一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于流量計檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在化工和電子制造企業(yè)中，一些具有特殊物化性質(zhì)的氣體常作為催化劑或者半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜，這些氣體流量的大小直接影響催化或則離子注入和摻雜效果，但由于某些氣體自身物化特性，遇到水或其他雜質(zhì)，會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，其產(chǎn)物會嚴重堵塞、腐蝕管道及流量計等設(shè)備，然而在現(xiàn)實生產(chǎn)工作中，這些氣體又不可避免的會與空氣接觸，導(dǎo)致測量其流量的氣體質(zhì)量流量計測量不準。傳統(tǒng)的處理辦法一般采取返廠標定或者自購一套標定裝置，不利的因素在于維修周期長，費用高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單、滿足部分特殊物化特性的氣體對流量計校驗較嚴格要求。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]本實用新型提供一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，其特征在于:包括高純氮氣源、高壓調(diào)節(jié)閥、流量控制儀器、標準流量計及被校流量計接入端；所述高純氮氣源的氣體通過管路與被校流量計接入端I相連，在高純氮氣源與被校流量計接入端I之間的管路上依次設(shè)有高壓調(diào)節(jié)閥、進氣閥門和進氣壓力表；被校流量計接入端II通過管道與標準流量計相連，標準流量計上設(shè)有排氣管；所述被校流量計的接入端III連接有流量控制儀。
[0006]所述進氣壓力表通過球形閥門與管路相連。
[0007]所述標準流量計為標準型濕式流量計,精度為0.05級。
[0008]所述管路為不銹鋼管，不銹鋼管耐壓范圍均為O?60MPa ;所述高壓調(diào)節(jié)閥的耐壓范圍為O?60MPa。
[0009]所述高純氮氣源的純度至少為99.999%。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型取得的有益效果:
[0011]1.本實用新型結(jié)構(gòu)中采用了高純氮氣源，由于其純度高、不含雜質(zhì)、不殘留，避免由于三氟化硼的物化特性，遇到水或其他雜質(zhì)，會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，其產(chǎn)物會嚴重堵塞、腐蝕管道及流量計的問題。
[0012]2.本實用新型采用高壓調(diào)壓閥，實現(xiàn)氣源供氣端調(diào)壓、保壓目的，特別在微量氣壓調(diào)節(jié)時，具備很強的操作性。
[0013]3.本實用新型裝置中被校流量計連接流量控制儀，可以方便實現(xiàn)在線監(jiān)控流量的目的。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明:
[0016]參照圖1所示，一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，包括高純氮氣源1、高壓調(diào)節(jié)閥2、流量控制儀器3、標準型濕式流量計4及被校流量計5接入端；所述高純氮氣源I的氣體通過管路與被校流量計接入端I相連，在高純氮氣源I與被校流量計接入端I之間的管路上依次設(shè)有高壓調(diào)節(jié)閥2、進氣閥門6和進氣壓力表7，進氣壓力表7通過球形閥門9與管路相連；被校流量計接入端II通過管道與標準型濕式流量計4相連，標準型濕式流量計4上設(shè)有排氣管8 ;所述被校流量計接入端III連接有流量控制儀3。
[0017]本實用新型裝置工作過程:
[0018]1、根據(jù)標準型濕式流量的使用要求，做好標點前準備工作；
[0019]2、打開高壓氮氣截止閥，使用高壓調(diào)節(jié)閥氮氣壓力調(diào)節(jié)為0.5Mpa,打開進氣閥門6和球形閥門9，觀察進氣閥門6與被校流量計接入端5接入的被校流量計之間的進氣壓力表示值是否為0.5Mpa,同時觀察標準型濕式流量4計指針是否轉(zhuǎn)動；
[0020]3、通過流量控制儀3對被校流量計接入端5接入的被校流量計分別給定100g/h、200 g/h、300 g/h、400 g/h、500 g/h 流量信號值;
[0021]4、在流量控制儀3對被校流量計接入端5接入的被校流量計給定某一流量信號值時，用秒表測出標準濕式流量計4每過1L氮氣所用的時間。通過以下公式可換算出此表定點下目標氣體的瞬時流量:
[0022]M=10/t*3600* P *k
[0023]Μ:目標氣體瞬時質(zhì)量流量
[0024]t:標準濕式流量計每過1L氮氣所用時間
[0025]P:目標氣體密度
[0026]k:氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)
[0027]5、將換算出的目標氣體瞬時質(zhì)量流量與流量控制儀3所監(jiān)測的被校流量計接入端5接入的被校流量計的測量值進行對比，計算出兩者之間的誤差，若誤差小于5%時，被校驗流量計合格。
【主權(quán)項】
1.一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，其特征在于:包括高純氮氣源、高壓調(diào)節(jié)閥、流量控制儀、標準流量計及被校流量計接入端；所述高純氮氣源的氣體通過管路與被校流量計接入端I相連，在高純氮氣源與被校流量計接入端I之間的管路上依次設(shè)有高壓調(diào)節(jié)閥、進氣閥門和進氣壓力表；被校流量計接入端II通過管道與標準流量計相連，標準流量計上設(shè)有排氣管；所述被校流量計的接入端III連接有流量控制儀。
2.據(jù)權(quán)利要求1所述氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，其特征在于:所述進氣壓力表通過球形閥門與管路相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，其特征在于:所述標準流量計為標準型濕式流量計，精度為0.05級。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，其特征在于:所述管路為不銹鋼管，不銹鋼管耐壓范圍均為O?60MPa ;所述高壓調(diào)節(jié)閥的耐壓范圍為O?60MPa。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，其特征在于:所述高純氮氣源的純度至少為99.999%。
【專利摘要】本實用新型涉及一種氣體質(zhì)量流量計的標定裝置，包括高純氮氣源、高壓調(diào)節(jié)閥、流量控制儀器、標準流量計及被校流量計接入端；所述高純氮氣源的氣體通過管路與被校流量計接入端I相連，在高純氮氣源與被校流量計接入端I之間的管路上依次設(shè)有高壓調(diào)節(jié)閥、進氣閥門和進氣壓力表；被校流量計接入端II通過管道與標準流量計相連，標準流量計上設(shè)有排氣管；所述被校流量計的接入端III連接有流量控制儀。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、操作可靠、準確性高。
【IPC分類】G01F25-00
【公開號】CN204439178
【申請?zhí)枴緾N201520014647
【發(fā)明人】王洪濤, 李棟, 胡朝輝, 呂耀福, 路坤, 李林, 張 浩
【申請人】開封龍宇化工有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2015年1月9日