一種自動探針臺配方管理方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種自動探針臺配方管理方法，包括服務(wù)器，若干探針臺，若干自動測試儀，將某一臺自動測試儀的主機作為所有自動探針臺的服務(wù)器，所有自動探針臺的配方集中在該服務(wù)器上進(jìn)行管理，所述方法的步驟為：步驟一：自動測試儀向探針臺發(fā)送需要下載的探針臺配方指令；步驟二：探針臺自動從服務(wù)器上下載該配方指令；步驟三：如果探針臺已有該配方指令，則服務(wù)器上的指令替換掉該探針臺上已有的配方指令，探針臺反饋給自動測試儀，自動測試儀進(jìn)行測試；步驟四：如果服務(wù)器上沒有該配方指令，則下載失敗，探針臺反饋給自動測試儀，自動測試儀暫停測試。
【專利說明】一種自動探針臺配方管理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種WAT測試【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種自動探針臺配方管理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]自動探針臺的配方主要完成探針卡的對位，wafer的對位等功能；現(xiàn)有WAT測試的自動探針臺的配方都存放在自動探針臺本機上，當(dāng)由于wafer本身問題或其它一些特殊外部因素引起問題時需要工程師去調(diào)試配方或更改配方的某些設(shè)置后繼續(xù)進(jìn)行測試，一次測試需要幾個小時甚至幾天的時間，因此工程師常常會忘掉刪除為特殊情況下而調(diào)試的配方導(dǎo)致正常lot測試時再次出現(xiàn)問題；有些配方的設(shè)置(例如扎針深度，清針頻率等)并不能在接下來的測試中立刻反映出來，往往等上很長一段時間以后才發(fā)現(xiàn)某臺自動探針臺的配方設(shè)置跟其它機臺不一致；目前在某一臺自動探針臺上建立完配方還需手動傳送到其它自動探針臺，在其它機臺正在測貨時是不能傳送的，往往需要等很長時間才能完成全部機臺的傳送。
[0003]專利(
【發(fā)明者】周波, 莫保章 申請人:上海華力微電子有限公司