專利名稱：尼爾森規(guī)格管理方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請涉及半導(dǎo)體行業(yè)的統(tǒng)計過程控制規(guī)格趨勢管理技術(shù)，特別涉及一種尼爾森規(guī)格管理方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體行業(yè)，產(chǎn)品加工工藝非常復(fù)雜，成本高，故整個加工過程需要不斷的對正在加工的產(chǎn)品進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)控，以保證每道工藝加工的質(zhì)量得到可靠保證，以及加工機(jī)臺是有效可用的，從而生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，工藝的提升，產(chǎn)品在整個加工過程中所需要采集的測量數(shù)據(jù)越來越多，每個產(chǎn)品加工完成后所上傳的測量數(shù)據(jù)眾多，因此對大量的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行快速分析計算以判斷相應(yīng)的產(chǎn)品數(shù)據(jù)是否超出規(guī)格就成為了一個關(guān)鍵的問題。對產(chǎn)品工藝加工的監(jiān)控，通常都是采用統(tǒng)計過程控制方法，即對產(chǎn)品加工過程中測量收集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計學(xué)上的分析和必要的規(guī)格、趨勢管理。常見的統(tǒng)計過程控制(Statistical Process Control-SPC)系統(tǒng),采用尼爾森規(guī)則(Nelson Rule)進(jìn)行規(guī)格和趨勢管理。尼爾森規(guī)則(Nelson Rule) 一共有8條規(guī)則組成，每條規(guī)則所使用的采樣點范圍都有所不同，而且其中部分規(guī)則還需要?dú)v史數(shù)據(jù)作為采樣點，歸納如表I ;尼爾森規(guī)則(Nelson Rule)所需要的術(shù)語 Zone A (區(qū)域 A)、Zone B (區(qū)域 B)、Zone C (區(qū)域 C)、UpperControl Limit (UCL,上限)、Target (Center Line,中心線)、Lower Control Limit(LCL,下限)的定義如

圖1 ;表I
權(quán)利要求
1.一種尼爾森規(guī)格管理方法，其特征在于，包括以下步驟: 一.按照下表，確定最后收集的N個產(chǎn)品數(shù)據(jù)的8個屬性的二進(jìn)制值；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尼爾森規(guī)格管理方法，其特征在于，N等于5。
3.—種尼爾森規(guī)格管理系統(tǒng)，其特征在于，包括產(chǎn)品數(shù)據(jù)屬性轉(zhuǎn)換模塊、控制規(guī)格處理模塊； 所述產(chǎn)品數(shù)據(jù)屬性轉(zhuǎn)換模塊，用于按照下表，確定最后收集的N個產(chǎn)品數(shù)據(jù)的8個屬性的二進(jìn)制值；
全文摘要
本申請公開了一種尼爾森規(guī)格管理方法，根據(jù)Nelson規(guī)則中每一條規(guī)則的特點，對每一個產(chǎn)品數(shù)據(jù)進(jìn)行特征總結(jié)分析，并將其轉(zhuǎn)化8個屬性的二進(jìn)制值，然后根據(jù)Nelson規(guī)則中每一條規(guī)則與8個屬性的關(guān)聯(lián)關(guān)系，采用二進(jìn)制的按位算法來判斷相應(yīng)的產(chǎn)品數(shù)據(jù)是否超出規(guī)格。本申請的尼爾森規(guī)格管理方法及系統(tǒng)由于采用二進(jìn)制數(shù)值算法，不僅速度非?？旖?，而且結(jié)論數(shù)據(jù)形式簡單，避免了追溯歷史數(shù)據(jù)的需要，提高了計算速度，簡化了數(shù)據(jù)存儲，降低了數(shù)據(jù)計算處理的資源負(fù)載。本申請還公開了一種尼爾森規(guī)格管理系統(tǒng)。
文檔編號G06Q10/06GK103177311SQ20111043186
公開日2013年6月26日 申請日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者時瑞, 王梅英, 檀國節(jié) 申請人:上海華虹Nec電子有限公司