基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于紫外光源測試技術(shù)領(lǐng)域，具體設(shè)及一種基于手套箱的真空紫外光 源測試系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 在當(dāng)前的生產(chǎn)、生活中，紫外燈在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。紫外線的光生物效 應(yīng)可用于滅菌，細(xì)菌受到紫外線照射后，引起DNA鏈的斷裂，致使細(xì)菌死亡。紫外線滅菌用 于空氣、水、各類飲料、實(shí)驗(yàn)室、車間和醫(yī)院等許多場合。紫外線對人體保健也有很廣范圍的 應(yīng)用，適量的紫外照射對人體內(nèi)臟和免疫系統(tǒng)有良好的影響，但過量的紫外線會造成皮膚 紅斑等皮膚疾病。目前已發(fā)展的紫外線物理療法可W治療牛皮癖和何償病，消除炎癥。紫 外線的巧光效應(yīng)可用于無機(jī)元素和有機(jī)物質(zhì)的化學(xué)分析，食品衛(wèi)生中的微量元素和有害物 質(zhì)的檢測，工業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)測，礦床探測中的樣品分析。紫外線的光化效應(yīng)可用于 復(fù)印、油墨固化、半導(dǎo)體巧片的光刻技術(shù)、高分子老化試驗(yàn)和同位素分離等。大功率紫外光 源可W在有限的體積內(nèi)產(chǎn)生紫外福射通量，設(shè)備緊湊，使用成本較低。國外已有各類紫外光 源的產(chǎn)品，在城市飲用水、給排水和空氣殺菌領(lǐng)域已有大規(guī)模應(yīng)用。
[0003] 為了測試各類紫外光源的紫外福射效率，1971年Keitz提出由福照度計(jì)算福射 通量的公式(KeitzHAE.LightCalculationsandmeasurements[M].London,UK: MacmillanandCoLtd, 1971.)
[0004]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：包括高低溫恒溫手套箱、燈架 和紫外輻射測試設(shè)備，其中： 所述手套箱具有一個觀察窗，用于觀測手套箱內(nèi)的操作狀態(tài)，其外側(cè)裝有可開合的擋 光設(shè)施，正常實(shí)驗(yàn)測試時用于遮擋手套箱外部的光線，避免雜散光干擾導(dǎo)致的測量誤差；同 時設(shè)有若干個輻射測試窗口，也作為觀測窗；手套箱其余內(nèi)表面進(jìn)行黑化處理； 所述紫外輻射測試設(shè)備包括若干紫外輻照度計(jì)、光譜儀、單色儀，用于測量紫外輻射； 所述燈架位于手套箱內(nèi)，是固定式或者是旋轉(zhuǎn)式，燈架的高度可以調(diào)節(jié)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 觀測窗材料根據(jù)待測波段確定，測量波長200 nm以下的真空紫外輻射時，窗口材料采用氟 化鎂晶體，探頭或光纖與窗口之間抽真空或者保持氮?dú)饣驓鍤夥諊粶y量波長200 nm以上 的紫外輻射時，窗口材料是石英玻璃，探頭或光纖周圍處于常溫常壓的大氣中。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 手套箱內(nèi)裝有測量水蒸汽含量的探頭、測量氧氣含量的探頭，這些探頭與外部的分析儀相 連，用來檢測手套箱內(nèi)的水、氧含量。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 手套箱附設(shè)水循環(huán)接口，可以通過恒溫水浴或油浴控制光源的管壁溫度或冷端溫度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述手 套箱設(shè)有過渡艙，該過渡艙采用可折疊的結(jié)構(gòu)，過渡艙的長度可以根據(jù)裝入的燈的尺寸通 過可折疊結(jié)構(gòu)進(jìn)行伸縮調(diào)節(jié)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述紫 外輻照度計(jì)探頭放置于手套箱觀測窗外，探頭的接收面對準(zhǔn)燈體，且探頭受光面的法線垂 直于燈軸。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述光 譜儀采用光纖導(dǎo)光，光纖頭固定在手套箱的觀測窗外，光纖頭前安裝有余弦校正片、準(zhǔn)直透 鏡。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 手套箱直接跟真空單色儀的入射縫法蘭連接，組成聯(lián)合測試系統(tǒng)，同時測定真空紫外光源 的相對光譜功率分布和絕對輻射效率。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于紫外光源測試技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種基于手套箱的真空紫外光源測試系統(tǒng)。本實(shí)用新型包括高低溫恒溫手套箱、燈架和紫外輻射測試設(shè)備等。所述的手套箱具有一個觀察窗，外部裝有擋光設(shè)施；同時設(shè)有若干個輻射測試窗口；其余內(nèi)表面進(jìn)行黑化處理。手套箱內(nèi)至少裝有測量水蒸汽、氧氣含量的探頭和分析儀，并附設(shè)有恒溫水浴的水循環(huán)回路以控制光源的管壁溫度或冷端溫度。手套箱的過渡艙采用折疊結(jié)構(gòu)，長度可以調(diào)整。燈架位于手套箱內(nèi)。紫外輻射測試設(shè)備包括紫外輻照度計(jì)、光譜儀或單色儀，用于測量紫外輻射和200nm以下的真空紫外輻射。本實(shí)用新型為各種線性紫外光源的真空紫外輻射效率的評估提供一種簡便、可靠、準(zhǔn)確的測量手段，可用于真空紫外光源的研究開發(fā)、生產(chǎn)制造和品質(zhì)評價(jià)。
【IPC分類】G01J3-28, G01J1-04, G01J1-00, G01J3-02
【公開號】CN204594576
【申請?zhí)枴緾N201520130118
【發(fā)明人】張善端, 韓秋漪
【申請人】復(fù)旦大學(xué)
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年3月7日