參考邊定向儀的制作方法
【專利摘要】參考邊定向儀，包括機(jī)臺(tái)、高壓變壓器、閃爍探測(cè)器、X射線發(fā)生器、光閘、聯(lián)接板、導(dǎo)向柱、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)。導(dǎo)向柱、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)布設(shè)在機(jī)臺(tái)的上蓋板上，卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)包括減速機(jī)、連接輸入軸上的手輪、連接輸出軸上的卷?yè)P(yáng)輪。兩根導(dǎo)向柱之間安裝有工作臺(tái)。聯(lián)接板上設(shè)置有X射線發(fā)生器、光閘、頂針及閃爍探測(cè)器，聯(lián)接板通過(guò)滑動(dòng)副裝在二根導(dǎo)向柱上。二個(gè)導(dǎo)向柱的上端上梁、聯(lián)接板均固有導(dǎo)向輪，導(dǎo)向輪上繞置有鋼絲繩，其一端連接卷?yè)P(yáng)輪，其另一端連接在上梁上，X射線發(fā)生器產(chǎn)生X射線，經(jīng)工作臺(tái)上的藍(lán)寶石晶棒材料反射后被閃爍探測(cè)器接收，使藍(lán)寶石晶棒柱面的參考邊（A向）加工及藍(lán)寶石晶棒粘結(jié)定向。本實(shí)用新型自動(dòng)化程度高、使用方便、測(cè)試精度高。
【專利說(shuō)明】參考邊定向儀

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及X射線檢測(cè)裝置，用于藍(lán)寶石晶棒材料的X射線參考邊柱面定向， 特別是涉及藍(lán)寶石大直徑晶體參考邊測(cè)量粘料用定向儀。

【背景技術(shù)】
[0002] 生長(zhǎng)出來(lái)的藍(lán)寶石晶棒在加工出各種規(guī)格晶片前，先要將晶棒柱面加工出參考邊 (A向），并按測(cè)定角度值將晶棒粘結(jié)在料板上，進(jìn)行藍(lán)寶石晶棒粘接，相配套的藍(lán)寶石晶棒 柱面參考邊定向儀，用來(lái)進(jìn)行藍(lán)寶石晶棒柱面的參考邊(A向)加工，進(jìn)行藍(lán)寶石晶棒粘結(jié)定 向，晶棒柱面參考邊粘結(jié)定向精度的高低，直接影響晶體切片質(zhì)量好壞和經(jīng)濟(jì)效益。傳統(tǒng)的 藍(lán)寶石晶棒柱面參考邊(A向)粘結(jié)定向采用通用型的X射線定向儀，精度不能保證，其原因 在于晶棒面的X射線反射能力非常弱，其測(cè)角精度只能在±45" - ±1'之間，利用精度僅 為±15"，更難以保證藍(lán)寶石晶棒柱面的參考邊(A向）的粘結(jié)定向精度，粘結(jié)后精度通常 也只能達(dá)到土P左右，嚴(yán)重影響了藍(lán)寶石晶棒的切片精度，導(dǎo)致藍(lán)寶石晶體切片制品的不 合格品比例很大，滿足不了生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體切片制品精度日益提高的需要。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種專用于藍(lán)寶石晶棒材料的X射線參考 邊柱面定向，以及藍(lán)寶石大直徑晶體參考邊測(cè)量粘料用，自動(dòng)化程度高、使用方便、測(cè)試精 度高的藍(lán)寶石晶棒材料的X射線參考邊定向儀。
[0004] 采用的技術(shù)方案是：
[0005] 參考邊定向儀，包括機(jī)臺(tái)、設(shè)在機(jī)臺(tái)下面的高壓變壓器、固定在機(jī)臺(tái)頂端的上蓋 板、固定在上蓋板上的防護(hù)罩、閃爍探測(cè)器、X射線發(fā)生器、光閘、聯(lián)接板、控制箱、工作臺(tái)、導(dǎo) 向柱、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)。所述的導(dǎo)向柱、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)及控制箱布設(shè)在位于防護(hù)罩內(nèi)的上蓋板上，卷?yè)P(yáng) 機(jī)構(gòu)包括減速機(jī)、連接在減速機(jī)輸入軸上的手輪、連接在減速機(jī)輸出軸上的卷?yè)P(yáng)輪。導(dǎo)向柱 為兩根，兩根導(dǎo)向柱與上蓋板固定，兩根導(dǎo)向柱之間安裝有工作臺(tái)。所述聯(lián)接板上設(shè)置有X 射線發(fā)生器、光閘、頂針及閃爍探測(cè)器，聯(lián)接板通過(guò)滑動(dòng)副裝設(shè)在二根導(dǎo)向柱上。二個(gè)導(dǎo)向 柱的上端固定有上梁，上梁上固定有第一導(dǎo)向輪和第二導(dǎo)向輪，聯(lián)接板上固定有第三導(dǎo)向 輪，第一、第二、第三導(dǎo)向輪上繞置有鋼絲繩，鋼絲繩的一端連接減速機(jī)輸出軸上的卷?yè)P(yáng)輪， 其另一端連接在上梁上。旋轉(zhuǎn)手輪帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)輪，通過(guò)鋼絲繩、第一導(dǎo)向輪、第二導(dǎo)向輪、第三 導(dǎo)向輪，實(shí)現(xiàn)聯(lián)接板沿兩根導(dǎo)向柱升降。待定向的藍(lán)寶石晶棒及夾具放置在兩根導(dǎo)向柱間 工作臺(tái)上，高壓變壓器產(chǎn)生的高壓使X射線發(fā)生器產(chǎn)生X射線，經(jīng)藍(lán)寶石晶棒材料反射后的 X射線反射光線被閃爍探測(cè)器接收，通過(guò)控制箱上的微安表確定晶體峰值，進(jìn)行藍(lán)寶石晶棒 柱面參考邊（A向）定向，便于進(jìn)一步進(jìn)行藍(lán)寶石晶棒柱面的參考邊（A向）加工及藍(lán)寶石晶 棒粘結(jié)定向。
[0006] 本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：
[0007] 1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、定向測(cè)量精度高，解決了原定向儀定向精度不高的問(wèn)題。
[0008] 2、采用射線管與高壓電纜一體化技術(shù)，解決了高壓電纜與射線管接觸不良，或接 點(diǎn)焊連，或高壓電纜易擊穿等老式定向儀長(zhǎng)期存在的問(wèn)題。
[0009] 3、專用于藍(lán)寶石晶棒材料的X射線參考邊柱面定向，特別適用于藍(lán)寶石大直徑晶 體參考邊測(cè)量粘料用定向儀，定向藍(lán)寶石晶棒直徑最大可達(dá)12吋（300_)。
[0010] 4、本儀器電氣控制裝置為設(shè)定X光管電流大小，通過(guò)電器部分信號(hào)放大器將閃爍 探測(cè)器接收的微弱X射線進(jìn)行信號(hào)放大，利用微安表顯示晶體峰值，提高了晶體的測(cè)量定 向精度。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011] 圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012] 圖2是圖1的左視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 參考邊定向儀，包括機(jī)臺(tái)2、設(shè)在機(jī)臺(tái)下面的高壓變壓器1、固定在機(jī)臺(tái)頂端的上 蓋板3、固定在上蓋板上的防護(hù)罩17、閃爍探測(cè)器4、X射線發(fā)生器5、光閘6、聯(lián)接板7、控制 箱11、工作臺(tái)15、導(dǎo)向柱18、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)。所述的導(dǎo)向柱18、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)及控制箱11布設(shè)在位 于防護(hù)罩17內(nèi)的上蓋板3上，卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)包括減速機(jī)14、連接在減速機(jī)輸入軸上的手輪13、 連接在減速機(jī)輸出軸上的卷?yè)P(yáng)輪12。導(dǎo)向柱18為兩根，兩根導(dǎo)向柱與上蓋板3固定，兩根 導(dǎo)向柱18之間安裝有工作臺(tái)15。所述聯(lián)接板7上設(shè)置有X射線發(fā)生器5、光閘6、頂針16 及閃爍探測(cè)器4,聯(lián)接板7通過(guò)滑動(dòng)副裝設(shè)在二根導(dǎo)向柱18上。二個(gè)導(dǎo)向柱18的上端固 定有上梁8,上梁8上固定有第一導(dǎo)向輪10和第二導(dǎo)向輪19,聯(lián)接板7上固定有第三導(dǎo)向 輪20,第一、第二、第三導(dǎo)向輪上繞置有鋼絲繩9,鋼絲繩9的一端連接減速機(jī)14輸出軸上 的卷?yè)P(yáng)輪12,其另一端連接在上梁8上。旋轉(zhuǎn)手輪13帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)輪12,通過(guò)鋼絲繩9、第一導(dǎo) 向輪10、第二導(dǎo)向輪19、第三導(dǎo)向輪20,實(shí)現(xiàn)聯(lián)接板7沿兩根導(dǎo)向柱18升降。待定向的藍(lán) 寶石晶棒及夾具放置在兩根導(dǎo)向柱間工作臺(tái)15上，高壓變壓器1產(chǎn)生的高壓使X射線發(fā)生 器5產(chǎn)生X射線，經(jīng)藍(lán)寶石晶棒材料反射后的X射線反射光線被閃爍探測(cè)器4接收，通過(guò)控 制箱11上的微安表確定晶體峰值，進(jìn)行藍(lán)寶石晶棒柱面參考邊(A向）定向，便于進(jìn)一步進(jìn) 行藍(lán)寶石晶棒柱面的參考邊(A向）加工及藍(lán)寶石晶棒粘結(jié)定向，構(gòu)成參考邊定向儀。
【權(quán)利要求】
1.參考邊定向儀，包括機(jī)臺(tái)（2)、設(shè)在機(jī)臺(tái)下面的高壓變壓器（1)、固定在機(jī)臺(tái)頂端的 上蓋板（3)、固定在上蓋板上的防護(hù)罩（17)、閃爍探測(cè)器（4)、X射線發(fā)生器（5)、光閘（6)、 聯(lián)接板（7)、控制箱（11)、工作臺(tái)（15)、導(dǎo)向柱（18)、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的導(dǎo)向柱 (18)、卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)及控制箱（11)布設(shè)在位于防護(hù)罩（17)內(nèi)的上蓋板（3)上，卷?yè)P(yáng)機(jī)構(gòu)包括 減速機(jī)（14)、連接在減速機(jī)輸入軸上的手輪（13)、連接在減速機(jī)輸出軸上的卷?yè)P(yáng)輪（12); 導(dǎo)向柱（18)為兩根，兩根導(dǎo)向柱與上蓋板⑶固定，兩根導(dǎo)向柱（18)之間安裝有工作臺(tái) (15)，聯(lián)接板（7)上設(shè)置有X射線發(fā)生器（5)、光閘（6)、頂針（16)及閃爍探測(cè)器（4)，聯(lián)接 板（7)通過(guò)滑動(dòng)副裝設(shè)在二根導(dǎo)向柱（18)上，二個(gè)導(dǎo)向柱（18)的上端固定有上梁（8)， 上梁（8)上固定有第一導(dǎo)向輪（10)和第二導(dǎo)向輪（19)，聯(lián)接板（7)上固定有第三導(dǎo)向輪 (20)，第一、第二、第三導(dǎo)向輪上繞置有鋼絲繩（9)，鋼絲繩（9)的一端連接減速機(jī)（14)輸出 軸上的卷?yè)P(yáng)輪（12)，其另一端連接在上梁（8)上；旋轉(zhuǎn)手輪（13)帶動(dòng)卷?yè)P(yáng)輪（12)，通過(guò)鋼 絲繩（9)、第一導(dǎo)向輪（10)、第二導(dǎo)向輪（19)、第三導(dǎo)向輪（20)，實(shí)現(xiàn)聯(lián)接板（7)沿兩根導(dǎo) 向柱（18)升降，待定向的藍(lán)寶石晶棒及夾具放置在兩根導(dǎo)向柱間工作臺(tái)（15)上，高壓變壓 器（1)產(chǎn)生的高壓使X射線發(fā)生器（5)產(chǎn)生X射線，經(jīng)藍(lán)寶石晶棒材料反射后的X射線反 射光線被閃爍探測(cè)器（4)接收，通過(guò)控制箱（11)上的微安表確定晶體峰值，進(jìn)行藍(lán)寶石晶 棒柱面參考邊A向定向，便于進(jìn)一步進(jìn)行監(jiān)寶石晶棒柱面的參考邊A向加工及監(jiān)寶石晶棒 粘結(jié)定向。
【文檔編號(hào)】G01N23/20GK203838085SQ201420188176
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月18日
【發(fā)明者】甄偉, 趙松彬 申請(qǐng)人:丹東新東方晶體儀器有限公司