本發(fā)明屬于力的測(cè)試領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，是涉及一種mems傳感器的檢測(cè)工裝，本發(fā)明還涉及一種mems傳感器的檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、mems是英文micro?electro?mechanical?systems的縮寫，即微電子機(jī)械系統(tǒng)。微電子機(jī)械系統(tǒng)(mems)技術(shù)是建立在微米/納米技術(shù)（micro/nanotechnology）基礎(chǔ)上的?21世紀(jì)前沿技術(shù)，是指對(duì)微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測(cè)量和控制的技術(shù)。它可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。這種微電子機(jī)械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動(dòng)。

2、微機(jī)械陀螺儀均采用振動(dòng)物體傳感角速度的概念。利用振動(dòng)來(lái)誘導(dǎo)和探測(cè)科里奧利力而設(shè)計(jì)的微機(jī)械陀螺儀沒有旋轉(zhuǎn)部件、不需要軸承，微機(jī)械陀螺儀用于測(cè)量汽車的旋轉(zhuǎn)速度（轉(zhuǎn)彎或者打滾），它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。所謂主動(dòng)控制系統(tǒng)就是一旦發(fā)現(xiàn)汽車的狀態(tài)異常，系統(tǒng)在車禍尚未發(fā)生時(shí)及時(shí)糾正這個(gè)異常狀態(tài)或者正確應(yīng)對(duì)個(gè)異常狀態(tài)以阻止車禍的發(fā)生。比如在轉(zhuǎn)彎時(shí)，系統(tǒng)通過(guò)陀螺儀測(cè)量角速度就知道方向盤打得過(guò)多還是不夠，主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)膭x車以防止汽車脫離車道。

3、微機(jī)械陀螺儀在使用過(guò)程中，由于良品率等問(wèn)題，容易在較為惡劣的工況環(huán)境下出現(xiàn)使用問(wèn)題，然而，現(xiàn)有的檢測(cè)工裝只能對(duì)微機(jī)械陀螺儀mems傳感器的轉(zhuǎn)動(dòng)工況或者線性振動(dòng)工況進(jìn)行模擬，對(duì)有缺陷的mems傳感器的檢出效率不佳，無(wú)法滿足mems傳感器在嚴(yán)苛工況下的使用需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種mems傳感器的檢測(cè)工裝，以解決現(xiàn)有的檢測(cè)設(shè)備對(duì)mems傳感器的使用工況的模擬效果不佳的技術(shù)問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：提供一種mems傳感器的檢測(cè)工裝，包括：

3、旋轉(zhuǎn)組件，包括能繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸，mems傳感器設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸，并位于所述旋轉(zhuǎn)軸直徑方向上的一側(cè)；

4、振動(dòng)組件，包括第二振動(dòng)臺(tái)和設(shè)于第二振動(dòng)臺(tái)的固定框，所述固定框能隨所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)而沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸線往復(fù)振動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸的端部可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述固定框，且所述固定框能帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸沿自身軸線往復(fù)振動(dòng)。

5、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述旋轉(zhuǎn)組件還包括安裝板，所述安裝板設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸，所述安裝板用于安裝待檢測(cè)的mems傳感器。

6、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述振動(dòng)組件還包括定位環(huán)，所述定位環(huán)與所述旋轉(zhuǎn)軸同軸，且所述定位環(huán)頂部與所述固定框固定連接，底部套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸的外周，且所述旋轉(zhuǎn)軸與所述定位環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)適配。

7、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述振動(dòng)組件還包括設(shè)于第二振動(dòng)臺(tái)頂部的第一振動(dòng)臺(tái)，所述固定框沿上下方向可移動(dòng)地設(shè)于所述第一振動(dòng)臺(tái)頂部，所述旋轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述第一振動(dòng)臺(tái)。

8、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述旋轉(zhuǎn)組件還包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)沿上下方向滑動(dòng)設(shè)置于第二振動(dòng)臺(tái)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，并能帶動(dòng)所述第一振動(dòng)臺(tái)沿旋轉(zhuǎn)軸的軸向振動(dòng)。

9、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述第一振動(dòng)臺(tái)開設(shè)有安裝槽，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)于所述安裝槽中。

10、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述定位環(huán)包括定環(huán)和動(dòng)環(huán)，所述定環(huán)和所述動(dòng)環(huán)均與所述旋轉(zhuǎn)軸同軸，且所述定環(huán)套設(shè)于所述動(dòng)環(huán)外周，所述定環(huán)連接于所述固定框，所述動(dòng)環(huán)與所述旋轉(zhuǎn)軸的頂部固定連接。

11、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述固定框底部設(shè)有連接板，所述連接板沿旋轉(zhuǎn)軸的軸向可鎖止地與所述第一振動(dòng)臺(tái)滑動(dòng)適配。

12、在一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述固定框頂部設(shè)有限位支架，所述限位支架包括連接條和兩個(gè)插接條，兩所述插接條通過(guò)所述連接條固定連接，所以固定框頂部開設(shè)有兩個(gè)插接孔，兩所述插接條能上下方向分別穿過(guò)兩所述插接孔，兩所述插接條的底部分別對(duì)稱分布于所述定環(huán)軸線的兩側(cè)，并與所述定環(huán)固定連接。

13、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的mems傳感器的檢測(cè)工裝的有益效果在于：旋轉(zhuǎn)組件中的旋轉(zhuǎn)軸在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中，能夠?qū)ems傳感器在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中的工況環(huán)境進(jìn)行模擬，與此同時(shí)，振動(dòng)組件能夠帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸的軸線往復(fù)振動(dòng)，進(jìn)而在對(duì)mems傳感器進(jìn)行圓周離心測(cè)試的過(guò)程中，對(duì)其直線振動(dòng)工況進(jìn)行模擬，以使mems傳感器的模擬過(guò)程更貼近mems傳感器的真實(shí)使用工況，從而有利于更為高效地對(duì)mems傳感器的不合格品進(jìn)行篩選，以解決現(xiàn)有的測(cè)試工裝無(wú)法對(duì)不合格品進(jìn)行有效篩除的技術(shù)問(wèn)題，從而有利于保證mems傳感器在使用過(guò)程中的可靠性。

14、本發(fā)明的另一目的在于提出一種mems傳感器的檢測(cè)設(shè)備，包括上文中的mems傳感器的檢測(cè)工裝。

15、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明中的mems傳感器的檢測(cè)設(shè)備具有上述mems傳感器的檢測(cè)工裝的全部有益之處，于此不做累述。

技術(shù)特征：

1.一種mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件（1）還包括安裝板（12），所述安裝板（12）設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸（11），所述安裝板（12）用于安裝待檢測(cè)的mems傳感器（3）。

3.如權(quán)利要求1所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述振動(dòng)組件（2）還包括定位環(huán)（22），所述定位環(huán)（22）與所述旋轉(zhuǎn)軸（11）同軸，且所述定位環(huán)（22）頂部與所述固定框（21）固定連接，底部套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸（11）的外周，且所述旋轉(zhuǎn)軸（11）與所述定位環(huán)（22）轉(zhuǎn)動(dòng)適配。

4.如權(quán)利要求3所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述振動(dòng)組件（2）還包括設(shè)于所述第二振動(dòng)臺(tái)（29）頂部的第一振動(dòng)臺(tái)（23），所述固定框（21）沿上下方向可移動(dòng)地設(shè)于所述第一振動(dòng)臺(tái)（23）頂部，所述旋轉(zhuǎn)軸（11）可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述第一振動(dòng)臺(tái)（23）。

5.如權(quán)利要求4所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件（1）還包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)（13），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（13）沿上下方向滑動(dòng)設(shè)置于第二振動(dòng)臺(tái)（29），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（13）用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸（11）轉(zhuǎn)動(dòng)，并能帶動(dòng)所述第一振動(dòng)臺(tái)（23）沿旋轉(zhuǎn)軸（11）的軸向振動(dòng)。

6.如權(quán)利要求5所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述第一振動(dòng)臺(tái)（23）開設(shè)有安裝槽（231），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（13）設(shè)于所述安裝槽（231）中。

7.如權(quán)利要求5所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述定位環(huán)（22）包括定環(huán)（221）和動(dòng)環(huán)（222），所述定環(huán)（221）和所述動(dòng)環(huán)（222）均與所述旋轉(zhuǎn)軸（11）同軸，且所述定環(huán)（221）套設(shè)于所述動(dòng)環(huán)（222）外周，所述定環(huán)（221）連接于所述固定框（21），所述動(dòng)環(huán)（222）與所述旋轉(zhuǎn)軸（11）的頂部固定連接。

8.如權(quán)利要求4所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述固定框（21）底部設(shè)有連接板（211），所述連接板（211）沿旋轉(zhuǎn)軸（11）的軸向可鎖止地與所述第一振動(dòng)臺(tái)（23）滑動(dòng)適配。

9.如權(quán)利要求7所述?的mems傳感器的檢測(cè)工裝，其特征在于，所述固定框（21）頂部設(shè)有限位支架（212），所述限位支架（212）包括連接條和兩個(gè)插接條，兩所述插接條通過(guò)所述連接條固定連接，所以固定框（21）頂部開設(shè)有兩個(gè)插接孔，兩所述插接條能上下方向分別穿過(guò)兩所述插接孔，兩所述插接條的底部分別對(duì)稱分布于所述定環(huán)（221）軸線的兩側(cè)，并與所述定環(huán)（221）固定連接。

10.一種mems傳感器的檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的mems傳感器的檢測(cè)工裝。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種MEMS傳感器的檢測(cè)工裝及MEMS傳感器的檢測(cè)設(shè)備，屬于測(cè)試領(lǐng)域，其中包括旋轉(zhuǎn)組件和振動(dòng)組件，旋轉(zhuǎn)組件包括能繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸，MEMS傳感器設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸，并位于所述旋轉(zhuǎn)軸直徑方向上的一側(cè)；振動(dòng)組件，包括第二振動(dòng)臺(tái)和設(shè)于第二振動(dòng)臺(tái)的固定框，所述固定框能隨所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)而沿所述旋轉(zhuǎn)軸的軸線往復(fù)振動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸的端部可轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述固定框，且所述固定框能帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸沿自身軸線往復(fù)振動(dòng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的通過(guò)振動(dòng)組件和旋轉(zhuǎn)組件的相互配合，能夠在使傳感器沿著軸線振動(dòng)的同時(shí)，也能夠繞著軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，從而更為有效地對(duì)不合格的傳感器進(jìn)行剔除，解決現(xiàn)有的檢測(cè)設(shè)備無(wú)法對(duì)不合格的產(chǎn)品進(jìn)行有效篩除的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：南耀仕,李正偉,乜愷,楊鳳霞,姚世婷,盧倩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河北美泰電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6