專利名稱：集成電路用真空機組控制裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及集成電路設備真空獲得領域，具體地說是一種集成電路用真空機組控制裝置。
背景技術：
在集成電路(IC)設備真空獲得領域，真空機組的控制系統(tǒng)必不可少。傳統(tǒng)的真空機組缺乏必要的控制功能，如自身保護功能、通訊及遠程遙控接口等。在IC生產(chǎn)線上，主控系統(tǒng)需要依據(jù)真空機組的抽速、真空度及機組溫度、壓力等各種參數(shù)設定、調(diào)整工藝流程， 而現(xiàn)有技術中，上述參數(shù)無法獲取，沒有對真空機組在運行過程中的安全監(jiān)控措施。
發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術中存在的參數(shù)無法獲取，沒有對真空機組在運行過程中的安全監(jiān)控措施的缺陷，本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種具備多種參數(shù)監(jiān)控的、在通訊及遠程控制方面提供多種上位機接口的集成電路用真空機組控制裝置。為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是本發(fā)明集成電路用真空機組控制裝置具有控制單元、人機界面、開關量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/輸出端通過開關量輸入/輸出接口分別連接真空機組的工作狀態(tài)信號和真空機組的控制信號，控制單元的模擬量輸入端通過模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過通訊模塊與上位機或本地控制盒進行通訊連接。所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485 串口，用于一對多遠程控制；第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對一近距離控制。所述各類模擬量傳感器包括變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器。還具有PLC兼容繼電器接口，控制單元的控制輸出端通過PLC兼容繼電器接口選擇性的連接PLC或繼電器。本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點1.接口豐富。本發(fā)明配置RS-232、RS-485、PLC兼容繼電器接口三種接口方式使， 真空機組在IC生產(chǎn)線上任意位置的遠程控制得以方便實現(xiàn)。2.真實反應真空機組實時狀態(tài)。真空機組的排氣口壓力、氮氣吹掃的氣體流量、真空機組的泵體溫度、真空機組的冷卻水流量、真空機組功率(變送器)等各類傳感器信號的采集使真空機組本身自成體系，對真空機組的各種參數(shù)實時監(jiān)控，對故障發(fā)生可能的預見性大大提高，保證真空機組在健康的條件下正常運行。3.符合IC生產(chǎn)設備控制系統(tǒng)要求。真空機組的工作情況可及時反應到上位機，便于上位機操作人員掌握整條生產(chǎn)線的工作狀況。
圖1為本發(fā)明系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式本發(fā)明集成電路用真空機組控制裝置具有控制單元、人機界面、開關量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/輸出端通過開關量輸入/輸出接口分別連接真空機組的工作狀態(tài)信號和真空機組的控制信號，控制單元的模擬量輸入端通過模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過通訊模塊與上位機或本地控制盒進行通訊連接。所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485 串口，用于一對多遠程控制 ’第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對一近距離控制；所述各類模擬量傳感器包括變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器； 還具有PLC兼容繼電器接口，控制單元的控制輸出端通過PLC兼容繼電器接口選擇性的連接PLC或繼電器。，本實施例中，控制單元采用微控制器(MCU)，壓力變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器分別為MCU提供真空機組的排氣口壓力、氮氣吹掃的氣體流量、真空機組的泵體溫度、真空機組的冷卻水流量、真空機組功率標準信號(0 5V)的采樣數(shù)據(jù)；通訊模塊的RS-232、RS-485接口、PLC兼容繼電器接口與MCU進行雙向通訊，一方面上位機通過其中一種接口協(xié)議對MCU下達控制執(zhí)行指令，同時MCU也通過該接口向上位機返回各種狀態(tài)參數(shù)；MCU對各種開關量執(zhí)行器件的控制及各種開關量信號數(shù)據(jù)采集通過開關量輸入輸出接口完成；人機界面與MCU的雙向通訊實現(xiàn)機組的本地控制。
權(quán)利要求
1.一種集成電路用真空機組控制裝置，其特征在于具有控制單元、人機界面、開關量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/ 輸出端通過開關量輸入/輸出接口分別連接真空機組的工作狀態(tài)信號和真空機組的控制信號，控制單元的模擬量輸入端通過模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過通訊模塊與上位機或本地控制盒進行通訊連接。
2.按權(quán)利要求1所述的集成電路用真空機組控制裝置，其特征在于所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485串口， 用于一對多遠程控制 ’第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對一近距離控制。
3.按權(quán)利要求1所述的集成電路用真空機組控制裝置，其特征在于所述各類模擬量傳感器包括變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器。
4.按權(quán)利要求1所述的集成電路用真空機組控制裝置，其特征在于還具有PLC兼容繼電器接口，控制單元的控制輸出端通過PLC兼容繼電器接口選擇性的連接PLC或繼電器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種集成電路用真空機組控制裝置，具有控制單元、人機界面、開關量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/輸出端通過開關量輸入/輸出接口分別連接真空機組的工作狀態(tài)信號和真空機組的控制信號，控制單元的模擬量輸入端通過模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過通訊模塊與上位機或本地控制盒進行通訊連接。本發(fā)明配置RS-232、RS-485、PLC兼容繼電器接口三種接口方式使，真空機組在IC生產(chǎn)線上任意位置的遠程控制得以方便實現(xiàn)，對真空機組的各種參數(shù)實時監(jiān)控，對故障發(fā)生可能的預見性大大提高，保證真空機組在健康的條件下正常運行。
文檔編號G05B19/418GK102269985SQ20101019180
公開日2011年12月7日 申請日期2010年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月4日
發(fā)明者張利國, 張振厚, 王光玉, 薛玉茹, 郭麗娟 申請人:中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司