專利名稱：用于半導體制造設備的服務活動管理系統(tǒng)和方法
技術領域：
本發(fā)明涉及活動管理系統(tǒng)及其使用方法，更具體而言，涉及被配置為管理與半導體制造系統(tǒng)有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)。
背景技術：
維護半導體制造工廠是耗時且昂貴的過程，其涉及設備制造商和制造工廠之間的協(xié)作。半導體設備制造商和半導體制造工廠之間的低效互動可能導致工廠的停機，這增加了總的操作成本，以及檢修時間和硬件更換的過度消耗。
在電子產業(yè)中，設備制造商采用多個分離的、獨立的服務模型，這些服務模型被配置為從事范圍從制造系統(tǒng)維護到制造系統(tǒng)故障排查、硬件更換和核準、以及零件更換和核準等的活動。更具體而言，涉及諸如特定部件的修理和更換之類的服務的服務模型并不與涉及諸如排定和評估之類的一般管理任務的服務模型相集成。因此，這些服務模型表現(xiàn)為彼此之間缺乏數(shù)據(jù)溝通，明顯的重疊導致冗余，以及建立被設計用來促進設備服務的結構內的虛擬界限。本發(fā)明人認識到使用獨立的服務模型導致服務成本增加和操作效率降低。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明的一個方面是減輕或消除上述問題中的任何一個或全部。
本發(fā)明的另一目的是減少在維護半導體制造工廠時的服務成本并使操作效率最大。
本發(fā)明的另一目的是提供一種用于整合半導體制造工廠的管理活動的系統(tǒng)。
本發(fā)明的這些和其他的目的由一種用于管理與半導體制造有關的服務的活動管理系統(tǒng)提供。該系統(tǒng)包括被配置為接收與服務部件、服務操作者和服務賬目中的至少一個有關的服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，并被配置為存儲服務活動數(shù)據(jù)，并且服務動作系統(tǒng)耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)。服務動作系統(tǒng)被配置為利用服務活動數(shù)據(jù)提供服務動作數(shù)據(jù)，以便執(zhí)行多種服務功能中的至少兩種，這多種服務功能包括提供服務部件修理、提供服務部件啟動、提供服務部件預防性維護、提供服務部件清洗、提供服務部件修正、提供服務部件增強、提供服務部件卸載、提供服務教學以及提供服務協(xié)作。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種使用活動管理系統(tǒng)來輔助執(zhí)行與半導體制造有關的服務動作的方法。該方法包括提供被配置為與服務操作者互動并且采集來自服務操作者的服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，其中服務活動數(shù)據(jù)與服務操作者、服務部件和服務賬目中的至少一個相關聯(lián)。提供耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)并且被配置為存儲服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)；提供耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的服務動作系統(tǒng)，其被配置為與服務操作者互動并利用存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中的服務活動數(shù)據(jù)向服務操作者提供服務動作數(shù)據(jù)。服務動作數(shù)據(jù)被用于執(zhí)行服務功能，該服務功能包括提供服務部件修理、提供服務部件啟動、提供服務部件預防性維護、提供服務部件清洗、提供服務部件修正、提供服務部件增強、提供服務部件卸載、提供服務教學以及提供服務協(xié)作中的至少一種。
本發(fā)明的另一方面是一種用于管理與半導體制造有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括被配置為采集與半導體制造服務有關的服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)并被配置為存儲服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)；以及耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的服務動作系統(tǒng)。服務動作系統(tǒng)被配置為執(zhí)行服務部件服務功能和非服務部件服務功能以便輔助服務操作者執(zhí)行服務動作。
本發(fā)明的另一方面是一種使用計算機系統(tǒng)來管理與半導體制造有關的服務活動的方法。該方法包括使用計算機系統(tǒng)來采集與半導體制造服務有關的服務活動數(shù)據(jù)；使用計算機系統(tǒng)來存儲服務活動數(shù)據(jù)；以及使用計算機系統(tǒng)來執(zhí)行服務部件服務功能和非服務部件服務功能?；诜詹考蚍欠詹考展δ艿慕Y果執(zhí)行服務動作。
在本發(fā)明的另一方面中，提供了一種包含用于在處理器上執(zhí)行的程序指令的計算機可讀介質，該程序指令當被處理器執(zhí)行時，使得計算機系統(tǒng)執(zhí)行本發(fā)明的方法中的步驟。
本發(fā)明的另一方面包括一種用于管理與半導體制造有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括用于采集與半導體制造服務有關的服務活動數(shù)據(jù)的裝置；耦合到用于采集的裝置的用于存儲服務活動數(shù)據(jù)的裝置；以及耦合到用于采集的裝置和用于存儲的裝置的用于執(zhí)行服務部件服務功能和非服務部件服務功能以便輔助服務操作者執(zhí)行服務動作的裝置。


在附圖中圖1表示根據(jù)本發(fā)明實施例的活動管理系統(tǒng)的示意圖；圖2A圖示了用于使服務操作者獲得對圖1的活動管理系統(tǒng)的訪問的第一示例性操作者界面；圖2B圖示了用于使服務操作者獲得對圖1的活動管理系統(tǒng)的訪問的第二示例性操作者界面；圖2C圖示了用于訪問圖1的活動管理系統(tǒng)的操作者界面的示例性示意圖；圖3A圖示了用于訪問服務功能的示例性操作者界面；圖3B圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3C圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3D圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3E圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；
圖3F圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3G圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3H圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3I圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3J圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖3K圖示了用于執(zhí)行圖3A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖4A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖4B圖示了用于執(zhí)行圖4A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖4C圖示了用于執(zhí)行圖4A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖5A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖5B圖示了用于執(zhí)行圖5A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖5C圖示了用于執(zhí)行圖5A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖6圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖7A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖7B圖示了用于執(zhí)行圖7A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖8A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖8B圖示了用于執(zhí)行圖8A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；
圖8C圖示了用于執(zhí)行圖8A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖8D圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖8E圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖8F圖示了用于執(zhí)行圖8E中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖9圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖10A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖10B圖示了用于執(zhí)行圖10A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖10C圖示了用于執(zhí)行圖10A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖11A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖11B圖示了用于執(zhí)行圖11A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖12A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖12B圖示了用于執(zhí)行圖12A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖13A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖13B圖示了用于執(zhí)行圖13A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖14A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖14B圖示了用于執(zhí)行圖14A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖15A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖15B圖示了用于執(zhí)行圖15A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖15C圖示了用于執(zhí)行圖15A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；
圖15D圖示了用于執(zhí)行圖15A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖16A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖16B圖示了用于執(zhí)行圖16A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖17A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖17B圖示了用于執(zhí)行圖17A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖18A圖示了用于訪問另一服務功能的另一示例性操作者界面；圖18B圖示了用于執(zhí)行圖18A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖18C圖示了用于執(zhí)行圖18A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖18D圖示了用于執(zhí)行圖18A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖18E圖示了用于執(zhí)行圖18A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；圖18F圖示了用于執(zhí)行圖18A中所示的服務功能的另一示例性操作者界面；以及圖19圖示了可在其上實現(xiàn)本發(fā)明實施例的計算機系統(tǒng)。
具體實施例方式
現(xiàn)參考附圖，在多個圖中，相似的標號指代等同或相應的部分。圖1表示用于管理與半導體制造有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)1。活動管理系統(tǒng)1包括數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10、數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20、服務動作系統(tǒng)30和操作者界面40。數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10被配置為接收與服務績效(performance)和管理有關的服務活動數(shù)據(jù)，并且服務活動數(shù)據(jù)被存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。服務動作系統(tǒng)30使用服務活動數(shù)據(jù)來執(zhí)行服務功能。服務功能是由活動管理系統(tǒng)1執(zhí)行的用來輔助服務操作者執(zhí)行服務動作的軟件功能。服務動作可以是設備修理、與維護排定有關的決定、服務操作者的評價或者與半導體制造中的服務有關的任何其他動作。在一個實施例中，服務動作系統(tǒng)30執(zhí)行服務功能以提供在執(zhí)行特定服務動作中使用的服務動作數(shù)據(jù)。例如，服務動作系統(tǒng)30可以分析數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中的服務活動數(shù)據(jù)，以提供用于對半導體處理設備執(zhí)行維護方案的按步指令形式的服務動作數(shù)據(jù)。由活動管理系統(tǒng)1執(zhí)行的特定服務功能將在下面詳細描述。
由數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10采集的服務活動數(shù)據(jù)可以通過來自服務操作者的手工輸入采集，或者可通過例如來自制造設備傳感器的自動輸入采集。服務活動數(shù)據(jù)優(yōu)選地存儲在與服務操作者、服務賬目(service account)和服務部件中的至少一個相關聯(lián)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。服務操作者例如可以包括服務監(jiān)管者(或管理者)、服務設計者、服務分析者、服務工程師(例如現(xiàn)場工程師)或涉及與半導體制造有關的服務活動的任何其他人。與服務操作者相對應的服務活動數(shù)據(jù)例如可以包括服務操作者的名稱、服務操作者的頭銜、服務操作者執(zhí)行他/她的主要任務的地點(例如制造工廠、客戶地等)、監(jiān)管者名稱、電話號碼、地址、電子郵件地址、參考文件、照片文件等。
服務賬目例如可包括服務合同、服務保證(warranty)和制造系統(tǒng)(MS)部門中的至少一個。服務賬目可以是執(zhí)行諸如在半導體制造工廠和設備制造商之間協(xié)商的保證之類的服務的任何義務。與服務賬目相對應的服務活動數(shù)據(jù)可例如包括協(xié)議號、服務協(xié)議標題(例如，一年24×7零件和人力(Parts & Labor)保證)、涵蓋小時(24×7)、項目涵蓋標識(例如，非消耗品、修理人力、啟動人力)、不涵蓋項目標識(例如，消耗品、客戶損壞)、列表價格(例如，列表價格可以基于活動管理系統(tǒng)中現(xiàn)有的服務活動數(shù)據(jù))、懲罰(例如，對于低于93％可用率的月份增加一月)、服務操作者對制造工廠的貢獻、保證或合同的開始日期、保證或合同的結束日期、保證或合同的發(fā)貨單日期、保證或合同的支付日期等。服務協(xié)議可指定給服務部件以及制造工廠(即客戶)。
服務部件可例如包括制造系統(tǒng)(MS)平臺、制造系統(tǒng)(MS)工具或制造系統(tǒng)(MS)零件。例如，MS平臺可包括群集(cluster)工具配置，例如Unity II、Unity IIe、Unity M或Unity ME，或者串列(serial)工具配置，如Telius平臺，以用于執(zhí)行半導體制造工藝，這些工具可從TokyoElectron Limited(TBS Broadcast Center，3-6 Akasaka 5-chome，Minato-ku，Tokyo 107-8481)通過商業(yè)途徑獲得。另外，例如，MS平臺可包括可從Tokyo Electron Limited通過商業(yè)途徑獲得的ACT 8、ACT 12或LithiusTrack系統(tǒng)。另外，例如，MS平臺可包括可從Tokyo Electron Limited通過商業(yè)途徑獲得的Alpha系列或TELFormula批處理熱處理系統(tǒng)。另外，例如，MS平臺可包括可從Tokyo Electron Limited通過商業(yè)途徑獲得的Trias沉積系統(tǒng)。MS工具可例如包括DRM、A-DRM、DRM II、SCCM-DT、SCCM-Ox或SCCM-Poly刻蝕系統(tǒng)、或SPA沉積系統(tǒng)。更具體而言，MS工具可例如包括刻蝕系統(tǒng)；諸如熱沉積系統(tǒng)、化學氣相沉積(CVD)系統(tǒng)、原子層沉積(ALD)系統(tǒng)、物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)或離子化PVD(I-PVD)系統(tǒng)之類的沉積系統(tǒng)；光刻膠旋涂系統(tǒng)；電介質旋涂(spin-ondielectric)系統(tǒng)；諸如浸液系統(tǒng)或超臨界流體清洗系統(tǒng)之類的清洗系統(tǒng)；諸如批處理氧化、擴散、低壓CVD退火或熱固化系統(tǒng)之類的熱處理系統(tǒng)；快速熱處理(RTP)系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)；離子注入系統(tǒng)；平坦化系統(tǒng)；電鍍系統(tǒng)；設備探測系統(tǒng)；度量系統(tǒng)等。MS零件可例如包括MS工具中的非消耗零件或消耗零件。
與服務部件相對應的服務活動數(shù)據(jù)可例如包括MS平臺的類型、MS平臺的型號、MS平臺的序列號、MS工具的類型、與特定MS工具相關聯(lián)的工藝、MS工具的型號、MS工具的序列號、與特定MS工具相關聯(lián)的MS零件、MS零件的類型、MS零件的型號、MS零件的序列號、備用零件的存有情況標識、消耗零件的標識和MS零件成本。
服務活動數(shù)據(jù)還可包括更為一般的信息，如服務數(shù)據(jù)、服務時間、服務類型、服務描述、服務位置和服務原因。而且，例如，服務活動數(shù)據(jù)可包括核準狀態(tài)數(shù)據(jù)、拒絕狀態(tài)數(shù)據(jù)、運輸狀態(tài)數(shù)據(jù)、接收狀態(tài)數(shù)據(jù)、請求狀態(tài)數(shù)據(jù)等。
如上所述，在圖1中，活動管理系統(tǒng)1還可包括耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10和數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30的操作者界面40。利用操作者界面40，通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10，服務活動數(shù)據(jù)可被跟蹤并存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。另外，服務動作數(shù)據(jù)可通過操作者界面40被提供給服務操作者。界面可以是文本形式的或圖形形式的，并且可以是多語言形式的。例如，操作者界面可包括圖形用戶界面(GUI)。GUI使得活動管理系統(tǒng)1能夠執(zhí)行期望的服務活動數(shù)據(jù)的獲取、監(jiān)視、建模和服務功能動作。圖2A圖示了具有登錄(logon)屏幕的示例性GUI，登錄屏幕具有用戶標識和口令字段。一但服務操作者進入活動管理系統(tǒng)1，他們就可以被呈現(xiàn)以另一GUI屏幕，該屏幕呈現(xiàn)出用于執(zhí)行服務功能的一個或多個選項，如圖2B所示。本領域技術人員將認識到，GUI屏幕可包括從左到右的選擇切換(tab)結構和/或從右到左的結構、從下到上的結構、從上到下的結構、或組合結構。本領域技術人員將認識到，GUI屏幕可包括選擇切換結構和/或導航樹結構。另外，作為界面的一部分，可以提供鍵盤、鼠標、觸摸屏或其任何組合。
活動管理系統(tǒng)1可包括基于web的軟件應用以用在可進行因特網(wǎng)訪問的場合，或者其可包括可下載的客戶端軟件應用以用在不可進行因特網(wǎng)訪問的場合。例如，后者的情形可適用于半導體制造工廠中。
活動管理系統(tǒng)1可提供訪問控制。例如，活動管理系統(tǒng)1只對服務提供者是可訪問的。另外，例如，讀寫訪問規(guī)則可按用戶和用戶角色配置。另外，例如，活動管理系統(tǒng)可采用數(shù)據(jù)加密。另外，活動管理系統(tǒng)可限制只向獲得核準的人公開某些文檔。另外，活動管理系統(tǒng)1可跟蹤用戶訪問各種文檔?；顒庸芾硐到y(tǒng)1可通過例如跟蹤對指令、文檔、規(guī)程、測試、關鍵分數(shù)指標(key point indicator)(KPI)等的修正來提供修正控制。
如圖2C所示，提供了示例性的圖形用戶界面(GUI)，以著重顯示由活動管理系統(tǒng)提供的一種或多種服務功能。GUI提供了用于執(zhí)行服務功能的若干選項。例如，若干服務功能具體涉及服務部件或機器；這種服務部件服務功能包括執(zhí)行服務部件啟動，即“Start Up Machine”鍵；執(zhí)行服務部件清洗，即“Clean Machine”鍵；執(zhí)行服務部件預防性維護，即“PMMachine”鍵；執(zhí)行服務部件修正，即“Revise Machine(FCN)”鍵；執(zhí)行服務部件增強，即“Enhance Machine”鍵；執(zhí)行服務部件修理，即“Repair Machine”鍵；執(zhí)行服務部件卸載，即“De-Install Machine”鍵；以及執(zhí)行服務部件教學，即“Learn Machine”鍵。
從圖2C中可見，服務功能可以不具體涉及服務部件；這種非服務部件服務功能包括執(zhí)行項目動作計劃，即“Project Action Plans”鍵；以及執(zhí)行客戶動作計劃，即“Customer Action Plans”鍵。另外，如圖2C所示，GUI提供了非服務部件服務功能，其允許服務操作者訪問以利用“Machine Operations，Tests，& Corrective Actions”鍵集成新的測試或校正動作，并修改當前的測試或校正動作。另外，如圖2C所示，GUI向服務操作者提供了利用“Machine-Related Files(documentation)”鍵輸入與MS平臺、MS工具、MS零件或MS服務協(xié)議有關的新文檔的能力。
另外，如圖2C所示，GUI提供了非服務部件服務功能，其允許服務操作者例如利用“Escalation Hotboards”鍵檢查、輸入或修改上報(escalation)熱點板(hot-board)；例如利用“KPI Dashboard”鍵檢查、輸入或修改關鍵績效指標(key performance indicator，KPI)儀表板(dashboard)；例如利用“Reports”鍵檢查、輸入或修改報告；例如利用“Procedures”鍵檢查、輸入或修改規(guī)程；例如利用“Job Description”鍵檢查、輸入或修改工作描述；例如利用“Help Desk Action Plans”鍵檢查、輸入或修改桌面幫助動作計劃；例如利用“Employee Action Plans”鍵檢查、輸入或修改雇員動作計劃；例如利用“Files(documentation)”鍵檢查、輸入或修改文件(文檔)；例如利用“Collaboration”鍵檢查、進入或修改協(xié)作；例如利用“Service Agreements(warranty & contract)”鍵檢查、輸入或修改MS服務協(xié)議；例如利用“Machines”鍵檢查、輸入或修改MS平臺和MS工具；以及例如利用“Part types”鍵檢查、輸入或修改MS零件。
根據(jù)一個實施例，活動管理系統(tǒng)1執(zhí)行上述服務功能以提供輔助服務人員執(zhí)行服務動作的服務動作數(shù)據(jù)。例如，服務動作數(shù)據(jù)可包括用于服務部件修理的互動案例研究。服務動作系統(tǒng)30可識別當前的服務活動數(shù)據(jù)基本與過去的服務活動數(shù)據(jù)相匹配的一個或多個案例，并利用這種相關來輔助服務操作者進行服務部件修理。如果必要的話，服務動作系統(tǒng)30可識別一個或多個測試用于執(zhí)行，以縮窄匹配案例的數(shù)目。另外，可使得特定于MS平臺和MS工具的測試規(guī)程對于服務操作者來說可訪問。測試規(guī)程可存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。隨著測試的執(zhí)行并且數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10獲取結果，匹配案例的數(shù)目減少。例如，活動管理系統(tǒng)1可輔助識別MS零件以在MS工具中進行更換，以便校正問題。一旦識別了該MS零件，就可以使得特定于MS平臺和MS工具的規(guī)程對于服務操作者來說可訪問。更換規(guī)程可存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。
圖3到圖18示出了在執(zhí)行各種服務功能時由活動管理系統(tǒng)提供用來與系統(tǒng)用戶進行交互的圖形用戶界面屏幕的示例。
圖3A圖示了根據(jù)本發(fā)明一個實施例的用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行服務部件修理的示例性操作者界面。在該示例中，服務操作者已經(jīng)從MS平臺中的MS工具接收到故障，并且已經(jīng)決定利用活動管理系統(tǒng)來確定故障的校正動作。故障可例如包括阻抗匹配網(wǎng)絡上的高反射功率，所述阻抗匹配網(wǎng)絡用于將射頻(RF)發(fā)生器的輸出電阻抗與等離子體處理系統(tǒng)(例如刻蝕系統(tǒng))的輸入電阻抗相匹配。從圖3A中可見，服務操作者運行活動管理系統(tǒng)，并通過選擇“Repair Machine”鍵激活服務部件修理功能。
在激活后，活動管理系統(tǒng)1的操作者界面40使得服務操作者能夠識別服務活動數(shù)據(jù)，包括MS平臺(例如通過機器序列號)、MS工具(例如通過處理室序列號)和與服務賬目(或購買帳目)有關系的工藝類型；見圖3B。其后，服務動作系統(tǒng)30可提供所識別的MS平臺和MS工具的修理歷史列表；見圖3C。例如，如圖3C所示，服務動作系統(tǒng)30從數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20獲取服務活動數(shù)據(jù)，并將該歷史數(shù)據(jù)呈現(xiàn)給服務操作者。服務活動數(shù)據(jù)可包括服務日期、服務類型、服務描述和服務原因。例如，服務類型指示該服務是包括測試還是包括校正動作。
此外，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10使得服務操作者能夠識別故障，或失敗的測試；見圖3D。如果測試失敗(或故障)是已知的故障，則其可被顯示在操作者界面的左側。如果測試失敗不是已知故障，則界面使得服務操作者能夠輸入測試失敗。
現(xiàn)參考圖3E，服務操作者輸入從MS平臺和MS工具報告的測試失敗的結果。該服務活動數(shù)據(jù)被存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。另外如圖3E所示，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30提供了某些測試計劃數(shù)據(jù)，例如包括失敗下限、警告下限、目標結果、警告上限、失敗上限、用于比較目標結果和實際結果的數(shù)學運算符、測量單位、結果是否基于意見。
現(xiàn)參考圖3F，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30搜索數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20，以尋找與當前測試失敗或故障相匹配的其他服務活動(或案例)。例如，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可以呈現(xiàn)針對當前服務活動(或案例)執(zhí)行的測試和校正動作。另外，例如，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可以呈現(xiàn)針對當前服務活動(或案例)計劃的測試和校正動作。另外，例如，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可以呈現(xiàn)與當前服務活動(或案例)相關聯(lián)的MS零件。另外，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可以呈現(xiàn)對匹配案例完成的測試，以及對匹配案例完成的校正動作。如圖3F所示，三十(30)個過去案例與當前案例匹配。在完成的測試和校正動作列表中，服務操作者可以編輯結果，將另一完成的測試或校正動作添加到列表末尾，將另一測試或校正動作添加到計劃的測試或校正動作的列表，檢查對于特定的MS平臺、MS工具、MS零件或MS服務協(xié)議的測試規(guī)程，檢查對于特定測試的測試規(guī)范，或者檢查對于特定校正動作的規(guī)程。在計劃的測試和校正動作列表中，服務操作者可以將測試或校正動作添加到完成列表，刪除測試或校正動作，將測試或校正動作在列表中上移或下移，檢查對于特定MS平臺、MS工具、MS零件或MS服務協(xié)議的測試規(guī)程，檢查對于特定測試的測試規(guī)范，或者檢查對于特定校正動作的規(guī)程。
例如，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可提供如上所述的互動案例研究，其中對匹配案例完成的測試和對匹配案例完成的校正動作被逐條列舉。對于那些對匹配案例完成的測試，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可通過指示測試被執(zhí)行并通過的條件下留下來的案例數(shù)目，以及測試被執(zhí)行并失敗的條件下留下來的案例數(shù)目，來對測試排序(或劃分優(yōu)先級)。例如，當測試用于C4F8處理氣體的質量流控制器時，測試通過的條件下剩余的案例數(shù)目是二十一(21)，而測試失敗的條件下剩余的案例數(shù)目是七(7)。此外，對于那些對匹配案例完成的校正動作，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可通過指示在執(zhí)行校正動作時將會被校正的案例數(shù)目(或案例百分比(％))以及在執(zhí)行校正動作時將不會被校正的案例數(shù)目，來對校正動作排序(或劃分優(yōu)先級)。例如，當要更換用于C4F8處理氣體的質量流控制器時，被校正的案例數(shù)目是四(4)，未被校正的案例數(shù)目是零(0)。
利用由數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30呈現(xiàn)的動作數(shù)據(jù)(見圖3F)，服務操作者例如可以決定執(zhí)行測試。例如，服務操作者可執(zhí)行一個或多個測試，并檢查“Matcher Mode Setting”、“PC Pressure Control”和“C4F8 Flow”。當服務操作者已決定執(zhí)行一個或多個測試，并且進行到執(zhí)行這些測試時，服務操作者可獲得用于執(zhí)行特定于MS零件、特定于MS工具和特定于MS的測試的測試規(guī)程。在該示例中，該測試的結果分別包括通過、通過和失敗，如圖3G所示。在執(zhí)行這些測試時，匹配案例的數(shù)目從三十(30)減少到二十一(21)、到十五(15)，到四(4)。另外，對匹配案例的校正動作減少到更換C4F8質量流控制器(MFC)的單個動作。因此，服務操作者可通過請求相應MS零件，即C4F8質量流控制器，來決定執(zhí)行校正動作；見圖3H。與MS零件的順序相關聯(lián)的服務活動數(shù)據(jù)可存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中。服務活動數(shù)據(jù)可例如包括MS零件號、數(shù)量、MS平臺和其狀態(tài)、MS工具和其狀態(tài)、運輸信息、請求信息、核準信息、服務賬目以及更換原因。
現(xiàn)參考圖3I，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30可指示與當前案例相關聯(lián)的MS零件。例如，可呈現(xiàn)MS零件源、MS零件、MS零件號(P/N)、MS零件序列號(S/N)和MS零件狀態(tài)。例如，MS零件狀態(tài)可包括“Ordered”(已訂購)、“Paid”(已支付)、“Shipped”(已運輸)、“Installed”(已安裝)或“Removed”(已移除)。一旦請求了MS零件，MS零件狀態(tài)就可被修改，并且變?yōu)橹甘綧S零件已“Shipped”，并且已由服務賬目“Paid”。一方面，服務操作者利用活動管理系統(tǒng)來請求MS零件，另一方面，另一服務操作者利用活動管理系統(tǒng)來處理包括核準、運輸?shù)鹊恼埱?。另外，一旦請求者接收到MS零件，運輸狀態(tài)就可被改為已接收，并且可由服務操作者輸入MS零件序列號。圖3I還指示針對當前案例計劃的測試和校正動作。例如，C4F8質量流控制器要被更換。
如圖3J所示，當服務操作者已經(jīng)接收到所請求的MS零件，并且進行到更換MS工具上的MS零件時，服務操作者可獲得用于更換特定于MS零件、特定于MS工具和特定于MS平臺的MS零件的指令。校正動作規(guī)程可存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20中，并經(jīng)由數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)30被提供給服務操作者。例如，圖3J圖示了用于更換C4F8質量流控制器的校正動作規(guī)程。校正規(guī)程是特定于MS零件、特定于MS工具和特定于MS平臺的。
一旦校正動作完成，活動管理系統(tǒng)就被更新以反映變化；見圖3K。例如，計劃的校正動作被移到完成的校正動作，并且與案例相關聯(lián)的MS零件被更新以顯示移除的MS零件，包括MS零件源、MS零件、MS零件號、MS零件序列號和MS零件狀態(tài)。其后，服務操作者可重新檢查最初失敗的測試。例如，這種情況下，服務操作者重新檢查測試51A5和C4F8流測試。在這種情況下，如果測試通過，則活動管理系統(tǒng)被更新以反映這些附加測試和測試結果。然后MS零件可被去污和丟棄(如果選擇這樣作的話)。
在作為第一示例描述的該服務過程期間的任何時刻，另一服務操作者(例如服務監(jiān)管者)都可監(jiān)視特定案例的進程。例如，如果不執(zhí)行互動案例研究，并且MS零件被零星地更換(即，“shot-gunning approach(鳥槍法)”)，則服務監(jiān)管者可通過拒絕對MS零件支付、指示服務操作者請求MS零件以從事互動案例研究等，來影響服務活動。
或者，當利用活動管理系統(tǒng)來執(zhí)行互動案例研究時，作為本地高級過程控制(APC)軟件的結果，服務操作者可獲得對可從MS工具獲得的數(shù)據(jù)的訪問。例如，MS工具可包括蝕刻系統(tǒng)，其中歷史數(shù)據(jù)(例如正向功率、反射功率、壓強和質量流率的時間示蹤)可從每趟襯底運作(run)獲得。
在另一示例中，圖4A圖示了用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行服務部件啟動的示例性操作者界面，其中服務部件啟動功能是經(jīng)由“Start UpMachine”鍵訪問的。在該示例中，服務操作者已經(jīng)從活動管理系統(tǒng)接收到請求以執(zhí)行MS工具的啟動規(guī)程。在該示例中，MS工具可包括諸如蝕刻系統(tǒng)之類的等離子體處理系統(tǒng)，其中射頻(RF)發(fā)生器和阻抗匹配網(wǎng)絡需要執(zhí)行啟動測試。服務操作者運行活動管理系統(tǒng)并選擇“Start UpMachine”鍵；見圖4A。
現(xiàn)參考圖4B，活動管理系統(tǒng)可呈現(xiàn)用于測試服務部件(例如具有一個或多個MS工具的MS平臺)的啟動列表。如圖4B所示，啟動規(guī)程可包括對于MS平臺、MS工具、MS服務協(xié)議等來說特定的一系列測試。此外，啟動方案可標識測試順序、測試類型(例如“Matcher ModeSetting”)、測試位置(例如MS工具號1，或處理室1(PC1))、測試的目標結果、測試的實際結果和任何相關的修理。啟動規(guī)程可存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中，其中可通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)進行修改。另外，數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)可向服務操作者提供啟動規(guī)程以輔助服務操作者，如圖4B所示。
當利用活動管理系統(tǒng)來從事啟動規(guī)程時，服務操作者可獲得用于執(zhí)行特定于MS工具和特定于MS平臺的每個測試的測試規(guī)程。另外，服務操作者可訪問對于測試來說特定的測試規(guī)范，其中所述測試是針對特定的MS平臺、MS工具、MS服務協(xié)議等執(zhí)行的。測試規(guī)范可例如定義失敗上限和下限。
隨著在啟動方案期間測試的執(zhí)行，實際測試結果經(jīng)由數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被輸入，并且啟動方案被更新以反映這些獲取的結果。如果實際結果落在由目標結果分別加或減失敗上限和下限設定的限度內，則測試結果是“通過”。如果實際結果不落在這些限度內，則測試結果是“失敗”。例如，如圖4C所示，當針對第二MS工具(PC2)執(zhí)行正向RF功率測試，并且實際結果超過目標結果加失敗上限時，發(fā)生故障。此時，服務操作者可繼續(xù)使用活動管理系統(tǒng)來排查故障以修復MS工具，如上所述。在該示例中，服務操作者利用活動管理系統(tǒng)來標識校正動作，如重新校準RF發(fā)生器。在執(zhí)行了由數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)呈現(xiàn)的該校正動作之后，重新檢查啟動測試規(guī)程中的測試以確保測試失敗被校正。另外，啟動方案被更新以反映在相關的修理場合中采取的校正動作。
在另一示例(跟隨第一示例)中，服務操作者可輸入其開銷，包括與旅程、人力、等待MS零件和等待客戶相關聯(lián)的時間；見圖5A。此外，時間可以與不同服務賬目相關聯(lián)，包括已支付服務、服務合同、預啟動、啟動、預保證、保證、MS工具修正(FCN)、MS工具增強(CIN)或設備制造商部門。另外，可輸入已支付服務開銷，包括旅館、飛機和每日津貼(汽車/餐費)。例如，服務操作者將時間或成本或這兩者輸入到字段中。一旦被數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)獲取，服務活動數(shù)據(jù)就可被存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中。如圖5B和5C所示，客戶可核實服務操作者所指示的服務已完成。該核實可例如被打印出來，并經(jīng)由常規(guī)郵件或電子郵件被提交給設備制造商，如圖5C所示。
在另一示例中，服務操作者可訪問對于MS平臺、MS工具、MS零件、MS服務協(xié)議等來說特定的服務教學材料。例如，服務操作者可利用GUI并選擇“Learn Machine”鍵，通過活動管理系統(tǒng)獲得訪問。服務操作者可標識MS平臺、或MS工具、或MS零件、或MS服務協(xié)議或其任意組合。其后，服務操作者可獲得對機械圖、電氣圖、訓練視頻、訓練規(guī)程、產品描述等的訪問。服務操作者(例如服務監(jiān)管者)可利用活動數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)生成用于教學材料的一個或多個測驗。測驗可包括回答鍵。此外，服務操作者可在訓練材料后采用測驗以評價其理解水平。例如，圖6圖示了用于Unity IIe(MS平臺)、DRM(MS工具)蝕刻系統(tǒng)的存儲在數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中的一系列訓練數(shù)據(jù)。
在另一示例中，服務操作者可利用GUI中的“Machine Operations，Test，& Corrective Actions”鍵集成新的測試或校正動作，并修改當前的測試或校正動作；見圖7A。如圖7A所示，服務操作者可進行新的操作，進行新的測試，采取新的校正動作，以及修改現(xiàn)有的操作、測試或校正動作。例如，圖7B圖示了服務操作者輸入新測試的過程。測試條目可包括標識(ID)號、修正狀態(tài)、發(fā)起者的標識、核準者的標識、核準日期、拒絕日期、拒絕新測試的原因、新測試的描述(例如，MS平臺、MS工具、測試參數(shù)等的標識)、父任務的標識、可適用產品的標識(例如，MS平臺、MS工具等)、可適用公司的標識、完成新測試的估計時間、失敗下限、警告下限、目標結果、失敗上限、警告上限、比較目標和實際結果的數(shù)學運算符的標識(例如“等于”)、測量單位的標識、關于結果是否基于意見的指示、在啟動期間要測量的一個或多個測試值、以及在預防性維護期間要測量的一個或多個測試值。一旦新的測試被輸入，其就可被提交以進行核準。例如，新測試可經(jīng)由常規(guī)郵件或電子郵件被發(fā)送到另一服務操作者(例如監(jiān)管者)。另外，在完成新測試后，服務操作者可輸入用于新測試的一個或多個測試方案，其中每個測試方案可特定于MS平臺、MS工具、MS零件等。
此外，服務操作者可利用GUI 100中的“Machine Operations，Test，&Corrective Actions”鍵來修改當前測試或校正動作。服務操作者可輸入新的修正號，改變某些測試條件，并提交修改后的測試以進行核準。
在另一示例中，服務操作者可訪問對于MS平臺、MS工具、MS零件或MS服務協(xié)議來說特定的文檔。例如，服務操作者可利用GUI并選擇“Machine-Related Files(documentation)”鍵，通過活動管理系統(tǒng)獲得訪問。
在另一示例中，服務操作者可利用GUI中的“Machines”鍵，將新的MS平臺和MS工具添加到活動管理系統(tǒng)，或檢查與現(xiàn)有的MS平臺和MS工具相關聯(lián)的服務活動數(shù)據(jù)；見圖8A。如圖8B所示，可以選擇現(xiàn)有的MS平臺(例如Unity IIe)和現(xiàn)有的MS工具(例如SCCM No.U10977)，并且可以檢查服務活動數(shù)據(jù)。服務活動數(shù)據(jù)可包括服務賬目(協(xié)議)、所有權信息(客戶信息)和當前材料單(BOM)。例如，服務賬目數(shù)據(jù)可包括訂單號、服務賬目類型(例如保證、合同等)、服務協(xié)議號、服務開始日期、服務停止日期、月收入、服務賬目涵蓋范圍和服務涵蓋小時。其中，可以指定新的服務賬目。另外，例如，所有權信息可包括訂單號、公司(客戶)名、計劃的FOB和實際日期、計劃的SL1和實際日期、計劃的SL2和實際日期、計劃的HW SU和實際日期以及計劃的系統(tǒng)接受和實際日期。其中，可以輸入新的所有權信息。另外，例如，當前BOM可包括MS零件、MS零件號、MS零件序列號、備用指示符(MS零件備用是否可獲得)、消耗品指示符(MS零件是否是消耗品)和規(guī)定壽期、規(guī)定壽期的單位(例如小時等)的列表，以及實際數(shù)據(jù)。實際數(shù)據(jù)可包括從MS零件校準起的天數(shù)、與MS零件相關聯(lián)的射頻(RF)小時數(shù)和針對MS零件運行的襯底(晶片)數(shù)。其中，另一MS零件可被添加到當前列表。
如圖8C所示，服務操作者可利用GUI中的“Machines”鍵將新的MS平臺和MS工具添加到活動管理系統(tǒng)。其中，服務操作者可輸入MS平臺序列號、MS平臺、以及耦合到MS平臺的MS工具號。另外，服務操作者可輸入與服務賬目(協(xié)議)相關聯(lián)的數(shù)據(jù)以及所有權。此外，服務操作者可輸入當前BOM，包括MS工具和MS零件標識、MS零件ID號、MS零件序列號(在從MS工具運輸接收到后)和MS零件規(guī)范。在新的MS平臺數(shù)據(jù)的添加期間，服務操作者可通過名稱識別其自身?；蛘?，當服務將MS工具輸入到BOM中時，如果MS零件已知與特定MS工具相關，則MS零件可自動填充到列表中。
在另一示例中，服務操作者可利用GUI并選擇“Part Types”鍵來添加新的MS零件，或者修改現(xiàn)有的MS零件；見圖8D。
在另一示例中，服務操作者可利用GUI并選擇“Service Agreements(warranty & contract)”鍵來添加或編輯新的MS服務協(xié)議，或者修改現(xiàn)有的MS服務協(xié)議；見圖8E。如圖8F所示，服務操作者可輸入公司(客戶)信息、MS服務協(xié)議(合同或保證)號、服務協(xié)議類型、服務協(xié)議涵蓋小時(例如8AM～5PM，星期一到星期五)、月收入、服務協(xié)議排除情況(例如，消耗品、客戶損壞等)、對表現(xiàn)差的懲罰、對表現(xiàn)好的獎勵以及MS平臺和/或MS工具信息。另外，可以輸入服務協(xié)議的計劃和實際的開始和停止日期，以及計劃和實際值之間的差。另外，服務操作者可輸入計劃和實際的服務協(xié)議財政狀況，包括總人工小時、人工小時比率、總人工小時成本、總MS零件成本、總成本、總收入(購買價格)、利潤(+)、虧損(-)和利潤率(％)。
在另一示例中，服務操作者可訪問數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中的服務活動數(shù)據(jù)，并且數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)可為服務操作者準備所請求數(shù)據(jù)的報告。如圖9所示，服務操作者可創(chuàng)建新的報告，或生成特定類型的報告，例如包括總保證利潤報告、總合同利潤報告、無效校正動作報告、鳥槍(shot-gunapplication)報告、零件處置問題報告、進料到部門的零件的報告、移除的零件序列號(S/N)不匹配我們的記錄的報告、遲到系統(tǒng)接受情況報告、高超時(OT)/可付費小時報告、公開FCN報告、機器需要FCN的報告、工程師IOE報告、工程師認證報告、工程師電子學習報告等。
在另一示例中，服務操作者可創(chuàng)建新的上報熱點板，或檢查上報的修理時間、上報的系統(tǒng)接受時間或上報的客戶問題。如圖10A所示，服務操作者可利用“Escalation Hotboards”鍵通過GUI來訪問上報熱點板。例如，圖10B圖示了上報時間熱點板，其中可以識別客戶(或制造工廠)，可以識別MS平臺和MS工具(“Model”)，修理狀態(tài)的總結，已被上報的修理的天數(shù)以及被指定進行修理的服務操作者的標識。另外，例如，熱點板項目可以用顏色編碼以進一步標識其狀態(tài)(即，紅色＝停機(harddown)；黃色＝有限生產；綠色＝剛剛關閉)。此外，如圖10C所示，可以訪問上報客戶問題熱點板。
在另一示例中，服務操作者可創(chuàng)建服務活動的新的關鍵分數(shù)指標(KPI)儀表板，或者訪問現(xiàn)有的KPI儀表板，以尋求客戶支持、技術支持、現(xiàn)場服務、啟動、技術公開或訓練。如圖11A所示，服務操作者可利用“KPI Dashboards”鍵通過GUI訪問KPI儀表板。例如，圖11B圖示了客戶支持KPI儀表板。該儀表板呈現(xiàn)了KPI以及實際結果和目標結果。例如，KPI可包括與特定MS平臺和MS工具上的保證MS零件相關聯(lián)的月成本的實際結果和目標結果。在這種情況下，10,000$的實際結果超出了8,500$的目標結果。另外，例如，儀表板項目可以用顏色編碼以進一步識別其狀態(tài)(即，紅色＝KPI失?。稽S色＝KPI警告)。當實際結果超過目標結果時，可發(fā)出“KPI警告”。當實際結果超過目標結果預定容限時，可發(fā)出“KPI失敗”。
在另一示例中，服務操作者可訪問用于執(zhí)行服務活動的規(guī)程，并確定他/她在規(guī)程的每步中的職責。如圖12A所示，服務操作者可利用“Procedures”鍵通過GUI來訪問規(guī)程。例如，服務操作者可創(chuàng)建新規(guī)程，或者檢查現(xiàn)有的規(guī)程。圖12B圖示了用于Unity IIe安裝的示例性規(guī)程。該規(guī)程可包括規(guī)程中步驟的順序、步驟被指定給的服務操作者(例如，“Start Up Supervisor”(啟動監(jiān)管者)相對于“Start Up Engineer”(啟動工程師))以及規(guī)程步驟的描述。
在另一示例中，服務操作者可訪問服務操作者的工作描述，并確定他/她的職責。如圖13A所示，服務操作者可利用“Job descriptions”鍵通過GUI來訪問工作描述。例如，服務操作者可創(chuàng)建新的工作描述，或者檢查現(xiàn)有的工作描述。圖13B圖示了啟動工程師(Start Up Engineer)的工作描述。
在另一示例中，服務操作者可訪問雇員動作計劃，并確定其服務動作職責。如圖14A所示，服務操作者可利用“Employee Action Plans”鍵通過GUI來訪問雇員動作。例如，如圖14B所示，服務操作者可檢查服務動作的列表，包括動作描述、當前計劃開始日期的指示和實際開始日期的指示。此外，服務動作可用顏色編碼以呈現(xiàn)其狀態(tài)(例如，灰色＝被指定者還未接受服務動作；黑色＝服務動作已指定并被接受；綠色＝服務動作完成；黃色＝服務動作生成KPI警告；紅色＝服務動作生成KPI失敗)。
在另一示例中，服務操作者可訪問桌面幫助動作計劃，并且作為桌面幫助功能的結果確定其服務動作職責。如圖15A所示，服務操作者可利用“Help Desk Action Plans”鍵通過GUI來訪問雇員動作。例如，如圖15B所示，服務操作者可檢查服務動作的列表，包括動作描述、當前計劃開始日期的指示、實際開始日期的指示和服務動作已被指定給的服務操作者的指示。此外，服務動作可用顏色編碼以呈現(xiàn)其狀態(tài)(例如，灰色＝被指定者還未接受服務動作；黑色＝服務動作已指定并被接受；綠色＝服務動作完成；黃色＝服務動作生成KPI警告；紅色＝服務動作生成KPI失敗)。
另外，服務操作者可利用“Help Desk Action”功能來請求幫助。例如，服務操作者可選擇“ES Technical Support”(見圖15A)，并訪問由ES技術支持(ES Technical Support)組執(zhí)行的服務動作。其后，服務操作者可利用“Assign New”鍵指定新的服務動作(見圖15B)，并輸入服務動作的細節(jié)。如圖15C所示，服務動作細節(jié)可包括動作標識號(ID)、服務動作的描述、父動作(或任務)(如果存在的話)的標識、客戶(或公司)的標識、最初計劃開始日期和時間的指示、當前計劃開始日期和時間的指示、實際開始日期和時間的指示、最初計劃停止日期和時間的指示、當前計劃停止日期和時間的指示、實際停止日期和時間的指示、服務動作順序的指示、購買者的指示、請求者的標識、指定者的標識、被指定者的標識、指定日期、接受日期、拒絕日期、拒絕原因、意見。一旦輸入了動作細節(jié)，服務操作者就可以將服務動作請求添加到服務動作列表，如圖15B中的列表。新的服務動作可著重顯示為灰色以指示其還未被接受?；顒庸芾硐到y(tǒng)可通知ES技術支持(例如經(jīng)由電子郵件)新的服務動作已被添加。被告知新的服務動作的另一服務操作者可決定接受服務動作請求(見圖15D)，并且服務動作列表(圖15B)被更新以通過將動作著重顯示為黑色(已接受)來反映該具體服務動作的狀態(tài)變化。如圖15D所示，服務操作者或者可以拒絕服務動作，檢查KPI，檢查指令，檢查服務動作細節(jié)，或檢查任何支持文檔。
此外，利用GUI和“Help Desk Action”鍵，服務操作者可將服務動作從例如ES技術支持組轉發(fā)到另一群組，例如TEA IS組。服務操作者可停止第一組中的服務動作，并在第二組中發(fā)起請求。
在另一示例中，服務操作者可訪問項目動作計劃，并針對特定項目確定其服務動作職責。如圖16A所示，服務操作者可利用“Project ActionPlans”鍵通過GUI來訪問雇員動作。例如，如圖16B所示，服務操作者可檢查服務動作的列表，包括動作描述、當前計劃開始日期的指示、實際開始日期的指示、服務動作已被指定給的服務操作者的指示。此外，服務動作可用顏色編碼以呈現(xiàn)其狀態(tài)(例如，灰色＝被指定者還未接受服務動作；黑色＝服務動作已指定并被接受；綠色＝服務動作完成；黃色＝服務動作生成KPI警告；紅色＝服務動作生成KPI失敗)。
在另一示例中，服務操作者可訪問客戶動作計劃，并針對特定客戶確定其服務動作職責。如圖17A所示，服務操作者可利用“Customer ActionPlans”鍵通過GUI來訪問雇員動作。例如，如圖17B所示，服務操作者可檢查服務動作的列表，包括動作描述、當前計劃開始日期的指示、實際開始日期的指示、服務動作已被指定給的服務操作者的指示。此外，服務動作可用顏色編碼以呈現(xiàn)其狀態(tài)(例如，灰色＝被指定者還未接受服務動作；黑色＝服務動作已指定并被接受；綠色＝服務動作完成；黃色＝服務動作生成KPI警告；紅色＝服務動作生成KPI失敗)。
在另一示例中，服務操作者可創(chuàng)建新的服務操作者之間的協(xié)作，或者加入現(xiàn)有的服務操作者之間的協(xié)作。如圖18A所示，服務操作者可利用“Collaboration”鍵通過GUI來訪問新的和現(xiàn)有的協(xié)作。例如，如圖18B所示，服務操作者可打開新的協(xié)作，其中提供了標識(ID)號、發(fā)起協(xié)作的日期和時間以及發(fā)起者的標識。服務操作者還可輸入?yún)f(xié)作的標題、協(xié)作的介紹、用于協(xié)作的論壇定義、以及協(xié)作的被邀請者的定義；見圖18C。論壇可例如包括“Open”(開放)論壇，其中每個人都有讀寫權限，并且沒有提供邀請；“Private”(私有)論壇，其中只有被邀請者有讀寫權限，并且向被邀請者提供了邀請；以及“Public”(公共)論壇，其中被邀請者有讀寫權限，其余每個人有讀權限，并且向被邀請者提供了邀請。
一旦發(fā)起協(xié)作，就可以利用“Collaboration”鍵經(jīng)由GUI來訪問協(xié)作；見圖18A。圖18D呈現(xiàn)了一種現(xiàn)有的協(xié)作，其中第一服務操作者發(fā)起討論。圖18E和18F圖示了若干個其他服務操作者對第一服務操作者的回復。其后，如果協(xié)作的被邀請者同意新的服務動作，則服務操作者之一可以將新的服務動作輸入到雇員動作計劃、桌面幫助動作計劃、項目動作計劃或客戶動作計劃中的任何一個。
如上所述，活動管理系統(tǒng)1與諸如服務操作者之類的系統(tǒng)用戶交互，以執(zhí)行可用于使服務操作者執(zhí)行服務動作的各種服務功能數(shù)據(jù)。下面的方法描述了服務操作者與活動管理系統(tǒng)1用來執(zhí)行特定服務動作的互動。
服務部件修理根據(jù)一個實施例，一種用于執(zhí)行服務部件修理的方法可包括以下步驟(1)識別服務部件修理需求；(2)利用活動管理系統(tǒng)將修理服務過程指定給諸如服務修理工程師之類的服務操作者；以及(3)活動管理系統(tǒng)列出該服務部件的修理歷史總結。示出了由在最后一次與活動管理系統(tǒng)1同步的服務操作者之前的所有服務操作者上載的每個修理?；顒庸芾硐到y(tǒng)1示出了初始故障、校正動作和校正動作是否表現(xiàn)無效。歷史返回到在設備安裝期間執(zhí)行的最終測試的開始。
(4)服務操作者輸入在活動管理系統(tǒng)中失敗的(一個或多個)機器測試名詞(例如，“Etch Rate，51A5”等)。(5)如果活動管理系統(tǒng)以前曾見過這種失敗，則其提供互動案例研究。(活動管理系統(tǒng)給出與記錄在當前案例上的當前測試結果相匹配的所有案例。然后，其列出對匹配案例進行的附加測試動詞/名詞(例如，“Test RF Forward Power Level”)，以及對匹配案例進行的附加變化動詞/名詞(例如“Clean ESC”))。測試通過區(qū)分概率和所需的時間而被劃分優(yōu)先級。通過變化修理匹配案例的次數(shù)來劃分變化的優(yōu)先級。服務工程師可通過服務部件型號、工藝類型或客戶來過濾。
(6)服務操作者隨后診斷(排查)問題。(7)服務操作者可選擇對匹配案例進行的測試(理想的)，選擇不對匹配案例進行的測試，進行新的測試，或僅僅以自由文本描述測試。活動管理系統(tǒng)標記新的測試以供檢查。測試可在完成(有結果)或對未來作出計劃后被記錄?；顒庸芾硐到y(tǒng)從所選的動詞/名詞組中提取出特定于服務部件的測試(如果不存在動詞/名詞組的話，則允許用戶作出動詞/名詞組)?；顒庸芾硐到y(tǒng)通過查看s/n特定的期望的關鍵零件材料單(BOM)來獲知服務部件。測試在實際動作計劃(指定了服務操作者、服務部件等)中示為修理父任務下的子任務。
(8)服務操作者可通過點擊與動作計劃中的測試緊接著的關聯(lián)按鈕來讀取活動管理系統(tǒng)中的關鍵績效指標(KPI)(規(guī)范)或指令。(9)服務操作者可搜索并讀取活動管理系統(tǒng)中的清楚的服務部件描述和操作理論圖。(10)服務操作者可在活動管理系統(tǒng)中輸入封閉任務。服務操作者可將開放任務轉移給另一服務操作者。(11)服務操作者將服務部件修理測試結果記入活動管理系統(tǒng)中。服務操作者可將測試結果記入活動管理系統(tǒng)中(例如，“Test RF Forward Power Level”)?；顒庸芾硐到y(tǒng)顯示針對該任務記入的結果。結果日志文件示例可包括規(guī)范名“Power Meter BeforeMatcher to Power Setting”，目標級別“X”，實際級別“Y”和任何意見。
(12)服務操作者隨后校正問題。(13)服務操作者可選擇對匹配案例進行的(一個或多個)變化，選擇不對匹配案例進行的(一個或多個)變化，進行新的(一個或多個)變化，或僅僅以自由文本描述(一個或多個)變化?；顒庸芾硐到y(tǒng)標記新的變化以供檢查。變化可在完成或對未來作出計劃后(尤其當更換MS零件時，因為MS零件需要訂購)被記錄?；顒庸芾硐到y(tǒng)從所選的動詞/名詞組中提取出特定于服務部件的變化。活動管理系統(tǒng)通過查看序列號(s/n)特定的期望的關鍵零件BOM(材料單)來獲知服務部件。(一個或多個)變化在實際動作計劃(指定了服務操作者、服務部件等)中示為修理父任務下的(一個或多個)子任務。(14)服務操作者還可通過點擊與動作計劃中的變化緊接著的(一個或多個)關聯(lián)按鈕來讀取活動管理系統(tǒng)中的(一個或多個)指令。(15)如果變化動詞是“更換(replace)”，變化名詞是“零件類型(part type)”，則活動管理系統(tǒng)作出MS零件訂購系統(tǒng)任務。
(16)活動管理系統(tǒng)在解決了案例時(所有失敗的測試當前都已通過)，通知服務操作者，著重顯示不是解決方案一部分的MS零件以使其可以移除，并且著重顯示要一起(shot-guned)更換的MS零件，以使其可被進一步隔離。服務操作者可繼續(xù)工作或關閉案例。(17)活動管理系統(tǒng)將該案例添加到其互動案例研究(除非由于對案例建檔的問題而導致服務操作者拒絕)。(18)另一服務操作者(例如技術支持)檢查新的測試和變化，并刪除或改變現(xiàn)有的測試或變化(如果需要的話)。
服務部件清洗根據(jù)另一實施例，一種用于執(zhí)行服務部件清洗的方法可包括以下步驟(1)服務操作者基于服務部件設計、工藝經(jīng)驗和維護經(jīng)驗在活動管理系統(tǒng)中生成用于該服務部件的清洗規(guī)程。生成了一系列步驟，這一系列步驟基于日歷、晶片(襯底)計數(shù)器或RF定時器(典型地是一(1)年長)指定了每個清洗步驟的開始標準。
(2)服務操作者基于服務部件設計、工藝經(jīng)驗和維護經(jīng)驗在活動管理系統(tǒng)中生成用于該服務部件的(一個或多個)清洗指令。所需要的一組重要的MS零件是服務部件特定的清潔配套工具(kit)。(3)服務操作者可在活動管理系統(tǒng)中將服務部件測試、變化和操作指令鏈接到(一個或多個)清洗指令中的步驟。(4)服務操作者(例如服務監(jiān)管者/管理者)在活動管理系統(tǒng)中給客戶服務部件指定清洗規(guī)程。(5)服務操作者(例如服務監(jiān)管者/管理者)指定在他/她想要跟蹤的活動管理系統(tǒng)中清洗規(guī)程步驟的被指定者。
(6)標識出服務部件需要清洗。如果開始標準是基于日歷的，則活動管理系統(tǒng)在時間到時發(fā)起。如果開始標準是基于晶片計數(shù)器或RF定時器的，則活動管理系統(tǒng)在服務部件計數(shù)器被更新時發(fā)起(如果可適用的話)。服務操作者被要求每當其對服務部件操作就更新服務部件計數(shù)器，并且一天一次。如果建立了電子監(jiān)視，則服務部件計數(shù)器可被實時更新。(7)服務操作者選擇針對清潔配套工具零件類型的MS零件訂購系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)生成與清洗父任務相關聯(lián)的并且被指定給服務操作者和服務部件的MS零件請求系統(tǒng)任務。
(8)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中記入服務部件清洗測試結果。服務操作者可訪問結果日志(例如“Test P/C Leak Rate”)?；顒庸芾硐到y(tǒng)顯示該任務的結果日志。結果日志示例產品零件類型PC，產品S/NSCCM55-PC1，規(guī)范名Self Check P/C Leak Rate Result，目標3，實際最終測試2，實際...，意見...；(9)服務操作者向活動管理系統(tǒng)輸入封閉任務。服務操作者可將開放任務轉移給另一服務操作者。(10)服務操作者也可通過點擊與動作計劃中的任務緊接著的關聯(lián)按鈕來讀取活動管理系統(tǒng)中的KPI(規(guī)范)或指令。(11)如果測試結果失敗，則活動管理系統(tǒng)作出與測試子任務相關聯(lián)的并且被指定給服務操作者和客戶服務部件的修理系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)還輸入失敗的機器測試名詞(例如，“P/C Leak Rate”)。
服務部件更換根據(jù)另一實施例，一種用于執(zhí)行服務部件更換(例如MS零件的更換)的方法可包括以下步驟(1)通知服務部件需要更換；(2)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中將更換任務指定給他/她自己以及諸如清潔配套工具之類的服務部件更換；以及(3)服務操作者可將任務轉發(fā)給另一服務操作者。
(4)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中輸入多久清潔配套工具在MS平臺或MS工具上被更換(例如300個晶片、14天或300RF小時)。(5)如果MS零件實際壽期(在活動管理系統(tǒng)中被跟蹤)在用于MS平臺或MS工具中的另一工藝周期之前超過了典型壽期(在活動管理系統(tǒng)中指定)，則活動管理系統(tǒng)生成與服務操作者和服務部件更換或清潔配套工具相關聯(lián)的用于該(一個或多個)MS零件的MS零件訂購系統(tǒng)任務。(6)如果(一個或多個)MS零件被損壞，則服務操作者選擇MS零件訂購系統(tǒng)任務。(7)服務操作者清洗其他MS零件，或將其返回到清洗中心以進行清洗。
(8)活動管理系統(tǒng)通過零件序列號(s/n)跟蹤MS零件位置(例如，倉庫、廢料、配套工具BOM或不固定)和MS零件特性。服務操作者輸入更換MS零件何時丟失、被接收(包括s/n)、被打開、被添加到清潔配套工具、被從清潔配套工具移除等等。服務操作者輸入更換MS零件為何不被添加到清潔配套工具的原因(例如，錯誤的MS零件、MS零件不需要、重復的MS零件、MS零件損壞、MS零件未訂購、MS零件誤標記等)?；顒庸芾硐到y(tǒng)確定更換MS零件是否有經(jīng)核準的購買帳目。另一服務操作者可調查MS零件s/n的不符。
執(zhí)行預防性維護根據(jù)另一實施例，一種用于對服務部件(例如MS平臺、MS工具或MS零件)執(zhí)行預防性維護(PM)的方法可包括以下步驟(1)服務操作者(例如服務設計者)基于服務部件設計、工程經(jīng)驗和維護經(jīng)驗，在活動管理系統(tǒng)中生成用于該產品的PM規(guī)程。提供了一系列步驟，其中每個步驟基于日歷、晶片計數(shù)器或RF定時器(典型地是一年長)指定了用于每個PM步驟的開始標準。(2)服務操作者(例如技術寫入者)在活動管理系統(tǒng)中生成用于該服務部件的(一個或多個)PM指令。例如，服務部件PM可包括服務部件特定的PM配套工具。(3)服務操作者可在活動管理系統(tǒng)中將服務部件測試、變化和操作指令鏈接到(一個或多個)PM指令中的步驟。
(4)服務操作者(例如服務管理者)在活動管理系統(tǒng)中給客戶服務部件指定PM規(guī)程。(5)服務管理者指定他/她想要跟蹤的活動管理系統(tǒng)中的PM規(guī)程步驟的服務操作者(被指定者)。(6)標識出服務部件需要PM。如果開始標準是基于日歷的，則活動管理系統(tǒng)在PM的時間到時發(fā)起。如果開始標準是基于晶片計數(shù)器或RF定時器的，則活動管理系統(tǒng)在服務部件計數(shù)器被更新時發(fā)起(如果可適用的話)。服務操作者被要求每當其對服務部件操作時就更新服務部件計數(shù)器，并且一天一次。如果建立了電子監(jiān)視，則服務部件計數(shù)器可被實時更新。
(7)服務操作者(例如PM技術員)檢查活動管理系統(tǒng)上的PM任務。(8)PM技術員選擇針對PM配套工具MS零件類型的MS零件訂購系統(tǒng)任務。活動管理系統(tǒng)生成與PM父任務相關聯(lián)的并且被指定給服務操作者和客戶服務部件的MS零件請求系統(tǒng)任務。(9)PM技術員在活動管理系統(tǒng)中輸入服務部件PM測試結果。隨后服務操作者可訪問該任務的結果日志。結果日志示例包括產品零件類型“PC”，產品S/N“SCCM55-PC1”，規(guī)范名“Self Check P/C Leak Rate Result”，目標“3”，實際最終測試“2”，以及任何意見。(10)PM技術員向活動管理系統(tǒng)輸入封閉任務。服務操作者可將開放任務轉發(fā)給另一服務操作者。(11)PM技術員可檢查活動管理系統(tǒng)中的KPI(規(guī)范)或指令。(12)如果測試結果失敗，則活動管理系統(tǒng)可生成與測試子任務相關聯(lián)的并且被指定給服務操作者和客戶服務部件的修理系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)還輸入失敗的服務部件測試名詞(例如，“P/C Leak Rate”等)。
服務部件安裝根據(jù)另一實施例，一種用于執(zhí)行服務部件安裝(例如MS平臺、MS工具或MS零件的安裝)的方法可包括以下步驟(1)服務操作者(例如服務管理者)在活動管理系統(tǒng)中生成安裝規(guī)程。最終測試步驟和啟動步驟被鏈接到相應指令。(2)服務操作者(例如服務設計者)向活動管理系統(tǒng)中的最終測試指令和啟動指令輸入以特定服務部件發(fā)起的新步驟。(3)服務操作者(例如技術寫入者)將服務部件測試、變化和操作指令(利用其動詞/名詞組)鏈接到活動管理系統(tǒng)中的最終測試指令和啟動指令中的新步驟。(4)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中生成多個MS零件的s/n特定的服務部件BOM以“track from start(從開始跟蹤)”(例如MS平臺、MS工具、清潔配套工具、PM配套工具等)。活動管理系統(tǒng)可添加s/n未知的臨時s/n。如果MS零件不存在于活動管理系統(tǒng)中，則其被輸入。該條目的示例包括P/N“ES1D80-1231-01”，零件通用名“12inch Ceramic ESC”，零件官方名“X”，零件類型“ESC”，壽期“3000”，特別處置“SD23”。(5)服務操作者輸入客戶標識、購買帳目等。例如，P/N“ES1D80-1231-01”，零件S/N“ANS-343”，零件別名“X”，父零件S/N“PC1-SCCM68”。
(6)服務操作者(例如服務管理者)在活動管理系統(tǒng)中給客戶服務部件指定安裝規(guī)程。(7)服務管理者指定他/她想要跟蹤的活動管理系統(tǒng)中的安裝規(guī)程步驟的其他服務操作者(被指定者)。(8)活動管理系統(tǒng)通過從在最終測試指令和啟動指令中列舉的動詞/名詞組中提取出服務部件特定的指令，來在活動管理系統(tǒng)中生成s/n特定的最終測試指令和s/n特定的啟動指令。活動管理系統(tǒng)可從s/n特定的期望的關鍵零件BOM中識別出服務部件。這些步驟在實際動作計劃(例如，指定的服務操作者、服務部件等)中示為最終測試或啟動父任務下的子任務。
服務部件的更改根據(jù)另一實施例，一種用于執(zhí)行服務部件的更改(例如對MS平臺、MS工具或MS零件的更改)的方法可包括以下步驟(1)標識出需要對現(xiàn)有的服務部件進行特殊更改。(2)服務操作者(例如服務管理者)確定是否繼續(xù)(例如，考慮估計成本，資源優(yōu)先級以及客戶的購買意愿)，是否請求客戶不執(zhí)行更改(例如，更改可能導致問題)，或者是否請求(或允許)客戶自己從事更改。(3)如果服務操作者(例如服務管理者)確定需要新的MS零件設計，則可以設計解決方案，構建原型，并測試該解決方案。
(4)服務操作者生成用于購買的MS零件(例如，離架的MS零件)、設計的MS零件以及MS零件組件的規(guī)范文檔。文檔可包括(一個或多個)提供者和(一個或多個)提供者的零件號。文檔還可包括文本、物理繪圖和示意圖，以及其任意組合。文檔還可包括修正(例如，對形式、適合性或功能不產生影響)。(5)服務操作者給MS零件、MS零件組件和MS零件規(guī)范文檔指定工程號。工程號可包括版本(例如客戶、國家等)和后綴(例如，指示反向兼容性)。(6)服務操作者生成MS零件組件的期望的BOM。(7)服務操作者生成軟件的版本注釋。(8)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中生成更改安裝指令。(9)服務操作者可將服務部件測試、變化和操作指令鏈接到活動管理系統(tǒng)中的(一個或多個)更改安裝指令中的步驟。(10)服務操作者(例如服務管理者)在活動管理系統(tǒng)中將更改安裝指令指定給受影響的服務部件。(11)服務管理者在活動管理系統(tǒng)中給更改安裝任務指定服務操作者(被指定者)。
(12)標識出服務部件需要更改安裝。如果開始標準是基于日歷的，則活動管理系統(tǒng)在時間到時發(fā)起。如果開始標準是基于晶片計數(shù)器或RF定時器的，則活動管理系統(tǒng)在服務部件計數(shù)器被更新時發(fā)起(如果可適用的話)。服務操作者被要求每當其對服務部件操作就更新服務部件計數(shù)器，并且一天一次。如果建立了電子監(jiān)視，則服務部件計數(shù)器可被實時更新。(13)服務操作者(例如被指定執(zhí)行更改的某個人)在活動管理系統(tǒng)中記入更改測試結果。服務操作者可通過活動管理系統(tǒng)訪問測試結果(例如，“Test P/C Leak Rate”的結果)。結果日志示例包括產品零件類型“PC”，產品S/N“SCCM55-PC1”，規(guī)范名“Self Check P/C LeakRate Result”，目標“3”，實際最終測試“2”，實際“X”，以及任何意見。(14)服務操作者可將封閉任務輸入到活動管理系統(tǒng)中，并通過活動管理系統(tǒng)將開放任務轉交給另一服務操作者。(15)如果測試結果失敗，則活動管理系統(tǒng)可生成與測試子任務相關聯(lián)的并且被指定給服務操作者和客戶服務部件的修理系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)還輸入失敗的機器測試名詞(例如，“P/C Leak Rate”)。
服務部件卸載根據(jù)另一實施例，一種用于執(zhí)行服務部件卸載(例如MS平臺、MS工具或MS零件的卸載)的方法可包括以下步驟(1)標識出需要進行服務部件卸載；以及(2)服務操作者將卸載系統(tǒng)任務指定給他/她自己，以及活動管理系統(tǒng)中的客戶服務部件。(3)服務操作者卸載服務部件。(4)服務操作者將封閉任務輸入到活動管理系統(tǒng)中。服務操作者可將開放任務轉交給另一服務操作者。(5)如果MS零件遺失，或者需要額外的MS零件，則服務操作者可選擇零件訂購系統(tǒng)任務。(6)如果服務部件需要修理，則活動管理系統(tǒng)生成與測試子任務相關聯(lián)的并且被指定給服務操作者和客戶服務部件的修理系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)還輸入失敗的服務部件測試名詞(例如，“RF Forward Power level”)。
零件訂購根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行MS零件訂購的方法可包括以下步驟。(1)標識出需要進行MS零件訂購。(2)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中生成MS零件訂購系統(tǒng)任務。如果需要用于個別服務任務(如在典型情形中一樣)，則活動管理系統(tǒng)將MS零件訂購與父任務號相關。(3)如果服務操作者提供了MS零件類型，則活動管理系統(tǒng)列出與該MS零件類型相匹配的服務部件BOM中的(一個或多個)MS零件(和(一個或多個)MS零件等級)。(4)服務操作者從列表中選擇MS零件或添加MS零件到基于服務部件BOM的FRU號ID文檔。如果MS零件還未存在于活動管理系統(tǒng)中，則服務操作者生成新的MS零件。例如，P/N“ES1D80-1231-01”，零件通用名“12inch Ceramic ESC”，零件官方名“X”，零件類型“ESC”。
(5)活動管理系統(tǒng)推薦質量、基于服務部件的(一個或多個)服務協(xié)議以及零件是否是消耗品的購買帳目(即，保證、合同、已支付服務購買訂單等)、運輸優(yōu)先級(例如，“需要零件運輸”、“隔日”等)、針對該服務部件最后一次使用的運輸?shù)刂?、任何運輸意見(例如，“don’temail estimated time of arrival(ETA)unless the MS part can not be shipped“overnight”)”(“除非MS零件不能“隔日”運輸，不用電子郵件郵寄估計到達時間(ETA)“)、以及s/n未知時的臨時s/n。(6)服務操作者確認MS零件訂購信息，并在活動管理系統(tǒng)中編輯該信息(如果必要的話)。活動管理系統(tǒng)提示服務操作者考慮活動購買帳目。服務操作者可向訂單中添加多于一個MS零件(如果必要的話)。(7)活動管理系統(tǒng)獲取MS零件價格。如果客戶正在購買，或者MS零件相對不貴，近來未被更換，并且已遵照了最好的已知方法，則活動管理系統(tǒng)可自動核準該MS零件訂購。
(8)活動管理系統(tǒng)通知服務操作者何時支付和運輸被核準或拒絕。(9)如果與服務任務(例如，修理、啟動等)相關聯(lián)，則MS零件仍保留有該任務，即使該任務轉交給不同的服務操作者(被指定者)。(10)活動管理系統(tǒng)通知服務操作者ETA和跟蹤號(如果需要的話)。(11)如果需要的話，MS零件被運輸。
(12)活動管理系統(tǒng)通過零件s/n跟蹤MS零件位置(例如，倉庫、廢料、服務部件BOM或不固定)和MS零件特性。服務操作者將與更換MS零件何時丟失、被接收(例如輸入s/n)、被打開、被安裝以及被移除有關的信息輸入到活動管理系統(tǒng)中。服務操作者輸入更換MS零件為何被移除的原因(例如，MS零件不能解決問題或者MS零件損壞)。服務操作者輸入更換MS零件為何一直不安裝的原因(例如，錯誤的MS零件、MS零件不需要、MS零件重復、MS零件損壞、MS零件未訂購、MS零件誤標記)?；顒庸芾硐到y(tǒng)確定在移除時(例如確認/輸入s/n)，原始MS零件是好的、壞的還是未知?；顒庸芾硐到y(tǒng)輸入更換MS零件是否有被核準的購買帳目。服務操作者可調查MS零件s/n的不符。
生成MS零件故障關鍵分數(shù)指標(KPI)根據(jù)另一實施例，活動管理系統(tǒng)利用以下方法生成MS零件故障關鍵分數(shù)指標(KPI)分析(1)活動管理系統(tǒng)生成MS零件故障KPI儀表板，并且包括在其壽期目標之前發(fā)生故障的消耗品零件和非消耗品MS零件更換。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的MS零件故障KPI儀表板的績效。服務操作者選擇MS零件故障KPI儀表板的類型(例如，“All”(全部)、“Service Component-Specific”(特定于服務部件)、“Customer-Specific”(特定于客戶)等)。活動管理系統(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個MS零件例如，質量、成本、修理時間、以天為單位的平均壽期、晶片和RF小時以及壽期目標(如果指定用于消耗品的話)。任何一列可向上或向下排序。列表可被過濾(包括日期范圍)。(3)服務操作者可利用活動管理系統(tǒng)中的MS零件故障KPI儀表板，周期性地識別總體的最頂端的五個MS零件以及用于每個服務部件的頂端0-3個MS零件(如果是低用量或低優(yōu)先級市場，則0)。
(4)如果未在前一周期中進行，則服務操作者檢查活動管理系統(tǒng)中的修理歷史，并發(fā)起校正動作以改變維護(如果那是問題所在的話)(例如，修正訓練、修正文檔、發(fā)送公告等)。(5)如果服務操作者確定需要宣告新的維護設計(例如，每新指令進行清洗)，則服務操作者生成問題和解決方案的描述，并列出具有舊的維護設計的客戶。(6)如果問題并不表現(xiàn)為與維護相關并且未在前一周期中進行，則服務操作者生成返回用于分析的特別處置。
生成MS零件消耗關鍵分數(shù)指標(KPI)根據(jù)另一實施例，活動管理系統(tǒng)利用以下方法生成MS零件消耗關鍵分數(shù)指標(KPI)分析(1)活動管理系統(tǒng)生成包括消耗品零件的MS零件消耗KPI儀表板。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的MS零件消耗KPI儀表板的績效。服務操作者選擇MS零件消耗KPI儀表板的類型(例如，“All”、“Service Component-Specific”、“Customer-Specific”等)?；顒庸芾硐到y(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個MS零件例如，質量、成本、修理時間、以天為單位的平均壽期、晶片和RF小時以及壽期目標(如果指定用于消耗品的話)。任何一列可向上或向下排序。(3)服務操作者可利用活動管理系統(tǒng)中的MS零件消耗KPI儀表板周期性地識別總體的最頂端的五個MS零件以及用于每個服務部件的頂端0-3個MS零件(如果是低用量或低優(yōu)先級市場，則0)。
(4)如果未在前一周期中進行，則服務操作者檢查活動管理系統(tǒng)中的修理歷史，并發(fā)起校正動作以改變維護(如果那是問題所在的話)(例如，修正訓練、修正文檔、發(fā)送公告等)。(5)如果服務操作者確定需要宣告新的維護設計(例如，每新指令進行清洗)，則服務操作者生成問題和解決方案的描述，并列出具有舊的維護設計的客戶。(6)如果問題并不表現(xiàn)為與維護相關并且未在前一周期中進行，則服務操作者生成返回用于分析的特別處置。
生成MS零件處置推薦根據(jù)另一實施例，活動管理系統(tǒng)可用于生成MS零件處置推薦。其中，例如，服務操作者(例如服務設計者)在活動管理系統(tǒng)中針對標準MS零件生成標準處置(例如，丟棄、返回庫存等)，針對特別零件生成特別處置(例如，返回修理、返回分析、由于交換返回等)，活動管理系統(tǒng)提供了用于各種MS零件狀態(tài)變化的處置推薦。如果特別處置是修理，則另一服務操作者(例如技術支持)可提供處置推薦的輸入。如果特別處置是用于交換或分析，則另一服務操作者(例如技術支持)可輸入數(shù)量(例如，買了多少壞的匹配者，或者樣品分析批次的期望大小等)。如果MS零件并不存在于活動管理系統(tǒng)中，則其可被輸入作為新零件；例如，P/N“ES1D80-1231-01”，零件通用名“12inch Ceramic ESC”，零件官方名“X”，零件類型“ESC”，壽期“3000”，特別處置“SD23”。
返回MS零件根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)返回MS零件的方法可包括以下步驟(1)標識出需要進行MS零件返回(return)。(2)服務操作者(例如零件返回專家)在活動管理系統(tǒng)中生成MS零件返回系統(tǒng)任務。如果MS零件返回系統(tǒng)任務與個別服務任務相關(如在典型情形中那樣)，則活動管理系統(tǒng)將該任務與父任務相關聯(lián)。(3)如果服務操作者提供了MS零件s/n(即使是由活動管理系統(tǒng)指定的臨時s/n)，則活動管理系統(tǒng)顯示MS零件特性/位置，并推薦處置(例如，詢問特定的服務操作者，給予所有者，丟棄，發(fā)送到MS零件分析中心，發(fā)送到MS零件修理/清洗中心，返回庫存，保存用于故障排查等)。另外，活動管理系統(tǒng)基于標準或特別處置配置確定是否對MS零件去污。
(4)如果MS零件正被返回用于分析或修理/清洗，則活動管理系統(tǒng)推薦購買帳目(例如，保證、合同、已支付服務購買訂單(PO)、部門等)。(5)服務操作者確認MS零件返回信息，并且編輯活動管理系統(tǒng)中的任何信息(如果必要的話)?；顒庸芾硐到y(tǒng)提示服務操作者考慮活動購買帳目(用于分析和修理/清洗)。另一服務操作者(例如零件訂購專家)可將多于一個MS零件添加到返回(如果必要的話)。服務操作者可能需要在從客戶取得PO之前從分析/修理/清洗中心取得報價。(6)如果返回到庫存，則活動管理系統(tǒng)通知客戶服務中心核準，并在活動管理系統(tǒng)中輸入返回材料授權(RMA)號?；顒庸芾硐到y(tǒng)將該RMA號發(fā)送到服務操作者。如果返回用于活動管理系統(tǒng)所不推薦的分析或修理/清洗，則活動管理系統(tǒng)通知另一服務操作者(例如技術支持)核準，并輸入RMA號，如果返回用于活動管理系統(tǒng)所推薦的分析或修理/清洗，則活動管理系統(tǒng)核準并輸入RMA號。
(7)如果運輸出國，則活動管理系統(tǒng)生成耗用品運輸授權(non-inventory shipping authorizatin，NISA)。(8)Import-Export(進出口)向服務操作者提供了商業(yè)發(fā)貨單。(9)服務操作者對MS零件去污/密封?；顒庸芾硐到y(tǒng)生成MS零件返回表格以置于MS零件上。服務操作者打印表格，并將其與MS零件和商業(yè)發(fā)貨單一起運輸。(10)服務操作者在活動管理系統(tǒng)中輸入跟蹤號。(11)客戶服務中心在活動管理系統(tǒng)中輸入跟蹤號。如果MS零件僅要求放回庫存，或者放回庫存并具有新的標簽，則活動管理系統(tǒng)將處置標記為封閉。如果MS零件被修理/清洗并被放入倉庫中，則活動管理系統(tǒng)基于活動管理系統(tǒng)中的特別處置獲得核心值(corevalue)，對購買帳目貸記(例如，保證、已支付服務PO(在交換程序上)等)，并通知客戶服務中心。
執(zhí)行MS零件分析根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行MS零件分析的方法可包括(1)標識出需要進行MS零件分析；(2)零件分析中心分析MS零件/批次，制作MS零件分析報告和MS零件分析發(fā)貨單，通知一個或多個服務操作者(例如技術支持、零件返回專家和零件分析請求者)，并將MS零件運輸?shù)組S零件所有者處。如果MS零件為服務提供者所擁有，則他們可例如決定修理或丟棄MS零件；(3)服務操作者(例如技術支持)在活動管理系統(tǒng)中將MS零件分析報告附到MS零件(通過s/n)或MS零件號(如果分析一批的話)上，對于每個MS零件將處置標記為封閉的，并且如果分析顯示MS零件終究還是好的零件，則將MS零件標記為不是解決方案的一部分；以及(4)服務操作者(例如零件分析請求者)為MS零件分析支付。
執(zhí)行MS零件修理或清洗根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行MS零件修理或清洗的方法可包括(1)標識出需要進行MS零件修理或清洗；(2)MS零件修理/清洗中心修理/清洗MS零件，作出MS零件修理/清洗報告和零件修理/清洗發(fā)貨單，通知一個或多個服務操作者(例如技術支持和零件所有者)(例如，客戶或服務提供者的倉庫、客戶等)，并將MS零件運輸?shù)搅慵姓咛帲?3)服務操作者(例如技術支持)在活動管理系統(tǒng)中將MS零件修理/清洗報告附到MS零件(通過s/n)上，并將處置標記為封閉的；以及(4)MS零件所有者為MS零件修理/清洗支付。
執(zhí)行MS零件修正根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行MS零件修正的方法可包括以下步驟(1)服務操作者(例如服務管理者)定義MS零件問題/機會，并標識出需要新的MS零件設計。(2)另一服務操作者(例如維護工程師(sustaining engineer))設計解決方案，構造原型，并測試解決方案。(3)該另一服務操作者(即維護工程師)生成用于購買的MS零件(例如，離架MS零件)、設計的MS零件和MS零件組件的規(guī)范文檔。文檔可包括(一個或多個)提供者和(一個或多個)提供者零件號。文件還可包括文本、物理繪圖或示意圖，或其任意組合。文檔還可包括修正(例如，對形式、適合性或功能不產生影響)。(4)維護工程師給MS零件、MS零件組件和規(guī)范文檔指定工程號，其中工程號可包括版本(客戶、國家等)和后綴(指示反向兼容性)。(5)維護工程師生成MS零件組件的期望的BOM。(6)維護工程師生成軟件的版本注釋。
(7)如果服務操作者(即服務管理者)確定新的MS零件設計需要被安裝在現(xiàn)有的服務部件(例如MS平臺或MS工具)中以使它們滿足購買或安全性要求，則維護工程師生成現(xiàn)場變化通知(FCN)(例如，描述問題和解決方案的客戶接受情況表格)以及具有舊的MS零件設計的服務部件列表(數(shù)據(jù)可存儲在活動管理系統(tǒng)中)。如果服務管理者確定新的MS零件設計只需要安裝在新的服務部件中，或者當舊的MS零件發(fā)生故障或用壞時或當客戶想要購買時安裝在現(xiàn)有的服務部件中，則維護工程師生成連續(xù)改進通知(CIN)(描述機會的報告)以及具有舊的MS零件設計的服務部件列表(數(shù)據(jù)可存儲在活動管理系統(tǒng)中)。
執(zhí)行現(xiàn)場變化通知(FCN)
根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行現(xiàn)場變化通知(FCN)的方法可包括以下步驟(1)服務操作者(例如維護工程師)在活動管理系統(tǒng)中對于每個受影響的服務部件生成(一個或多個)FCN安裝指令。新的(一個或多個)MS零件列在所需要的MS零件中。(2)維護工程師可將服務部件測試、變化和操作指令鏈接到活動管理系統(tǒng)的(一個或多個)FCN安裝指令中的步驟。(3)另一服務操作者(例如技術支持)在活動管理系統(tǒng)中生成用于該FCN的FCN規(guī)程。其后，F(xiàn)CN可例如被呈現(xiàn)給客戶以供檢查和核準。安裝FCN步驟的開始標準可以是基于日歷的、基于晶片計數(shù)器的或基于RF定時器的。(4)另一服務操作者(例如FCN計劃者)給活動管理系統(tǒng)中的受影響的服務部件指定FCN規(guī)程。(5)FCN計劃者指定他/她想要跟蹤的活動管理系統(tǒng)中的FCN規(guī)程步驟的服務操作者(被指定者)。
(6)如果FCN被客戶拒絕，則服務操作者(例如服務管理者)可確定如何進行(例如，“客戶要在舊的MS零件發(fā)生故障/用壞時使用新的設計嗎？或者服務提供者需要繼續(xù)提供舊的MS零件嗎？”)。(7)如果FCN被客戶核準，則服務操作者(例如FCN安裝者)選擇用于FCN MS零件的MS零件訂購系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)生成與FCN父任務相關聯(lián)的并且被指定給FCN安裝者和客戶服務部件的MS零件訂購系統(tǒng)任務。
(8)標識出服務部件需要進行FCN安裝。如果開始標準是基于日歷的，則活動管理系統(tǒng)在時間到時發(fā)起。如果開始標準是基于晶片計數(shù)器或RF定時器的，則活動管理系統(tǒng)在機器計數(shù)器被更新時發(fā)起FCN(如果可適用的話)。服務操作者被要求每當其對服務部件工作就更新服務部件計數(shù)器，并且一天一次。如果建立了電子監(jiān)視，則服務部件計數(shù)器可被實時更新。(9)FCN安裝者在活動管理系統(tǒng)中記入FCN測試結果。FCN安裝者可訪問FCN測試結果(例如，“Test P/C Leak Rate”)，并顯示這些結果。結果日志示例包括產品零件類型“PC”，產品S/N“SCCM55-PC1”，規(guī)范名“Self Check P/C Leak Rate Result”，目標“3”，實際最終測試“2”，實際“X”以及任何意見。(10)FCN安裝者將封閉任務輸入到活動管理系統(tǒng)。FCN安裝者可將開放任務轉交給另一FCN安裝者。(11)FCN安裝者可讀取活動管理系統(tǒng)中的KPI(規(guī)范)或指令。(12)如果測試結果失敗，則活動管理系統(tǒng)生成與測試子任務相關聯(lián)的并且被指定給FCN安裝者和客戶服務部件的修理系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)還輸入失敗的服務部件測試名詞(例如，“P/C Leak Rate”)。
執(zhí)行連續(xù)改進通知(CIN)根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行連續(xù)改進通知(CIN)的方法可包括以下步驟(1)服務操作者(例如維護工程師)在活動管理系統(tǒng)中對于每個受影響的服務部件生成(一個或多個)CIN安裝指令。新的(一個或多個)MS零件列在所需要的MS零件中。(2)維護工程師可將服務部件測試、變化和操作指令鏈接到活動管理系統(tǒng)的(一個或多個)CIN安裝指令中的步驟。(3)另一服務操作者(例如技術支持)在活動管理系統(tǒng)中生成用于該CIN的CIN規(guī)程。其后，CIN可例如被呈現(xiàn)給客戶以供檢查和核準。安裝CIN步驟的開始標準可以是基于日歷的、基于晶片計數(shù)器的或基于RF定時器的。(4)另一服務操作者(例如CIN計劃者)給活動管理系統(tǒng)中的受影響的服務部件指定CIN規(guī)程。(5)CIN計劃者指定他/她想要跟蹤的活動管理系統(tǒng)中的的CIN規(guī)程步驟的服務操作者(被指定者)。
(6)如果CIN被客戶拒絕，則服務操作者(例如服務管理者)可確定如何進行(例如，“客戶要在舊的MS零件發(fā)生故障/用壞時使用新的設計嗎？或者服務提供者需要繼續(xù)提供舊的MS零件嗎？”)。(7)如果CIN被客戶核準，則服務操作者(例如CIN安裝者)選擇用于CIN MS零件的MS零件訂購系統(tǒng)任務。活動管理系統(tǒng)生成與CIN父任務相關聯(lián)的并且被指定給CIN安裝者和客戶機器的MS零件訂購系統(tǒng)任務。
(8)標識出服務部件需要進行CIN安裝。如果開始標準是基于日歷的，則活動管理系統(tǒng)在時間到時發(fā)起。如果開始標準是基于晶片計數(shù)器或RF定時器的，則活動管理系統(tǒng)在機器計數(shù)器被更新時發(fā)起CIN(如果可適用的話)。服務操作者被要求每當其對服務部件操作時就更新服務部件計數(shù)器，并且一天一次。如果建立了電子監(jiān)視，則服務部件計數(shù)器可被實時更新。(9)CIN安裝者在活動管理系統(tǒng)中記入CIN測試結果。CIN安裝者可訪問CIN測試結果(例如，“Test P/C Leak Rate”)，并顯示這些結果。結果日志示例包括產品零件類型“PC”，產品S/N“SCCM55-PC1”，規(guī)范名“Self Check P/C Leak Rate Result”，目標“3”，實際最終測試“2”，實際“X”以及任何意見。(10)CIN安裝者將封閉任務輸入到活動管理系統(tǒng)。CIN安裝者可將開放任務轉交給另一CIN安裝者。(11)CIN安裝者可讀取活動管理系統(tǒng)中的KPI(規(guī)范)或指令。(12)如果測試結果失敗，則活動管理系統(tǒng)生成與測試子任務相關聯(lián)的并且被指定給CIN安裝者和客戶服務部件的修理系統(tǒng)任務?；顒庸芾硐到y(tǒng)還輸入失敗的服務部件測試名詞(例如，“P/C Leak Rate”)。
服務管理KPI分析根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行服務管理KPI分析的方法可包括以下步驟(1)活動管理系統(tǒng)生成服務管理者/監(jiān)管者KPI儀表板。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的服務管理者/監(jiān)管者KPI儀表板的績效。服務分析者選擇服務管理者/監(jiān)管者KPI儀表板的類型(例如，“All”、“Me”(我)、“My DirectReports”(我的直接報告)、“My Department”(我的部門)、“OtherPerson’s Direct Reports”(其他人的直接報告)、“Other Person’sDepartment”(其他人的部門)等)?；顒庸芾硐到y(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個服務管理者/監(jiān)管者例如，位置、合同銷售收入、合同利潤、合同利潤率、保證銷售收入、保證利潤、保證利潤率、已支付服務銷售收入、已支付服務利潤、已支付服務利潤率、超時(OT)成本、遲的FCN、遲的系統(tǒng)接受、上報呼叫(calls)等。任何一列可向上或向下排序。列表可以過濾(包括日期范圍)。(3)服務分析者對于較差績效發(fā)起校正動作，對于異常績效發(fā)起確認動作。活動管理系統(tǒng)可以提供建議。(4)如果服務管理者確定需要宣告確認動作，則服務管理者在活動管理系統(tǒng)中生成公告。
服務協(xié)議KPI分析根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行服務協(xié)議KPI分析的方法可包括以下步驟(1)活動管理系統(tǒng)生成服務協(xié)議KPI儀表板。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的服務協(xié)議KPI儀表板的績效。服務分析者選擇服務協(xié)議KPI儀表板的類型(例如，例如，“All”、“Product-Specific”、“Company-Specific”等)?；顒庸芾硐到y(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個服務部件例如，銷售收入、利潤、利潤率、零件成本、人工小時成本、呼叫、上報呼叫、修理時間、停機時間等。任何一列可向上或向下排序。列表可以過濾(包括日期范圍)。(3)服務分析者對于較差績效發(fā)起校正動作，對于異?？冃Оl(fā)起確認動作?；顒庸芾硐到y(tǒng)可以提供建議。(4)如果服務操作者(例如服務管理者)確定需要宣告校正動作或確認動作(例如，服務協(xié)議被取消)，則服務管理者在活動管理系統(tǒng)中生成公告。
服務工作者KPI分析根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行服務工作者KPI分析的方法可包括以下步驟(1)活動管理系統(tǒng)生成服務協(xié)議KPI儀表板。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的服務工作者KPI儀表板的績效。服務分析者選擇服務工作者KPI儀表板的類型(例如，“All”、“Me”、“My Direct Reports”、“MyDepartment”、“Other Person’s Direct Reports”、“Other Person’sDepartment”等)?；顒庸芾硐到y(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個服務工作者例如，位置、shotguns、無效校正動作、部門費用、遲的零件處置、機器勞動力人工小時、OT小時、可支付小時、IOE、呼叫、最終測試、啟動、清洗、PM、修理、上報呼叫等。任何一列可向上或向下排序。列表可以過濾(包括日期范圍)。(3)服務分析者對于較差績效發(fā)起校正動作，對于異?？冃Оl(fā)起確認動作?；顒庸芾硐到y(tǒng)可以提供建議。(4)如果服務操作者(例如服務管理者)確定需要宣告確認動作，則服務管理者在活動管理系統(tǒng)中生成公告。
服務部件KPI分析根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行服務部件(例如，MS平臺、MS工具等)KPI分析的方法可包括以下步驟(1)活動管理系統(tǒng)生成服務部件KPI儀表板。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的服務部件KPI儀表板上的績效。服務分析者選擇服務部件KPI儀表板的類型(例如，“All”、“Product-Specific”、“Company-Specific”等)?；顒庸芾硐到y(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個服務部件例如，合同銷售收入、合同利潤、合同利潤率、合同零件成本、合同人工小時成本、保證銷售收入、保證利潤、保證利潤率、保證零件成本、保證人工小時成本、已支付服務銷售收入、已支付服務利潤、已支付服務利潤率、遲的FCN、系統(tǒng)接受情況延遲、呼叫、上報呼叫、修理時間、停機時間等。任何一列可向上或向下排序。列表可以過濾(包括日期范圍)。(3)服務分析者對于較差績效發(fā)起校正動作，對于異?？冃Оl(fā)起確認動作?；顒庸芾硐到y(tǒng)可以提供建議。(4)如果服務操作者(例如服務管理者)確定需要宣告校正動作或確認動作(例如，機器被返回到工廠)，則服務管理者在活動管理系統(tǒng)中生成公告。
客戶KPI分析根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行客戶KPI分析的方法可包括以下步驟(1)活動管理系統(tǒng)生成客戶KPI儀表板。(2)服務操作者(例如服務分析者)分析活動管理系統(tǒng)中的客戶KPI儀表板的績效。活動管理系統(tǒng)以列的形式列出具有這些KPI的每個客戶例如，合同銷售收入、合同利潤、合同利潤率、保證銷售收入、保證利潤、保證利潤率、已支付服務銷售收入、已支付服務利潤、已支付服務利潤率、OT成本、遲的FCN、遲的系統(tǒng)接受、上報呼叫等。任何一列可向上或向下排序。列表可以過濾(包括日期范圍)。(3)服務分析者對于較差績效發(fā)起校正動作，對于異?？冃Оl(fā)起確認動作?；顒庸芾硐到y(tǒng)可以提供建議。(4)如果服務操作者(例如服務管理者)確定需要宣告校正動作或確認動作(例如，客戶必須預先給出PO)，則服務管理者在活動管理系統(tǒng)中生成公告。
安全事件報告根據(jù)另一實施例，一種用于利用活動管理系統(tǒng)執(zhí)行安全事件報告的方法可包括以下步驟(1)標識出安全事件發(fā)生。(2)服務操作者(例如安全事件報告者)在活動管理系統(tǒng)中生成安全事件系統(tǒng)任務。如果與個別服務任務相關(像在典型情況中一樣)，則活動管理系統(tǒng)將安全事件與父任務相關聯(lián)。(3)服務操作者將安全事件信息輸入到活動管理系統(tǒng)中。(4)活動管理系統(tǒng)將安全事件報告轉交(例如經(jīng)由電子郵件)給服務提供者的安全官員(或環(huán)境、健康和安全組)。
服務部件操作、測試和變化根據(jù)另一實施例，一種用于準備服務部件操作、測試和變化的方法可包括以下步驟(1)服務操作者(例如服務設計者)生成MS零件的服務部件BOM以存檔。MS零件必須是在其MS零件類型中已標記的產品。例如，產品#“B”，零件通用名“Telius Platform”，父產品#“A2”。服務設計者在活動管理系統(tǒng)中生成以該服務部件發(fā)起的新的服務部件測試名詞(例如，“RF Forward Power Level”)。(2)服務設計者在活動管理系統(tǒng)中生成以該服務部件發(fā)起的新的改變動詞(例如，“clean”、“l(fā)ube”、“replace”等)和改變名詞(例如，諸如“ESC”之類的MS零件類型或諸如“Matcher Mode”、“RF Forward PowerLevel”之類的功能)。(3)服務設計者在活動管理系統(tǒng)中生成以該服務部件發(fā)起的新的操作動詞(例如，“edit”、“start”、“view”、“cycle”、“close”)和操作名詞(例如，“machine”、“parameters”)。(4)服務設計者在活動管理系統(tǒng)中生成用于該服務部件的服務部件測試(例如，“Test Telius DRM RF Forward PowerLevel”)。測試可包括(一個或多個)KPI((一個或多個)規(guī)范)。KPI示例Power Meter Before Matcher to Power Setting目標--，單位瓦，低故障-3％，低警告--，高警告--，高故障+3％，意見無，應用UM。子KPI(對于諸如最終測試、啟動、清洗、PM之類的特別應用有變化)目標1000，單位瓦，低故障-3％，低警告--，高警告--，高故障+3％，意見無，應用啟動x，PM y。(5)服務設計者在活動管理系統(tǒng)中生成該服務部件的變化(例如，“Clean Telius DRM ESC”)。變化可包括建立、校正動作和預防性動作。(6)服務設計者在活動管理系統(tǒng)中生成用于該產品的操作(例如，“Create a New Process Recipe”)。
圖19圖示了可實現(xiàn)本發(fā)明實施例的計算機系統(tǒng)1201。計算機系統(tǒng)1201可用作圖1的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)10、數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)20、服務動作系統(tǒng)30或接口中的任何一個或其全部，以執(zhí)行上述任何一種功能或全部功能。計算機系統(tǒng)1201包括用于傳輸信息的總線1202或其他通信機構，以及與總線1202相耦合用于處理信息的處理器1203。計算機系統(tǒng)1201還包括主存儲器1204，如隨機訪問存儲器(RAM)或其他動態(tài)存儲設備(例如動態(tài)RAM(DRAM)、靜態(tài)RAM(SRAM)和同步DRAM(SDRAM))，這些存儲器耦合到總線1202，用于存儲信息和處理器1203執(zhí)行的指令。另外，主存儲器1204可用于存儲在處理器1203執(zhí)行指令期間的臨時變量或其他中間信息。計算機系統(tǒng)1201還包括只讀存儲器(ROM)1205或其他靜態(tài)存儲設備(例如，可編程ROM(PROM)、可擦寫PROM(EPROM)和電可擦寫PROM(EEPROM))，這些設備耦合到總線1202，用于存儲靜態(tài)信息和處理器1203的指令。
計算機系統(tǒng)1201還包括盤控制器1206，盤控制器1206耦合到總線1202以控制用于存儲信息和指令的一個或多個存儲設備，如磁硬盤1207和可移動介質驅動器1208(例如，軟盤驅動器、只讀光盤驅動器、讀/寫光盤驅動器、光盤機、磁帶驅動器和可移動磁光驅動器)。存儲設備可以利用合適的設備接口(例如，小型計算機系統(tǒng)接口(SCSI)、集成電子設備(IDE)、增強IDE(E-IDE)、直接存儲器訪問(DMA)或Ultra-DMA)添加到計算機系統(tǒng)1201上。
計算機系統(tǒng)1201還可以包括專用邏輯器件(例如，專用集成電路(ASIC))或可配置邏輯器件(例如，簡單可編程邏輯器件(SPLD)、復雜可編程邏輯器件(CPLD)和現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA))。計算機系統(tǒng)還可以包括一個或多個數(shù)字信號處理器(DSP)，例如來自TexasInstruments的TMS320系列芯片，來自Motorola的DSP56000、DSP56100、DSP56300、DSP56600和DSP96000系列芯片，來自LucentTechnologies的DSP1600和DSP3200系列，或者來自Analog Devices的ADSP2100和ADSP21000系列。也可以使用其他專門設計用來處理已被轉換到數(shù)字域的模擬信號的處理器。
計算機系統(tǒng)1201還可以包括耦合到總線1202以控制顯示器1210(例如陰極射線管(CRT))的顯示控制器1209，顯示器1210用于向計算機用戶顯示信息。計算機系統(tǒng)包括諸如鍵盤1211和點選設備1212之類的輸入設備，其用于與計算機用戶交互并向處理器1203提供信息。點選設備1212例如可以是鼠標、跟蹤球、或點選桿，用于將方向信息和命令選擇傳輸?shù)教幚砥?203并用于控制顯示器1210上光標的移動。另外，打印機可以提供計算機系統(tǒng)1201存儲和/或生成的數(shù)據(jù)的打印列表。
響應于處理器1203執(zhí)行包含在存儲器(例如主存儲器1204)中的一條或多條指令的一個或多個序列，計算機系統(tǒng)1201執(zhí)行本發(fā)明的處理步驟中的一部分或全部。這些指令可以從另一種計算機可讀介質(例如硬盤1207或可移動介質驅動器1208)讀取到主存儲器1204中。也可以采用多處理配置中的一個或多個處理器來執(zhí)行包含在主存儲器1204中的指令序列。在替換實施例中，硬連線電路可用來替代軟件指令或與軟件指令相組合使用。從而，實施例并不限于硬件電路和軟件的任何特定組合。
如上所述，計算機系統(tǒng)1201包括至少一個計算機可讀介質或存儲器，其用于保存根據(jù)本發(fā)明的教導編程的指令，并用于保存數(shù)據(jù)結構、表、記錄或這里所述的其他數(shù)據(jù)。計算機可讀介質的示例是光盤、硬盤、軟盤、磁帶、磁光盤、PROM(EPROM、EEPROM、快閃EPROM)、DRAM、SRAM、SDRAM、或任何其他磁介質、光盤(例如，CD-ROM)、或任何其他光介質、穿孔卡片、紙帶、或其他具有孔圖案的物理介質、載波(將在下面描述)、或計算機可以讀取的任何其他介質。
本發(fā)明包括存儲在計算機可讀介質中的任何一種或其組合上的軟件，該軟件用于控制計算機系統(tǒng)1201，驅動一個或多個設備以實現(xiàn)本發(fā)明，并且使計算機系統(tǒng)1201能夠與人類用戶交互(例如，打印產品人員)。這種軟件可以包括但不限于設備驅動、操作系統(tǒng)、開發(fā)工具和應用軟件。這種計算機可讀介質還包括本發(fā)明的計算機程序產品，其用于執(zhí)行在實現(xiàn)本發(fā)明時所執(zhí)行的處理中的一部分(如果處理是分布式的話)或全部。
本發(fā)明的計算機代碼設備可以是任何可解釋或可執(zhí)行的代碼機制，包括但不限于腳本、可解釋程序、動態(tài)鏈接庫(DLL)、Java類和完全可執(zhí)行程序。而且，本發(fā)明的處理的一些部分可以是分布式的，以實現(xiàn)更好的性能、可靠性和/或成本。
這里所用的術語“計算機可讀介質”指參與向處理器1203提供指令以用于執(zhí)行的任何介質。計算機可讀介質可以采取許多形式，包括但不限于非易失性介質、易失性介質和傳輸介質。非易失性介質例如包括光盤、磁盤和磁光盤，例如硬盤1207或可移動介質驅動器1208。易失性介質包括動態(tài)存儲器，如主存儲器1204。傳輸介質包括同軸電纜、銅線和光纖，包括構成總線1202的線路。傳輸介質還可以采取聲波或光波的形式，如在無線電波和紅外數(shù)據(jù)通信期間生成的波。
各種形式的計算機可讀介質可用來向處理器1203提供一條或多條指令的一個或多個序列以用于執(zhí)行。例如，指令可以首先在遠程計算機的磁盤上執(zhí)行。遠程計算機可以將用于實現(xiàn)本發(fā)明的全部或一部分的指令遠程地加載到動態(tài)存儲器中，并利用調制解調器經(jīng)由電話線發(fā)送指令。在計算機系統(tǒng)1201本地的調制解調器可以在電話線上接收數(shù)據(jù)，并使用紅外發(fā)送器將數(shù)據(jù)轉換為紅外信號。耦合到總線1202的紅外檢測器可以接收紅外信號中承載的數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)放在總線1202上?？偩€1202將數(shù)據(jù)傳輸?shù)街鞔鎯ζ?204，處理器1203從主存儲器1204取得并執(zhí)行指令。主存儲器1204接收的指令可選地可以在由處理器1203執(zhí)行之前或之后被存儲在存儲設備1207或1208上。
計算機系統(tǒng)1201還包括耦合到總線1202的通信接口1213。通信接口1213提供耦合到網(wǎng)絡鏈路1214的雙向數(shù)據(jù)通信，網(wǎng)絡鏈路1214例如連接到局域網(wǎng)(LAN)1215，或者連接到諸如互聯(lián)網(wǎng)之類的另一通信網(wǎng)絡1216。例如，通信接口1213可以是附接到任何分組交換LAN的網(wǎng)絡接口卡。作為另一示例，通信接口1213可以是提供到相應類型的通信線路的數(shù)據(jù)通信連接的非對稱數(shù)字訂戶線路(ADSL)卡、集成服務數(shù)字網(wǎng)絡(ISDN)卡或調制解調器。也可以實現(xiàn)無線鏈路。在任何一種實現(xiàn)方式中，通信接口1213發(fā)送并接收電的、電磁的或光信號，這些信號承載了代表各種類型信息的數(shù)字數(shù)據(jù)流。
網(wǎng)絡鏈路1214一般提供經(jīng)過一個或多個網(wǎng)絡到其他數(shù)據(jù)設備的數(shù)據(jù)通信。例如，網(wǎng)絡鏈路1214可以提供經(jīng)過本地網(wǎng)絡1215(例如，LAN)或者經(jīng)過由服務供應商運行的設備到另一計算機的連接，服務供應商提供經(jīng)過通信網(wǎng)絡1216的通信服務。本地網(wǎng)絡1215和通信網(wǎng)絡1216例如使用承載了數(shù)字數(shù)據(jù)流的電的、電磁的或光信號以及相關聯(lián)的物理層(例如，CAT 5電纜、同軸電纜、光纖等)。經(jīng)過各種網(wǎng)絡的信號和在網(wǎng)絡鏈路1214上并且經(jīng)過通信接口1213的信號(其承載了去往和來自計算機系統(tǒng)1201的數(shù)字數(shù)據(jù))可以以基帶信號、或基于載波的信號的形式來實現(xiàn)?；鶐盘枌?shù)字數(shù)據(jù)以無調制的電脈沖形式傳送，這種電脈沖描述了數(shù)字數(shù)據(jù)比特流，其中術語“比特”應廣義理解為符號，每個符號傳送至少一個或多個信息位。數(shù)字數(shù)據(jù)也可用來調制載波，例如以幅移鍵控、相移鍵控和/或頻移鍵控信號來調制，這些信號在傳導介質上傳播，或者以電磁波的形式經(jīng)過傳播介質來發(fā)送。從而，數(shù)字數(shù)據(jù)可以經(jīng)由“有線”通信信道以無調制的基帶數(shù)據(jù)的形式發(fā)送，以及/或者通過調制載波在不同于基帶的預定頻帶內發(fā)送。計算機系統(tǒng)1201可以經(jīng)由(一個或多個)網(wǎng)絡1215和1216、網(wǎng)絡鏈路1214和通信接口1213發(fā)送和接收包括程序代碼的數(shù)據(jù)。而且，網(wǎng)絡鏈路1214可以提供經(jīng)由LAN 1215到移動設備1217的連接，移動設備1217例如是個人數(shù)字助理(PDA)、膝上型計算機或蜂窩電話。
盡管以上僅僅詳細描述了該發(fā)明的某些示例性實施例，但是本領域技術人員很容易理解，在不實質上脫離本發(fā)明的新穎教導和優(yōu)點的前提下可以對示例性實施例進行許多修改。因此，所有這些修改都應當包括在本發(fā)明的范圍內。
權利要求
1.一種用于管理與半導體制造有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)，包括被配置為接收與服務部件、服務操作者和服務賬目中的至少一個有關的服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)并被配置為存儲所述服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)；以及耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的服務動作系統(tǒng)，所述服務動作系統(tǒng)被配置為通過執(zhí)行多種服務功能中的至少兩種而利用所述服務活動數(shù)據(jù)提供服務動作數(shù)據(jù)，所述多種服務功能包括提供服務部件修理、提供服務部件啟動、提供服務部件預防性維護、提供服務部件清洗、提供服務部件修正、提供服務部件增強、提供服務部件卸載、提供服務教學以及提供服務協(xié)作。
2.如權利要求1所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述多種服務功能還包括設置項目動作計劃、設置客戶動作計劃、設置服務部件操作、測試和校正動作、設置服務部件文檔、設置上報熱點板、設置關鍵分數(shù)指標儀表板、準備報告、設置規(guī)程、設置工作描述、設置桌面幫助動作計劃、設置雇員動作計劃、定義服務協(xié)議以及定義服務部件。
3.如權利要求1所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務部件包括制造系統(tǒng)平臺、制造系統(tǒng)工具和制造系統(tǒng)零件中的至少一種。
4.如權利要求3所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述制造系統(tǒng)平臺包括群集工具配置和串列工具配置中的至少一種。
5.如權利要求4所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述制造系統(tǒng)工具包括蝕刻系統(tǒng)、沉積系統(tǒng)、跟蹤系統(tǒng)、熱系統(tǒng)、離子注入系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)、平坦化系統(tǒng)、度量系統(tǒng)和測試系統(tǒng)中的至少一種。
6.如權利要求4所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述制造系統(tǒng)零件包括消耗品零件和非消耗品零件中的至少一種。
7.如權利要求1所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務賬目包括服務合同、服務保證和制造系統(tǒng)部門中的至少一種。
8.如權利要求1所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)和所述數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)被配置為基于web的軟件應用和可下載的客戶端軟件應用中的至少一種。
9.如權利要求1所述的活動管理系統(tǒng)，還包括操作者界面，所述操作者界面被耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，并被配置為提供用于所述服務操作者將所述服務活動數(shù)據(jù)輸入到所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的界面，并且被耦合到所述服務動作系統(tǒng)，并被配置為提供用于所述服務操作者從所述數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)提取所述服務動作數(shù)據(jù)的界面。
10.如權利要求9所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述操作者界面包括圖形用戶界面。
11.如權利要求1所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)動作系統(tǒng)被配置為通過執(zhí)行互動案例研究來執(zhí)行所述服務部件修理。
12.如權利要求11所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)通過將所述服務部件的當前服務活動數(shù)據(jù)與被存儲在所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中的所述服務活動數(shù)據(jù)相匹配，提供對于所述服務部件的測試和對于所述服務部件的校正動作中的至少一種。
13.如權利要求12所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)被配置為提供用于所述測試的規(guī)程。
14.如權利要求12所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)被配置為提供用于所述校正動作的規(guī)程。
15.如權利要求12所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務部件包括制造系統(tǒng)工具，并且所述校正動作包括所述制造系統(tǒng)工具中的制造系統(tǒng)零件的更換。
16.如權利要求15所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述活動管理系統(tǒng)被配置為跟蹤第一制造系統(tǒng)零件和第二制造系統(tǒng)零件，所述第一制造系統(tǒng)零件更換所述制造系統(tǒng)工具中的所述第二制造系統(tǒng)零件。
17.如權利要求12所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)通過將來自所述測試的結果與被存儲在所述數(shù)據(jù)存儲程序中的所述服務活動數(shù)據(jù)相匹配，利用所述結果來提供對于所述服務部件的另一測試和對于所述服務部件的另一校正動作中的至少一種。
18.如權利要求3所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務部件包括具有一個或多個制造系統(tǒng)零件的制造系統(tǒng)工具，并且所述服務動作系統(tǒng)被配置為將所述一個或多個制造系統(tǒng)零件與所述制造系統(tǒng)工具相關聯(lián)。
19.如權利要求2所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被配置為對于雇員動作計劃、客戶動作計劃和項目動作計劃中的至少一種，允許第一服務操作者對第二服務操作者指定任務。
20.如權利要求2所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)被配置為向第一操作者提供服務動作數(shù)據(jù)，以便評估第二服務操作者的績效。
21.一種使用活動管理系統(tǒng)來輔助執(zhí)行與半導體制造有關的服務動作的方法，包括提供被配置為與服務操作者互動并且采集來自所述服務操作者的服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，其中所述服務活動數(shù)據(jù)與服務操作者、服務部件和服務賬目中的至少一個相關聯(lián)；提供耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)并且被配置為存儲所述服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)；提供耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的服務動作系統(tǒng)，所述服務動作系統(tǒng)被配置為與所述服務操作者互動，以利用存儲在所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)中的所述服務活動數(shù)據(jù)向所述服務操作者提供服務動作數(shù)據(jù)，以便執(zhí)行多種服務功能中的至少兩種，所述多種服務功能包括提供服務部件修理、提供服務部件啟動、提供服務部件預防性維護、提供服務部件清洗、提供服務部件修正、提供服務部件增強、提供服務部件卸載、提供服務教學以及提供服務協(xié)作；以及利用所述服務動作數(shù)據(jù)來執(zhí)行服務動作。
22.一種用于管理與半導體制造有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)，包括被配置為采集與半導體制造服務有關的服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)并被配置為存儲所述服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)；以及耦合到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的服務動作系統(tǒng)，所述服務動作系統(tǒng)被配置為執(zhí)行服務部件服務功能和非服務部件服務功能，以便輔助服務操作者執(zhí)行服務動作。
23.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被配置為通過手工輸入采集所述服務活動數(shù)據(jù)。
24.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被配置為通過自動輸入采集所述服務活動數(shù)據(jù)。
25.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被配置為采集與服務部件、服務操作者和服務賬目中的至少一種有關的服務活動數(shù)據(jù)。
26.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)存儲與服務部件、服務操作者和服務賬目中的至少一種相關聯(lián)的所述服務活動數(shù)據(jù)。
27.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)被配置為通過執(zhí)行服務部件修理、提供服務部件啟動、提供服務部件預防性維護、提供服務部件清洗、提供服務部件修正、提供服務部件增強、提供服務部件卸載以及提供服務教學中的至少一種，來執(zhí)行所述服務部件服務功能。
28.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)被配置為通過允許服務操作者執(zhí)行以下步驟來執(zhí)行所述非服務部件服務功能與項目動作計劃或客戶動作計劃交互；集成新的測試或校正動作，或者修改當前的測試或校正動作；輸入與制造系統(tǒng)平臺、制造系統(tǒng)工具、制造系統(tǒng)零件或制造系統(tǒng)服務協(xié)議有關的新文檔；檢查、輸入或修改上報熱點板；訪問關鍵績效指標儀表板、報告、規(guī)程、工作描述、桌面幫助動作計劃、雇員動作計劃或文件；與其他服務操作者協(xié)作；或者訪問與制造系統(tǒng)服務協(xié)議、制造系統(tǒng)平臺和制造系統(tǒng)工具以及制造系統(tǒng)零件有關的信息。
29.如權利要求22所述的活動管理系統(tǒng)，其中，所述服務動作系統(tǒng)還被配置為提供所述服務操作者用來執(zhí)行服務動作的服務動作數(shù)據(jù)。
30.一種使用計算機系統(tǒng)來管理與半導體制造有關的服務活動的方法，包括使用所述計算機系統(tǒng)來采集與半導體制造服務有關的服務活動數(shù)據(jù)；使用所述計算機系統(tǒng)來存儲所述服務活動數(shù)據(jù)；以及使用所述計算機系統(tǒng)來執(zhí)行服務部件服務功能和非服務部件服務功能；以及基于所述服務部件或非服務部件服務功能的結果執(zhí)行服務動作。
31.如權利要求30所述的方法，其中，所述采集所述服務活動數(shù)據(jù)包括手工輸入。
32.如權利要求30所述的方法，其中，所述采集所述服務活動數(shù)據(jù)包括自動輸入。
33.如權利要求30所述的方法，其中，所述采集包括采集與服務部件、服務操作者和服務賬目中的至少一種有關的服務活動數(shù)據(jù)。
34.如權利要求30所述的方法，其中，所述存儲包括存儲與服務部件、服務操作者和服務賬目中的至少一種相關聯(lián)的所述服務活動數(shù)據(jù)。
35.如權利要求30所述的方法，其中，所述執(zhí)行服務部件服務功能包括提供服務動作數(shù)據(jù)以促進服務部件修理、提供服務部件啟動、提供服務部件預防性維護、提供服務部件清洗、提供服務部件修正、提供服務部件增強、提供服務部件卸載以及提供服務教學中的至少一種。
36.如權利要求30所述的方法，其中，執(zhí)行所述非服務部件服務功能包括提供服務動作數(shù)據(jù)以允許服務操作者與項目動作計劃或客戶動作計劃交互；集成新的測試或校正動作，或者修改當前的測試或校正動作；輸入與制造系統(tǒng)平臺、制造系統(tǒng)工具、制造系統(tǒng)零件或制造系統(tǒng)服務協(xié)議有關的新文檔；檢查、輸入或修改上報熱點板；訪問關鍵績效指標儀表板、報告、規(guī)程、工作描述、桌面幫助動作計劃、雇員動作計劃或文件；與其他服務操作者協(xié)作；或者訪問與制造系統(tǒng)服務協(xié)議、制造系統(tǒng)平臺和制造系統(tǒng)工具以及制造系統(tǒng)零件有關的信息。
37.一種包含用于在處理器上執(zhí)行的程序指令的計算機可讀介質，所述程序指令當被所述處理器執(zhí)行時，使得計算機系統(tǒng)執(zhí)行如權利要求30中所述的方法中的步驟。
38.一種用于管理與半導體制造有關的服務活動的活動管理系統(tǒng)，包括用于采集與半導體制造服務有關的服務活動數(shù)據(jù)的裝置；耦合到所述用于采集的裝置的用于存儲所述服務活動數(shù)據(jù)的裝置；以及耦合到所述用于采集的裝置和所述用于存儲的裝置的用于執(zhí)行服務部件服務功能和非服務部件服務功能以便輔助服務操作者執(zhí)行服務動作的裝置。
全文摘要
描述了一種用于半導體制造中的服務過程的活動管理系統(tǒng)及其使用方法。該活動管理系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，其被配置為接收與至少一個服務部件和服務操作者相關聯(lián)的服務活動數(shù)據(jù)，并將服務活動數(shù)據(jù)與至少一個服務賬目相關。另外，該活動管理系統(tǒng)包括耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)并被配置為存儲服務活動數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)。此外，活動管理系統(tǒng)包括耦合到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)的服務動作系統(tǒng)，其被配置為執(zhí)行至少一種服務功能，這些服務功能包括服務部件修理、服務部件啟動、服務部件預防性維護、服務部件清洗、服務部件修正(例如，現(xiàn)場變化通知)、服務部件增強(例如，連續(xù)改進通知)、服務部件卸載、客戶動作計劃、項目動作計劃和服務教學。
文檔編號G06Q10/00GK1942888SQ200580008281
公開日2007年4月4日 申請日期2005年2月7日 優(yōu)先權日2004年3月15日
發(fā)明者埃里克·考夫曼, 保羅·布朗 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社