專利名稱：半導(dǎo)體電路用光掩模的訂貨方法
專利說明半導(dǎo)體電路用光掩模的訂貨方法 本發(fā)明是涉及半導(dǎo)體電路用光掩模訂貨方法的。半導(dǎo)體電路通過以設(shè)計(jì)者用CAD設(shè)計(jì)的數(shù)據(jù)為前提制作構(gòu)成照像底板的掩模、并把該掩模的圖形復(fù)印在晶片上而形成。
光掩模對半導(dǎo)體電路的一品種以約20枚到50枚一組準(zhǔn)備，附加用于對每個(gè)光掩模識別在哪種半導(dǎo)體電路內(nèi)使用的識別記號(由字母和數(shù)字的組合構(gòu)成，通常對其稱作掩模名)。
此外，光掩模不是半導(dǎo)體制造者制作的，而是由半導(dǎo)體制造者在作為專門廠家的掩模廠訂貨，由掩模廠制作。
圖3是示出傳統(tǒng)的光掩模訂貨方法的說明圖。
作為訂貨源的半導(dǎo)體制造者每次訂貨都要制成規(guī)定光掩模的規(guī)格的規(guī)格說明書1、和用于制作掩模圖形的CAD設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(描圖用數(shù)據(jù))2、和用于把該圖形配置在掩模上的配置信息3，規(guī)格說明書1通過紙或互聯(lián)網(wǎng)如箭頭1A所示傳送到掩模廠，描圖數(shù)據(jù)2和配置信息數(shù)據(jù)3通過未圖示的專用電路，如箭頭2A、3A所示，傳送到掩模廠。
規(guī)格說明書1的記述內(nèi)容包含元件尺寸精度規(guī)格、位置精度規(guī)格、缺陷規(guī)格等，還有遮光模的透射率和反射率，HT(半色度)掩模時(shí)規(guī)定掩模相位角或透射率等性能，和掩?；宓某叽纭D形的放大率、是否安裝用于防止在圖形上附著異物的表膜，遮光膜的材質(zhì)等，還有晶片保護(hù)層呈正型或負(fù)型，或掩模的收縮率等規(guī)定掩模構(gòu)造的內(nèi)容。
這些規(guī)格說明書的內(nèi)容，在掩模廠如箭頭1B所示，為適應(yīng)在掩模廠內(nèi)的操作，改讀成掩模廠廠內(nèi)規(guī)格11后，如箭頭11A及23A所示，根據(jù)掩模廠廠內(nèi)規(guī)格11和描圖用數(shù)據(jù)2和配置信息數(shù)據(jù)3進(jìn)行掩模制作作業(yè)4，如箭頭4A所示，完成掩模5。傳統(tǒng)的光掩模的訂貨方法存在以下問題，如以上所示，由于要在每次光掩模訂貨時(shí)制成規(guī)格說明書，訂貨的作業(yè)十分繁雜，除了化費(fèi)時(shí)間和費(fèi)工夫外，由于容易產(chǎn)生作業(yè)差錯(cuò)，有可能由于規(guī)格說明書的顯示差錯(cuò)發(fā)生問題。
即使在掩模廠也存在問題，從接受每個(gè)掩模訂貨開始到廠內(nèi)規(guī)格說明書的改讀，與訂貨的情況相同，作業(yè)十分繁雜，除了化費(fèi)時(shí)間和費(fèi)工夫外，可能由于根據(jù)作業(yè)差錯(cuò)產(chǎn)生的廠內(nèi)規(guī)格說明書顯示的差錯(cuò)而發(fā)生問題。
本發(fā)明是為解決這類問題而提出的，其目的是提供在訂貨期間不要制作掩模規(guī)格說明書的訂貨方法。本發(fā)明的第1方法的特征為，在把半導(dǎo)體制造者在半導(dǎo)體器件制造時(shí)使用的掩模經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)在掩模廠訂貨的方法中，把多個(gè)掩模的規(guī)格與其掩模級別對應(yīng)，儲存在掩模廠的存儲器內(nèi)，在掩模訂貨時(shí)經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)把表示訂貨的掩模的掩模名和該掩模級的記號從半導(dǎo)體制造廠傳送到掩模廠，同時(shí)，把該掩模的描圖用數(shù)據(jù)和配置信息數(shù)據(jù)通過互聯(lián)網(wǎng)傳送。
本發(fā)明的第2方法的特征為，在把半導(dǎo)體制造者在半導(dǎo)體器件制造時(shí)使用的掩模經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)在掩模廠訂貨的方法中，把多個(gè)掩模的規(guī)格與其掩模級別對應(yīng)，儲存在掩模廠的存儲器內(nèi)，在掩模訂貨時(shí)經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)把包含表示訂貨的掩模的掩模級的記號的掩模名經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)從半導(dǎo)體制造者傳送到掩模廠，同時(shí)，把該掩模的描圖用數(shù)據(jù)和配置信息數(shù)據(jù)通過互聯(lián)網(wǎng)傳送。圖1是示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1訂貨方法的說明圖。
圖2是示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2訂貨方法的說明圖。
圖3是示出傳統(tǒng)的光掩模訂貨方法的說明圖。實(shí)施形態(tài)1以下基于


本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1。
圖1是示出實(shí)施形態(tài)1的訂貨方法的說明圖。在圖1，與圖3相同或相當(dāng)部分附加相同符號，省略其說明。
在圖1，20是作為光掩模訂貨源的半導(dǎo)體制造者制作的光掩模規(guī)格說明一覽表，把在半導(dǎo)體制造者制造的全部半導(dǎo)體電路中使用的光掩模的規(guī)格按項(xiàng)目類別、級別(用A、B、C記號表示)系統(tǒng)化地制成一覽表。
圖示的項(xiàng)目及級別分法、內(nèi)容等是一例，但是并不限于該內(nèi)容。
實(shí)施形態(tài)1，把上述規(guī)格說明一覽表20事先僅一次按箭頭20A所示地，通過互聯(lián)網(wǎng)傳送到掩模廠，在掩模廠把在該一覽表20內(nèi)所示的工序說明、和將其內(nèi)容按照箭頭20B所示地改讀為廠內(nèi)用的規(guī)格體系的一覽表21預(yù)先儲存在未圖示的存儲器內(nèi)，同時(shí)，在由訂貨源來的掩模預(yù)定時(shí)，表示掩模名，例如組合字母數(shù)文字和數(shù)字和表示規(guī)格級別的記號，例如把顯示B的訂貨書30如箭頭30A所示地通過互聯(lián)網(wǎng)傳送到掩模廠。
對于如箭頭2A、3A所示地用未圖示的專用線路把描圖用數(shù)據(jù)2和配置信息數(shù)據(jù)3傳送到掩模廠這一點(diǎn)是與傳統(tǒng)作法一樣。
在31接受訂貨書30的掩模廠如箭頭31A所示地對儲存的規(guī)格說明一覽表20以及與其對應(yīng)的廠內(nèi)規(guī)格說明一覽表21進(jìn)行檢索，如箭頭21A所示地在預(yù)訂書30指定的級別B上對該廠內(nèi)規(guī)格取樣，如箭頭31B及23A所示地，根據(jù)取樣的廠內(nèi)規(guī)格和描圖用數(shù)據(jù)2以及配置信息3，進(jìn)行掩膜制作作業(yè)4，如箭頭4A所示地完成掩模5。
由于實(shí)施形態(tài)1如以上所示進(jìn)行，所以掩模訂貨時(shí)的規(guī)格說明傳達(dá)的作業(yè)單純化，效率化的結(jié)果，可以抑制作業(yè)差錯(cuò)的發(fā)生。
此外，在掩膜制造廠，則能使接受訂貨后的廠內(nèi)規(guī)格的檢索，取樣以及依此進(jìn)行的制造工序?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化，在提高生產(chǎn)效率的同時(shí)，還可抑制操作錯(cuò)誤的發(fā)生。
實(shí)施形態(tài)2以下根據(jù)圖2說明本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2圖2是示出實(shí)施形態(tài)2的訂貨方法的說明圖。在該圖，與圖1相同或相當(dāng)部分附加相同符號，省略其說明。
與圖1不同點(diǎn)在于通過把表示規(guī)格級別的記號編入掩模名內(nèi)，訂貨時(shí)只顯示掩模名，并傳送到掩模廠，其它程序完全與實(shí)施形態(tài)1相同。即，在圖2，40是在訂貨源制作的訂貨書，把表示規(guī)格級別的記號，例如B作為掩模名的第6個(gè)文字編入，只把掩模名如箭頭40A所示地通過互聯(lián)網(wǎng)傳送到掩模廠。
在掩模廠，如圖41所示，從訂貨的掩模名讀取作為規(guī)格級別的B，同時(shí)，如箭頭41A所示，對儲存的規(guī)格說明一覽表20以及與其對應(yīng)的廠內(nèi)規(guī)格說明一覽表21進(jìn)行檢索，如箭頭21A所示地，在由訂貨書40指定的B上對該廠內(nèi)規(guī)格進(jìn)行取樣。
其后的掩模制作作業(yè)工序與實(shí)施形態(tài)1同樣。
由于實(shí)施形態(tài)2如上所示地進(jìn)行，所以具有特征為，除了上述的實(shí)施形態(tài)1的諸效果之外，以后通過看見在掩模上顯示的掩模名就可以確認(rèn)掩模制造時(shí)的規(guī)格(掩模質(zhì)量)。本發(fā)明的半導(dǎo)體電路用光掩模的訂貨方法，因?yàn)榘寻雽?dǎo)體制造者制造的多個(gè)半導(dǎo)體電路中使用的光掩模的規(guī)格按級別體系化，匯總傳遞到掩模廠，預(yù)先儲存在掩模廠的存儲器內(nèi)，同時(shí)在掩模訂貨時(shí)，只把與半導(dǎo)體電路對應(yīng)的掩模名和規(guī)格的級別通過互聯(lián)網(wǎng)傳送，而與掩模名對應(yīng)的描圖用數(shù)據(jù)和配置信息數(shù)據(jù)通過別的電路傳送，所以掩模訂貨時(shí)的工序說明傳達(dá)作業(yè)單純化、效率化的結(jié)果，可以抑制作業(yè)差錯(cuò)的發(fā)生。
可以使掩模廠接受訂貨后的廠內(nèi)工序說明檢索、抽樣以及根據(jù)這些進(jìn)行的掩模制作作業(yè)工序自動(dòng)化，謀求作業(yè)效率化，同時(shí)可以抑制作業(yè)差錯(cuò)的發(fā)生。
本發(fā)明的半導(dǎo)體電路用光掩模的訂貨方法，因?yàn)榘岩?guī)格級別的記號編入掩模名內(nèi)，所以在以后通過見到掩模名，可以確認(rèn)掩模制造時(shí)的規(guī)格(掩模的質(zhì)量)。
權(quán)利要求
1.掩模的訂貨方法，其特征為，在半導(dǎo)體制造者在半導(dǎo)體器件制造時(shí)使用的掩模經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)在掩模廠訂貨的方法中，把多個(gè)掩模的規(guī)格與其掩模等級對應(yīng)儲存在掩模廠的存儲器內(nèi)，在掩模訂貨時(shí)，把訂貨的掩模的掩模名和表示該掩模級的記號經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)從半導(dǎo)體制造者傳送到掩模廠的同時(shí)，需要由互聯(lián)網(wǎng)傳送該掩模描圖用的數(shù)據(jù)和配置信息數(shù)據(jù)。
2.掩模的訂貨方法，其特征為，在半導(dǎo)體制造廠在半導(dǎo)體器件制造時(shí)使用的掩模經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)在掩模廠訂貨的方法中，把多個(gè)掩模的規(guī)格與其掩模等級對應(yīng)儲存在掩模廠的存儲器內(nèi)，在掩模訂貨時(shí)，把包含表示訂貨的掩模等級的記號的掩模名經(jīng)互聯(lián)網(wǎng)從半導(dǎo)體制造者傳送到掩模廠的同時(shí)，需要由互聯(lián)網(wǎng)傳送該掩模描圖用的數(shù)據(jù)和配置信息數(shù)據(jù)。
全文摘要
本發(fā)明的任務(wù)是提供在訂貨時(shí)不要制訂對每個(gè)掩模的訂貨書的訂貨方法。其解決手段是:把半導(dǎo)體制造者制造的多個(gè)半導(dǎo)體電路中使用的光掩模5的規(guī)格按級別體系化20,一批傳送到掩模廠,并預(yù)先儲存在掩模廠的存儲器內(nèi),同時(shí),在光掩模訂貨時(shí)只把與半導(dǎo)體電路對應(yīng)的掩模名和規(guī)格的級別30通過互聯(lián)網(wǎng)傳送,而把與掩模名對應(yīng)的描圖用數(shù)據(jù)2和配置信息數(shù)據(jù)3通過別的電路傳送。
文檔編號G06Q30/06GK1384532SQ01130260
公開日2002年12月11日 申請日期2001年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月27日
發(fā)明者青山哲, 菊田裕子 申請人:三菱電機(jī)株式會社