一塊狀圖案11與第二塊狀圖案12可分別對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體元件中不同群組(cluster)的主動(dòng)區(qū)(active reg1n)的位置，而第一軸心圖案41與第二軸心圖案42可分別代表對(duì)應(yīng)不同主動(dòng)區(qū)所需產(chǎn)生的鰭狀結(jié)構(gòu)以及虛置(du_y)鰭狀結(jié)構(gòu)的位置，但并不以此為限。因此，設(shè)計(jì)端可僅提供所需形成主動(dòng)區(qū)的布局狀況(如本實(shí)施例的第一塊狀圖案11以及第二塊狀圖案12)，通過(guò)本實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法即可產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的第一軸心圖案41與第二軸心圖案42，且通過(guò)第一軸心圖案41與第二軸心圖案42輸出的光掩模，直接于一基底上形成相對(duì)應(yīng)的第一軸心體與第二軸心體，然后再搭配側(cè)壁圖案轉(zhuǎn)移技術(shù)與fin cut可于基底上產(chǎn)生與各第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22對(duì)應(yīng)的圖案化結(jié)構(gòu)，而此圖案化結(jié)構(gòu)即可用以形成對(duì)應(yīng)主動(dòng)區(qū)的鰭狀結(jié)構(gòu)或柵極，但并不以此為限。
[0060]請(qǐng)參閱圖12與圖13。圖12與圖13所繪示為本發(fā)明第四實(shí)施例的產(chǎn)生布局圖案的方法示意圖。與上述第三實(shí)施例不同的地方在于，如圖12與圖13所示，在本實(shí)施例中，兩條相鄰的錨點(diǎn)帶狀圖案31之間的第三間距SP31等于兩條相鄰的第一條狀圖案21之間的第一間距SP21的三倍以及第一條狀圖案21的第一寬度W21的兩倍的總和，第一軸心圖案41于第二方向D2上的第四寬度W41等于一個(gè)第一條狀圖案21的第一節(jié)距P21與一個(gè)第一條狀圖案21的第一寬度W21的總和，而第二軸心圖案42的第五寬度W42大體上等于第一軸心圖案41的第四寬度W41，但并不以此為限。本實(shí)施例與上述第二實(shí)施例相似，所產(chǎn)生的第一軸心圖案41與第二軸心圖案42可通過(guò)所輸出的光掩模，直接于一基底上形成相對(duì)應(yīng)的第一軸心體與第二軸心體，然后再搭配雙重側(cè)壁圖案轉(zhuǎn)移技術(shù)與fin cut而于基底上產(chǎn)生與各第一條狀圖案21以及第二條狀圖案22對(duì)應(yīng)的圖案化結(jié)構(gòu)。
[0061]綜上所述，本發(fā)明所提供的產(chǎn)生布局圖案的方法是利用錨點(diǎn)帶狀圖案與條狀圖案之間的重疊狀況來(lái)決定軸心圖案的位置，故可同時(shí)處理位于不同群組區(qū)中的條狀圖案，由此達(dá)到簡(jiǎn)化運(yùn)算方式以及加快處理速度等目的。此外，本發(fā)明的條狀圖案也可基于代表主動(dòng)區(qū)的塊狀圖案來(lái)形成，故可使設(shè)計(jì)端僅需提供主動(dòng)區(qū)的布局狀況，由此達(dá)到減輕設(shè)計(jì)端布局負(fù)擔(dān)的效果。
[0062]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求所做的均等變化與修飾，都應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種產(chǎn)生布局圖案的方法，包括: 提供一起始布局圖案至電腦系統(tǒng)，其中該起始布局圖案包括多條第一條狀圖案于一第一群組區(qū)中，各該第一條狀圖案沿一第一方向延伸，且該多條第一條狀圖案于一第二方向上具有相同的節(jié)距(pitch)； 產(chǎn)生多條錨點(diǎn)帶狀圖案，其中各該錨點(diǎn)帶狀圖案沿該第一方向延伸，且該多條錨點(diǎn)帶狀圖案于該第二方向上具有相同的節(jié)距，其中至少一條該錨點(diǎn)帶狀圖案于該第二方向上的兩邊緣分別與兩條相鄰的該多條第一條狀圖案的邊緣對(duì)齊，且至少一條該錨點(diǎn)帶狀圖案與兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的一第一間隔重疊； 在與該錨點(diǎn)帶狀圖案重疊的該第一間隔處產(chǎn)生一第一軸心圖案；以及 將該第一軸心圖案輸出至一光掩模。2.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中各該錨點(diǎn)帶狀圖案的寬度等于一個(gè)兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的一間距與兩倍的各該第一條狀圖案的寬度的總和。3.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中兩條相鄰的該多條錨點(diǎn)帶狀圖案之間的一間距等于兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的一間距。4.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中兩條相鄰的該多條錨點(diǎn)帶狀圖案之間的一間距等于兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的一間距的三倍以及各該第一條狀圖案的一寬度的兩倍的總和。5.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該第一軸心圖案于該第二方向上的寬度等于兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的間距。6.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該第一軸心圖案于該第二方向上的寬度等于一個(gè)該多條第一條狀圖案的該節(jié)距與一個(gè)各該第一條狀圖案的寬度的總和。7.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該起始布局圖案還包括至少一第一塊狀圖案于該第一群組區(qū)中，且該第一塊狀圖案于該第二方向上的兩邊緣分別與兩條該多條第一條狀圖案的邊緣對(duì)齊。8.如權(quán)利要求7所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該起始布局圖案包括多個(gè)該多條第一塊狀圖案于該第一群組區(qū)中，在該第二方向上兩相鄰的該多條第一塊狀圖案之間的一間距等于該多條第一條狀圖案的該節(jié)距的整數(shù)倍以及一個(gè)兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的間距的總和。9.如權(quán)利要求7所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該第一塊狀圖案于該第二方向上的寬度等于該多條第一條狀圖案的該節(jié)距的整數(shù)倍以及一個(gè)各該第一條狀圖案的寬度的總和。10.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該起始布局圖案還包括多條第二條狀圖案于一第二群組區(qū)中，各該第二條狀圖案沿該第一方向延伸，該多條第二條狀圖案于該第二方向上具有相同的節(jié)距，且該多條第二條狀圖案未與該多條第一條狀圖案對(duì)齊。11.如權(quán)利要求10所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中至少一條該錨點(diǎn)帶狀圖案與兩條相鄰的該多條第二條狀圖案之間的一第二間隔重疊。12.如權(quán)利要求11所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，還包括: 在與該錨點(diǎn)帶狀圖案重疊的該第二間隔處產(chǎn)生一第二軸心圖案，其中該第二間隔與該錨點(diǎn)帶狀圖案的一上部或一下部重疊；以及 將該第二軸心圖案輸出至該光掩模。13.如權(quán)利要求12所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該第一軸心圖案的寬度與該第二軸心圖案的寬度相同。14.如權(quán)利要求10所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中兩條相鄰的該多條第一條狀圖案之間的間距與兩條相鄰的該多條第二條狀圖案之間的間距相同。15.如權(quán)利要求14所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中各該第一條狀圖案的寬度與各該第二條狀圖案的寬度相同。16.如權(quán)利要求10所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該起始布局圖案還包括至少一第二塊狀圖案于該第二群組區(qū)中，該第二塊狀圖案于該第二方向上的兩邊緣分別與兩條該多條第二條狀圖案的邊緣對(duì)齊，且該第二塊狀圖案于該第二方向上的該兩邊緣未與該多條錨點(diǎn)帶狀圖案對(duì)齊。17.如權(quán)利要求10所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該第一群組區(qū)與該第二群組區(qū)互相分離。18.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生布局圖案的方法，其中該第一方向與該第二方向正交。
【文檔編號(hào)】G06F17/50GK106033482SQ201510118314
【公開日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2015年3月18日
【發(fā)明人】王函雋, 張登耀, 林金隆, 湯志賢, 范耀仁
【申請(qǐng)人】聯(lián)華電子股份有限公司