氮氧化物傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種氮氧化物傳感器，由多層長(zhǎng)方形基片構(gòu)成，從上至下的第一層基片至第三層基片形成氣體入口、第一腔室和第二腔室，第一腔室內(nèi)設(shè)置有氧泵，第二腔室內(nèi)設(shè)置有氧測(cè)量泵，第一腔室和第二腔室之間設(shè)置有擴(kuò)散障礙部。氧泵的電極由設(shè)置在第一層基片上、下表面的第一電極和第二電極組成，氧測(cè)量泵的電極由設(shè)置在第三層基片上、下表面的第三電極和第四電極組成，第三層基片上設(shè)有與大氣相連的參比氣體通道。本發(fā)明的氮氧化物傳感器，做到了六線制，結(jié)構(gòu)得到優(yōu)化，為后續(xù)的信號(hào)精度提高作了很好的鋪墊。
【專利說明】氮氧化物傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)動(dòng)車輛尾氣排放檢測(cè)領(lǐng)域，特別涉及一種氮氧化物傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002]用空氣作氧化劑來源燃燒燃料所產(chǎn)生的廢氣，通常含有少量但卻值得注意的各種氮氧化物(顯、勵(lì)2等)，統(tǒng)稱為勵(lì)!￡。NOx不僅能破壞臭氧層，轉(zhuǎn)化成酸雨，且在陽(yáng)光下易與碳?xì)浠衔锘驌]發(fā)性有機(jī)物作用，產(chǎn)生光化學(xué)煙霧，引起呼吸道疾病，嚴(yán)重威脅人類的生存與健康，因此是不受歡迎的。
[0003]隨著社會(huì)的發(fā)展，機(jī)動(dòng)車輛的數(shù)量越來越多，而機(jī)動(dòng)車輛的尾氣中包括多種排放物，例如氮氧化物、顆粒物等。為了保護(hù)環(huán)境，減少機(jī)動(dòng)車輛有害物的排放，通過使用諸如催化轉(zhuǎn)換器的排氣系統(tǒng)組件控制排放。當(dāng)然，還需要多種氣體傳感器，包括NOx傳感器，用于檢測(cè)排氣中的氮氧化物的含量。
[0004]現(xiàn)有的NOx傳感器一般都是八線制，引出線較多，從而影響后續(xù)的測(cè)量精度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了克服現(xiàn)有氮氧化物傳感器的不足，本發(fā)明提供一種氮氧化物傳感器。
[0006]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種氮氧化物傳感器，由多層長(zhǎng)方形基片構(gòu)成，加熱體設(shè)置在其中一層基片上；其余各層中，具有三層相鄰的基片形成沿基片長(zhǎng)度方向依次設(shè)置的氣體入口、第一腔室和第二腔室，第一腔室內(nèi)設(shè)置有氧泵，第二腔室內(nèi)設(shè)置有氧測(cè)量泵，第一腔室和第二腔室之間設(shè)置有擴(kuò)散障礙部。
[0007]從上至下的第一層基片至第三層基片形成所述的氣體入口、第一腔室和第二腔室，所述氧泵的電極由設(shè)置在第一層基片上、下表面的第一電極和第二電極組成，所述氧測(cè)量泵的電極由設(shè)置在第三層基片上、下表面的第三電極和第四電極組成，第三層基片上設(shè)有與大氣相連的參比氣體通道。
[0008]所述第一電極和第二電極上下對(duì)應(yīng)設(shè)置，且第一電極和第二電極的長(zhǎng)度布滿或大致布滿第一腔室的長(zhǎng)度方向。
[0009]所述第三電極和第四電極上下對(duì)應(yīng)設(shè)置，且第三電極設(shè)置在第二腔室中遠(yuǎn)離第一腔室的一端。
[0010]第四電極下表面覆蓋有多孔氧化鋁層，多孔氧化鋁層的一端延伸到參比氣體通道。
[0011]加熱體設(shè)置在第四層基片與第五層基片之間，加熱體的上下各有一層絕緣層。
[0012]所述加熱體僅具有兩個(gè)弓丨出端。
[0013]本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的氮氧化物傳感器，做到了六線制，結(jié)構(gòu)得到優(yōu)化，為后續(xù)的信號(hào)精度提高作了很好的鋪墊。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0015]圖1是本發(fā)明的氮氧化物傳感器的工作原理圖。
[0016]圖2是本發(fā)明的氮氧化物傳感器最優(yōu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3是本發(fā)明的氮氧化物傳感器中加熱體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中10、第一層基片，20、第二層基片，21、氣體入口，22、第一腔室，23、第二腔室，24、擴(kuò)散障礙部，30、第三層基片，31、參比氣體通道，40、第四層基片，50、第五層基片，60、加熱體，70、絕緣層，80、氧泵，81、第一電極，82、第二電極，90、氧測(cè)量泵，91、第三電極，92、第四電極，93、多孔氧化鋁層。

【具體實(shí)施方式】
[0019]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
[0020]如圖1所示，本發(fā)明的一種氮氧化物傳感器，由七層長(zhǎng)方形基片構(gòu)成，從上至下的第一層基片10至第三層基片30形成氣體入口 21、第一腔室22和第二腔室23，第一腔室22內(nèi)設(shè)置有氧泵80，第二腔室23內(nèi)設(shè)置有氧測(cè)量泵90，第一腔室22和第二腔室23之間設(shè)置有擴(kuò)散障礙部24。
[0021]所述氧泵80的電極由設(shè)置在第一層基片10上、下表面的第一電極81和第二電極82組成，所述氧測(cè)量泵90的電極由設(shè)置在第三層基片30上、下表面的第三電極91和第四電極92組成，第三層基片30上設(shè)有與大氣相連的參比氣體通道31。所述第一電極81和第二電極82上下對(duì)應(yīng)設(shè)置,且第一電極81和第二電極82的長(zhǎng)度布滿或大致布滿第一腔室22的長(zhǎng)度方向。所述第三電極91和第四電極92上下對(duì)應(yīng)設(shè)置，且第三電極91設(shè)置在第二腔室23中遠(yuǎn)離第一腔室22的一端。第四電極92下表面覆蓋有多孔氧化鋁層93，多孔氧化鋁層93的一端延伸到參比氣體通道31。第三電極91和第四電極92采用鉬銠復(fù)合材料，既有鉬又有銠的功能，從而能夠在本發(fā)明的第二腔室23內(nèi)只有一個(gè)氧測(cè)量泵90，既承擔(dān)起電極分解的功能，即氧泵80的功能，又承擔(dān)起測(cè)量的功能。
[0022]第四層基片40與第五層基片50之間設(shè)置有加熱體60，加熱體60的上下各有一層絕緣層70。如圖3所示，加熱體60僅具有兩個(gè)引出端，傳感器工作時(shí)，加熱體60與加熱回路串聯(lián)，對(duì)加熱體60兩個(gè)引出端施加電壓，進(jìn)而測(cè)量阻值來控制加熱體60溫度。
[0023]如圖1所示，尾氣中含有N0x、02進(jìn)入傳感器的第一腔室22，氧泵80把尾氣中含有的初始O2泵出，在第一腔室22內(nèi)只剩下NO2 ;在加熱體60的高溫作用下，NO2分解成O2和NO,分解后的O2被第一腔室22的氧泵80泵出；N0進(jìn)入第二腔室23，分解成O2和N2,通過氧測(cè)量泵90測(cè)出O2的量，則可得出尾氣中的NOx含量。
[0024]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種氮氧化物傳感器，其特征在于:由多層長(zhǎng)方形基片構(gòu)成，加熱體￠0)設(shè)置在其中一層基片上；其余各層中，具有三層相鄰的基片形成沿基片長(zhǎng)度方向依次設(shè)置的氣體入口(21)、第一腔室(22)和第二腔室(23)，第一腔室(22)內(nèi)設(shè)置有氧泵(80)，第二腔室(23)內(nèi)設(shè)置有氧測(cè)量泵(90)，第一腔室(22)和第二腔室(23)之間設(shè)置有擴(kuò)散障礙部(24)。
2.如權(quán)利要求1所述的氮氧化物傳感器，其特征在于:從上至下的第一層基片(10)至第三層基片(30)形成所述的氣體入口(21)、第一腔室(22)和第二腔室(23)，所述氧泵(80)的電極由設(shè)置在第一層基片(10)上、下表面的第一電極(81)和第二電極(82)組成，所述氧測(cè)量泵(90)的電極由設(shè)置在第三層基片(30)上、下表面的第三電極(91)和第四電極(92)組成，第三層基片(30)上設(shè)有與大氣相連的參比氣體通道(31)。
3.如權(quán)利要求1所述的氮氧化物傳感器，其特征在于:所述第一電極(81)和第二電極(82)上下對(duì)應(yīng)設(shè)置，且第一電極(81)和第二電極(82)的長(zhǎng)度布滿或大致布滿第一腔室(22)的長(zhǎng)度方向。
4.如權(quán)利要求1所述的氮氧化物傳感器，其特征在于:所述第三電極(91)和第四電極(92)上下對(duì)應(yīng)設(shè)置，且第三電極(91)設(shè)置在第二腔室(23)中遠(yuǎn)離第一腔室(22)的一端。
5.如權(quán)利要求1所述的氮氧化物傳感器，其特征在于:第四電極(92)下表面覆蓋有多孔氧化鋁層(93)，多孔氧化鋁層(93)的一端延伸到參比氣體通道(31)。
6.如權(quán)利要求1所述的氮氧化物傳感器，其特征在于:加熱體￠0)設(shè)置在第四層基片(40)與第五層基片(50)之間，加熱體￠0)的上下各有一層絕緣層(70)。
7.如權(quán)利要求1所述的氮氧化物傳感器，其特征在于:所述加熱體￠0)僅具有兩個(gè)引出端。
【文檔編號(hào)】G01N27/407GK104267089SQ201410488439
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年9月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月22日
【發(fā)明者】潘登, 湯忠華, 劉嶼, 滕衛(wèi)星, 陳烈 申請(qǐng)人:金壇鴻鑫電子科技有限公司