包括移動質(zhì)量塊的傳感器以及用于檢測所述質(zhì)量塊的相對移動的裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種MEMS慣性傳感器，包括：通過彈性裝置被連接到其以便在懸掛平面中可移動的至少第一激振體和第二激振體的框架、將激振體保持振動并確定激振體在懸掛平面內(nèi)的移動的換能器以及通過導(dǎo)電體裝置被連接到換能器的控制單元。換能器包括剛性連接到第一激振體的至少一個電極和連接到第二激振體的至少一個電極，這兩個電極被如此安置以允許激振體相對于彼此在懸掛平面中的相對移動的直接測量。
【專利說明】包括移動質(zhì)量塊的傳感器以及用于檢測所述質(zhì)量塊的相對移動的裝置
[0001]本發(fā)明涉及諸如速度陀螺儀或自由陀螺儀之類的角慣性傳感器。
[0002]這樣的慣性傳感器包括支持結(jié)構(gòu)和激振(seismic)體(也稱為激振質(zhì)量塊或測試質(zhì)量塊)，所述激振體通常被并排安置并通過彈性鉸鏈被連接到支持結(jié)構(gòu)以便在由激振體的兩個正交移動方向所定義的懸掛面中是可移動的。與激振體的質(zhì)量塊相關(guān)聯(lián)的鉸鏈的彈力定義了激振體的諧振模式的頻率。
[0003]由激振體和彈性鉸鏈構(gòu)成的諧振器擁有兩種振動工作模式，其定義了激振體的兩個移動方向。檢測激振體在這些方向中的振動允許一個角度被測量。
[0004]傳感器還具有被安置為將激振體設(shè)定到振動中的致動器以及安置為檢測激振體的相對移動的檢測器。檢測器通常包括電極對，所述電極對中的一個被固定到激振體中的一個，而另一個被固定到支持結(jié)構(gòu)。這使得檢測激振體的移動并隨后通過處理來確定激振體相對于彼此的移動成為可能。然而，測量包括與由于激振體的其他諧振模式所導(dǎo)致的在激振體和支持結(jié)構(gòu)之間的寄生移動相關(guān)聯(lián)的分量，當(dāng)檢測器具有不同的增益時，這些分量可以對傳感器的性能造成特別大的破壞。
[0005]例如出于駕駛車輛或?qū)Ш降哪康?，關(guān)于姿態(tài)和速度的檢測的要求需要這樣的傳感器的性能被改進。
[0006]諸如舉例而言在文檔FR-A-2 983 574中，提出了各種解決方案。
[0007]本發(fā)明尋求改進傳感器的性能，特別是像上述文檔那樣，并且可以從該文檔的示教中獲得益處，但是，它還是依靠不同的方案。
[0008]本發(fā)明尋求通過限制出于檢測激振體的相對移動目的所需的處理來簡化所述檢測。具體地，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)所述處理導(dǎo)致了使傳感器性能下降的不準確性。
[0009]為此，本發(fā)明提供了一種微機電系統(tǒng)(MEMS)類型的慣性傳感器，包括:具有通過彈性裝置被連接到其的至少第一激振體和第二激振體的支持結(jié)構(gòu)、用于將激振體維持在振動中并確定激振體在懸掛平面內(nèi)的移動的換能器以及通過導(dǎo)電體裝置被連接到換能器的控制單元，所述第一激振體和第二激振體通過彈性裝置被連接到支持結(jié)構(gòu)以便在懸掛平面中是可移動的。換能器包括固定到第一激振體的至少一個電極和固定到第二激振體的至少一個電極，這兩個電極被安置為允許激振體在懸掛平面中相對于彼此的相對移動可被直接測量到。
[0010]這樣，激振體的相對移動借助于固定到激振體的電極被直接確定。
[0011]換能器優(yōu)選地包括在與懸掛平面平行的至少兩個方向上被分別固定到第一激振體和第二激振體的電極，所述電極被安置為允許激振體相對于彼此在懸掛平面中的移動可被直接測量到。
[0012]有利地，所述傳感器包括在其中形成了所述激振體的至少一部分、彈性裝置和電極的至少第一半導(dǎo)體層、第一電絕緣層和形成支架的第二半導(dǎo)體層。第一半導(dǎo)體層配備有遍及其整個高度的槽，以便定義通過彈性裝置從電極延伸到支持結(jié)構(gòu)的外圍的導(dǎo)電路徑，從而形成至少一些導(dǎo)通裝置。
[0013]通過使用彈性裝置在第一半導(dǎo)體層中實現(xiàn)導(dǎo)電路徑允許在無需求助外部連接裝置的情況下傳送測量信號，所述外部連接裝置可能引起在激振體的移動中的干擾。
[0014]在閱讀了下面的對特定的非限制性本發(fā)明的實施例之后，本發(fā)明的其他特征以及優(yōu)點將變得顯而易見。
[0015]對附圖作出參考，在附圖中:
[0016]圖1是傳感器的透視圖。
[0017]圖2是傳感器的外殼的一部分的透視圖。
[0018]圖3是在本發(fā)明的第一實施例中的傳感器的激振體之一的透視圖；
[0019]圖4是類似于圖1的示出在傳感器的其他激振體的示圖；
[0020]圖5是在外殼中的傳感器的透視圖；
[0021]圖6是在本發(fā)明的第二實施例中的將外殼移除的傳感器的平面圖；
[0022]圖7是圖6的線VI1-VII上的傳感器的截面圖；以及
[0023]圖8是類似于圖6的示出第二實施例的變體的示圖。
[0024]參考圖1到5，在本發(fā)明的第一實施例中的傳感器被給予整體標(biāo)記I，并且是由包括兩個半導(dǎo)體層100.1和100.2以及電絕緣層11.1的晶片制成的MEMS類型的傳感器。絕緣層101.1在第一半導(dǎo)體層100.1和第二半導(dǎo)體層100.2之間延伸。半導(dǎo)體層100.1和100.2由半導(dǎo)體材料制成，在本示例中為硅，并且絕緣層101.1由硅的氧化物，例如S12，制成。
[0025]在每個半導(dǎo)體層100.1、100.2中，形成有:
[0026]形成外部框架的支持結(jié)構(gòu)2.1,2.2；
[0027]中間框架9.1、9.2;
[0028]給予整體標(biāo)記3.1,3.2的激振體部分；
[0029]將激振體3.1,3.2連接到中間框架9.1,9.2的第一彈性元件8.11、8.12;
[0030]將中間框架9.1,9.2連接到支持結(jié)構(gòu)2.1,2.2的第二彈性元件8.21,8.22；
[0031]將激振體3.1,3.2連接在一起的第三彈性元件10.1,10.2(在這些圖中僅彈性元件10.1是可見的)；
[0032]在支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2的第一側(cè)和中間框架9.1、9.2的面向第一側(cè)之間延伸的第一換能器 11.1、11.2;
[0033]在支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2的第二側(cè)和中間框架9.1、9.2的面向第二側(cè)之間延伸的第二換能器12.1、12.2，承載所述換能器12.1的第二側(cè)與承載所述換能器11.1的第一側(cè)相對，并且承載所述換能器12.2的第二側(cè)與承載所述換能器11.2的第一側(cè)相對;以及
[0034]在激振體部分3.1和3.2之間延伸的第三換能器13.1、13.2(在這些圖中僅換能器13.1是可見的)。
[0035]每個激振體3.1,3.2分別包括長方體形式的兩個翼4.1,4.2,所述翼彼此平行地延伸并彼此間隔開，通過長方體形式的中心核5.1、5.2被連接在一起，所述中心核設(shè)置在翼
4.1、4.2之后。中心核5.1、5.2具有小于翼4.1、4.2之間的間隔的寬度。激振體3.1的翼4.1是在半導(dǎo)體層100.2中制成，而激振體3.1的中心核5.1是在半導(dǎo)體層100.1中制成。激振體3.2的翼4.2是在半導(dǎo)體層100.1中形成，而激振體3.2的中心核5.2是在半導(dǎo)體層100.2中形成。在100.1和100.2之間的絕緣層的一部分7.1和7.2在翼4.1、4.2和核5.1、5.2之間延伸，以便將翼4.1、4.2與核5.1、5.2電氣絕緣。
[0036]激振體3.1、3.2被安裝為在預(yù)定的平面P中移動。激振體3.1、3.2具有相同的形狀和相同的質(zhì)量。激振體3.1和3.2被定位使得它們的重心重合。每個翼4.1、4.2的質(zhì)量小于核
5.1、5.2的質(zhì)量的一半。
[0037]半導(dǎo)體層100.1,100.2的安置可關(guān)于與預(yù)定平面P垂直的軸相對于彼此成90°并關(guān)于預(yù)定平面P中的軸成180°來取向，以這種方式，每個激振體3.1、3.2的核5.1、5.2面向其他激振體3.2、3.1的核5.2、5.1延伸并位于其翼4.1、4.2之間。這樣，每個激振體3.1、3.2的翼
4.1、4.2具有端部6.1、6.2，所述端部位于與其他激振體3.2、3.1的核5.1、5.2相同的平面中并面向其他激振體3.2、3.1的翼4.2、4.1的端部6.2、6.1。
[0038]這樣，激振體3.1、3.2以這樣的方式包括相互接合裝置(翼4.1、4.2):激振體3.1、
3.2彼此相互嵌套，同時它們中的每個在預(yù)定平面P中相對于其他激振體3.2、3.1是可移動的。
[0039]第一彈性元件8.11,8.12和第二彈性元件8.21,8.22形成激振體3.1,3.2的第一懸掛級和第二懸掛級。
[0040]在該示例中，彈性元件是由條帶形成，所述條帶可平行于懸掛平面P彈性變形，但在沿與懸掛平面垂直的軸上呈現(xiàn)出高度剛性，以便消除激振體3.1、3.2的移動出懸掛平面P的自由度。彈性元件8.11、8.12、8.21和8.22被安置為提供在中間框架9.1,9.2和激振體
3.1、3.2之間和與支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2的相對弱的耦合。第一彈性元件8.11,8.12具有在平面P中各向同性的剛性。第二彈性元件8.21、8.22具有在平面P中各向同性的剛性。第一彈性元件8.11、8.12和第二彈性元件8.21,8.22的剛性使得中間框架9.1,9.2的第一彈性模式和該組激振體3.1,3.2的彈性模式的頻率顯著低于工作模式的頻率。彈性元件10.1,10.2具有在平面P中各向同性的剛性，并且它們被安置為在激振體3.1、3.2之間提供相對強的耦合。這樣，彈性元件1.1、10.2呈現(xiàn)出大于彈性元件8.11、8.12、8.21、8.22的剛性的剛性。
[0041 ]兩個彈性元件10.2在激振體3.1的每個翼4.1和激振體3.2的中心核5.2之間平行于中心核5.1延伸，并且兩個彈性元件10.1在激振體3.2的每個翼4.2和激振體3.1的中心核5.1之間平行于中心核5.2延伸。
[0042]換能器13被連接到用于確定激振體3.1、3.2相對于彼此的移動的控制單元(未示出)。
[0043]換能器11.1,11.2被控制單元控制以便在第一軸上連續(xù)地形成用于檢測中間框架
9.1、9.2相對于支持結(jié)構(gòu)2.1,2.2的移動的檢測器和用于抑制中間框架9.1,9.2相對于支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2的振動的第一諧振模式的致動器。
[0044]換能器12.1、12.2被控制單元控制以便在第二軸上連續(xù)地形成中間框架9.1,9.2相對于支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2的移動的檢測器和用于抑制中間框架9.1,9.2相對于支持結(jié)構(gòu)
2.1、2.2的振動的第一諧振模式的致動器。
[0045]換能器13.1,13.2被控制單元控制以便連續(xù)形成用于將激振體3.1,3.2設(shè)置成振動的致動器以及用于檢測激振體3.1、3.2的相對移動的檢測器。
[0046]兩個換能器13.2在激振體3.1的每個翼4.1和激振體3.2的中心核5.2之間延伸，并且兩個換能器13.1在激振體3.2的每個翼4.2和激振體3.1的中心核5.1之間延伸。換能器13.1是例如被配置成梳狀的兩個電極的形式，為此每個電極被固定，一個固定到翼4.1、4.2而另一個固定到中心核5.2、5.1。電極與翼4.1、4.2并與中心核5.1、5.2整體制成。應(yīng)該觀測到絕緣層101.1的部分7.1、7.2使得翼4.1、4.2和中心核5.1、5.2在不同的電勢處成為可能。這樣，換能器被安置在平行于懸掛平面的兩個方向中。
[0047]半導(dǎo)體層100.1,100.2在支持結(jié)構(gòu)2.1,2.2的第一和第二側(cè)處具有槽14.1,14.2(僅槽14.1可見)，以便定義:面向每個換能器11.1、11.2的區(qū)域A;在區(qū)域A的任一側(cè)上且面向第二彈性元件8.21、8.22的區(qū)域B;以及在兩個區(qū)域B之間的區(qū)域C。
[0048]半導(dǎo)體層100.1,100.2在中間框架9.1,9.2的第一和第二側(cè)處具有槽15.1,15.2(僅槽15.1可見)，以定義:面向每個換能器11.1、11.2、第二彈性元件8.21、8.22以及第一彈性元件8.11、8.12的區(qū)域B;以及在兩個區(qū)域B之間的區(qū)域C。
[0049]半導(dǎo)體層100.1,100.2在第三彈性元件10.1,10.2周圍具有槽16.1,16.2以定義面向第一彈性元件8.11、8.12和換能器13.1、13.2的區(qū)域B。
[0050]每個換能器11和12具有被固定到區(qū)域B的電極和被固定到區(qū)域A的電極。每個換能器13和12具有被固定到區(qū)域B的電極和被固定到區(qū)域C的電極。在本示例中，電極形成梳子。因為槽14、15、16在半導(dǎo)體層100.1,100.2的整體高度上延伸，區(qū)域A、B和C是電絕緣的，并且可以在不同電勢處形成以便傳送控制和/或檢測信號。因為半導(dǎo)體層100.1、100.2通過絕緣層101.1彼此分隔開，半導(dǎo)體層100.1的區(qū)域A、B和C與半導(dǎo)體層100.2的區(qū)域A、B和C是電絕緣的。
[0051]區(qū)域A、B和C用于在換能器11、12、13和支持結(jié)構(gòu)2.1、2.1的外圍之間傳導(dǎo)電壓信號?？刂茊卧ㄟ^支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2的外圍被電連接到區(qū)±或六、8和(:。
[0052]在操作中，換能器13被控制以便交替地執(zhí)行下述步驟:
[0053]將包括激振體3.1,3.2和彈性元件8.11、8.12、10.1、10.2的組裝件設(shè)定為以該組裝件的諧振頻率振動，并維持所述振動；以及
[0054]檢測激振體3.1,3.2相對于彼此的移動。換能器使得檢測在平行于懸掛平面的任何方向上的激振體3.1、3.2的相對移動成為可能。
[0055]作為示例，換能器11、12被控制以便創(chuàng)建針對第二懸掛級的可調(diào)節(jié)靜電剛性。
[0056]傳感器可以具有由給予整體標(biāo)記20的兩個部分形成的外殼，在這兩個部分之間，包括支持結(jié)構(gòu)2.1、2.2、中間框架9.1、9.2以及激振體每個部分20包括被固定到支持結(jié)構(gòu)I的框架21和被固定到中間框架9.1,9.2并通過彈性裝置24被連接到框架21的蓋22。每個部分20的蓋22具有面向激振體蓋22被扣緊在支持框架9上，從而所述腔可被排空。蓋22具有構(gòu)造激振體8.21、8.22所創(chuàng)建的懸掛模式的頻率分隔開，并且至少削弱來自外部的干擾力的一小部分。
[0057]因為激振體在形狀和大小方面是相同的，且因為它們的重心重合，激振體具有相同的慣性并且形成平衡諧振器，該平衡諧振器不以工作模式的頻率將能量傳送到外部，并且不受到外部振動效應(yīng)的影響。這有助于穩(wěn)定阻尼各向異性，同時對應(yīng)于該各向異性的穩(wěn)定，傳感器的性能被改進。
[0058]至少部分借助于包括蝕刻晶體材料的階段的制造方法來獲得本發(fā)明的傳感器。
[0059]制造方法包括在具有所述兩個半導(dǎo)體層100.1、100.2和絕緣層101.1的晶片中蝕刻傳感器的步驟。
[0060]激振體3.I，3.2 (翼4.I和4.2、中心核5.I和5.2、絕緣層7.1,7.2)、支持結(jié)構(gòu)2.1、
2.2、中間框架 9、彈性元件 8.11、8.12、8.21、8.22、10.1和10.2、換能器 11.1、11.2、12.1、12.2、13.1、13.2和槽14、15、16通過蝕刻直接獲得。
[0061 ]每個外殼部分20同樣通過蝕刻晶體材料獲得。
[0062]—般地，還借助于被一般稱為“晶片接合”的傳統(tǒng)MEMS技術(shù)。在本示例中，可提及可被稱為“直接接合”、“陽極接合”和“金屬接合”的技術(shù)。
[0063]參考圖6和7，并且在第二實施例中，給定整體標(biāo)記51的傳感器是使用晶片制成的MEMS類型的傳感器，所述晶片具有三個半導(dǎo)體層100.1、100.2和100.3以及兩個電絕緣層101.1和101.2。第一絕緣層101.1在第一半導(dǎo)體層100.1和第二半導(dǎo)體層100.2之間延伸;絕緣層101.2在第二導(dǎo)體層100.2和第三半導(dǎo)體層100.3之間延伸。半導(dǎo)體層100.1,100.2和100.3由半導(dǎo)體材料制成，在本示例中為硅，并且絕緣層11.1、101.2由硅的氧化物，例如S12,制成。
[0064]傳感器51包括:
[0065]形成外部框架的支持結(jié)構(gòu)52;
[0066]具有從底部59.2凸出的邊界59.1并具有從其中心延伸的棒(stub)59.3的中間框架59;
[0067]以同心框形式安置的激振體53.1、53.2，激振體53.1在激振體53.2和棒59.3之間延伸；
[0068]將激振體53.1連接到中間框架59的中心棒59.3的第一彈性元件58.11；
[0069]將激振體53.2連接到中間框架59的邊界59.1的第一彈性元件58.12;
[0070]將中間框架59連接到支持結(jié)構(gòu)52的第二彈性元件58.2；
[0071 ]將激振體53.1,53.2彼此連接的第三彈性元件60 ；
[0072]第一換能器61，每個換能器在支持結(jié)構(gòu)52的多側(cè)中的一側(cè)和中間框架59的多側(cè)中的面向側(cè)之間延伸；
[0073]第二換能器62，每個換能器在支持結(jié)構(gòu)52的多側(cè)中的一側(cè)和中間框架59的多側(cè)中的面向側(cè)之間延伸；
[0074]在激振體
[0075]在激振體
[0076]支持結(jié)構(gòu)52通過蝕刻所有的層形成;底部59.2在半導(dǎo)體層101.3中單獨形成;邊界59.I和棒59.3在層 100.1、101.1、100.2、101.2中形成；激振體53.1、53.2在層 100.1、100.2、101.1中形成;第一和第二彈性元件在層100.1、100.2、101.1中形成;并且第三彈性元件在半導(dǎo)體層100.1、100.2、101.1中形成。絕緣層101.2被部分消除，以避免妨礙激振體53.1、53.2和彈性元件相對于底部59.2的移動。
[0077]如上，激振體3.1，3.2具有相同的質(zhì)量，并且它們被定位為使得它們的重心彼此重合。激振體可以在懸掛平面P中相對于中間框架59和支持結(jié)構(gòu)52移動。
[0078]第一彈性元件58.11,58.12和第二彈性元件58.2形成激振體53.1,53.2的第一懸掛級和第二懸掛級
[0079]在該示例中，彈性元件是由條帶形成，所述條帶可平行于懸掛平面P彈性變形，但在沿與懸掛平面垂直的軸上呈現(xiàn)出高度剛性，以便消除激振體53.1、53.2的移動出懸掛平面P的自由度。彈性元件58.11,58.12,58.2被安置為提供與激振體53.1,53.2和支持結(jié)構(gòu)52具有相對弱的耦合的中間框架59。第一彈性元件58.11、58.12具有在平面P中各向同性的剛性。第二彈性元件58.2具有在平面P中各向同性的差異。第一彈性元件58.11、58.12和第二彈性元件58.2的剛性使得中間框架59的第一諧振模式和該組激振體53.1、53.2的諧振模式的頻率顯著低于工作模式的頻率。彈性元件60具有在平面P中各向同性的剛性，并且它們被安置為在激振體53.1、53.2之間提供相對強的耦合。這樣，彈性元件60具有比彈性元件58.11、58.12、58.2的剛性更大的剛性。
[0080]換能器61、62、63.1、63.2被連接到控制單元(未示出)，以便確定激振體53.1、53.2相對于彼此的移動。
[0081 ] 換能器61由控制單元控制以相對于支持結(jié)構(gòu)52移動中間框架59。換能器62由控制單元控制以便檢測中間框架59相對于支持結(jié)構(gòu)52的移動。
[0082]換能器63.1被控制單元控制以便形成用于將激振體53.1,53.2設(shè)置成振動的致動器，并且換能器63.2被控制單元控制以便形成用于檢測激振體53.1,53.2的相對移動的檢測器。
[0083]如在第一實施例中，半導(dǎo)體層100.1和/或?qū)?00.1,101.1被提供在支持結(jié)構(gòu)52、中間框架59的邊界59.1中以及在激振體53.2中的槽64、65、66框架的整個高度上，以便允許在其中形成經(jīng)歷不同電勢的導(dǎo)通區(qū)域。一些或所有的彈性元件被用于互連屬于支持結(jié)構(gòu)52、中間框架59和激振體53.1、53.2的處于相同電勢的區(qū)域。
[0084]隨后，每個換能器61、62、63.1、63.2具有被固定到一個導(dǎo)通區(qū)域的電極和被固定到另一個導(dǎo)通區(qū)域的另一個電極。這些各種的導(dǎo)通區(qū)域彼此電絕緣，并且這樣可以升高到不同的電勢以便傳送控制和/或檢測信號。
[0085]以這種方式定義的導(dǎo)通區(qū)域用于在換能器61、62、63.1,63.2和支持結(jié)構(gòu)52的外圍之間傳導(dǎo)電壓信號?？刂茊卧浑娺B接到在支持結(jié)構(gòu)52的外圍處的所述導(dǎo)通區(qū)域。
[0086]組裝件被安裝在外殼70中。
[0087]當(dāng)然，本發(fā)明不限于所描述的實施例，而是覆蓋落在由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)的任何變型。
[0088]具體而言，傳感器可以具有超過兩個的激振體，并且所述激振體可以是與所描述的形狀不同的形狀。
[0089]換能器的數(shù)目可以與所描述的數(shù)目不同。例如，參考圖8，可能在激振體53.1、53.2的每側(cè)上提供三個換能器73(而不是如圖7所示僅一個)。隨后，導(dǎo)通區(qū)域的數(shù)目更大，槽的數(shù)目同樣更大。隨后，提供用于將屬于不同組件(支持結(jié)構(gòu)、中間框架、激振體)但需要處于相同的電勢的區(qū)域相連的附加可變形元件。所述可變形元件可被安置為對懸掛有顯著貢獻或根本沒有貢獻。
[0090]在一種變形中，換能器11.1可以被僅作為檢測器來控制，而換能器12.1可以被僅作為致動器來控制，反之亦然。同樣適用于換能器11.2、12.2。
[0091]所述傳感器不需要外殼20。
【主權(quán)項】
1.一種MEMS類型的慣性傳感器，包括:支持結(jié)構(gòu)，具有通過彈性裝置被連接到所述支持結(jié)構(gòu)以便在懸掛平面中是可移動的至少第一激振體和第二激振體，用于將激振體維持在振動中并確定激振體在所述懸掛平面內(nèi)的移動的換能器，以及通過導(dǎo)電體裝置被連接到所述換能器的控制單元，所述傳感器的特征在于，所述換能器具有在平行于所述懸掛平面的至少兩個方向中被分別固定到第一激振體和第二激振體的電極，所述電極被安置為使得直接測量所述激振體在懸掛平面中相對于彼此的移動成為可能。2.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，包括在其中形成了所述激振體的至少一部分、所述彈性裝置以及所述電極的至少第一半導(dǎo)體層、第一電絕緣層以及形成支架的第二半導(dǎo)體層，并且，所述第一半導(dǎo)體層配置有遍及其整個高度的槽，以便定義通過所述彈性裝置從所述電極延伸到所述支持結(jié)構(gòu)的外圍的導(dǎo)電路徑，從而形成至少一些導(dǎo)通裝置。3.如權(quán)利要求2所述的傳感器，其特征在于，具有第二絕緣層和第三半導(dǎo)體層，所述第二半導(dǎo)體層在所述絕緣層之間延伸且中間支持框架在所述第二半導(dǎo)體層中形成，所述第三半導(dǎo)體層形成支持結(jié)構(gòu)。4.如權(quán)利要求3所述的傳感器，其特征在于，所述激振體是同心的，所述第一激振體被安裝在所述第二激振體中并包括中心腔，固定到所述第三半導(dǎo)體層的棒在所述中心腔中延伸，并且所述第一激振體通過彈性裝置被連接到所述棒。5.如權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，所述激振體是相同形狀的且具有相同的質(zhì)量，并且所述激振體以這樣的方式包括相互接合部分:所述激振體彼此相互嵌套，同時在所述懸掛平面中相對于彼此是可移動的，所述激振體具有重合的重心。6.如權(quán)利要求5所述的傳感器，其特征在于，每個激振體具有長方體形式的兩個翼，所述翼彼此平行地延伸并通過長方體形式的中心核被連接在一起，所述中心核設(shè)置在所述翼之后，所述激振體關(guān)于與所述懸掛平面垂直的軸相對于彼此成90°并關(guān)于所述懸掛平面中的軸成180°來取向，以這種方式，每個激振體的核面向其他激振體的核延伸并在所述其他激振體的翼之間，并且每個激振體的翼具有端部，所述端部在與所述核相同的平面中延伸并面向所述其他激振體的翼的端部。7.如權(quán)利要求6所述的傳感器，其特征在于，每個翼的質(zhì)量小于所述核的質(zhì)量的一半。
【文檔編號】B81B3/00GK105917192SQ201480073568
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2014年11月20日
【發(fā)明人】A·金洛伊, P·恩夫羅伊
【申請人】薩甘安全防護公司