為使所述梯形波的角部分平滑變化的形狀。
[0024] 按照本發(fā)明的干涉計、使用干涉計的分光光度計、目標(biāo)位置數(shù)據(jù)設(shè)定方法，可以實 現(xiàn)移動反射鏡的往返移動的高速化，能夠盡可能地抑制上述反轉(zhuǎn)所需的瞬間最大推力的增 加，從而保持壽命性能、防止發(fā)生故障，此外可以保證移動反射鏡的速度穩(wěn)定性，從而能夠 防止測量精度的惡化。
【附圖說明】
[0025] 圖1是表示以往的移動反射鏡的目標(biāo)位置和時間的關(guān)系的曲線圖。
[0026] 圖2是表示本實施方式的分光光度計和干涉計的示意圖。
[0027] 圖3是表示本實施方式的目標(biāo)位置數(shù)據(jù)生成部的框圖。
[0028] 圖4是表示本實施方式的前段參考調(diào)速部生成的中間目標(biāo)位置的時間變化波形 的曲線圖。
[0029] 圖5是表示本實施方式的后段參考調(diào)速部生成的目標(biāo)位置的時間變化波形的曲 線圖。
[0030] 圖6的（a)和（b)是放大了圖5的A部分的放大圖。
[0031] 圖7的（a)是在以往的干涉計中將移動反射鏡的位置?速度作為縱軸、將時間作 為橫軸時的曲線圖，（b)是在本實施方式的干涉計中將移動反射鏡的位置?速度作為縱軸、 將時間作為橫軸時的曲線圖。
[0032] 圖8是表示其他實施方式的分光光度計和干涉計的示意圖。
[0033] 附圖標(biāo)記說明
[0034] 2 · · ·干涉計
[0035] 8 · · ·移動反射鏡
[0036] 9 · · ·移動機構(gòu)
[0037] 1〇 · · ·測量部
[0038] 11a· ··移動控制部
【具體實施方式】
[0039] 下面，利用附圖對本實施方式進行說明。
[0040] 本實施方式的分光光度計1例如是FTIR，如圖2所示，將在干涉計2生成的對每種 波長描繪不同的正弦曲線的干涉波，向設(shè)置在試樣臺3上的測量試樣進行照射，在分析部4 中對透射測量試樣的光進行高速傅立葉變換（FFT)并進行分光，并且取得每種波長的光強 度（光譜）并分析測量試樣的組成比和濃度等。
[0041] 作為生成對每種波長描繪不同的正弦曲線的干涉波的結(jié)構(gòu)，本實施方式的干涉計 2利用分束器6將從紅外光源5射出的光分割成兩個光束，由固定反射鏡7反射一個光束， 由利用移動機構(gòu)9進行往返移動的移動反射鏡8反射另一個光束。此時，由于利用移動機 構(gòu)9使移動反射鏡8連續(xù)移動，所以由固定反射鏡7反射的光束和由移動反射鏡8反射的 光束再次合成的干涉波對每種波長描繪不同的正弦曲線。
[0042] 移動機構(gòu)9具有：直線導(dǎo)軌9a，與由分束器6分路的一個光軸平行配置；臺車9c， 在直線導(dǎo)軌9a上移動；以及例如音圈電機等直線移動驅(qū)動部件9b，使臺車9c往返移動。在 上述臺車9c上以遮擋光軸的方式安裝有移動反射鏡8。
[0043] 并且，利用在直線移動驅(qū)動部件9b中流動的電流值使臺車9c的移動速度變化，并 且利用電流的流動方向使臺車9c的移動方向變化。
[0044] 另外，直線移動驅(qū)動部件9b并不限于音圈電機，只要能夠使臺車9c往返移動即 可。
[0045] 對利用移動機構(gòu)9移動的移動反射鏡8的位置進行測量的測量部10是位置傳感 器，該位置傳感器例如具有測量用光源l〇a和接收光的受光部10b。上述位置傳感器可以例 舉的是，利用來自測量用光源l〇a的光的頻率因為例如由移動反射鏡8反射時產(chǎn)生的多普 勒效應(yīng)而變化的特點，測量移動反射鏡8的位置的位置傳感器。并且，測量部10將測量出 的表示測量位置的實際位置數(shù)據(jù)向控制機構(gòu)11發(fā)送。
[0046] 另外，測量部10除了可以使用上述位置傳感器以外，還可以使用速度傳感器或加 速度傳感器等。
[0047] 控制機構(gòu)11控制移動機構(gòu)9,在結(jié)構(gòu)上是具有CPU、內(nèi)部存儲器、I/O緩沖電路和 AD轉(zhuǎn)換器等的所謂計算機電路。并且，通過按照存儲在內(nèi)部存儲器的規(guī)定區(qū)域內(nèi)的控制程 序動作，使CPU和周邊設(shè)備協(xié)同動作，發(fā)揮作為圖3所示的移動控制部11a的功能。
[0048] 移動控制部11a以使移動反射鏡8向目標(biāo)位置移動的方式生成控制信號，并通過 將該控制信號發(fā)送至移動機構(gòu)9來控制移動機構(gòu)9,所述移動控制部11a包括：偏差計算部 16,計算移動反射鏡8的目標(biāo)位置和測量部10測量出的測量位置的偏差；以及計算部17， 計算控制信號，以使該偏差變小從而使測量位置接近目標(biāo)位置。
[0049] 利用目標(biāo)位置數(shù)據(jù)生成部12生成上述目標(biāo)位置。
[0050] 目標(biāo)位置數(shù)據(jù)生成部12生成表示目標(biāo)位置的目標(biāo)位置數(shù)據(jù)，其包括：前段參考調(diào) 速部13,根據(jù)原始目標(biāo)位置計算中間目標(biāo)位置；以及后段參考調(diào)速部14,根據(jù)中間目標(biāo)位 置計算目標(biāo)位置。
[0051] 在本實施方式中，原始目標(biāo)位置存儲在原始目標(biāo)位置數(shù)據(jù)記錄部15內(nèi)。如果在以 位置為縱軸、時間為橫軸的曲線圖中表示上述原始目標(biāo)位置時，則上述時間變化波形成為 左右對稱的三角波的波形。
[0052] 如圖4所示，前段參考調(diào)速部13從原始目標(biāo)位置數(shù)據(jù)記錄部15中取得表示原始 目標(biāo)位置的原始目標(biāo)位置數(shù)據(jù)，計算出呈如下波形的中間目標(biāo)位置：將取得的原始目標(biāo)位 置的時間變化波形的三角波的頂點切除，使時間變化波形成為梯形波狀。具體地說，為了作 為干涉計來進行測量，前段參考調(diào)速部13以確保移動反射鏡8需要等速移動的區(qū)間的方 式，切除三角波的頂點部分。即，所述前段參考調(diào)速部13在從三角波的頂點到位于上述頂 點前后的需要等速移動的區(qū)間之間，切除所述三角波的頂點。
[0053] 如圖5所示，后段參考調(diào)速部14對前段參考調(diào)速部13計算出的中間目標(biāo)位置的 時間變化波形進行低通濾波，計算出使上述時間變化波形的梯形波狀的角部分平滑變化的 目標(biāo)位置。作為上述低通濾波可以采用FIR(有限脈沖響應(yīng)）濾波或IIR(無限脈沖響應(yīng)） 濾波。
[0054] 此外，進行低通濾波而計算出的目標(biāo)位置的時間變化波形，可以如圖6的（a)所示 以保留中間目標(biāo)位置的梯形波狀的水平部分的方式使角部分成為平滑形狀，也可以如圖6 的（b)所示以不保留上述水平部分的方式使角部分成為平滑形狀。
[0055] 在上述目標(biāo)位置數(shù)據(jù)生成部12中，經(jīng)由前段參考調(diào)速部13和后段參考調(diào)速部14 而生成的目標(biāo)位置數(shù)據(jù)所示的目標(biāo)位置的時間變化波形，如圖7的（b)所示，成為水平切除 三角波的頂點部分的梯形波，并且成為使上述梯形波的角部分平滑變化的形狀。通過使目 標(biāo)位置的時間變化波形成為上述形狀，如圖7的（b)所示，可以看出，移動反射鏡8的減速 開始時刻比圖7的（a)所示的以往的干涉計提前，從而可以確保反轉(zhuǎn)所需要的時間。此外， 可以看出，根據(jù)這種目標(biāo)位置控制的移動反射鏡的速度設(shè)置有規(guī)定的等速度區(qū)間。
[0056] 以上述方式構(gòu)成的本實施方式的干涉計2具有以下特殊的效果。
[0057] 即，在本實施方式的干涉計2中，目標(biāo)位置的時間變化波形為梯形波，并且成為使 上述梯形波的角部分平滑變化的形狀，所以減速開始的時刻比作為以往的目標(biāo)位置的三角 波的頂點靠前，因此反轉(zhuǎn)動作所需要的時間比以往的干涉計長。因此，提高了